【課題】 シリコン貫通電極などの複雑な構造をとることなく、MEMSデバイスの光スキャナをワイヤーレスで実装することができる小型・薄型にパッケージ化した光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器は、光スキャナチップ２１のミラー部２１ａの光反射面側に開口部１６を有し、両面に互いに電気的接続された複数の電極１２，１３を有する第１の基板１１と、その開口部１６に光反射面が向くように第１の基板１１上に実装された光スキャナチップ２１と、光スキャナチップ２１の光反射面と反対側の面に装着された第２の基板３１とでパッケージ化される。光スキャナチップ２１の電極２２は、第１の基板１１の一方の面の電極１２と金属の溶融又は圧接によって接続され、第１の基板１１の他方の面の電極１３，１４を介して給電される。 （もっと読む）

【課題】櫛歯同士の貼り付きが生じない櫛歯型アクチュエータを提供する。
【解決手段】光偏向器は、可動板１０１と、可動板１０１を回転軸１１１の回りに傾斜可能に支持する一対のトーションバー１０２と、トーションバー１０２が接続された固定部１０３を有している。可動板１０１は、複数の導電性の可動櫛歯１０４，１０７を有している。固定部１０３は、複数の複合固定櫛歯１０５，１０８を有している。複合固定櫛歯１０５は、複数の導電性の固定櫛歯１０５ｂを有している。複合固定櫛歯１０５はまた、外部衝撃などによる可動櫛歯１０４と固定櫛歯１０５ｂの接触を防止する複数の導電性のストッパー１０５ａを有している。 （もっと読む）

【課題】 複雑で高価な工法を用いることなく、光スキャナ素子構造の破損を防止しながら光スキャナ素子を個片として加工できる光スキャナの製造方法を提供する。
【解決手段】 光スキャナ素子１を形成する加工ウエハ１１の表面を加工する際に、光スキャナ素子１をチップとして個片化するためのダイシングストリート１２を形成する工程と、加工ウエハ１１が光スキャナ素子１の可動部に対応したキャビティ１３を有する支持基板１４を加工ウエハ１１の一方の表面に仮接合する工程と、加工ウエハ１１の仮接合面と反対側の面を粘着フィルム１６に貼り付け、仮接合に用いた部材１５の接合力を消失させて加工ウエハから支持基板１４を剥離する工程と、粘着フィルム１６をエキスパンドさせた後、光スキャナ素子１をピックアップしてパッケージングする工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】小型化に適した光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器は、基板１５０と、基板１５０に設けられた一対の駆動電極１２０Ａ，１２０Ｂと、基板１５０に固定された一対の固定部１０７と、一対の固定部１０７にそれぞれ接続された一対のヒンジ１１０と、一対のヒンジ１１０によって揺動可能に支持された接続部１０５と、接続部１０５に固定された支柱１０２と、支柱１０２に固定された可動板１０１とを有している。可動板１０１は、駆動電極１２０Ａ，１２０Ｂに対向するように基板１５０から間隔を置いて支持されている。可動板１０１は、駆動電極１２０Ａ，１２０Ｂに対向する第一の面に対向電極を有し、第一の面の反対側の第二の面に反射面１０３を有している。駆動電極１２０Ａ，１２０Ｂと固定部１０７とヒンジ１１０と接続部１０５は同一の層から形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの力を効率よく利用してミラーの回転方向に大きな変位を得るとともに、垂直方向の並進運動を大幅に抑制する。
【解決手段】ミラー部（12）を挟んで両側に一対の圧電アクチュエータ部（14）が配置される。圧電アクチュエータ部（14）の一端（14A）は連結部（16）を介してミラー部（12）の端部（12A）に接続され、圧電アクチュエータ部（14）の他端（14B）は固定部（30）に固定支持される。また、ミラー部（12）は、垂直方向への並進運動する抑制する垂直移動抑制構造(32)を介して固定部（30）に接続されている。回転軸（18）付近に接続されるトーションバー（20）とトーションバー（20）の基端部を支持するトーションバー支持部（22）とにより垂直移動抑制構造（32）を構成できる。 （もっと読む）

【課題】可動ミラーの傾斜に伴う可動ミラーの変形の発生が防止された光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器１００は、可動ミラー１１０と、可動ミラー１１０を第一の軸１８１まわりに傾斜可能に支持する一対のヒンジ１２０と、ヒンジ１２０をそれぞれ支持する一対の固定部１３０とを有している。可動ミラー１１０とヒンジ１２０と固定部１３０は、第一の軸１８１に直交する第二の軸１８２に沿って整列している。光偏向器１００はさらに、可動ミラー１１０を第一の軸１８１まわりに傾斜させる駆動素子たとえば一対の駆動電極１６０を有している。光偏向器１００はさらに、可動ミラー１１０の傾斜により可動ミラー１１０に生じる変形を緩衝する緩衝部１４０を有している。 （もっと読む）

【課題】アナモルフィック光学系を利用して低輝度の変調光場を集中させることにより、高い合計光強度がライン画像の全体長さに沿って同時に発生され、これにより、あらゆるドット様ピクセル画像が同時に発生される単一パス高解像度高速印刷用途に使用される画像形成システムを提供する。
【解決手段】アナモルフィック光学系１３０を用いて画像形成面１６２上へ二次元画像の略一次元ライン画像を発生させるために利用される単純化された単一パス画像形成システム１００において、システム１００はさらに、均質光発生器１１０と、均質光発生器１１０から受信される均質光１１８Ａを変調するようにコントローラ１８０により制御される空間光変調器１２０と、変調器１２０により発生される変調光場１１９Ｂを画像化しかつ集中させ、かつ画像形成面１６２上に略一次元ライン画像ＳＬを投影させるように位置合わせされるアナモルフィック光学系１３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】高速画像形成のために高エネルギ光源を利用する単一通過の画像形成システムを提供する。
【解決手段】予め決められたスキャンライン画像データに応答して、略一次元スキャンライン画像を１２００ｄｐｉ以上で発生する。略均一な二次元均質光場１１９Ａは空間光変調器１２０を用いて、変調された光が二次元変調光場１１９Ｂを形成するように、予め決められたスキャンライン画像データに従って変調される。変調された光場は、次に、略一次元スキャンライン画像を形成するようにアナモルフィックに画像化されかつ集中される。光変調素子１２５−１１〜１２５−４３は、個々に変調「オン」状態と変調「オフ」状態との間で調整可能であって、これにより、変調「オン」状態において各変調素子がその受け入れた光部分をアナモルフィック光学系の対応する領域上へ方向づけ、かつ「オフ」状態において光部分を阻止または迂回させるように配置される。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の揺動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、揺動軸まわりに揺動可能な板状の可動板２１と、可動板２１から延出し、かつ可動板２１の揺動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、可動板２１の板面に固着された磁石４１１、４１２と、通電により磁石４１１、４１２に作用する磁界を発生させて可動板２１を揺動させるコイル４２とを有し、可動板２１は、その板厚方向からの平面視にて、揺動軸に対して垂直な方向で両側へ突出する１対の突出部２１５、２１６と、揺動軸に対して平行な方向で両側に突出する１対の突出部２１３、２１４とを有する十字状をなし、磁石４１１、４１２は、突出部２１３、２１４に固着されている。 （もっと読む）

【課題】振動系を有する基体上に導体パターンを設けた構成にいて、比較的簡単に、長寿命化を図ることができるアクチュエーター、アクチュエーターの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー（アクチュエーター）１の製造方法は、基板をエッチングした後に平坦化処理することにより、所定の軸まわりに回動可能な可動部と、前記可動部に連結された連結部と、前記連結部を支持する支持部とを有する基体を形成する第１の工程と、基体上に絶縁層を形成する第２の工程と、基体の一方の面の絶縁層上に導電性を有する導体部を形成する第３の工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の鏡面性と製造歩留りに優れたＭＥＭＳ走査型ミラーの製造方法を提供する。
【解決手段】空洞HOが形成されるハンドル層Hと表面が鏡面仕上げされたデバイス層B、Ｔとがシリコン酸化膜を介して接合されたウエハを準備する工程、デバイス層にＭＥＭＳ走査型ミラーの下層構成要素に対応しかつデバイス層に形成すべき下層構造体を形成する工程、下層構造体形成後のウエハのデバイス層にシリコン酸化膜を介して上層のデバイス層を形成するためのウエハを接合する工程、上層のウエハを加工して所定厚さの上層のデバイス層を形成する工程、上層のデバイス層にＭＥＭＳ走査型ミラーの上層構成要素に対応しかつ上層のデバイス層に形成すべき上層構造体を形成する工程、ハンドル層Hに空洞を形成する工程、下層構造体のシリコン酸化膜を除去してＭＥＭＳ走査型ミラーを完成させる工程とからなる。 （もっと読む）

【課題】大きな光偏向角が得られる光偏向装置、広範囲な範囲を走査できる光走査装置、大きさサイズの記録媒体への画像形成が可能となる画像形成装置及び大型スクリーンへの投影が可能となる画像投影装置を提供できる。
【解決手段】一対のトーションバースプリング１２、１３の一端がミラーの回動軸の仮想線から所定値オフセットしてミラー１１の両端縁に接続されている。一対のトーションバースプリング１２、１３の他端には一対のカンチレバー１４、１５の可動端がそれぞれ接続され、各カンチレバー１４、１５には圧電材料が積層されユニモルフまたはバイモルフ構造が形成されている。カンチレバー１４、１５の固定端は保持枠１６に接続されている。 （もっと読む）

【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、質量部を互いに直交する２軸のそれぞれの軸まわりに回動させることができるアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】電源回路５は、第１の周波数で周期的に変化する第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２を発生する第１の電圧発生部５１と、第１の周波数と異なる第２の周波数で周期的に変化する第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２を発生する第２の電圧発生部５２と、第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２と第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２とを重畳する電圧重畳部５３とを備え、電圧重畳部５３で重畳された電圧を各圧電素子４１、４２、４３、４４に印加することにより、質量部をこれを支持する１対の弾性部に沿った第１の軸線まわりに第１の周波数で回動させつつ第１の軸線に直交する第２の軸線まわりに第２の周波数で回動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】変位量が温度変動に影響されない静電アクチュエータを提供する。
【解決手段】静電アクチュエータ１３０は基本駆動素子１１１ａ１を備えている。基本駆動素子１１１ａ１は、櫛歯電極１０５ａと、櫛歯電極１０６ａと、櫛歯電極１０５ａを保持している電極ポスト１０７ａと、櫛歯電極１０６ａを保持している電極ポスト１０８ａと、電極ポスト１０７ａを保持しているたわみばね１０２，１０４と、電極ポスト１０８ａを保持しているたわみばね１０３から構成されている。櫛歯電極１０５ａと櫛歯電極１０６ａは、それらの櫛歯部が互いに対向するように配置されている。櫛歯電極１０５ａは電極ポスト１０７ａを介してたわみばね１０２，１０４と電気的に接続され、櫛歯電極１０６ａは電極ポスト１０８ａを介してたわみばね１０３と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】設計の自由度を向上させるとともに、印加電圧を少なくして偏向角を大きくする。
【解決手段】光スキャナOSは、外枠となる固定枠1と、主軸トーションバー3と、主軸トーションバー3の直交方向に長尺となるよう配設されるとともに、一端を主軸トーションバー3に接続し、他端を固定枠1に固定した片持ち梁構造の保持部41と、保持部41を変形させるための力を電圧印加に応じて生じさせる圧電素子42と、主軸トーションバー3を基準に揺動するミラー部21とを含む。駆動回路から圧電素子42に対して印加される電圧は、光スキャナOS自身の固有振動数に近似または一致するとともに、保持部41に、当該の保持部41の短手方向に対し交差する節を少なくとも1つ発生させる周波数である。保持部41は、前記短手方向におけるミラー部21側の部分のみで、主軸トーションバー3に接続される。 （もっと読む）

【課題】リサージュ走査であっても効果的な画像重複や走査解像度を有するスキャナ用偏向装置を提供する。
【解決手段】少なくとも２つの偏向軸において振動すると共に、フレームと、懸架搭載部によって可動式に配置したミラープレート４とを有するマイクロミラー１と、少なくとも２つの偏向軸においてマイクロミラーの共鳴動作に対する制御信号を生成する制御装置と、を含み、ミラープレートの懸架搭載部が少なくとも１つのバネを有し、バネの一端をミラープレートに接続し、バネの他端を固定したフレームに接続し、マイクロミラーの共鳴動作に対する制御信号の周波数が、少なくとも２つの偏向軸において実質的に等しく、そのレベルを、所定の走査解像度と所定の走査反復率によって決定するが、それらが少なくとも所定の走査反復率に関して異なること、を特徴とするリサージュ走査を行うスキャナ用偏向装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は三次元構造体の製造効率の低下を招くことなく、電極パッドをシリコン基板に形成可能な三次元構造体の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の三次元構造体の製造方法は、シリコン基板T、B、Hを用いて形成された三次元微細構造体の電極パッド１６P３、１６P４の形成領域１６P３’、１６P４’に金Ａｕを堆積させる金属堆積工程と、シリコン基板T、B、Hを熱により酸化させて金Ａｕの形成領域以外の表面にシリコンの酸化膜ＳiO₂を形成する酸化膜形成工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】製造コストが小さく、信頼性が高い光走査装置を提供する。
【解決手段】走査部１１は、２軸方向に揺動することにより光を走査する。梁部１２は、走査部１１が第１の方向の揺動可能なように、走査部１１を支持する。可動支持部１５は、梁部１２を支持する。駆動部１４は、走査部１１を第１の方向に揺動させるように駆動する。ワイヤ１７は、可動支持部１５が第１の方向と直交する第２の方向の揺動可能なように、一端側において可動支持部１５を支持し、駆動部１４と電気的に接続する。導電性材料３１は、ワイヤ１７の一端側と可動支持部１５とを固定する。固定支持部２１は、ワイヤ１７の他端側においてワイヤ１７を支持する。 （もっと読む）

【課題】ミラー基板の高剛性化と軽量化を同時に実現できる電磁型マイクロミラー装置を提供する。
【解決手段】電磁型マイクロミラー装置１は、ミラー基板２と、ミラー基板２を往復振動させるための駆動手段とを備えている。ミラー基板２の表面２ａには、光ビームを反射するためのミラーが形成されている。ミラー基板２の裏面２ｂには、構造補強材１０が形成されている。この構造補強材１０は三次元規則配列多孔体から構成され、構造補強材１０中には磁性材料が含まれている。 （もっと読む）

【課題】電極とミラーとを近接させても、ミラーと電極との衝突を回避しつつミラーの揺動スペースを確保する。
【解決手段】ミラーデバイス１は、揺動可能なミラー２１と、ミラー２１と対向する駆動電極３１，３１，…とを備えている。ミラーデバイス１は、ミラー２１が設けられたミラー基板２と、駆動電極３１，３１，…が設けられた電極基板３と、ミラー基板２と電極基板３との間に介設され、ミラー２１と当接することによってミラー２１の揺動を所定の揺動範囲に制限するストッパ４とをさらに備えている。 （もっと読む）