【課題】ミラー面の鏡面性と製造歩留りに優れたＭＥＭＳ走査型ミラーおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 少なくとも１つの段差付き静電櫛歯アクチュエータを有するＭＥＭＳ走査型ミラーであって、ミラーがその最上面ＴＯＰＳよりも下に形成されている。また、少なくとも１つの段差付き静電櫛歯アクチュエータを有するＭＥＭＳ走査型ミラーの製造方法では、絶縁層Ｉを除去することによりミラー板１０Ｂの表面１０ＢＳが露出される。 （もっと読む）

【課題】クロストークを許容値以下にし、かつ、Rabbit Earの発生を抑制することができる光スイッチおよび光スイッチの制御方法を提供する。
【解決手段】比較器１３は、検出結果の目標値に対する偏差を求める。加算器１５は、その偏差に応じた補償量を制御変数Ｖｔに加算して、偏差を制御変数Ｖｔに負帰還する。算出部１７は、制御変数Ｖｔからミラー１０４１をｘ軸回りおよびｙ軸回りにそれぞれ所定量回動させるための電圧ＶｘおよびＶｙを算出する。電極電圧制御部１８は、そのＶｘおよびＶｙから電極それぞれに印加する駆動電圧を算出してこの駆動電圧に対応する電極に印加する。これにより、２つの軸を有するミラーの動作を１つの制御変数Ｖｔによって制御することが可能となるので、より容易に、クロストークの低減とRabbit Earの抑圧を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な製造方法により、横ずれが少ない長寿命のアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ１は、基体２と、基体２上に固定された微細構造体３とを有する。微細構造体３に、相対向する第１の支持部４と、相対向する第２の支持部５と、Ｖ字状の弾性連結部６を介して第１の支持部４に回動自在に連結され基体２から浮く回動板７と、回動板７の端部に設けられた櫛歯状の可動電極群１１と、ばね部８を介して第２の支持部５に連結され基体２に固定された固定部９と、固定部９の端部に可動電極群１１とかみ合って設けられた櫛歯状の固定電極群１０と、基体２・微細構造体３を位置決めする位置決め部１４とを備える。固定電極群１０を含む固定部９は、第２の支持部５よりも肉薄で、自重とばね部８の変形とにより可動電極群１１を含む回動板７よりも下方に変位して基体２に固定され、可動電極群１１は固定電極群１０よりも上方にずれて位置する。 （もっと読む）

【課題】大幅な低コスト化を可能とする光偏向ミラー、光偏向ミラーの製法、光偏向器を提供する。
【解決手段】光ビームを偏向するための光偏向ミラーであって、基板４の表面が光反射性を有し、裏面にポリマー材料を主成分とする樹脂皮膜５が形成されたミラー部１と、ミラー部１に設けられ、樹脂皮膜５の突出部からなるトーションバー２と、トーションバー２に連結された固定部３とを有し、ミラー部１は磁気感受性を有し、トーションバー２はミラー部１を傾動自在に支持する。基板４の表面で光を反射でき、基板４が磁気感受性を有するので、電磁石で基板を傾動させることができる。トーションバー２の材料がポリマーを主成分とする樹脂を主成分とする樹脂であるから柔軟性があり、小さな駆動源で傾動できる。基板４の表裏両面とも、フォトリソグラフィ技術によるパターニングと、ウエットエッチングにより製造でき、光偏向ミラーを廉価に製造できる。 （もっと読む）

【課題】静電力が可動部の揺動方向に働く位置関係に容易に電極を配置できる静電型アクチュエータを得る。
【解決手段】鏡面１２４と同じ方向を向く可動部側電極１２３ａの面と、裏面１２５と同じ方向を向く可動部側電極１２３ｂの面には、可動部膜１２７ａ、１２７ｂが蒸着される。可動部膜１２７ａ、１２７ｂはＳｉ_３Ｎ_４から成る。Ｓｉ_３Ｎ_４は所定の条件下で２１０ＭＰａの引張応力を発生する。そのため、可動部側電極１２３ａは、その先端が裏面１２５の方向へ向くように湾曲し、可動部側電極１２３ｂは、その先端が鏡面１２４の方向へ向くように湾曲する。同様に、固定部側電極１１１ａと固定部側電極１１１ｂも固定部膜１１２ａ、１１２ｂが蒸着されて湾曲する。 （もっと読む）

【課題】フレームと可動部とを連結する連結部のバネ定数の変動を抑制するのに適したマイクロ可動素子、および、そのようなマイクロ可動素子を備える光スイッチング装置を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ可動素子Ｘ１は、フレーム３０、可動部２０、及びこれらを連結する連結部４２が形成されているマイクロ可動基板Ｓ１と、支持基材Ｓ２と、マイクロ可動基板Ｓ１のフレーム３０および支持基材Ｓ２の間に介在してフレーム３０および支持基材Ｓ２に接合する複数のスペーサ９０Ａ，９０Ｂと、フレーム３０および支持基材Ｓ２の間に介在してフレーム３０および支持基材Ｓ２に接合するスペーサ部９１Ｃ，９２ならびに当該スペーサ部を覆ってフレーム３０および支持基材Ｓ２に接合する接着剤部９３を有する少なくとも一つの強固定部９０Ｃとを備える。強固定部９０Ｃは、二つのスペーサ９０Ａ，９０Ｂの間に位置する。 （もっと読む）

【課題】接着部材による圧縮応力を低減することによって、光走査体の共振周波数等の固有値の変化を抑制することができる光走査装置、画像形成装置、及び光走査装置の製造方法を提供する。
【解決手段】光走査体は、入射した光を反射する反射ミラーと、反射ミラーから相反する方向に延びる一対の梁と、一対の梁を支持する固定部と、反射ミラーを揺動駆動する駆動体とを有する。光走査装置は、光走査体と、光走査体の固定部に接着部材で接着され、光走査体を支持する台座と、を備えている。光走査体の固定部における台座への接着領域、又は台座における光走査体の固定部への接着領域に、接着部材を逃がす凹部が形成された。 （もっと読む）

【課題】 圧電薄膜方式の形状可変ミラーにおいて精度よく収差補正を行う。
【解決手段】 形状可変ミラーは、内部可動枠と、内部可動枠の内側に形成される回動板と、第１のトーションバーを挟む形で形成された第１の圧電膜及び第１の電極と、第２のトーションバーを挟む形で形成された第２の圧電膜及び第２の電極と、を含み、第１の電極及び第２の電極に印加される電圧によって回動される回動板の回動角度が調整される圧電アクチュエータが複数配置された圧電アクチュエータアレイと、各圧電アクチュエータに設けられた前記回動板上に形成される柱部と、前記柱部によって下方より支持されるマイクロミラーと、を備え、各圧電アクチュエータに設けられた回動板の回動角度によって各マイクロミラーの反射面の角度が二次元的に調整されることによりミラー面全体の形状が変化されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化及び低コスト化を図りつつ、可動板を直交する第２の軸の周りに回動させるアクチュエータを提供する。
【解決手段】枠状部材１４と、枠状部材１４をＸ軸周りに回動させる軸部材１５ａ，１５ｂと、可動板１１と、可動板１１をＹ軸周りに回動させる軸部材１３ａ，１３ｂと、枠状部材１４に設けられた永久磁石２０ａ，２０ｂと、可動板１１に設けられた永久磁石２０ｃと、電圧の印加により永久磁石２０ａ，２０ｂ，２０ｃに作用する磁力を発生するコイル３０とを備え、永久磁石２０ａ，２０ｂ，２０ｃは両極がＸ軸を挟んで配置され、Ｘ軸に対してθ（３０度＜θ＜６０度）の角度を有し、かつ磁極の方向が同じになるように配置される。電圧印加手段４０は周波数の異なる第１の電圧と第２の電圧を重畳した電圧をコイル３０に印加し、可動板１１は第１の電圧の周波数でＸ軸周りに、第２の電圧の周波数でＹ軸周りに回動する。 （もっと読む）

【課題】最適な駆動電圧をより高速に算出する。
【解決手段】操作量Ｖ_xおよびＶ_yを座標軸とした平面上において、時間的に変動する変化分ΔＶ_xおよびΔＶ_yが原点を起点および終点とし各象限に少なくとも１の値を取る摂動パターンを設定し、この摂動パターンに応じてマイクロミラー装置３ａ，３ｂのミラーを摂動させたときに出力光測定装置４によって検出された出力光の光強度の変動と操作量Ｖ_xおよびＶ_yならびに変化分ΔＶ_xおよびΔＶ_yとから最も強い光強度が検出されたミラーの傾動角を与える新たな操作量Ｖ_xおよびＶ_yを算出する。これにより、操作量の平面上における全方位の探索、および、ミラーの動特性による高速駆動時の残留振動の影響を低減化した駆動方法を実現することができ、結果として、光強度が最大となる駆動電圧を高速に算出することができる。 （もっと読む）

【課題】特に光学系要素の部品点数の削減、構造の簡単化及び通信対象に対する高い指向性を実現できる光通信装置を提供することにある。
【解決手段】光通信装置の光学系要素として、発光素子、受光素子、レンズが実装された基板２０及びその可動機構であるアクチュエータ１１を含む構造の光学系要素１０である。光学系要素１０は、光通信装置の光通信を実行するときに、アクチュエータ１１により通信対象に対して基板２０が微小可動するように調整される構造である。 （もっと読む）

【課題】所望する反り量のミラーを製造することができるミラー装置の製造方法を提供する。
【解決手段】回動可能に支持された平板状のミラーを有するミラー基板を用意する第１のステップと、ミラーの一の面に第１の金属層を形成する第２のステップと、ミラーの他の面に第２の金属層を形成する第３のステップと、電極基板上にミラー基板を載置し、電極とミラーとを対向配置する第４のステップとを有し、表面層２３２及び裏面層２３３の少なくとも一方の厚さを制御する。これにより、ミラー２３０の反り量を制御して、所望の曲率半径を有するミラー２３０を製造することができる。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧に対するミラーの傾斜角の線形応答性を改善する。
【解決手段】ミラー基板に対して回動可能に支持されるミラー１４０３と、ミラー基板と対向する電極基板の上に形成された駆動電極１３０３−１〜４と、電極基板の上に形成された、ミラーの回動中心を支えるピボットと、駆動電極に電圧を印加する制御回路とを備え、駆動電極は、ピボットの周りの電極基板上に複数形成され、バイアス電圧Ｖｂを印加した状態で、正側駆動電極と負側駆動電極との間に電圧差を生じさせる。これにより、ミラー１４０３を回動させることができ、駆動電圧Ｖに対する傾斜角θの線形応答性を改善することができる。 （もっと読む）

【解決課題】傾斜マイクロミラーからの電磁放射に位相差を導入することが、例えば、完全又は実質的に完全な正の振幅に加えて、完全又は実質的に完全な負の振幅を含むことができるようにアドレス指定可能振幅領域を拡張する。
【解決手段】放射を生成する第１及び第２の部分を使用して、加工物上にパターン形成するための方法、及び前記加工物上にパターンを形成するように、且つ放射に位相差を誘発するように適合された少なくとも１つの反射デバイスを備え、前記位相差が、位相シフト・プレートとステップ高さの差との少なくとも一方によって誘発される、放射源と加工物にパターン形成するための装置。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性に優れたミラー装置を提供する。
【解決手段】ミラー基板に対して回動可能に支持されるミラーと、ミラー基板と対向する電極基板の上に形成された駆動電極と、ミラーをミラー基板に連結する弾性部材とを備え、ミラー基板は、第１の開口を有し、ミラーは、弾性部材により第１の開口内で回動可能に支持され、ミラーの質量をｍ、ミラー装置に加わる加速度をＧ、弾性部材のバネ定数をｋとするとき、ミラーと弾性部材との間隔ｄ１〜ｄ４は、ｄ＝ｍＧ／ｋの変位量ｄの値より大きくなるように設定する。これにより、ミラーアレイに加速度Ｇが加わった場合でも、ミラー基板２００の可動部材は、この可動部材と隣接する部材に接触しないので、破損するのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】 温度に影響されることなく、可動部の位置検出を行うことができ、しかも、小型化を図ることのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 デバイス基板２に設置された枠状の固定部３と、固定部３の内側にトーションバー５を介して回動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部４とを備え、可動部４のトーションバー５と連結していない一辺にゲート電極８を配置するとともに、ソース電極９およびドレイン電極１０をゲート電極８に対向するように配置した。 （もっと読む）

【課題】 小さな駆動力で可動ミラーが大きく揺動する光学装置を提供する。
【解決手段】 支持部１９，２１，２３，２５は、可動ミラー３６の裏面に当接し、可動ミラー３６の第１端部３２が基板１４に接近する向きに揺動する際の支点１８と、可動ミラーの第２端部４０が基板１４に接近する向きに揺動する際の支点２４を提供する。アクチュエータ３０，４２は、可動ミラー３６の第1端部３２と第２端部４０のうちの任意の一方を選択し、選択した側の可動ミラーの端部３２，４０を基板１４に近づける。連結部５２，５４，５６，５８は、(1) 可動ミラー３６が第１端部側支点１８を中心にして第２端部側支点２４から離反する向きに揺動し、(2) 可動ミラーが第２端部側支点２４を中心にして第１端部側支点１８から離反する向きに揺動する相対運動を許容する態様で可動ミラー３６を基板１４に連結している。 （もっと読む）

【課題】偏向面駆動部。
【解決手段】第１走査部、第１走査部を第１方向に平行な軸周りに回転自在に保持する第２走査部、第２走査部を第２方向に平行な軸周りに回転自在に保持するフレームを備える。第１走査部は、偏向面、第２方向に突出した櫛歯で構成された第１櫛歯部を有する。第２走査部は、第２方向に突出した櫛歯で構成された第２櫛歯部、第１方向に突出した櫛歯で構成された第３、第４櫛歯部を有する。フレームは、第１方向に突出した櫛歯で構成された第５、第６櫛歯部を有する。第１櫛歯部を構成する櫛歯は第２櫛歯部を構成する櫛歯と交互に、第３櫛歯部を構成する櫛歯は第５櫛歯部を構成する櫛歯と交互に、第４櫛歯部を構成する櫛歯は第６櫛歯部構成する櫛歯と交互に配置される。第１、第３、第４櫛歯部、及び偏向面は、第１方向に並べられ、第３櫛歯部は第１櫛歯部より偏向面に近い側に、第１櫛歯部は第４櫛歯部より偏向面に近い側に配置される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板のミラー部への伝播方向と垂直方向Ｘの曲げたわみを小さくすることにより、ミラー部の捻れ共振周波数の変化を押さえ、大きな電圧を印加した場合でも電圧に比例したミラー部の走査角度を増加させることができる光走査装置を提供する。
【解決手段】本発明の光走査装置は、基板と、基板に連結された捻れ梁部と、捻れ梁部により支持されるミラー部と、基板を振動させる駆動源と、ミラー部に光を投射する光源とを備え、ミラー部は駆動源によって基板に加えられる振動に応じて共振振動し、光源からミラー部に投射される光の反射光の方向がミラー部の振動に応じて変化する光走査装置において、基板と捻れ梁部との連結部から離れた基板の一部に駆動源を設けるとともに、上記駆動源が圧電体あるいは磁性体の薄膜あるいは薄板により基板上に形成され、平面形状が長方形を有し、その長辺が、ミラー部と駆動源を結ぶ方向に平行に配置されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】ミラー基板と電極基板との間隔をより容易に大きくできるようにする。
【解決手段】ミラー基板１９００と電極基板２０００とのギャップが、リブ構造体２０１０とギャップ補助層２１０１により形成される。言い換えると、ミラー基板１９００と電極基板２０００とは、ギャップ補助層２１０１とリブ構造体２０１０とを介して接合されている。これにより、ミラー基板１９００と電極基板２０００とが、ギャップ補助層２１０１とリブ構造体２０１０とにより離間しているようになり、ミラー基板１９００と電極基板２０００との間隔が、より容易に大きくできるようになるという優れた効果が得られる。 （もっと読む）