【課題】波長分割多重化方式に於ける可変波長分散補償器の管理制御装置及び管理制御方法に関し、ＶＩＰＡ型波長分散補償器の寿命を判定する。
【解決手段】光信号の波長分散を補償するＶＩＰＡ型の波長分散補償器１０１の管理制御装置及び管理制御方法であって、波長分散補償器１０１により光信号の波長分散補償を行って受信処理した信号の品質判定結果に応じて、波長分散補償器１０１の三次元ミラーを移動制御し、三次元ミラーの移動距離と移動速度との何れか一方又は両方を算出してメモリ１０５等に記録する手段と、三次元ミラーの移動距離の累算値又は移動速度と比較基準値とを基に三次元ミラーの移動制御構成の安定制御可能の寿命を判定する寿命管理部１４等手段とを備え、移動距離と移動速度との何れか一方又は両方について比較基準値と比較して、安定制御可能か否かを判定する。 （もっと読む）

本明細書において説明するこの方法およびデバイスは、ディスプレイ、およびＭＥＭＳを含む低温封孔流体充填ディスプレイを製造する方法に関する。この流体は、ＭＥＭＳディスプレイの可動構成要素を実質的に囲んで静摩擦作用を低減させ、ディスプレイの光学性能および電気機械的性能を向上させる。本発明は、蒸気気泡が封止温度よりも約１５℃〜約２０℃低くならないかぎり形成されないようにＭＥＭＳディスプレイを低温で封止する方法に関する。いくつかの実施形態では、ＭＥＭＳディスプレイ装置は、第１の基板と、ギャップによって第１の基板から分離された光変調器のアレイを支持する第２の基板と、ギャップを実質的に充填する流体と、ギャップ内の複数のスペーサと、第１の基板を第２の基板に接合する封止材料とを含む。
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【課題】透過帯域を拡大するとともに、入出力ポート数を増加させることができる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】第１偏向素子４０に入射する信号光と第２偏向素子５０から出射する信号光は、光軸が互いに平行であり進行方向が互いに逆向きであり、対となる第１偏向素子４０のＳＷミラー４１〜４４と第２偏向素子５０の偏向チップ５１〜５４が、入出力ポートの組み合わせに応じて複数配置されている。これより、第１，第２偏向素子４０，５０をＺ方向にオフセットさせたり、このオフセットにより偏向素子ペア間の光路長差を低減したり、入力ミラーおよび出力ミラー上でのビームサイズをほぼ一致させたりすることができる。結果として、ＭＥＭＳミラー上におけるビームのサイズばらつきや、入出力ポートの組み合わせに依存するビームのサイズばらつきを、実用上問題ない範囲に低減することができる。 （もっと読む）

【課題】露光量を低下させることなく、パターンの描画を高精細に行う。
【解決手段】光ビーム照射装置２０の空間的光変調器（ＤＭＤ２５）は、複数のミラーを直交する二方向に配列して構成されている。空間的光変調器を、光ビームによる基板の走査方向に対して傾けて配置し、かつ、空間的光変調器の複数のミラーを、直交する二方向の内の走査方向に近い方向に、ミラーの数が異なる複数の区画に分割して使用する。駆動回路（ＤＭＤ駆動回路２７）により、空間的光変調器の各区画のミラーを、区画毎に異なる周期で駆動し、ミラーの数が多い区画の駆動周期を、ミラーの数が少ない区画の駆動周期より短くする。ミラーの駆動周期が短い区画では、パターンの描画が高精細に行われる。露光時間と露光回数とを掛けた露光量は、区画により大きく変動しない。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器の特性を長期間にわたって安定させる。
【解決手段】基板と、基板に対して揺動する反射鏡とを備えた空間光変調器であって、反射鏡は、反射面と、反射面に交差する面を含み反射面の裏面に配されて反射面に対する曲げ応力に対抗する構造材とを有する。上記空間光変調器において、構造材は、面に更に交差する底面を有してもよい。また、上記空間光変調器において、構造材は、反射面と共に包囲した空間と、当該空間の外部との間を連通させる貫通孔を有してもよい。 （もっと読む）

電気機械変調器及びそれを製造する方法が開示されている。一実施形態において、ディスプレイはボイドが形成されたメンブレン層を有する副画素を含む。ボイドは、メンブレン層の柔軟性が増加するように構成されることができる。副画素はさらに、観察者からボイドを隠すように構成された光学マスクを含むことができる。他の一実施形態において、ディスプレイは、少なくとも二つの可動反射体を含むことができ、それぞれの可動反射体は、異なる剛性を有するが、それぞれの可動反射体は、ほぼ同じ有効熱膨張係数を有する。
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【課題】電気機械変換器の特性を長期間にわたって安定させる。
【解決手段】電極を有する基板と、基板に対して一端を固定されて弾性変形する基板側捩じり軸部と、基板側捩じり軸部の他端に支持され、静電力により電極に引き付けられて基板に対して揺動する可動部と可動部の一面と交差する面を有して可動部と一体的に配され、可動部に対する曲げ応力に対抗する構造材とを備える。上記電気機械変換器において、捩じり軸部は、可動部と一体をなしてもよい。また、上記電気機械変換器において、捩じり軸部の他端に支持され、静電力により基板上の電極に引き付けられて基板に対して揺動する枠体と、一端を枠体に固定され、他端において可動部を支持する枠側捩じり軸部とを更に備え、可動部は、枠体に対しても揺動してもよい。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器の特性を長期間にわたって安定させる。
【解決手段】基板と、基板に対して揺動する反射鏡とを備えた空間光変調器であって、反射鏡は、反射膜材料により形成された一対の反射膜材料層と、非反射膜材料により形成され、一対の反射膜材料層に挟まれた非反射膜材料層とを含む積層体を有し、一対の反射膜材料層の一方が反射鏡の反射面となる。反射膜材料はアルミニウムであり、非反射膜材料は窒化珪素であってもよい。また、反射膜材料層の一方は、反射面を被覆する気密且つ透明な保護層を更に有してもよい。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器の特性を長期間にわたって安定させる。
【解決手段】電極を有する基板と、基板に対して一端を固定されて弾性変形する基板側捩じり軸部と、捩じり軸部の他端に支持されつつ、静電力により電極に引き付けられて基板に対して揺動する枠体と、枠体に対して一端を固定されて弾性変形する枠側捩じり軸部と枠側捩じり軸部の他端に支持されつつ、静電力により電極に引き付けられて枠体に対して揺動する可動部と可動部に支持されて、可動部と共に基板に対して揺動する反射鏡とを備える。 （もっと読む）

表示の更新装置及び方法が開示される。識別値は、表示データのユニットに対して決定される（１０１０、１０１５）。更新中に受け取られる表示データのユニットに対する識別値は、以前に受け取られた表示データのユニットに対する識別値と比較される（１０２０）。比較に基づいて（１０２５）、ディスプレイの対応する部分の更新が省略され得る（１０３０）。
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本開示の一実施例にしたがって、システムは、投影システムを含む。そのシステムは、さらに、その投影システム内に配置される画像生成器を含む。その画像生成器は、複数の光線を生成するように機能する。そのシステムは、さらに、その投影システム内に配置される対物レンズを含む。その対物レンズは、それら複数の光線を屈折させるように機能する。そのシステムは、さらに、画像を形成するために屈折光線をターゲットに向けて反射させるように機能する構成要素を含む。その画像は、ターゲットに関して移動させられるように機能する。その画像の動きは、ターゲットに関するその投影システムの移動とは無関係である。

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【課題】光の利用効率に優れた光変調装置及びプロジェクターを提供する。
【解決手段】光変調部８０Ａは、光変調部に画像を構成する画素毎に設けられている。光変調装置は、入射した光束を画像情報に応じて変調して画像を形成する。光変調部８０Ａは、入射した光束を集光するマイクロレンズと、マイクロレンズにより集光された光束を通過させる第１の位置、または、マイクロレンズにより集光された光束を遮断する第２の位置に移動可能に構成されたシャッター８８と、シャッター８８を第１の位置または第２の位置に移動させる圧電素子８５Ａとを備える。 （もっと読む）

【課題】反射鏡を支える支持脚の長さや平面度の精度を向上させる必要がなく、反射面の曲率を変えることが可能で、焦点距離やビーム径、ビームモードの調整が可能な曲率可変鏡を提供することを目的としている。
【解決手段】曲率可変鏡１は、円形反射鏡２と、円形反射鏡２の裏面２Ｂ側に距離を隔てて配置される構造部材３と、裏面２Ｂと構造部材３との間に裏面２Ｂの中心を挟んで配置された一対の固定部材４と、一端が裏面２Ｂに垂直に固定され、他端が２本を一組として固定部材４にそれぞれ固定される二組の反射鏡支持脚５と、一端が固定部材４の中間位置に固定され、他端が構造部材３に固定される固定部材支持脚６と、裏面２Ｂの中心２Ｅ付近に一端が固定され、他端が構造部材３に固定される距離変更手段であるピエゾアクチュエータ７と、を備えている。反射面２Ａの曲率を変更することができる。 （もっと読む）

所望の数のデバイスだけが活性化されるように、並列に駆動される電気機械デバイス（例えば、ＭＥＭＳまたはＮＥＭＳ）のアレイに電荷が運ばれうる方法及び装置が説明される。特定の実施形態は、干渉モジュレータ（ＩＭＯＤｓ）を用いて実装された画像表示に関連している。特に、そのようなディスプレイにおいてグレースケールを達成するための空間ハーフトニング技術が説明されるが、これは従来の空間ハーフトニング技術に関連したパワーペナルティーという性質を有していない。
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【課題】低コストかつ簡単に電磁波パルス列を構成するパルス間隔を調整できる。
【解決手段】単発の電磁波パルスを複数の再帰反射素子の配列面に対して斜めに入射する。この結果、傾斜方向に配列された再帰反射素子の位置に応じて伝搬経路長（伝搬時間）が異なる複数の電磁波パルスが生成され、生成された複数の電磁波パルスを電磁波集束器により１本のビームに集束することにより電磁波パルス列を生成する。 （もっと読む）

【課題】 光変調効率（光利用効率）を改善することを可能とする投写型映像表示装置を提供する。
【解決手段】 投写型映像表示装置１００は、光源１０から出射された光を投写ユニット８０側に透過するように構成されており、複数の微小開口部７１を有する透過型デジタル素子７０と、光源１０から出射される光を透過するとともに、光源１０から出射される光を複数の微小開口部７１のそれぞれに分配するように構成されたマイクロレンズ６１とを備える。複数の微小開口部７１のそれぞれは、開閉可能に構成されたシャッタ７３を有する。 （もっと読む）

選択された駆動シーケンスに従って画素アレイを有するディスプレイに表示画像を書き込む方法である。一駆動シーケンスはシーケンスにおいてアレイのライン内のそれぞれの色の行を位置指定したのちに第二のラインを位置指定する位置指定を含む。他の一駆動シーケンスはアレイのそれぞれのラインの第一の色の行を位置指定したのちにアレイのそれぞれのラインの第二の色の行を位置指定する。
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【課題】２つのレーザ光による加工跡が均一になるように２つのレーザ光の強度を調整することができ、２つのレーザスポットの位置が設定された値になるように調整できるレーザ加工装置及びレーザ加工方法の提供。
【解決手段】レーザ光源と、固定手段と、回転手段と、照射位置移動手段と、レーザ光の偏光方向を出射されたレーザ光の光軸に対して変化させる偏光方向変化手段と、偏光方向変化手段により偏光方向が変化されたレーザ光を２つのレーザ光に分離させる偏光ビームスプリッタと、２つのレーザ光の光軸を平行からずらして合成する光学系と、光学系で合成された２つのレーザ光を集光させる対物レンズと、加工対象物に形成された加工跡に非加工強度のレーザ光を照射したときの反射光の特性を加工跡の特性として検出する特性取得手段とを有するレーザ加工装置である。 （もっと読む）

【課題】基板同士を加圧して接合させた場合でも、基板間のミラーが損傷しない波長可変干渉フィルター、この波長可変干渉フィルターを備えた測色センサー、およびこの測色センサーを備えた測色モジュールを提供する。
【解決手段】エタロン５は、透光性を有する第一基板５１と、第一基板５１の一面側に対向するとともに、第一基板５１に加圧接合される透光性の第二基板５２と、第一基板５１および第二基板５２の互いに対向する面にそれぞれ設けられ、互いに対向配置される一対のミラー５６，５７と、一対のミラー５６，５７の間の寸法を可変する静電アクチュエーター５４と、第二基板５２の可動ミラー５７の内周側に設けられるとともに、第一基板５１に向かって突出する支持突出部５２４と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】簡単な配線構造で、接続信頼性を向上させることが可能な波長可変干渉フィルター、測色センサー、および測色モジュールを提供する。
【解決手段】 エタロン５は、第一基板５１と、第一基板５１に接合される第二基板５２と、これらの基板間で互いに対向して設けられる一対のミラー５６，５７と、第一基板５１に設けられる第一電極５４１、および第二基板５２に設けられる第二電極５４２を有する静電アクチュエーター５４と、第一基板５１の外周部に設けられ、第一電極５４１に接続される第一電極パッド５４１Ｂと、第一基板５１の外周部に設けられ、第一電極５４１とは絶縁される第二電極パッド５４３と、を備える。そして、第一基板５１および第二基板５２は、導電性の接合部５４６，５４７により接合され、第二電極５４２および第二電極パッド５４３は、これらの接合部５４６，５４７を介して導通される。 （もっと読む）