【課題】空間光変調素子の劣化を防止することができるパターン投影装置およびレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】本発明にかかるレーザ加工装置１００は、レーザ光源４１から出射されたレーザ光を複数のミラーによって空間変調する空間光変調素子４５と、基板１を照明する照明系３６を含む照明光学系と、空間光変調素子４５に空間変調された変調光を対象物に投影する結像レンズ３８と、空間光変調素子４５から出力されたレーザ光の進行方向を結像レンズ３８の光軸と一致する方向に偏向させる偏向素子４６と、を備え、空間光変調素子４５は、空間光変調素子４５に入射するレーザ光の進行方向が該空間光変調素子４５の基準面の法線とおおよそ平行である。 （もっと読む）

【課題】ブラックアウト時間が比例して長くなる。
【解決手段】撮像装置は、被写体の光学像が入力され、電気信号を出力する撮像素子と、光学像が入力され、撮像素子とは別個に配された光学部材と、光学像が撮像素子に向かう光路と光学部材に向かう光路との間で切り替える複数の単位素子が配列されており、撮像素子に光学像を入力すべく設定した設定時間内に複数の単位素子の少なくとも一部の単位素子が光学像を光学部材に向ける空間光変調素子とを備える。 （もっと読む）

【課題】高ピークパワーの短光パルスを、光学装置の所望の位置で高ピークパワーの短光パルスが得られるように効率良く伝送でき、且つ、高い配置の自由度を有する短光パルスの光ファイバ伝送装置および光ファイバ伝送方法を提供する。
【解決手段】短光パルスの光ファイバ伝送装置は、高ピークパワーを持つアップチャープした短光パルスを出射するチャープパルス源１０と、チャープパルス源１０から出射された、短光パルスを伝送する光導波手段２０と、光導波手段２０から出射される短光パルスに負の群速度分散を与える負群速度分散発生手段３０と、負群速度分散発生手段３０から出射される短光パルスを所望の距離に渡って伝送する光ファイバ４０とを有し、チャープパルス源１０から出射した短光パルスを、光ファイバ４０から実質的に高次の分散による波形歪みを含まないダウンチャープした短光パルスとして出射させる。 （もっと読む）

【課題】梁部に高い振動疲労特性と揺動部に高剛性を持たせつつ小型化された振動素子を提供する。
【解決手段】振動素子は、基体３と、前記基体３から梁状に設けられた梁部２と、前記梁部２の前記基体３側とは反対の側に設けられたミラー部４とを備え、前記揺動部４の少なくとも一部及び前記梁部２は金属ガラスで一体に形成される。次に、真空中でＹＡＧレーザ１０を振動素子のミラー部４に照射して局所的な構造緩和を行う。 （もっと読む）

【課題】光の利用効率に優れた光変調装置及びプロジェクターを提供する。
【解決手段】入射した光束を変調して画像を形成する光変調装置は、画像を構成する画素毎に変調部８０Ａがそれぞれ設けられた構成を有する。変調部８０Ａは、入射した光束を通過させる第１の位置または入射した光束を遮断する第２の位置に移動可能に構成されたシャッター８８と、シャッター８８を第１の位置または第２の位置に移動させる回路部８６及び電極部８７とを備える。シャッター８８は、帯電された帯電部９１〜９４を備える。駆動手段は、帯電部９１〜９４との間で静電力を発生させる透明電極Ｅ１〜Ｅ４を有し、当該静電力でシャッター８８を第１の位置または第２の位置に移動させる。 （もっと読む）

【課題】干渉フィルターに温度センサーを設けた場合でも配線構成を簡単にできる光モジュール、および光測定装置を提供する。
【解決手段】光モジュールは、第一基板、第二基板、第一基板に設けられた第一反射膜、第二基板に設けられて第一反射膜とギャップを介して対向する第二反射膜、電圧印可によりギャップ寸法を変化させる静電アクチュエーター、静電アクチュエーターに接続された外側駆動電極線、および外側駆動電極線に接続された第一センサー配線５５１および第二センサー配線５５２を有する温度センサー５５を備えた波長可変干渉フィルターと、外側駆動電極線に接続されて静電アクチュエーターおよび温度センサー５５に電圧を印加する第一駆動回路７２、および第二センサー配線５５２に接続されて温度センサー５５からの温度検出信号が入力される温度検出回路７４を備えたフィルター駆動回路部と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】従来よりも分光帯域の広いファブリペロー干渉計及びその製造方法を提供する。
【解決手段】初期状態で、固定ミラーと可動ミラーの対向距離が固定電極と可動電極の対向距離以下である。固定電極と固定ミラー構造体の他の部分及び可動電極と動ミラー構造体の他の部分の少なくとも一方が電気的に分離されている。メンブレンは、外端から中心に向けて、第１ばね変形部、可動電極を含む高剛性部、第２ばね変形部、可動ミラーＭ２の順に有する。２つのばね変形部は可動ミラー及び高剛性部よりも剛性が低くされている。また、可動電極における固定電極との対向部分は、メンブレンの中心から外端に向かう方向において、高剛性部の一部のみを占めており、可動電極における固定電極との対向部分の中心と高剛性部における第１ばね変形部側の端部との距離をＬ１、高剛性部の長さをＬ２とすると、Ｌ２／Ｌ１≧３／２を満たすように構成されている。 （もっと読む）

【課題】工程の増大がなく、製造時及び使用時のスティッキングや電流リークを防止できる光フィルター及び光機器を提供する。
【解決手段】光フィルター１は、第１基板２と、第１基板２に設けられた第１ミラー４Ａと、第１ミラー４Ａの周辺に配置された第１電極６Ａと、第１基板２と対向した第２基板３と第２基板３に設けられ、第１ミラー４Ａと対向した第２ミラー４Ｂと、第２ミラー４Ｂの周辺に設けられ、第１電極６Ａと対向した第２電極６Ｂと、を少なくとも有し、第１ミラー４Ａ、及び第２ミラー４Ｂは誘電体多層膜９Ａ，９Ｂを含み、誘電体多層膜９Ａ，９Ｂが、第１電極６Ａ、または第２電極６Ｂの少なくとも一方を覆っている。 （もっと読む）

【課題】高精度な分光測定が可能な光学装置を提供する。
【解決手段】光学装置１は、テレセントリック光学系３１と、波長可変干渉フィルター５と、検出部３２と、を備え、波長可変干渉フィルター５は、第一基板５１と、可動部、および保持部を備えた第二基板５２と、第一基板５１に設けられた第一反射膜５６と、可動部に設けられた第二反射膜５７と、可動部を変位させる静電アクチュエーターと、を備え、第一反射膜５６および第二反射膜５７には、可動部の変位量が最大となった際に、測定中心波長を中心に予め設定された許容値以内となる波長の光を透過可能な測定有効領域Ｇが設定され、テレセントリック光学系３１は、入射光の主光線が平行、かつ第一反射膜に対して垂直となるように、入射光を前記波長可変干渉フィルターに導くとともに、測定有効領域Ｇ内に入射光を集光させる。 （もっと読む）

【課題】基板の貼り合わせによって構成される光フィルターにおいて、光学膜間の平行度を安定した品質で恒常的に確保すること。
【解決手段】光フィルターは、支持部２２を有する第１基板２０と、支持部２２に支持される第２基板３０と、第１基板２０の第２基板３０側全領域に設けられた第１接合膜１０５と、第２基板３０の第１基板２０側全領域に設けられた第２接合膜１０７と、第１基板２０の第１接合膜１０５上に設けられた第１光学膜６３と、第２基板３０の第２接合膜１０７上に設けられた第２光学膜７３と、第１基板２０の第１接合膜１０５上に設けられた第１電極６０と、第２基板３０の第２接合膜１０７上に設けられた第２電極７０と、を含み、第１接合膜１０５と第２接合膜１０７との接合により、第１基板２０と第２基板３０とが固着されており、第１光学膜６３、第２光学膜７３、第１電極６０及び第２電極７０が同一材質で構成されている。 （もっと読む）

【課題】集光光学系による各波長の光の集光位置の配列ピッチを所定ピッチに容易に調整することできる光学装置を提供する。
【解決手段】光学装置１は、光入出力部１０，透過型回折格子２１，レンズ３０およびミラーアレイ４０を備える。透過型回折格子２１は、ｘ軸方向に延在する格子が一定周期で形成されたものであり、入力ポートに入力された光を波長分岐して出力する。透過型回折格子２１は、所定軸の周りに回動自在である。透過型回折格子２１は、回動軸に垂直で波長に応じた方向に各波長の光を出力する。レンズ３０は、透過型回折格子２１により波長分岐されて出力された各波長の光を互いに異なる位置に集光する。 （もっと読む）

【課題】複数の光変調器（９１）及び該複数の光変調器の反射面上の複数のフィルター素子（９５）を含む表示装置（９０）が提供される。
【解決手段】複数の光変調器（９１）が、第１の組の光変調器（９２）及び第２の組の光変調器（９４）を含む。複数の光変調器（９１）の各光変調器が、少なくとも第１状態、第２状態、及び第３状態の間で選択的に切り替えられるように構成される。各状態が、異なるスペクトル反射を有する。複数のフィルター素子（９５）が、第１の組の光変調器（９２）に対応する第１の組のフィルター素子（９６）及び第２の組の光変調器（９４）に対応する第２の組のフィルター素子（９８）を含む。第１の組のフィルター素子（９６）が、第２の組のフィルター素子（９８）と異なる分光透過率を有する。 （もっと読む）

【課題】透過型偏光素子が利用できない真空紫外領域においても円偏光もしくは直線偏光の利用ならびにそれら偏光状態の変調が放射光源を用いずとも可能とする反射型偏光変調素子を提供すること。
【解決手段】光源からの光を略直線偏光状態にする偏光子部と、偏光子部からの略直線偏光を略円偏光または略直線偏光状態にする位相子部とを備えた反射型偏光変調素子において、前記偏光子部は、金属鏡を備え、当該金属鏡による反射で入射光を略直線偏光状態にして位相子部に入射させ、前記位相子部は、位相子部への入射光と透過光の光軸が一致するように配置された平面鏡の組とを備える。 （もっと読む）

【課題】光の利用効率に優れた光変調装置及びプロジェクターを提供する。
【解決手段】入射した光束を変調して画像を形成する光変調装置は、画像を構成する画素毎に変調部８０Ａがそれぞれ設けられた構成を有する。変調部８０Ａは、入射した光束を通過させる第１の位置または入射した光束を遮断する第２の位置に移動可能に構成されたシャッター８８と、シャッター８８に力を加えることでシャッター８８を第１の位置または第２の位置に移動させる圧電素子８７とを備える。シャッター８８は、光変調装置に入射する光束の光軸に直交する平面に対して面外方向に回転することで第１の位置または第２の位置に移動する。 （もっと読む）

【課題】光学部材の固定後にも光学部材の調整時と同等に広い透過帯域を有する波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長選択スイッチ１００は、波長分割多重信号が入出力される入出力ポート１１０と、入力ポート１１０ａから射出された光を分散させて波長帯域の異なる複数の光ビームを生成する分散素子１３０と、生成された複数の光ビームを集光するとともに互いに平行に偏向する集光素子１４０と、互いに平行に偏向された複数の光ビームをそれぞれ偏向する複数の可動ミラー１６２を有するＭＥＭＳミラーアレイ１６０と、集光素子１４０とＭＥＭＳミラーアレイ１６０の間に配置された光学的に透明な平行平板１５０とを有している。平行平板１５０は、複数の光ビームの中心を複数の可動ミラー１６２の中心に合わせるように、集光素子１４０の光軸１４２に対する傾きが調整されている。 （もっと読む）

【課題】 簡単かつ安価で、軽量コンパクトな構成で、複数の波長選択スイッチも用いることなく、１つの波長選択スイッチを用いて、ポート数が多い波長選択スイッチを実現する。
【解決手段】 本発明に係る波長選択スイッチは、第１方向にアレイ状に並び波長多重された光の入力部と出力部とを有する光入出力部（１０）と、入力部から入力された波長多重光をそれぞれの信号波長に分離する光分散手段（１５）と、信号波長に分離された光を収束させる集光要素（１６）と、集光要素（１６）により集光されたそれぞれの信号波長光を所望の出力部にスイッチングさせるよう第１方向に信号光を偏向させる光偏向素子アレイ（１７）から構成される波長選択スイッチであって、集光要素（１６）により収束された光束に対して、光偏向素子アレイ（１７）の光偏向素子が第１方向に複数配列されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微小電気機械装置のアクチュエーション電圧およびリリース電圧の一方または両方を決定する方法を提供する。
【解決手段】装置に接続された少なくとも１つの電極に少なくとも２つの異なる電位を適用し、少なくとも２つの異なる電位で装置の少なくとも１つの電気的応答を検出することを含む。少なくとも一部分状態を決定することに基づいて、アクチュエーション電圧およびリリース電圧の一方または両方が決定される。装置は、ディスプレイに適した干渉変調器のアレイを含むシステムの一部である。この方法はディスプレイピクセル特性における温度に依存した変化を補償するために使用する。 （もっと読む）

【課題】ミラーの回動に要する駆動電圧を低下させる。
【解決手段】光スイッチは、ミラー装置と、制御装置１とを備える。ミラー装置は、回動可能に支持されたミラー１０３と、ミラー１０３から離間して配置された電極３０２ａ，３０２ｂ，３０３ａ，３０３ｂとを有する。制御装置１は、ミラー１０３の回動角を制御する制御電圧をミラー１０３の所望の回動角に応じて電極毎に生成する駆動電圧生成部３と、ミラー１０３と電極３０２ａ，３０２ｂ，３０３ａ，３０３ｂとの間の距離を制御するバイアス電圧をミラー１０３の所望の回動角に応じて電極毎に生成するバイアス電圧生成部４と、制御電圧とバイアス電圧とを電極毎に加算して、加算後の駆動電圧を対応する電極３０２ａ，３０２ｂ，３０３ａ，３０３ｂに印加する加算部５ａ〜５ｄとを有する。 （もっと読む）

【課題】可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることのできる光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】貫通孔４１１に挿通された永久磁石８１１が、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙに固定されることにより、永久磁石８１１を変位部４１の所望の位置に位置決めして固定することができる。詳しくは、永久磁石８１１のＸ軸方向寸法の中心およびＹ軸方向寸法の中心が、回動中心軸Ｘ１，Ｙ２の交点と一致させることができる。これにより、電源８１３，８３３からコイル８１２，８３２に交番電圧を印加することにより、永久磁石８１１が傾斜し、回動中心軸Ｙ２からずれることなく、駆動梁４３を捩じり変形させつつ、変位部４１が回動中心軸Ｙ２まわりに安定して傾斜する。これにより、可動梁４２は、回動中心軸Ｘ１からずれて傾いた屈曲をすることなく、可動部２を安定して回動させることができる。 （もっと読む）

【課題】向上した発光効率を有する、低電力のディスプレイを提供する。
【解決手段】空間光変調器内で使用するための光キャビティ２００は、前部反射面２０２と後部反射面２０４とを含む。前部反射面２０２は、光透過領域２０６のアレイを含み、光透過領域２０６を通して、光２０８は、光キャビティ２００を脱出することが可能である。光２０８は、１つ以上の光源２１０から光キャビティ２００に入る。光２０８は、光透過領域２０６のうちの１つを通して反射されるまで、前部および後部反射面２０２および２０４の間で反射される。 （もっと読む）