【課題】より正確なアライメントを行うことができる偏向素子およびアライメント方法を提供する。
【解決手段】第１，第２パタン６１，６２から構成されるアライメントパタン６を設ける。これによりアライメントパタン６にＸ軸に平行な周波数軸を有する帯状の光を照射したときに、第１パタン６１によって反射される光の光強度と、第２パタン６２によって反射される光の光強度とが、ＭＥＭＳミラーアレイチップ５がＹ軸方向に位置ずれしていない場合には同一となり、位置ずれしている場合には異なるものとなる。そこで、アライメントパタン６からの反射光の波長スペクトルにおける中央の周波数から高低両側に所定の値だけ離間した２つの周波数とにおける光強度を測定し、これらの光強度が同一となるようにＭＥＭＳミラーアレイチップ５のＹ軸方向の位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】温度変化を生じる環境下であっても精度の良いスイッチングが行え、且つ、製造が容易で製品毎のバラツキが少なく、構成が簡単な光スイッチを提供する。
【解決手段】複数本の光ファイバ１１と、複数本の光ファイバ１１の端面が並列して露出された接続面１９，２０を有する固定側コネクタ１２及び可動側コネクタ１３と、固定側コネクタ１２と可動側コネクタ１３の接続面１９，２０同士を対向させた状態で可動側コネクタ１３をスライドさせて固定側コネクタ１２内の光ファイバ１１と可動側コネクタ１３内の光ファイバ１１の接続を切り替えるスライド機構１４と、可動側コネクタ１３のスライド距離を規制するスライド距離規制機構１５と、を備え、光ファイバ１１、固定側コネクタ１２、可動側コネクタ１３、スライド距離規制機構１５がそれぞれガラス製であるものである。 （もっと読む）

【課題】光導波路や光ファイバなどへの入射光を偏向する可動レンズの調芯を行うための２次元位置決め装置において、構成を簡略化し、かつ小型化する。
【解決手段】可動レンズ１１に、その２次元位置決め装置を備える可動レンズユニット１において、前記可動レンズ１１を、前後の蓋およびケースで挟み込んでｚ軸（光軸）方向への変位を規制し、かつｘｙ方向への変位を許容する。一方、ｘｙ平面上の直交する２方向から、厚み方向に電圧を印加することで屈曲変位する一対の第１の駆動部材３１，３２および第２の駆動部材３３，３４で挟み込み、それによる押出しおよび引込みによって前記可動レンズ１１をｘｙ方向に変位させて位置決めを行う。したがって、前後の蓋およびケースは可動レンズ１１を挟み込むような構造でよく、また駆動部材も棒状や帯状であり、構成を簡略化することができるとともに、小型化、特に薄型化することができる。 （もっと読む）

【課題】光導波路や光ファイバなどへの入射光を偏向する可動レンズの調芯を行うための２次元位置決め装置において、構成を簡略化し、かつ小型化する。
【解決手段】可動レンズ１１に、その２次元位置決め装置を備える可動レンズユニット１において、前記可動レンズ１１を、前後の蓋およびケースで挟み込んでｚ軸（光軸）方向への変位を規制し、かつｘｙ方向への変位を許容する。一方、圧電素子３１ａ，３２ａと錘３１，３２ｂとから成る駆動部材３１，３２を前記可動レンズ１１にｘｙ平面上の直交する２方向から取付け、該圧電素子３１ａ，３２ａの伸張時と縮小時との速度差によって前記可動レンズ１１をｘｙ方向に変位させて位置決めを行う。したがって、前後の蓋およびケースは可動レンズ１１を挟み込むような構造でよく、また駆動部材も圧電素子と錘であり、構成を簡略化することができるとともに、小型化、特に薄型化することができる。 （もっと読む）

【課題】捩り撓みヒンジで連結されて相対的に回転する微細加工部材の改良された構造体を提供する。
【解決手段】基準フレームを動的プレート５８に連結し、フレームを捩りバーではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６でプレートに連結する。そして、折返し捩り撓みヒンジ９６はプレート５８をフレーム側から支持するもので、３つの基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃから成り、各基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの縦軸９８の向きは、プレート５８の回転軸６２に垂直ではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６の中間部１０４が、基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの直隣接端１０６を相互連結し、基本ヒンジ素子１０２ｂは、フレームに対して、軸６２を中心とするプレート５８の角回転を測定する捩りセンサ１０８を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】ムービングマグネット型の駆動部を有する変形可能ミラー装置の応答速度、変形精度を向上する。
【解決手段】ミラー面が形成された可撓性部材を変形させるにあたり、駆動力発生部により発生した駆動力を駆動力伝達部により伝達して可撓性部材に印加するものとし、且つ上記駆動力伝達部の先端部は、可撓性部材側に対して固着せず当接させる。これによりミラー面の変形にあたり可動側となる可動側部の質量を従来例の場合よりも大幅に削減でき、可動側部の固有振動数の値をより大とすることができる。また上記駆動力伝達部は、その先端部が球面状とされた柱状部を、ケースにおけるガイド孔に挿入するようにして設ける。これにより、先端部によって上記可撓性部材の押圧基準点に縦方向（上記ケースの表面に垂直な方向）の押圧力が正確に印加されるようにすることができ、ミラー面の変形精度の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】大規模な光スイッチを構成する光学系において、光入出力部の配列規模拡大に伴う光結合損失の増加を抑制し、低損失な光スイッチを実現する。
【解決手段】光信号を光スイッチ内部に入力する複数の光入力ポートを有する光入力部２と、前記光信号を出力する複数の光出力ポートを有する光出力部３とを有する。光入力ポートから入力された光信号を偏向させ、選択された光出力ポートに出力する光スイッチ１である。前記光入力ポートおよび光出力ポートは、それぞれ複数の支持部材（整列基板２７〜３０）に二次元的に配列されて支持される。前記光入力部２および光出力部３は、それぞれ前記複数の支持部材の集合体によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】減圧封止環境下で好適に使用可能なマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス１００は、可動ミラー１１２を有するマイクロミラーチップ１１０と、マイクロミラーチップ１１０に対向して配置される電極基板１３０と、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０との間に配置されてマイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０とを接合するハンダバンプ１５０とを有している。マイクロミラーチップ１１０はまた４つの薄膜永久磁石１２４を有している。電極基板１３０はまたシート状永久磁石１３８を有している。シート状永久磁石１３８と薄膜永久磁石１２４は互いに引き合うことにより、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０とハンダバンプ１５０が相互に密着される。 （もっと読む）

【課題】光の反射面位置により光位相を変調する方式において、ミクロンサイズの構造にマイクロミラーを一体化した構造体の駆動において光波長より十分短い位置精度で光の反射面位置を制御する位相変調素子を提供する。
【解決手段】可動構造体２２の移動を２枚の薄膜金属片持ち梁停止板１３で挟んだ範囲に限定し、所望の光位相変調量から該停止板間距離を設定し、該範囲の中央から両端部に向けより低いエネルギーポテンシャル状態を形成し、メモリセルデータにより該構造体の移動方向を差別化し、該構造体を該範囲のいずれかの端に移動させ、端に形成した該梁停止板によって該構造体を停止し保持安定化させる双安定駆動により、該構造体に一体化したマイクロミラーにより反射される光の光路長を切り替え、再現性の良い光位相変調を実現する。 （もっと読む）

【課題】組み立て時の応力や、組立後の水分や温度変化よるミラー姿勢の変化を可及的に低減し、ミラー揺動軸の初期姿勢精度を向上させる。
【解決手段】 表面は反射面となっており共振振動により揺動する可動子を有するプレート部材と、可動子を共振駆動するアクチュエータと、プレート部材とアクチュエータを保持するホルダと、を備えた光偏向装置であって、前記プレート部材は金属支持部材を介してホルダに保持される構成で、プレート部材と前記金属支持部材がろう接によって一体的に固定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ技術を利用した光学装置において、可動ミラーの沈み込みを抑制し、かつ、可動ミラーの正常動作を阻害しないようにする。
【解決手段】可動ミラーは、可撓梁の上方に可撓梁と接離可能な抑止部を備えている。抑止部の下方への変位量は、可動ミラーの沈み込み量と同じである。可撓梁の下方への変位量が可動ミラーの沈み込み量よりも小さい領域に抑止部を設置すると、可動ミラーが沈み込むことによって抑止部が沈み込んで、抑止部の下方に位置する可撓梁の上面に抑止部が接触する。抑止部が可撓梁の上面によって支持されることによって抑止部の下方への変位量が規制され、可動ミラーの沈み込み量が規制される。可撓梁は、可動ミラーと比較して細長く、柔軟性を有するため、可動ミラーの正常動作を阻害しない。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ技術を利用した光学装置において、可動ミラーの沈み込みを抑制し、かつ、可動ミラーの正常動作を阻害しないようにする。
【解決手段】可動ミラーを支持する可撓梁の下方の基板上に下限規制部を設置する。下限規制部によって可撓梁を下方から支持することによって、可動ミラーの沈み込みを抑止する。下限規制部は、可撓梁と接離可能に設置されており、可動ミラーに沈み込みが無い場合には、可撓梁と下限規制部は離反しているため、可動ミラーの正常動作を阻害しない。可撓梁が下方へ変位し、下限規制部と接触しながら揺動する場合においても、可動ミラーと比較して細長くて弾性がある可撓梁を支持するため、可撓梁と下限規制部との接触による負荷が可撓梁の弾性によって緩和され、可動ミラーの正常動作を阻害しない。さらに、製造工程において、可動ミラー上面側から下限規制部の設置位置を確認し易い。 （もっと読む）

【課題】光変調を行って画像を形成するに当たり、光源から射出される光と光変調装置との相対的な位置調整の作業を簡易化することを目的とする。
【解決手段】光源２Ｒ，２Ｇ，２Ｂと、光源からの入射される光を変調する光変調装置４Ｒ，４Ｇ，４Ｂと、光変調装置に画像信号に対応した駆動信号を出力する制御部１３と、光変調装置により変調された光を表示面に対して走査する走査光学部８と、走査光学部により走査された光を表示面に投影する投影光学部９とを備える。光変調装置４Ｒ，４Ｇ，４Ｂにおいて変調された光を検出する光強度検出部１２ｂと、光強度検出部１２ｂにおいて検出された光強度信号から、光変調装置４Ｒ，４Ｇ，４Ｂに照射される光の照射位置を検出する演算処理部１２と、演算処理部１２における検出結果に基づいて駆動制御信号を生成する照射位置制御部１５と、照射位置制御部１５からの駆動制御信号により駆動され、光変調装置に照射される光の位置を調整する駆動部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】異物が挟まって可動体が動作しなくなりさらには電気的短絡が生じるといった不具合が発生しない微小可動デバイスを提供する。
【解決手段】単結晶シリコン基板６１上に、絶縁層６２を介して単結晶シリコン層６３からなる構造体（固定櫛歯電極５１，５２等）が固定され、基板板面と平行に変位する単結晶シリコン層からなる可動体（可動ロッド４６等）が構造体に保持されてなる微小可動デバイスにおいて、単結晶シリコン基板上面の構造体が存在しない全領域に凹部６４が形成され、可動体が絶縁層を具えずに凹部上に位置し、異物が挟まらない十分な空隙が確保され、かつ構造体が凹部上に張り出すオーバーハング部を持ち、このオーバーハング部の下側にあって構造体を単結晶シリコン基板に固定している絶縁層の周縁が凹部上に懸からない位置に在り、これによって単結晶シリコン基板と単結晶シリコン層との間に微小な空隙が形成されて電気的短絡が防止される。
【選択図】図１１
（もっと読む）

【課題】接触不良を無くし、信頼性を向上させることができる光スイッチを提供する。
【解決手段】ロータリースイッチ装置１は、所定の操作位置に回転操作可能に設けられた操作部１５と、円板形状を有して操作部１５に設けられ、所定の操作位置に基づいて光２を反射する少なくとも１つの凹部１８４を有する凹部群１８３が形成されたライトガイド１８と、ライトガイド１８の側部１８１に向けて光２を出射する発光部１２と、ライトガイド１８の内部を伝播する光２を凹部群１８３を介して受光し、受光した光２の強度に基づいた出力電圧を出力する受光部１４と、を備え、制御部１００は、出力電圧に基づいて所定の操作位置を判定する。 （もっと読む）

【課題】半導体機械構造体において、外部から衝撃が加わってもヒンジが破損しないようにし、耐衝撃性を高める。
【解決手段】光走査ミラー１は、ＳＯＩ基板２００からなる半導体部１００と、半導体部１００の上面、下面に接合されたガラス基板を用いてなる上部保護基板１１０及び下部保護基板１２０を有している。半導体部１００において、可動部５０は、第１ヒンジ５により固定フレーム４に揺動可能に軸支されている。上部保護基板１１０の凹部１１２ａには、可動部５０の揺動軸に向け、ストッパ１１５が突設されている。下部保護基板１２０の凹部１２１には、可動部５０の揺動軸に向け、ストッパ１２５が突設されている。ストッパ１１５及びストッパ１２５が設けられていることにより、可動部５０のｚ方向の変位が制限され、外部から衝撃が加わっても第１ヒンジ５の破損が防止される。 （もっと読む）

【課題】ミラーデバイスと支持基板の位置がずれないように正確に接合することが可能な光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】光反射部２１３を備えた質量部２１と、質量部２１を支持するための支持部２４，２５と、質量部２１を回動可能に支持部２４，２５に連結する、弾性部を備えた連結部２２，２３とが形成された基体２に凹部６１ａ，６１ｂが形成され、基体２と接合し、基体２を支持する支持基板３に凹部６１ａ，６１ｂにはまる凸部６３が形成されている。凸部６３は半田合金をボール状に配置することにより形成されている。凹部６１ａの表面には金属膜６２が形成され、凹部６１ａの金属膜６２と凸部６３を半田接合することにより、凹部６１ａと凸部６３は固定される。一方、凸部６３は凹部６１ｂにはめ込まれるが固定はされない。 （もっと読む）

【課題】主アクチュエータや駆動回路の簡素化を可能とし、また外部から供給する電圧を下げることができるようにする。
【解決手段】基体上に、可動部（可動子４２）と、その可動部に連結されて双安定動作をする変形部材（ヒンジ４１）と、可動部を駆動する主アクチュエータとを備え、その主アクチュエータによって可動部が２つの安定状態間を変位する微細可動デバイスにおいて、変形部材にその２つの安定状態の間に存在するエネルギー障壁を一時的に下げるエネルギー障壁低下手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】初期のギャップ量を所望な値で均一に保持するができ、外力等が発生してもギャップ量の変動を抑制することができるマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス１は、マイクロミラーチップ１０と、マイクロミラーチップ１０を可動させる電極基板３０と、マイクロミラーチップ１０と電極基板３０に介在し、マイクロミラーチップ１０と電極基板３０の間隔を所望の値に保持する中間スペーサ５０と、マイクロミラーチップ１０と電極基板３０を接合する接合部材７０と、を有し、接合部材７０は、コア部材７１を内蔵している。 （もっと読む）

【課題】気密パッケージされたＭＥＭＳアレイ・ベースのＲＯＡＤＭモジュールを提供する。
【解決手段】筐体の側壁および上蓋はコバールから作られ、また基部はアルミナ・セラミックから作られて、筐体の側壁にＡｕＳｎではんだ付けされる。ＭＥＭＳアレイはセラミック基部に取り付けられる。光学系は取り外し可能なテンプレートを使用して予めパッシブ・アライメントされ、光学台にエポキシ樹脂で接着される。光学台は全体としてアクティブ・アライメントされ、セラミック基部に取り付けられる。複数の電気フィードスルー接触ピンがセラミック基部の底部から延びて、ＭＥＭＳをプリント回路基板上のコネクタへ接続する。本発明の一実施形態では追加の電子部品、たとえばＭＥＭＳドライバ回路チップを筐体のセラミック基部へ直接取り付けるために、セラミック基部はモジュールの筐体の側壁の実装領域を越えて延びる。 （もっと読む）