【課題】高精度かつ効率よく光導波路の位置を測定できる検査工程を備えた光電気複合基板及び光電気複合モジュールの製造方法、並びにそれにより得られる光電気複合基板及び光電気複合モジュールを提供すること。
【解決手段】下部クラッドが形成された基板の一方の面上に、コアパターンとともにダミーコアをパターニングする工程（Ａ）と、コアパターン及びダミーコアに反射ミラーを形成する工程（Ｂ）と、基板の他方の面上に、電極パターンとともに、反射ミラーによりダミーコアの反射光が投影される投影領域の近傍に遮光パターンをパターニングする工程（Ｃ）と、遮光されずに通過したダミーコアの反射光の輝度総量に基づき、コアパターンと電極パターンとの位置ずれ量を測定する工程（Ｄ）とを含むことを特徴とする光電気複合基板の製造方法、及び該製造方法による光電気複合モジュールの製造方法、並びに該製造方法により製造される光電気複合基板及び光電気複合モジュール。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線の伝搬損失が少なく、導波モードが位相制御されたＸ線導波路を提供する。
【解決手段】 Ｘ線導波路は、物質の屈折率実部が１以下となる波長帯域のＸ線を導波させるためのコア４０４と、コア４０４にＸ線を閉じ込めるためのクラッド４０２，４０３と、を備える。コア４０４とクラッド４０２，４０３が、コア４０４とクラッド４０２，４０３との界面での全反射によりＸ線をコアに閉じ込めてＸ線を導波するように構成されている。コア４０４が、屈折率実部が異なる複数の物質が２次元以上の方向に周期的に配列された周期構造を持つ。Ｘ線導波路には、コア４０４のＸ線の導波方向に垂直な方向においてＸ線の電場強度分布または磁場強度分布の腹または節の数と周期構造の周期数とが一致する導波モードが存在する。 （もっと読む）

【課題】 光導波路の設計自由度が高い光伝送基板および光伝送モジュールを提供する。
【解決手段】 発光伝送モジュール１０は、厚み方向Ｄ１，Ｄ２に貫通し且つ第１方向Ｄ３，Ｄ４に延びている貫通孔２１ａを有する基板２１と、貫通孔２１ａの内に設けられている光学部材２２とを有し、貫通孔２１ａは、第１方向Ｄ３，Ｄ４に交差する第２方向Ｄ５，Ｄ６において対向して位置し且つ厚み方向Ｄ１，Ｄ２に沿って延びている突出部２１ｂの対を内周部に有している。 （もっと読む）

【課題】光ファイバと光導波路コアとの位置合わせが容易で、基板によらずに光ファイバの位置ずれがしにくい光ファイバコネクタを提供する。
【解決手段】基板上に、ファイバ導入溝を有する光ファイバガイド用コアパターンが形成された光ファイバガイド部材と下部クラッド層上に光信号伝達用コアパターン及び上部クラッド層が順次形成された光導波路とが並設され、光ファイバガイド部材が、光ファイバガイド用コアパターン若しくは第１下部クラッド層と光ファイバガイド用コアパターンとからなり、光ファイバガイド用コアパターン上には上部クラッド層が形成されておらず、且つ、光ファイバガイド部材の光ファイバ導入溝に固定された光ファイバが、光導波路の光信号伝達用コアパターンに光信号を伝達可能な位置に接合するように、光ファイバガイド部材と光導波路が並設された光ファイバコネクタとする。 （もっと読む）

【課題】光伝送性能を損なうことなく、コア層とクラッド層の密着力を向上させた光導波路を提供すること。
【解決手段】光導波路１は、コア部２１と前記コア部２１より屈折率の低いクラッド部２２とを有するコア層２と、前記コア層２を挟んで配置される２つのクラッド層３、４とを備え、前記コア層２と前記２つのクラッド層３、４の少なくとも一方との間に厚さが１から１００ｎｍの薄膜層５を含む。薄膜層５はコア部２１よりも屈折率の高い材料からなるものであることが好ましい。薄膜層５は、コア層２とクラッド層３、４の密着力を向上させ、層間剥離を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】伝送損失およびパルス信号の鈍りが小さく、信頼性の高い光導波路、およびかかる光導波路を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】光導波路１は、コア層１３を有する。コア層１３は、少なくとも２つのクラッド部１５と、２つのクラッド部１５に隣接して設けられ、クラッド部１５の平均屈折率より平均屈折率が高く、かつ屈折率が中心部からクラッド部１５に向かって低くなっており、光を伝送するコア部１４とを備え、シリコーン系ポリマーと、このシリコーン系ポリマーと屈折率が異なるモノマーとを含む層に対して活性放射線を照射して、照射領域内において、モノマーの反応を進行させることにより、未照射領域から、未反応のモノマーを照射領域に拡散させ、結果として、照射領域と未照射領域との間に屈折率差を生じさせることにより、照射領域および未照射領域のいずれか一方をコア部１４とし、他方をクラッド部１５としてなる。 （もっと読む）

【課題】メサ部上の樹脂領域の開口が狭い場合であっても、ＡｕＺｎ膜を含む金属膜をメサ部上に容易に形成することが可能な半導体光変調素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】メサ部３２を保護膜２２によって覆う第１の絶縁膜形成工程と、メサ部３２を樹脂領域２０によって埋め込むとともに、メサ部３２上の該樹脂領域２０の部分に開口２０ｃを形成する工程と、開口２０ｃにおいて露出した保護膜２２、及び樹脂領域２０を保護膜２４によって覆う第２の絶縁膜形成工程と、メサ部３２上の保護膜２２，２４の部分に開口を形成する工程と、Ｔｉ膜を含む金属膜２６ａを、該Ｔｉ膜と保護膜２４とが互いに接触するように開口２０ｃ内を除く樹脂領域２０上に形成する工程と、Ａｕ膜を含む金属膜２６ｂを、該Ａｕ膜とメサ部３２とが互いに接触するようにメサ部３２上から金属膜２６ａ上に亘って形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】伝送損失およびパルス信号の鈍りが小さく、信頼性の高い光導波路、およびかかる光導波路を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】光導波路１は、コア層１３を有する。コア層１３は、少なくとも２つのクラッド部１５と、２つのクラッド部１５に隣接して設けられ、クラッド部１５の平均屈折率より平均屈折率が高く、かつ屈折率が中心部からクラッド部１５に向かって低くなっており、光を伝送するコア部１４とを備え、ポリイミド系ポリマーと、このポリイミド系ポリマーと屈折率が異なるモノマーとを含む層に対して活性放射線を照射して、照射領域内において、モノマーの反応を進行させることにより、未照射領域から、未反応のモノマーを照射領域に拡散させ、結果として、照射領域と未照射領域との間に屈折率差を生じさせることにより、照射領域および未照射領域のいずれか一方をコア部１４とし、他方をクラッド部１５としてなる。 （もっと読む）

【課題】伝送損失およびパルス信号の鈍りが小さく、信頼性の高い光導波路、およびかかる光導波路を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】光導波路１は、コア層１３を有する。コア層１３は、少なくとも２つのクラッド部１５と、２つのクラッド部１５に隣接して設けられ、クラッド部１５の平均屈折率より平均屈折率が高く、かつ屈折率が中心部からクラッド部１５に向かって低くなっており、光を伝送するコア部１４とを備え、（メタ）アクリル系ポリマーと、この（メタ）アクリル系ポリマーと屈折率が異なるモノマーとを含む層に対して活性放射線を照射して、照射領域内において、モノマーの反応を進行させることにより、未照射領域から、未反応のモノマーを照射領域に拡散させ、結果として、照射領域と未照射領域との間に屈折率差を生じさせることにより、照射領域および未照射領域のいずれか一方をコア部１４とし他方をクラッド部１５としてなる。 （もっと読む）

【課題】光変調特性が高性能であるとともに、光の挿入損失について改善された光変調器を提供する。
【解決手段】光導波路と、高周波電気信号を印加するための進行波電極と、光にバイアス電圧を印加するためのバイアス電極と、進行波電極に高周波電気信号を印加することにより光の位相を変調するための高周波電気信号用相互作用部と、バイアス電極にバイアス電圧を印加することにより光の位相を調整するためのバイアス用相互作用部とを具備し、高周波電気信号用相互作用部とバイアス用相互作用部の両方にリッジ部を具備する光変調器において、バイアス用相互作用部に形成されたリッジ部の頂面における相互作用光導波路の端から当該頂面の端までの距離が、高周波電気信号用相互作用部に形成されたリッジ部の頂面における相互作用光導波路の端から当該頂面の端までの距離よりも大きく形成され、バイアス用相互作用部における光の伝搬損失を低減する。 （もっと読む）

【課題】ギャップ部を有する光導波路を、低損失で外部の光伝送体（光ファイバ等）に接続することができる光導波路素子を提供する。
【解決手段】光を導波する高屈折率領域６と、高屈折率領域６より屈折率が低いギャップ部５とを有するコア部４を備えた光導波路素子１０。ギャップ部５は、光の導波方向に沿って形成され、高屈折率領域６を幅方向に２つの部分領域６ａ、６ｂに分離する。コア部４は、導波方向の先端１２ａに向かって部分領域６ａ、６ｂの幅が狭くなる主テーパ部１２を有する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバと光導波路コアとの位置合わせが容易で、基板によらずに光ファイバの位置ずれがしにくい光ファイバコネクタ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の光ファイバコネクタは、基板１上に、光ファイバ３０を固定するための溝８を有するファイバガイド用コアパターン５が形成された光ファイバガイド部材１０と、下部クラッド層２、３上に光信号伝達用コアパターン４が形成され、光信号伝達用コアパターン４上に上部クラッド層６が形成された光導波路２０とが並設された光ファイバコネクタであって、光ファイバガイド部材１０の溝８に固定された光ファイバ３０と、光導波路２０の光信号伝達用コアパターン４とが、光信号を送受可能な位置に接合するように、光ファイバガイド部材１０と前記光導波路２０が並設されてなる。 （もっと読む）

【課題】 リッジ構造やブリッジ構造など有する光導波路においては、コアから外部環境までの距離が非常に短く、コア周辺のクラッドを構成するＰＳＧやＢＰＳＧの湿気による変質は、屈折率や応力変化をもたらし、光導波路の特性を容易に変化させてしまう。そこで本発明は、コア周辺のクラッドの湿気による変質を防止することが可能な光導波路、光導波回路およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 光が導波するコアと、コアを覆うクラッド層と、クラッド層の露出部分を覆う湿性部材とを含む。 （もっと読む）

【課題】小形で、しかも光導波路同士の接続に際し、光の結合損失を低減することができる光コネクタおよびその製法を提供する。
【解決手段】光を伝達するコア１と、その上下に設けられるアンダークラッド層２およびオーバークラッド層３とからなる光導波路と、この光導波路の端部の光接続用フェルールとからなる光コネクタであって、上記光導波路の端部に対応する部位の上記オーバークラッド層３およびアンダークラッド層２の少なくとも一方を厚肉に形成し、この部分を光接続用のフェルール部５，５とする。また、これらフェルール部５，５の間の薄肉部位を光導波路部４とする。この光コネクタは、別途フェルールとしての部品等を必要とせず、光コネクタを小形にすることができる。 （もっと読む）

【課題】異なる大きさのコアパターンを位置ズレが無く、一括形成できるため、効率よく、低コストで光導波路を製造できる方法を提供する。
【解決手段】本発明は、基材１上に、下部クラッド層４、コアパターン５，６、上部クラッド層７を順に積層する光導波路の製造方法であって、下部クラッド層４に凹凸部を形成し、凹部８と凸部９にコアパターン５，６を同時に形成し、凸部９に形成されたコアパターンの厚さが、凹部８に形成されたコアパターンよりも薄いことを特徴とする光導波路の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】ＶＣＳＥＬ等の発光素子の個数が少なくても大きな伝送容量を確保することができるとともに、装置の小型化が容易な光インターコネクション用光送信器を提供する。
【解決手段】光送信器は、波長多重連続光が入力される光導波路１１７と、光導波路１１７の長さ方向に沿って配置され、外部から供給される電気信号に応じて光導波路１１７を通る光に対し、入力ポートからスルーポートへの透過率を変化させて変調を行う複数の変調器１２１と、複数の変調器１２１により変調された光を出力する光信号出力部１１３とを有する。複数の変調器１２１は、変調可能な光の波長がそれぞれ異なる。 （もっと読む）

【課題】検出感度に優れる比色センサセルおよび比色センサを提供すること。
【解決手段】検知部３０と、検知部３０に隣接するサンプル配置部３１とを備える比色センサセル１において、検知部３０に、第１樹脂からなるアンダークラッド層３と、第２樹脂からなり、アンダークラッド層３に被覆されるコア層４とを備える光導波路を備えて、コア層４のアンダークラッド層３と接触する表層に、第１樹脂が第２樹脂に浸透されている樹脂混合層２３を形成する。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板を用い、シリコン基板上に形成された光学通路用ビアホール内部に球形のボールレンズを挿入固定し、大量生産が可能で、既存のＰＣＢ基板に比べて良い熱特性を持たせるようにした光配線構造物およびその製造方法を提供する。
【解決手段】上面に曲率半径を有するように少なくとも一つのレンズ形成用溝が備えられたシリコン基板１０および前記レンズ形成用溝の形状が維持されるように前記レンズ形成用溝を含むシリコン基板上に形成されたシリカ層３０を含むことにより、大部分の工程が半導体工程装置を介して行われ、大量生産が可能で、既存のＰＣＢ基板に比べて良い熱特性を有する効果がある。 （もっと読む）

【課題】本発明は、回路規模を大きくせず回路設計製造を難しくせず、光がスラブ導波路からアレイ導波路に向けて入射するとき、または、光がアレイ導波路からスラブ導波路に向けて入射するときに、挿入損失を低減することができる技術を提供する。
【解決手段】本発明は、光伝搬の方向と略平行な方向に間隔を置いて配置された、伝搬される光を回折させる複数の位相格子ＧＰ１、及び光伝搬の方向と略平行な方向に複数の位相格子ＧＰ１と交互に配置された、複数の位相格子ＧＰ１において回折された光を干渉させる複数の干渉領域ＩＦを有するスラブ導波路１と、複数の位相格子ＧＰ１が一体の位相格子として形成する自己像の明干渉部分の位置でかつスラブ導波路１の端部に、端部が接続されるアレイ導波路２と、を備えることを特徴とする光導波路である。 （もっと読む）

【課題】光導波路と電気回路を高密着に複合化でき、受発光素子と光回路の結合損失や、光導波路の損失のない光電気複合配線板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板１１上に形成された第１クラッド層１２上にコア１３を形成するコア形成工程と、少なくとも片側の表面が粗面化された金属基材１６に、未硬化の樹脂組成物を含む第２クラッド材料層１７を形成する第２クラッド材料層形成工程と、前記金属基材１６が積層された第２クラッド材料層１７を、前記第１クラッド層１２上に形成されたコア１３に埋設するように第２クラッド層１２を積層するクラッド層積層工程と、前記第２クラッド材料層１７の未硬化樹脂組成物を硬化して第２クラッド層１８を形成する第２クラッド層形成工程と、前記金属基材１６上に電気回路を形成する電気回路形成工程と、を有し、前記第２クラッド層１２の樹脂組成物の屈折率が、コア１３の屈折率より低いことを特徴とする光電気複合配線板の製造方法を用いる。 （もっと読む）