【課題】構成が簡単であるばかりでなく、清掃用シートを容易に取り外すことができる清掃用シート巻取軸体を提供する。
【解決手段】清掃用シート巻取軸体５は、軸方向に長手状の開口部10を有する断面略Ｃ字状の筒状部材11を備える。筒状部材11の内周側には軸状部材12を嵌合する。清掃用シートの巻き取り時には、清掃用シート巻取軸体５は、軸状部材12の筒状部材11に対する相対的な回転により、軸状部材12の一部が開口部10から突出した軸径大状態になる。清掃用シートの取り外し時には、清掃用シート巻取軸体５は、軸状部材12の筒状部材11に対する相対的な回転により、軸状部材12が開口部10から突出しない軸径小状態になる。 （もっと読む）

【課題】コンタクト部品のプローブ接点に付着したアルミのクズを適切に除去する。
【解決手段】アルミを含むパッドを有する半導体デバイスの電気的試験を行うために使用されるバンプ付きメンブレンリング１２の洗浄方法であって、バンプ付きメンブレンリング１２は、半導体デバイスのパッドと接触すべき、アルカリ耐性のある素材で形成された導電性のバンプ接点１０６を備え、バンプ付きメンブレンリング１２を用いて電気的試験を行った後に、バンプ接点１０６をアルカリ洗浄する。 （もっと読む）

【課題】清掃すべき空洞部の中心から内壁面までの距離が異なっていても、当該空洞部を画定する内壁面を清掃することが可能であり、また、当該内壁面に対する押圧力に強弱を付けることができ、当該内壁面の汚れ具合に応じた最適な押圧力で清掃を行うことが可能であると共に、空洞部に対し進退方向に移動させるだけで前記内壁面の清掃を行うことができる清掃具を提供する。
【解決手段】芯部材１０と、芯部材１０の外周に沿って取付けられた清掃部２０を備え、清掃部２０は、弾性体からなり、空洞部１０１の開口径よりも大きな径を有すると共に、連続した環状の外面を備えた複数の清掃部材３０と、空洞部１０１の開口径よりも小さな径を有し、清掃部材３０を保持する保持部材４０を備え、清掃部材３０及び保持部材４０は、芯部材１０に、互いに交換可能且つ並べ替え可能に取付けられてなる清掃具１である。 （もっと読む）

本発明は、水性重合体組成物と、水性組成物から形成されたフィルムとに関する。水性組成物は、汚染物質を基板から除去するための方法において用いてよい。水性重合体組成物は、水と、少なくとも１つの水溶性フィルム形成性重合体とを含んでよい。一実施態様では、水性組成物は、少なくとも１つのキレート剤および／または少なくとも１つの界面活性剤をさらに含んでよい。水性重合体組成物は、汚染された基板に塗布してよく、あるいは、清浄な基板に塗布した後、基板を汚染物質に曝露させてよい。水性組成物を脱水させ、および／または、重合体を架橋させてフィルムを形成させてよい。汚染された基板に塗布されるとき、フィルムは汚染物と結合してよい。清浄な基板に塗布されるとき、後で汚染物質をフィルムと接触させ、フィルムに付着させてよい。汚染物質と結合したフィルムは、基板から分離させてよく、その結果は汚染物質の基板からの除去である。

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【課題】本発明は、例えば、半導体、フラットパネルディスプレイなどの製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置のクリーニング方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置のクリーニング方法において、耐熱性樹脂材からなるクリーニング材を装置内に搬送して被洗浄部位に接触させることを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法、特に耐熱性樹脂材のガラス転移温度が１５０℃以上である上記構成の基板処理装置のクリーニング方法、またクリーニング材がシート状または搬送部材の形状である上記構成の基板処理装置のクリーニング方法である。 （もっと読む）

【課題】チャック面上の異物によるチャック面の偏摩耗の防止によりチャック面の平坦度を長期間高いレベルに維持することでシリコンウェーハの平坦度の向上が可能な研削装置用洗浄装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブル１１のチャック面１２の半径に応じた長さを有する洗浄部材３１がチャックテーブル１１のチャック面１２に接触して、チャックテーブル１１のチャック面１２に対して相対的に周方向に回動する。洗浄部材３１のチャックテーブル１１のチャック面１２の半径方向Ｊに垂直な平面で切った断面のうち、少なくともチャックテーブル１１のチャック面１２に接触する部位は曲線で構成されている。また、洗浄部材３１はチャックテーブル１１のチャック面１２の半径方向Ｊに複数に分割され、かつ分割された各洗浄部材３１Ａ、３１Ｂはそれぞれ、押付け部材３２Ａ、３２Ｂによって、チャックテーブル１１のチャック面１２に独立して押し付けられる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、住人や作業者等への悪影響がなく、水質汚染のおそれもないハウスクリーニングシステムを提供する。
【解決手段】本発明のハウスクリーニングシステムは、ハウスにおける家具類１の対象物にマイナスイオン洗浄水をスプレーする行程と、マイナスイオン洗浄水がスプレーされた対象物を所要時間放置する行程と、マイナスイオン洗浄水のスプレーにより対象物から浮き上がった汚れ成分を乾布類で拭き取る行程とを含むものである。 （もっと読む）

【課題】 界面活性剤の使用を回避して十分な洗浄効果を発揮することが可能であり、なおかつ除菌効果を有する洗浄剤を提供する。
【解決手段】 電解質溶液を含む水に超音波をかけて電解水を生成するとともに１００ナノメートル程度の空気泡を生成して得られた除菌洗浄剤を、対象物に塗布して、その後物理的に汚れ及び微生物を剥離する。 （もっと読む）

【課題】生産効率を向上できて、品質を向上できるアルミニウム管の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、アルミニウム素管１０を得る押出工程と、アルミニウム素管１０の外周面を拭き取る拭き取り工程と、拭き取り工程後のアルミニウム素管１０を引抜加工する引抜工程と、を含むアルミニウム管の製造方法を対象とする。拭き取り工程においては、アルミニウム素管１０の外周面に、周方向に沿って配置された複数の押付体６によって弾性部材９を介して拭き取り部材７０を押し付けた状態で、アルミニウム素管１０を拭き取り部材７０に対し相対的に軸心回りに回転させることにより、アルミニウム素管１０の外周面を拭き取り部材７０によって拭き取るようにしている。 （もっと読む）

【課題】ワークに付着したゴミを確実に除去でき、設置場所を選ばないコンパクトな清掃装置を提供する。
【解決手段】対向的に配置される清掃ローラ４ａ〜４ｃを有する清掃ユニット３をベース２に回動自在に取り付け、ワークＷを垂直方向に搬送して、ワークＷに付着したゴミを除去する。 （もっと読む）

【課題】アブレーション加工によって発生したデブリ又は簡易現像後のコーティングの残留物を印刷版から容易に除去できる印刷版の清掃方法、及び、印刷機を提供することである。
【解決手段】印刷版の清掃方法を、レーザ照射によるアブレーション加工によって製版された印刷版Ｐ１を印刷機に備えられた版胴１０の外周に装着する装着工程と、表面に粘着剤を備えた筒状体５０を印刷版Ｐ１に接触させた状態で版胴１０及び筒状体５０を回転させて印刷版Ｐ１の表面のデブリを除去する除去工程とを備えるものとする。 （もっと読む）

【課題】液体処理室において液体処理後の被処理物を液体処理室外に搬出入口から搬出する際、液体処理中の飛散に起因して液体処理室の室内壁面に付着した液滴が、搬出入口に液垂れし、搬出中の被処理物に再付着することにより、乾燥後の被処理物の被処理面に乾燥染みが発生するのを容易に防止する構成を有する電気光学装置の製造装置を提供する。
【解決手段】液体処理室である洗浄乾燥室１の室内において、室内壁面２１に開口された搬出入口２７を覆う形状を有する液滴除去部２１０を配設する。液滴除去部２１０は、液晶装置５０の搬出時には回動モータ２２０によって回動され、搬出入口２７の下方へ移動する。このとき、液滴除去部２１０の水平部２１１によって、室内壁面２１に付着した液滴が拭き取られる。 （もっと読む）

【課題】クリーニング液を使用しなくてもノズルを清浄にクリーニングすることができるノズルのクリーニング装置および電子部品実装装置におけるノズルのクリーニング方法を提供することを目的とする。
【解決手段】電子部品を吸着によりピックアップして基板等のワークに移載するノズル１０の下端部に付着する異物等を除去する際に、凹溝４３ａが形成された下受け部４３により下方から支持されたクリーニングテープ３２の上面にノズル１０を下降させて押し付け、クリーニングテープ３２を凹溝４３ａの内部に押入し、クリーニングテープ３２の下面を凹溝４３ａの底面４３ｃに当接させた状態で、ノズル１０に水平移動ａ、鉛直移動ｂ、水平回転ｃ、排気動作ｄの各動作を行わせることにより、ノズル１０の下端部をクリーニングテープ３２に擦り付けてクリーニングを行う。 （もっと読む）

【課題】
拭き取り部材の押し付け力を均一に保ちつつ、拭き取り対象物の表面の様々な状態に対応できる汚染拭き取り装置を得る。
【解決手段】
６軸力センサ１３によって測定された力から、拭き取り部材を取り付けるスミヤヘッド１１に作用する押し付け方向の力と押し付け位置の移動方向の力を算出し、それらの力が所定の範囲になるように拭き取り部移動機構１２を制御し、拭き取り対象物１５の表面にスミヤヘッド１１を押し付けながら、拭き取り対象物１５の表面に沿う押し付け位置を変えて拭き取り対象物１５の表面を拭き取る。 （もっと読む）

【課題】カメラ内に付着した異物を簡単な操作で、確実に除去できるようにする。
【解決手段】レンズ交換式デジタル一眼レフカメラの内部の固体撮像素子の前面に配置された光学部材の表面に付着した塵埃を除去できるクリーニング装置において、ユーザーに支持される支持部材１１と、表面１２ｂが粘着性を有した略四角形の弾性部材１２を有し、弾性部材１２は導光性を有する素材にて形成されている。 （もっと読む）

【課題】 搬送機能と除塵機能との両立をはかり、基板処理装置内を確実に搬送できるとともに、装置内に付着している異物を簡便、確実に除去できる基板処理装置の除塵部材を提供することを目的とする。

【解決手段】 搬送部材の少なくとも片面に除塵機能を有する層が設けられた基板処理装置の除塵部材において、上記除塵機能を有する層は、表面粗さＲａが０．１０μｍ以上に凹凸加工された部分１と、表面粗さＲａが上記の値よりも小さい平滑な部分２とを有し、上記の凹凸加工された部分１は搬送部材に引かれる２本以上の対称軸に対して左右対称となるように形成されていることを特徴とする基板処理装置の除塵部材、とくに、除塵機能を有する層のシリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力が０．２Ｎ／１０mm幅以上である上記構成の基板処理装置の除塵部材。 （もっと読む）

プロセスチャンバのコンポーネント上に形成されたプロセス堆積物が洗浄される。洗浄法においては、コンポーネント内のガスホールに機械的にピンを押し込み、その中のプロセス堆積物を洗浄する。その後、コンポーネントのセラミック部分を、フッ化水素酸や硝酸のような酸性溶液に晒す。酸洗浄プロセスステップの後、ガスホールのメカニカルピンニングを繰り返すことができる。その後、コンポーネントを、プラズマゾーンに非反応性ガスを導入するとともにプラズマゾーン内に非反応性ガスのプラズマを形成することによりプラズマゾーン内でプラズマ安定化させる。一変形例においては、コンポーネントは、電極を覆っているセラミックを備え且つその中にガスホールを有する静電チャックを備えている。 （もっと読む）

【課題】 棒状電極表面の皮膜や汚れ等を大気に触れること無く自動的に除去できるようにすると同時に、測定中に生じる恐れのある汚れなどの付着を防止し、棒状電極表面の安定化に要する時間の短縮を図り、メンテナンスを不要とすることで測定を長期にわたって連続的に行うことができるようにする。
【解決手段】 棒状電極１４が遊嵌する貫通穴３６を備えたボス部３８と、その周囲に固着された複数の羽根４０とを備え、全体が棒状電極を支軸として回転自在となっている電極表面洗浄器具３２と、それを保持する支持具３４とを具備し、測定液体の流動により前記電極表面洗浄器具が回転し、貫通穴内面が棒状電極外面と擦れ合うことで棒状電極表面の洗浄を行なう。 （もっと読む）

【課題】 容器内部を適切に且つ作業性良く処理することができる容器の洗浄装置および洗浄方法を課題とする。
【解決手段】 容器口部１９から容器内部５に挿入され、容器内部５で拭取り処理を行う処理体１１１を備えた容器の洗浄装置３０であって、処理体１１１は、容器口部１９の径より小さな径の構造体である第１状態と、容器口部１９の径より大きな径の構造体であって容器内部５で拭取り処理を行う第２状態と、の間で変形可能に構成されているものである。処理体１１１を他の処理を行う処理体に変更すれば、容器内面を洗浄する洗浄処理、容器内面を水切りするブロー処理、容器内を乾燥する乾燥処理、容器内面にガス透過抑制剤を噴霧する透過抑制処理、容器内の残留物を吸引する吸引処理を行うことができる。
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【課題】 対物レンズの消毒を、簡易に、かつ、対物レンズの先端に過大な外力がかからないように保護しながら行う。
【解決手段】 対物レンズ２の少なくとも先端の表面に接触させられるとともに、対物レンズ２に対して相対移動可能に配置され、対物レンズ２の表面を拭き取る拭取部材３と、該拭取部材３を対物レンズ２に対して位置決めする位置決め手段４とを備える対物レンズ清掃具を提供する。 （もっと読む）