【課題】 スピンコ−タ−カップ、半導体ウェハ、液晶ガラスなどに付着したレジスト及びレジスト被膜、油膜、塗料及び塗膜等の有機成分及び有機被膜を、短時間で除去すると共に、洗浄液を多数回繰り返し洗浄できる生産性・経済性の優れた洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】洗浄室内に被洗浄物を保持する保持カゴを回転可能に自立させ、更に洗浄液噴射用、すすぎ液噴射用及び乾燥用を共有するノズルを有するノズルヘッダーを回転可能に配設して、保持カゴとノズルヘッダーとの回転方向が双方対向するように設置して、被洗浄物を炭酸アルキレンによる洗浄後エアーで液切りさせた後、精製水によるすすぎを行って、エアー噴射により短時間で乾燥仕上げ処理することと、洗浄後の洗浄液はオゾンを用いた洗浄液再生装置で有機成分を分解して、循環再使用して経済効率を改善する。 （もっと読む）

少なくとも対象物の前洗浄、洗浄及び熱消毒を行う洗浄サイクルを実行する洗浄プラントに関する。洗浄プラントは、第１整列軸に沿って互いに連続するように配置された前洗浄ユニットで構成された第１装置群と、該対象物を並行して処理可能するように上記第１整列軸とは異なる第２整列軸に沿って配置され、上記対象物の洗浄及び熱消毒を行う洗浄熱消毒機で構成された第２装置群と、を備えている。第２装置群は、上記第１整列軸に沿って上記第１装置群から退出する前洗浄済みの対象物を、上記第２整列軸に交差した搬送方向に沿って受け入れることができる。上記第２装置群の搬送方向は、上記第１整列軸と交差している。上記洗浄プラントは、上記第１装置群から退出する対象物が上記第２装置群へ向かうように該対象物を方向転換させるために、上記搬送方向に沿って配列される動作機構を更に備えている。 （もっと読む）

【課題】表面処理槽内を真空状態に保ちながら、この表面処理槽内に収納した作業機構を上下動させるとともに、作業機構の回転、揺動等を可能とする表面処理装置を得る。
【解決手段】内部を真空状態とし得る耐圧槽1と、この耐圧槽1内に挿入して上端側を耐圧槽1から外方に突出し、この突出部17に上下動機構18を接続して上下動可能とする筒形の耐圧ケーシング7と、上記突出部17に配置した回転駆動機構16と、この回転駆動機構16に接続して回転可能であって、耐圧ケーシング7に貫通して配置した駆動軸13と、この駆動軸13の下部に接続した回転伝達機構24を介して駆動軸13の駆動力を伝達し、表面処理作業を行う作業機構34と、前記耐圧槽1と耐圧ケーシング7との外気連通部に配置し、耐圧槽1内の気密性を保持する耐圧真空シール材36と、前記耐圧ケーシング7と駆動軸13又は／及び回転伝達機構24との外気連通部に配置し、耐圧槽1内の気密性を保持する駆動真空シール材40とを備える。 （もっと読む）

【課題】複雑な形状や細孔のある部品や、接着材のような洗浄が困難な汚れが付着している部品を洗浄する場合においても、少ない設置スペースで安全に被洗浄物を洗浄することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】この洗浄装置は、１つの洗浄槽と、被洗浄物を洗浄及び／又はリンスするために超音波を発生する超音波発生器と、準水系洗浄剤を一旦貯蔵する再生洗浄剤タンクと、準水系洗浄剤を洗浄槽から再生洗浄剤タンクに移動させる循環手段と、リンス液を８０℃以上の温度で貯蔵するリンス液貯湯タンクと、準水系洗浄剤が洗浄槽から再生洗浄剤タンクに移動した後に、リンス液貯湯タンク内に貯蔵されているリンス液を洗浄槽内に注入するリンス液注入調整手段と、リンス液を洗浄槽から一気に排出して被洗浄物の表面を乾燥状態に至らしめるリンス液排出調整手段と、循環手段等を制御する制御手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】植物性洗剤を含有する洗浄液を利用して、工業用部品等の各種の被処理体の洗浄処理を、好適に行えるようにする。洗浄効果を確実に向上させる。
【解決手段】洗浄液は、植物性洗剤、又は、植物性洗剤を希釈させた溶液とした。洗浄装置１には、洗浄液に被処理体２を浸漬させることにより被処理体２の洗浄を行う洗浄槽１１と、洗浄槽１１に供給する洗浄液を貯留するタンク３０と、タンク３０に貯留された洗浄液を洗浄槽１１に供給する洗浄液供給路３２とを備えた。洗浄槽１１には、洗浄槽１１に貯留された洗浄液に超音波振動を与える超音波振動発振器１２を備えた。タンク３０には、タンク３０に貯留された洗浄液を加熱するヒータ６１を備えた。 （もっと読む）

本発明は、洗浄対象物（１１２）を洗浄するための洗浄機（１１０、２１０、３１０）に関する。前記洗浄機（１１０、２１０、３１０）は、洗浄液を使用して洗浄対象物（１１２）を洗浄するための少なくとも１つの洗浄領域（１１８、１３４、１３８、２１２）を備えている。洗浄機（１１０、２１０、３１０）は、洗浄対象物（１１２）を少なくとも部分的に乾かすのに使用することのできるマイクロ波乾燥装置（１６０）も備えている。 （もっと読む）

【課題】重装備で且つ維持管理も厳格に行うことを要する従来の洗浄・滅菌装置、或いは手術に用いた医療器具の殺菌には不適当な従来の殺菌装置の課題を解決する。
【解決手段】洗浄対象の器具が浸漬、且つ加熱するヒータ１４が設けられたポット部１２を具備する貯留タンク１０と、給排出手段と蓋部１８の天井面に向けて、ポット部１２で加熱された洗浄水を噴射する噴射ノズル２０，２０と、超音波洗浄を施す超音波発信装置１６と、前記超音波洗浄を施した器具の一部が露出するように貯留タンク１０に貯留された洗浄水をポット部１２で加熱して噴射ノズル２０，２０に送液するポンプとを備え、且つ貯留タンク１０内に各洗浄に用いる所定量の洗浄水を貯留するように前記給排手段を制御する制御手段を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大型の被洗浄物であっても、超音波が被洗浄物の全域に渡って照射が可能で、被洗浄物の表面近傍の溶出金属イオン、パーティクルなどの洗浄効果が得られ、大型被洗浄物の洗浄ができる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】本超音波洗浄装置は、水を貯える貯水槽と、この貯水槽内に移動可能に設けられ、かつ洗浄される被洗浄物が収容され、純水がオーバフローするように供給される石英ガラス容器と、この石英ガラス容器に純水を供給する純水供給装置と、石英ガラス容器の移動位置に対向して貯水槽の底部に配される超音波振動子と、石英ガラス容器を移動させる石英ガラス容器移動機構を備える。 （もっと読む）

【課題】超音波による二槽層洗浄方式において、超音波の洗浄効果を内槽内の位置によるバラツキなく被洗浄物である磁気ディスク用ガラス基板にもたらす超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】超音波洗浄装置１００は、洗浄液１４０を貯留するための内槽１１０と、超音波媒体液１５０を貯留して超音波媒体液１５０中に内槽１１０を保持するための外槽１２０と、外槽１２０の底面に取り付けられ、超音波を放射し、内槽１１０内の洗浄液１４０中に設置される磁気ディスク用ガラス基板１７０を超音波洗浄する超音波発振板１３０と、内槽１１０の底面１９０に滞留する気泡２００を底面１９０の外側に移動させるよう、超音波媒体液１５０中に液体を放出する液体放出手段２５０とを含む。これにより、内槽底面１９０に滞留する気泡２００が除去される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、筒状の洗浄対象物であっても、洗浄対象面を損傷させることなく好適に電解洗浄を行うことができる電解洗浄装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る電解洗浄装置は、電解洗浄液を収容する洗浄槽２内において、陰陽一対の電極１０，２０間に洗浄対象物６０を配置するとともに、これら一対の電極１０，２０及び洗浄対象物６０を電解洗浄液中に浸漬して通電し、電解洗浄を行う電解洗浄装置であって、前記洗浄対象物６０は、洗浄対象部位６１を外周側に有する筒状体であり、前記一対の電極１０，２０のうちの一方の電極１０が前記洗浄対象物６０を保持して該洗浄対象物６０と電気的に接続し、前記一対の電極１０，２０のうちの他方の電極２０が洗浄対象部位６１と間隔をあけて配置され、且つ、前記洗浄対象部位６１の少なくとも一部と対向するような構成となることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複雑な形状で汚れが取り除きにくい物品の超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】横断面または縦断面が多角形状である洗浄槽の所定の辺部に超音波振動子を設置し、該超音波振動子から発振された超音波を洗浄槽内の洗浄液に印加した後、該超音波を洗浄槽の対向する壁面で順次に反射させながら進行させることにより、洗浄槽内に装入された被洗浄物に超音波を異なる方向から印加して得られる超音波反射波の複合効果によって効率的に洗浄する超音波洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】
横型回転羽根方式の従来の洗浄機において、石、金属等硬い異物の混入は厳禁とされている。これらは高速で回転する羽根に当たり、ケーシングや回転羽根に損傷与える他、しばしば回転羽根とケーシング間にかみ込む。更に、被被洗浄物投入後前半で水を噴霧、洗浄し、後半で遠心力で脱水する場合、軸が長くかつ水平のため大きな曲げ荷重がかかる。
【解決手段】
本発明は回転羽根２が鉛直軸の回りに回転する縦型とし、縦型円筒ケーシング３への投入口４を下方に、排出口５を上方とし、かつ回転羽根２の下端とケーシング３の底板１０との間に異物回収空間９を備えた。これにより比重の重い小石等は、投入後速やかにケーシング底部に落下し回収できる。又、縦型である事と、脱水時の水切り改善効果による装置の短縮化により回転軸の負荷荷重が激減した。 （もっと読む）

【課題】汚れと付着洗浄液とを確実に落としてコインを回収することができるコイン洗浄装置の提供。
【解決手段】コインＣが投入されるホッパ１２と、該ホッパ１２からコインＣが供給される回転ドラム２２と、コインＣの外径よりも小径な多数の通孔２２ａを有して回転ドラム２２の下部側の洗浄液Ｌ中への浸漬を自在に配設される洗浄液槽３２と、該洗浄液槽３２内に配設される超音波振動子３４と、回転ドラム２２から導出されるコインＣを前上がり方向へと搬送する第１搬送手段４２と、該第１搬送手段４２からコインＣを受け取って方向を変えた前上がり方向へと搬送する第２搬送手段５２と、該第２搬送手段５２の始端５２ａ側に位置するコインＣを水洗いするシャワー手段６２と、第２搬送手段５２による搬送後のコインＣの付着液滴を除去する除液手段７２とを少なくとも具備させた。 （もっと読む）

【課題】大きさの異なる基板を、割れや欠け等の不具合を発生させることなく容易に洗浄する。
【解決手段】収納カセット３は、異なる大きさの液晶表示パネル２が収納可能であり、収納カセット３に収納されている液晶表示パネル２の大きさによって、洗浄槽１１における洗浄液１０の循環量および超音波の発振出力量を調整する制御部２７と、収納カセット３に収納されている液晶表示パネル２の大きさを検出する検出センサ１３とを有し、制御部２７は、検出センサ１３により検出された液晶表示パネル２の大きさにしたがって、洗浄液１０の循環量および超音波の発振の出力量を調整する。 （もっと読む）

【課題】機械部品、電気部品などの被洗浄物を良好に洗浄乾燥することができると共に、真空吸引するための設備費を低減でき、洗浄槽の保守点検や清掃作業を容易に行なうことができる洗浄乾燥装置を提供する。
【解決手段】洗浄槽１の下部に洗浄液を収容し超音波発振器２９を配置してなる浸漬洗浄室２を設けられ、上部に被洗浄物を出し入れする出入室３が設けられる。被洗浄物を浸漬洗浄室２と出入室３との間で昇降させる昇降装置７が洗浄槽１内に配設される。洗浄槽１の出入室３の側部に真空乾燥室２１が連通して配置される。真空乾燥室２１は連通口１７を真空室シャッター１８により閉鎖可能とされ、内部を真空ポンプ３０により減圧する。洗浄槽１上部の出入室３と真空乾燥室２１との間で被洗浄物を水平移動させる水平移動機構２２が設けられる。 （もっと読む）

【課題】ジェット洗浄による粗洗浄と超音波洗浄による精密洗浄に於いて、洗浄水量の減少化を図る。
【解決手段】洗浄槽１０内に向けて、洗浄水としてのジェット水流を噴射ノズル２２ａ，２２ｂから噴射して、洗浄器材に付着する汚れを除去し、汚れを含む洗浄処理水を洗浄槽１０から排水するジェット洗浄手段と、前記ジェット洗浄手段で洗浄された洗浄器材が収容されている洗浄槽１０内に、前記洗浄器材が浸漬するように洗浄剤を含有する洗浄液を貯留し、前記洗浄器材に対して超音波発信器２０から超音波を照射して、前記洗浄器材に残留している汚れを除去する超音波洗浄手段と、洗浄槽１０の上方に設けられたリザーブタンク１４に、前記超音波洗浄手段で用いた洗浄水を貯留する貯留手段と、リザーブタンク１４に貯留された洗浄水を、洗浄槽１０に移動して超音波用洗浄水として再使用する再使用手段とを具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型化・省スペース化を図ることができ、構成が簡単で、据付作業が容易で、作業性と処理効率を向上することができる、エアフィルタユニットの洗浄装置を提供する。
【解決手段】循環経路に沿って等間隔に配置され、それぞれ、エアフィルタユニットを着脱自在に保持する複数のハンドリング装置３８と、ハンドリング装置の間隔を保ちながら全てのハンドリング装置を循環経路に沿って同時に移動させる搬送装置３０と、循環経路に沿って、エアフィルタユニットを洗浄する工程順に等間隔に配置され、それぞれが同時にハンドリング装置に対向する複数の処理槽２２，２４，２６，２８とを備える。ハンドリング装置３８が処理槽２２，２４，２６，２８を順に移動し、ハンドリング装置３８に保持さているエアフィルタユニットが処理槽２２，２４，２６，２８で順に処理される。 （もっと読む）

【課題】処理液の上部に保護液層を形成することにより、処理液の損耗を防止することができるとともに、処理液及び基板の汚染を防止することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】噴出管７から処理液を処理槽１に供給させつつ回収槽１７から処理液を排出させるとともに、保護液供給部１９から純水を供給させつつ処理液排出孔１５及び回収槽１７から純水を排出させて、処理液の上面に純水による保護液層ＰＬを形成させる。保護液層ＰＬにより処理液の上面が塞がれた状態となるので、リフタ３３による基板Ｗの搬入出の際にオートカバー２７を開けても、処理液の蒸発が抑制できる。したがって、処理液の損耗を防止できるとともに、オートカバー２７への付着を防止でき処理液及び基板Ｗの汚染を防止できる。 （もっと読む）

【課題】寝具を回転フレームの内周に沿ってセットして、回転フレームを回転させながら寝具の洗浄や乾燥を行なうにあたって、オゾン殺菌を行なうことができる寝具の洗浄装置を提供する。
【解決手段】軸周りに回転駆動される筒かご状に形成され、内周に沿って出し入れ自在に寝具１がセットされる回転フレーム２を洗浄槽３内に配置して設けた寝具の洗浄装置に関する。回転フレーム２を回転駆動しながら回転フレーム２の内側から寝具１に洗浄水を供給して寝具１を洗浄する洗浄手段。洗浄後に回転フレーム２を回転駆動して寝具１を脱水する脱水手段。回転フレーム２を回転駆動しながらオゾンを洗浄槽３内に供給して寝具１をオゾン殺菌するオゾン供給手段。寝具１をオゾン殺菌した後に、回転フレーム２を回転駆動しながら温風を寝具１に吹き当てて寝具１を乾燥する乾燥手段。これらの各手段を具備して、寝具１を洗浄、脱水、オゾン殺菌、乾燥することができる。 （もっと読む）

【課題】
人体への影響、環境への影響等を与え得る薬剤を用いることなく洗浄対象物を十分に洗浄でき、洗浄対象物を洗浄した際の使用後水を再利用出来る洗浄処理システム等を提供する。
【解決手段】
洗浄対象物を洗浄処理するための洗浄処理システムであって、洗浄対象物を純水中で超音波により洗浄する洗浄装置と、洗浄装置で使用した使用後水を遠心力を用いて濾過材及び吸着材により濾過する第一濾過装置と、第一濾過装置で濾過した処理後水を廃水と純水に分離する第二濾過装置と、第二濾過装置により分離した純水を洗浄装置に供給する構造に構成し、第一濾過装置は、筐体と、この筐体の内部に配置し、使用後水が供給され、側壁が透水性を有する回転子と、回転子の側壁の内壁面上又は内部に配置した濾過材と、回転子の側壁の内壁面上又は内部かつ濾過材の外側に配置した吸着材とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）