【課題】 排液による大気への連通を抑制することにより、減圧乾燥の効率を向上させることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 処理液供給部１６から処理槽１に処理液を供給し、昇降ユニット７を処理槽１内に移動して基板Ｗを処理液に浸漬させる。その後、昇降ユニット７を処理槽１内から空間ＳＰへ移動して減圧部３１による減圧を行っても、外槽５の排出配管６７には密閉容器６９が設けてあるので、排出配管６７の下流から乾燥位置に気体が流入することが抑制される。したがって、十分に空間ＳＰ内を減圧することができ、減圧乾燥の効率を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】スピンコーターカップ、半導体ウェハ、液晶ガラス基板等の被洗浄物に付着したレジスト等の有機被膜を短時間で除去するとともに、洗浄液を換えずに多数回にわたり繰り返し使用することが可能な生産性、経済性に優れた洗浄装置を提供する。
【解決手段】 洗浄室内に被洗浄物を保持する保持かごを回転可能に配設し、さらに洗浄室内に被洗浄物に向けて噴射ノズルを設置して、炭酸アルキレンによる洗浄、純水によるすすぎの後に、被洗浄物に向けて温風を噴射して液切りする。被洗浄物を洗浄した後の炭酸アルキレンは、洗浄液再生装置でオゾンにより有機被膜成分を分解して、循環再使用する。 （もっと読む）

【課題】廃プラの洗浄と脱水を一つの流れの中で行い、洗い落とされ、弾き飛ばされた異物を排出するようにして高品位の廃プラ再生品を得ることができる装置を提供する。
【解決手段】ケーシング１２の上流側に廃プラ投入口１５が開口し、下流側に廃プラ排出口１６が開口し、筒状ネット１３の下側に異物排出スクリュー１８が設けられ、その下流側に異物排出口１７が開口している。主軸１９の中間には仕切り盤２０が取り付けられ、主軸全体に螺旋翼１１ａが設けられ、上記投入口１５側の任意位置に洗浄液を噴出するノズル２１が設けられている。上記螺旋翼１１ａに代えて、螺旋軌道上にブレード１１を間欠的に稙設してもよい。また、上記ブレード１１の隙間を縫うようにして固定ブレードを稙設してもよい。このように回転・固定ブレードは、仕切り盤の上流側に設けることにより廃プラが洗浄液と接触する機会が多くなって洗浄効果を上げることができて高品位の廃プラ再生品を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】洗浄用溶剤中に被洗浄物を浸漬した後、該被洗浄物を洗浄用溶剤から取り出して乾燥させる洗浄工程に使用される洗浄用溶剤において、前記被洗浄物がどの程度、乾燥しているかを確認する簡易な方法を提供する。
【解決手段】洗浄用溶剤中に被洗浄物を浸漬した後、該被洗浄物を洗浄用溶剤から取り出して乾燥させる洗浄工程に使用され、かつ、前記洗浄用溶剤が芳香性溶剤を含有する。前記芳香性溶剤の沸点が脱脂性溶剤よりも高いことにより、被洗浄物の乾燥工程において、該被洗浄物に含まれた脱脂性溶剤が完全に揮発した後も芳香性溶剤が残存し、被洗浄物にかすかな芳香を付与することができ、該芳香の度合いにより、人間の嗅覚で乾燥度合いを判断することができる。 （もっと読む）

【課題】 従来人手で行われていた探傷液付着後の鋳造品の洗浄を自動化して大幅な工数低減を図る。
【解決手段】液排出穴４１が設けられ、斜め上方へ向けて傾斜姿勢で設置された、探傷液が付着した鋳造品Ｗを収容するための容器体４と、当該容器体４を傾斜姿勢で回転させるモータ３と、容器体４内の鋳造品Ｗに対して洗浄水ＬＱを噴射する噴射ノズル５とを具備している。上記容器体４を、液排出穴４１を多数形成したパンチングメタルで構成し、当該パンチングメタルの材質を鋳造品Ｗよりも柔らかいものにする。 （もっと読む）

【課題】 ワークに確実に超音波を作用させて洗浄することを可能とし、袋穴等を有する洗浄が困難な被洗浄物であっても確実に洗浄可能とする。
【解決手段】 洗浄槽１０にワーク２２をセットし、洗浄槽１０に洗浄液３０を供給した後、洗浄槽１０を減圧し、次いで洗浄槽１０を大気開放した状態で洗浄液に超音波を作用させて洗浄する超音波洗浄方法において、前記洗浄槽１０にワーク２２をセットする際に、ワークの上方および側方を覆うように内槽２４を配置し、前記洗浄槽１０を減圧した後、洗浄槽１０を大気開放することにより、前記内槽２４に洗浄液３０を満たし、この状態で洗浄液に超音波を作用させる工程と、洗浄液３０に所定時間超音波を作用させた後、前記洗浄槽１０を減圧し、前記内槽２４に満たされていた洗浄液３０を内槽２４の洗浄領域から排出させる工程とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 従来のアルカリ洗浄剤はアルミなどの非鉄金属を容易に腐蝕させることから、アルミが部品の少なくとも一部に使用されている電子部品等の洗浄には使用できなかったため、アルミ非腐蝕性に優れたアルカリ洗浄剤を提供する。
【解決手段】 有機アルカリ（Ａ）、水、並びに分子量３２〜数平均分子量５００のモノオール（Ｂ１）、分子量６２〜数平均分子量２５０のジオール（Ｂ２）、分子量９２〜数平均分子量４００の３〜９価のポリオール（Ｂ３）、および（Ｂ１）もしくは（Ｂ３）のアルキルエーテル（Ｂ４）からなる群から選ばれる１種または２種以上の親水性有機溶剤（Ｂ）を含有し、アルカリ金属またはアルカリ土類金属の含有率が１，０００ｐｐｍ以下であるアルカリ洗浄剤。 （もっと読む）

【課題】ケーシング内においてプラスチック片にほぼ一定の送りをかけて不均一な滞留個所が生じ無いようにし、遠心力で効果的に洗浄や脱水を行い、また比較的少ない水で洗浄を行い、洗浄装置としても脱水装置としても利用可能にする。
【解決手段】廃棄プラスチックの洗浄・脱水装置１（１Ａ）は、一端部に廃棄プラスチック片Ｐの投入口１１を有すると共に他端部に処理済みプラスチック片Ｐ２の排出口１２を有し、下部に処理流体排出用空間１３とその出口１３ａを有した横長のケーシング１０と、その内部に回転可能に軸承された横長の回転軸２１と、該回転軸の周囲に、投入されたプラスチック片を回転中に投入口側から排出口側に送りをかけるように捩って取り付けられた複数のパドル２５、２６と、ケーシング内部において上記パドルを取り囲むように取り付けられた多孔筒３０とを有している。排出口には横送りスクリューコンベヤ３５が接続されている。 （もっと読む）

【課題】道床用砕石の窪内に入り込んだ汚れに対しても確実、迅速に洗い流せるようにする。
【解決手段】投入部３から投入された道床用砕石を砕石反転手段５によって反転させながら出口へ向け移動する前記砕石反転手段上の砕石に対して高圧水噴射手段７によって高圧の洗浄水を噴射し全表面にわたって洗浄を行なう。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコンロッドを均一に洗浄し、前槽の洗浄液の持ち込みが少なく、洗浄効果に優れた洗浄方法と洗浄装置を提供する。
【手段】多結晶シリコンを切断して得たロッドをバスケットに収納し、該バスケットを洗浄槽に浸漬して上記ロッドを洗浄する方法において、洗浄槽内で上記バスケットの片側を上下動して該バスケットを傾動することによって、バスケット内部のロッドを揺動ないし回転させて酸洗浄や純水洗浄を行い、あるいは上記バスケットの底部にロッドが脱落しない大きさの開口を設ける一方、バスケットを載置する支持台の上面に上記開口部を通じてロッドを回転する手段を設け、洗浄槽内で上記バスケット内部のロッドを強制回転させて酸洗浄や純水洗浄を行うことを特徴とする洗浄方法および装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は穀類や豆類、ゴマ等を多量の洗浄水を用いることなく、連続的に効率よく洗浄することができるとともに、皮が破けたりするのを確実に防止でき、かつ異物を効率よく除去することができるゴマ等の洗浄方法およびゴマ等の洗浄装置を得るにある。
【解決手段】傾斜状、螺旋状あるいは少なくとも1個以上のじゃま板が配管内に設けられた洗浄配管内に、加圧された洗浄水あるいは加圧された微細気泡洗浄水を流す加圧洗浄水を流す工程と、この加圧洗浄水を流す工程で洗浄配管内を流れる加圧洗浄水によって、ゴマ等を該洗浄配管内へ供給するゴマ等の供給工程とでゴマ等の洗浄方法を構成している。 （もっと読む）

【課題】有機溶剤を用いた基板処理において、乾燥性能を低下させることなくレジスト膜の溶解を抑制する。
【解決手段】基板Ｗの浸漬中に第１の気体吐出部５６５および第２の気体吐出部５６６から窒素ガスを吐出し、ケーシング５６０内から不要な酸素や水蒸気を排除しておく。そして、純水から基板Ｗを引き揚げつつ、第２の気体吐出部５６６からＩＰＡ蒸気を吐出する。引き揚げられる基板Ｗには、直接的にＩＰＡ蒸気が吹き付けられるので、基板Ｗの表面にＩＰＡが効率よく凝縮する。このため、乾燥性能を低下させることなく、供給するＩＰＡの濃度を低下させることができ、基板Ｗ表面に形成されたレジスト膜の溶解を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 洗浄後の洗浄物への溶剤の残留を有効に抑制し、洗浄による清浄度の向上を図ること。
【解決手段】 洗浄物を保持し、洗浄槽に浸漬される洗浄物保持具１であって、洗浄物を配置するトレイ１０と、このトレイの洗浄物配置面に立設され洗浄物の周囲を囲う囲い部材１１と、洗浄物がトレイから離間して離脱することを規制する離脱規制部材２０と、を備え、囲い部材１１に囲まれた洗浄物５の周囲に、当該洗浄物に対して洗浄時に用いられる溶剤を流出入させる開口部を形成した。 （もっと読む）

【課題】 破砕された樹脂製シート等が回転軸に絡まないような洗浄装置を提供する。
【解決手段】 異物により汚染された樹脂製シート等の投入口と、投入樹脂製シート等が滑る傾斜板２３ｄとを有するホッパーと、水平方向に長さを有し、一端側には該ホッパーと連通した開口を有するとともに、内部は上記汚染樹脂製シート等を洗浄する円筒状の処理槽と、該処理槽内に配設された回転軸と、基端が回転軸に固定され、先端が該処理槽の内周面側に位置し、該処理槽の長さ方向と同じ方向に長さを有する複数の回転羽根と、該処理槽内に洗浄液を噴射する噴射ノズルと、異物および洗浄液の排出口と、該処理槽の他端側に形成された洗浄後の樹脂製シート等の排出路とを備え、上記傾斜板の処理槽側端部は上記複数の回転羽根が水平とされた状態において、該回転羽根の上面よりも上方に位置し、該複数回転羽根の傾斜板側端部は回転方向に傾斜してなる。 （もっと読む）

【課題】 従来の超音波洗浄装置は、複数の洗浄槽と、リンス等の仕上り用の洗浄槽と、乾燥用の処理槽等の如く、複数の槽を有し、かつ複数の槽を縦列配備するバッチ方式であった。装置の複雑化と、大型化及び／又は設置スペースの拡大化等を招来する。また多数の被洗浄物を水又は液中に浸漬するバッチ方式は、洗浄効果が必ずしも十分とは云えない品質の問題がある。
【構成】 フレームに回転自在に設けた出入り口を供えたメッシュドラムと、メッシュドラム用の駆動部と、メッシュドラムに内装した洗浄用、乾燥用の各ノズルと、洗浄槽に設けた超音波振動子とで構成した超音波洗浄装置で、メッシュドラムの大径部を、洗浄槽の上部に配し、この大径部に至った小物部品に、超音波振動子のキャビテーションを付与し、小物部品をメッシュドラムの螺旋羽根で搬送中に洗浄処理する超音波洗浄装置である。 （もっと読む）

【課題】切削加工又は研削加工によって得られた部品から効率的に切り屑、油、洗浄液等が除去される洗浄装置２の提供。
【解決手段】洗浄装置２は、圧力容器６、架台８及び案内板１０を備えている。圧力容器６は、本体１２及び蓋体１４を備えてる。本体１２は、注入口１６及び排出口１８を備えている。注入口１６は、逆止弁２０及び配管２２を通じて、コンプレッサー４と連結されている。排出口１８には、仕切り弁２４が装着されている。架台８は、圧力容器６に収納されている。架台８は、ネット状である。案内板１０は、圧力容器６に収納されている。案内板１０は、傾斜している。架台８には、バスケット２８が載置されている。このバスケット２８には、切削加工又は研削加工で得られた多数の部品が収納されている。 （もっと読む）

【課題】 ダイレクトパス方式を採用しながらも、洗浄力を向上することが可能な洗浄治具を提供する。
【解決手段】 被洗浄物を内部に収容する開口部３を有し、洗浄液の流れを受けて回転する洗浄治具本体２と、洗浄治具本体２を回転自在に収納する収納治具３０とを備え、洗浄治具本体２が回転することにより開口部３に収容された被洗浄物に洗浄液が多方向から接触して洗浄する。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で、容易にプラスチックス製の品物を粉砕し洗浄して、再度プラスチックス製の品物を製造することをできるプラスチックスの洗浄装置と処理装置と品物製造方法を提供しようとする。
【解決手段】
従来のプラスチックス製のフレーク状破砕片を洗浄する洗浄装置にかわって、洗浄液を貯留可能な処理槽と、フレーク状破砕片を収納することのできる収納空間を囲い所定の大きさの多数の貫通穴が設けられた面材を有する容器と、前記処理槽に貯留した洗浄液に水流を発生させる水流発生装置と、を備え、前記収納空間に収納されたフレーク状破砕片を前記処理槽に貯留した洗浄液に浸すことをできる、ものとした。 （もっと読む）

【課題】 導電部材の乾燥時に変色部分や腐食が発生することを防止することができる洗浄方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 洗浄装置１は、導電部材を洗浄する洗浄部５と、洗浄部５で洗浄した導電部材に対して、第二の洗浄としてのすすぎを行うすすぎ部６と、すすぎ後に水切りを行うブロー部７と、水分を完全に取り除く乾燥部８とを有している。すすぎ部６は、洗浄部５で用いられるアルカリ水よりも高温の純水を導電部材に噴き付けることで、導電部材に残留している物質や水滴を取り除く。 （もっと読む）