【課題】ティーチングの作業が容易なワークの位置決め装置及びワークの位置決め方法を提供すること。
【解決手段】位置決め装置の制御装置は、予めティーチングされた主基準穴及び副基準穴の位置をティーチングデータとして記憶しておく。さらに制御装置は、センシングロボットにより、車体の主基準穴及び副基準穴をセンシングし、このセンシングした結果をティーチングデータに照合して、主基準穴を基準とする副基準穴の方向の変位量（Δφ，Δθ，Δψ）を算出し、ハンドリングロボットを制御して、主基準ピン５５を主基準穴に位置合わせするとともに、算出された変位量（Δφ，Δθ，Δψ）に基づいて、副基準ピン５６を副基準穴に位置合わせする。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気下で加熱された板状ワークを搬送する場合において、当該ワークからの熱による不都合を解消ないし低減する。
【解決手段】搬送装置Ａは、固定ベース１と、固定ベース１に対して旋回可能に支持された旋回ベース２と、旋回ベース２に支持され、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂを含んで構成された直線移動機構３と、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂに支持され、直線移動機構３の作動によりワークＷを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド４Ａ，４Ｂとを備える。ハンド４Ａ，４Ｂとガイドレール３２Ａ，３２Ｂとの間には熱反射板８が設けられる一方、固定ベース１および旋回ベース２には、固定ベース１側と旋回ベース２側とを常に連通させる空間５０２，６０２を含んで構成された冷媒循環路が設けられている。上記冷媒循環路は、上記熱反射板８に接するように取り回された冷却管７１，７３，７４，７６を含む。 （もっと読む）

【課題】
位置決めの必要な精度を保証する際に連続的に調整可能な運動パラメータによるメニュー支援された制御を可能として、物体を位置決めする、特に試験器に適用する運動装置と位置決め方法を提供すること。
【解決手段】
この発明は、運動装置の駆動手段が制御される、物体を位置決めする装置と方法に関する。このために、視覚的ジョイステッキが作動されて、それにより少なくとも直線状に運動装置の制御ユニットのデイスプレイによって移動可能なアクチュエータは駆動手段により実現できる運動方向が記号的に示される位置へ移動され、物体の運動用の駆動手段は示された運動方向にアクチュエータの切換え機能によって始動される。 （もっと読む）

【課題】移動距離を延長しても、直線移動機構全体の重量化、および旋回動作による慣性力の増大を適切に回避する。
【解決手段】搬送装置Ａ１は、固定ベース１と、垂直状の旋回軸線Ｏｓ周りに旋回可能な旋回ベース２と、旋回ベース２に支持された直線移動機構３と、直線移動機構３に支持され、ワークＷを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド４Ａ，４Ｂと、軸線Ｏｓに沿って配置され、固定ベース１内のモータＭ３，Ｍ４からの駆動力を直線移動機構３に伝達するための伝動軸２５，２６とを備える。直線移動機構３は、水平軸線Ｏ１周りに回転可能な駆動プーリ３３５、および、垂直面内に沿うように駆動プーリ３３５に掛け回され、移動行程の平行線に沿って往復動する出力ベルト３３７を含んで構成された駆動機構３３Ａ，３３Ｂと、出力ベルト３３７に連結されたハンド４Ａ，４Ｂを移動可能に支持するガイドレール３２Ａ，３２Ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】各アームを独立して動作させるとともに、各アームの上下方向の座標位置を同じにして、ワークの搬送時間等を短縮することができる産業用ロボットを提供する。
【解決手段】基台部１００側からアーム部２及びハンド部３の順で連結され、そのハンド部３を所定方向に向けながら伸縮自在に動作するアーム１０を２つ以上有する産業用ロボットであって、アーム１０Ａ，１０Ｂそれぞれは、アーム伸縮軸２Ａ，２Ｂを回動中心としてアーム１０Ａ，１０Ｂを伸縮させるアーム伸縮用駆動源４Ａ，４Ｂと、アーム旋回軸３Ａ，３Ｂを回動中心としてアーム１０Ａ，１０Ｂを旋回させるアーム旋回用駆動源５Ａ，５Ｂと、ハンド部１２の上下方向の座標位置Ｐ１，Ｐ２をほぼ同じにする連結部材１３Ａ，１３Ｂとを備えるように構成して、上記課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】据え付け時などにおいて取り扱いが容易な搬送装置を提供する。
【解決手段】固定ベース１と、固定ベース１に対して鉛直軸線Ｏｓ周りに旋回可能に支持された旋回ベース２と、旋回ベース２に搭載されたガイド部材３と、旋回ベース２ないしガイド部材３に支持された直線移動機構４と、直線移動機構４に支持され、ワークを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド５Ａ，５Ｂと、軸線Ｏｓに沿って配置され、固定ベース１内のモータＭ３，Ｍ４の駆動力を直線移動機構４に伝達するための伝動軸２６，２７とを備えた搬送装置Ａ１であって、旋回ベース２は上下に分離可能に連結されたハウジング２２と円筒軸２１とを備え、ハウジング２２には軸線Ｏｓ周りに回転可能に支持された連結部材６１，６２が付属させられており、連結部材６１，６２には伝動軸２６，２７に対して上方から係合される係合部材７１，７２が着脱可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】搬送アームに起因する不良製品が発生した場合、発生原因となった搬送アームを容易に特定することを可能にする。
【解決手段】搬送室１１〜１３には、複数の処理室が連結されている。処理室としては有機ＥＬ層を成膜するＢＥＬ蒸着室２５、ＲＥＬ蒸着室２６、ＧＥＬ蒸着室２７等がある。各搬送室１１〜１３には、基板を保持する保持部３２ａ〜３２ｃを備えた搬送アーム３１が設けられ、保持部３２ａ〜３２ｃはそれぞれ異なる形状に形成されている。製品に搬送アーム３１が原因の不良品が発生した場合、不良品の不良箇所の形状を各搬送アーム３１の保持部３２ａ〜３２ｃの形状と比較することにより、不良原因の搬送アーム３１を容易に特定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】小型で装置環境を汚染しない搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１、２は、死点脱出機構５０が簡単な構造で厚みが薄い。また、ハンド部２０の連結部が薄くできるため、ハンド部２０を挿入するゲートバルブの開口を小さくすることができる。その結果、搬送室内のダストが処理室に侵入しにくくなる。第一、第二の回転軸１１、１２が、同心状に配置されているため、装置の設置面積が小さく、また、旋回半径が小さいので、この搬送装置１、２を配置する搬送室を小さくすることができる。 （もっと読む）

基板搬送ロボットのエンドエフェクタが、繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）から製造された上プレートと、繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）から製造された下プレートと、上プレートと下プレートとの間に配置され、アルミニウム、ステンレス鋼およびハニカム形繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）からなる群から選択された中間部材とを備える。さらに、基板搬送ロボットが上記のエンドエフェクタを備えている。
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【課題】昇降動作のストローク量を大きく確保するとともに装置全体の高さを低く抑えることができる、低床型の搬送装置を提供する。
【解決手段】固定ベース１と、旋回ベース２と、この旋回ベース２を固定ベース１に対して昇降させる昇降機構３と、旋回ベース２を鉛直状の旋回軸Ｏｓ周りに旋回させる旋回機構と、旋回ベース２に支持された直線移動機構５と、直線移動機構５に支持され、直線移動機構５の作動によりワークＷを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド６Ａ，６Ｂとを備えた搬送装置Ａであって、昇降機構３は、固定ベース１に対してテレスコピック状に伸縮するように組み合わされた２段の昇降部材３１，３２と、各段の昇降部材をその下位段の部材に対して昇降させる第１および第２の昇降駆動機構３３，３４と、を備えて構成されており、かつ、旋回ベース２は、最上位段の昇降部材３２に支持されている。 （もっと読む）

【課題】基板にかかるストレスを低減して基板割れを抑制することができ、かつメンテナンスコストを低減できる低負荷搬送装置を提供すること。
【解決手段】負圧により基板１を吸着して支持する吸着ヘッド部１０と、吸着ヘッド部１０の内部に負圧を発生させる負圧発生手段２０と、吸着ヘッド部１０にて吸着した基板１を搬送する搬送手段３０とを備え、吸着ヘッド部１０は、基板１と対向する支持面１１ａに複数の吸気孔１１ｂを有するヘッド本体部１１と、ヘッド本体部１１の支持面１１ａに取り付けられると共に複数の吸気孔１１ｂと連通する複数の貫通孔１２ｂを有する吸着シート部１２とから構成され、吸着シート部１２は、ヘッド本体部１１の支持面１１ａに剥離可能に貼り付けられる熱可塑性エラストマーからなる粘着剤層を有することを特徴とする低負荷搬送装置。 （もっと読む）

【課題】ロボットシステムの搬送作業において、命令量の拡大に対応しつつ、タクトタイムを短縮させる搬送ロボットの制御方法を提供すること。
【解決手段】ロボットを制御するコントローラと、前記コントローラからの信号によって被搬送物を搬送する搬送ロボットとを備えた搬送ロボットの制御方法において、前記コントローラから搬送ロボットへ信号を送信する際に、シリアル通信による通信方法とパラレル通信による通信方法とを組み合わせた通信方法によって信号を送信するようにした。このように、通信方法において、シリアル通信とパラレル通信とを適宜組み合わせることで、より最適な通信方法とすることができ、ロボットシステムの搬送作業において、命令量の拡大に対応しつつ、タクトタイムを短縮させることができ、そのため、生産性の向上にも繋がることとなる。 （もっと読む）

【課題】 回転部材にケーブルを配線する際に，ケーブルを構成する各線条体にかかる負荷を抑えつつ，回転部材の回転に伴ってケーブルが動いた場合の擦れ合いや絡み合いを防止し，ケーブルの配線スペースをより省スペース化できる。
【解決手段】 ケーブルを収容するケーシング１１０と，ケーシング内の上方に鉛直軸回りに相対的に回転可能に配設された回転板１２６と，帯状に配列された複数本の線条体を相互に接合して一体化してなり，各線条体が鉛直方向に配列するように回転板に配線されるフラット状のケーブル２００とを備え，ケーブル２００は，その一端を回転板の回転中心からずれた位置に取付けて，そこから下方に向けて徐々に巻径が広がる螺旋状になるように，その他端をケーシングに取付けた。 （もっと読む）

【課題】ロボットを予め教示されたルートに従って移動制御するロボット制御システムにおいて、常に２点間（開始点から目標点）のみの移動時間にて制御する。
【解決手段】目標ルートｓと、目標時間Ｔと、教示ルートｋと、前記教示ルートｋに従い移動するロボット１と、からなるロボット制御システム１００において、前記それぞれの教示点ｋ（ｎ）からの前記目標ルートｓに対する垂線の足であるシフト教示点ｓ（ｎ）と、前記目標ルートｓを、それぞれのシフト教示点ｓ（ｎ）によって区画するそれぞれの目標セクション[ｓ（ｎ）]と、前記目標ルートｓを前記目標時間Ｔで等速移動する場合の前記それぞれの目標セクション[ｓ（ｎ）]のセクション目標時間ｔ（ｎ）と、を備え、前記ロボットは、前記それぞれの教示セクション[ｋ（ｎ）]上を、対応するセクション目標時間ｔ（ｎ）にて移動するロボット制御システム１００。 （もっと読む）

【課題】冷機状態、暖機状態の区別なく、運転再開後直ぐに本来の搬送精度で基板の搬送を行うことができ、基板間における処理について高い均一性が得られる基板搬送装置等を提供する。
【解決手段】
基板を保持する保持部１３に回転自在にアーム部１１、１２が連結された関節型の搬送アーム１０ａ、１０ｂを備えた基板搬送装置１ａ、１ｂにおいて、加熱手段６１ａ、６１ｂは当該アーム部１１、１２を加熱し、温度検出手段６４ａ、６４ｂは各アーム部１１、１２の温度を検出する。そして制御手段７は、基板搬送開始前に前記アーム部１１、１２を加熱し、温度検出手段６４ａ、６４ｂによる温度検出値が予め設定した設定温度範囲まで上昇した後に基板の搬送を許可し、その後は温度検出値が設定温度範囲内に維持されるように加熱手段６１ａ、６１ｂを制御する。 （もっと読む）

【課題】ロボットをジョグ送り動作によって移動させる際、接触検知用センサなどを別途設けることなく、作業効率を向上させることが可能なロボット教示システム及びロボット教示方法を提供する。
【解決手段】ロボット教示システムにおいて、教示操作端末３００は、ロボット１００を現在位置から教示すべき目標位置へジョグ送りで移動させるジョグ送り手段を備え、ロボットコントローラ２００又は教示操作端末３００のいずれか一方又は双方には、目標位置の仮座標を記憶する記憶手段と、現在位置から目標位置へのジョグ送りによるロボット１００の移動範囲を、仮座標と現在位置の座標の差分により定義する範囲に制限する制限手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の実施形態は、半導体基板移送用の高温抗垂下エンドエフェクターに関する。本発明の一実施形態により基板ハンドラーと共に用いるエンドエフェクターが提供される。
【解決手段】エンドエフェクターは基板を支えるように配置し、その基板を水平面に対し第１角度に位置する基板支持面を有する自由端を含む。エンドエフェクターは基板ハンドラーに取付けるように配置した固定端を含み、基板が自由端上に配置されず、第１角度が第２角度と異なる場合には、基板支持面が水平面に対して第２角度になる位置でエンドエフェクターを基板ハンドラーに取付ける。 （もっと読む）

【要 約】
【課題】絶縁性基板を吸着した状態で搬送できる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置２０の腕部２２に、幅４ｍｍ、間隔２ｍｍ以下の電極を有する吸着装置２３を取り付ける。大きなグラディエント力が得られるので、絶縁性基板１１を吸着できる。その場合、絶縁性基板１１をつり下げた状態にしたり、立てた状態で搬送することができる。 （もっと読む）

【要 約】
【課題】絶縁性基板を吸着した状態で搬送できる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置２０の腕部２２に、幅４ｍｍ、間隔２ｍｍ以下の電極を有する吸着装置２３を取り付ける。大きなグラディエント力が得られるので、絶縁性基板１１を吸着できる。その場合、絶縁性基板１１をつり下げた状態にしたり、立てた状態で搬送することができる。 （もっと読む）

【課題】分岐点を有するワークの形状を、迅速、且つ、簡易に認識することのできる画像認識方法および把持装置の提供。
【解決手段】分岐点を有するワークを撮像し、二値化し、二値化画像からワークの下端を検出し、ワークの下端からワークの輪郭を追い、輪郭線が急に方向変化する点を分岐点と判断する画像認識方法において、二値化画像から、Ｘ方向の最大値、Ｘ方向の最小値、Ｙ方向の最大値、およびＹ方向の最小値を抽出し、これらを辺に有する方形領域を定め、方形領域に属する端点を候補点とし、候補点からワークの下端を判定することを特徴とする画像認識方法および当該方法を実施するための把持装置。 （もっと読む）