【課題】基板が搭載される複数の搭載部間のピッチの変更動作を行う場合であっても、構成の簡素化が可能でかつハンドに搭載される基板を適切に把持することが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボットは、所定のピッチで上下方向に重なるように配置される基板の搭載部を有する複数のハンドと、搭載部間のピッチを変えるピッチ変更機構と、ハンドに搭載される基板を把持するための把持機構２４とを備えている。把持機構２４は、複数の基板の把持部８０と、基板の把持方向へ把持部８０を付勢する複数の付勢部材と、把持部８０に当接して基板からの退避方向へ複数の把持部８０を移動させる移動部材８２とを備えている。複数の把持部８０および複数の付勢部材のそれぞれは、複数のハンドのそれぞれに保持され、移動部材８２は、把持部８０が基板を把持しているときに把持部８０から離れている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハに帯電した静電気を除電することができるとともに装置を保護することができ、かつ、構成が簡単で安価なウェーハハンドリングロボット装置およびロボットハンドを提供する。
【解決手段】ロボット本体と、前記ロボット本体に設けられこのロボット本体とは電気的に絶縁されているロボットハンド保持部と、前記ロボットハンド保持部に設けられ半導体ウェーハを搬送するロボットハンドと、前記ロボット本体と前記ロボットハンドとを電気的に接続する抵抗素子と、前記ロボット本体に接続され前記ロボットハンドを制御する制御装置と、前記ロボット本体と前記制御装置とを接地するアース手段とを有する。前記抵抗素子の電気抵抗は、前記制御装置と前記アース手段とを含めた前記ロボット本体の電気抵抗よりも大きく、１０^３Ω〜１０^６Ωが望ましい。 （もっと読む）

【課題】基板が搭載される複数の搭載部間のピッチを変えるピッチ変更機構を備えている場合であっても、小型化することが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボットを構成する基板搭載機構３は、上下方向に重なるように配置され基板が搭載される搭載部１３〜１７間のピッチを変えるピッチ変更機構２６と、上下方向に移動可能な複数の可動ハンド１８〜２１とを備えている。ピッチ変更機構２６は、Ｙ方向を軸方向として配置される支点軸に回動可能に支持され可動ハンド１８〜２１が連結されるレバー部材５２、５３と、レバー部材５２、５３を回動させる駆動機構５８とを備え、可動ハンド１８〜２１とレバー部材５２、５３との連結部となるハンド連結部は、レバー部材５２、５３に取り付けられＹ方向に突出する突出部材と、可動ハンド１８〜２１に取り付けられ突出部材が係合する係合溝が形成されるガイド部材とを備えている。 （もっと読む）

【課題】フォークに光センサの配線をすることなくワークの有無を検知することができる移載機を提供すること。
【解決手段】屈伸可能に連結された第１アーム１及び第２アーム２を左右に１対配設し、第１アーム１の基部をそれぞれ駆動軸３に接続するとともに、第２アーム２の先端部でフォーク４を支持し、各アーム１、２の屈伸によりフォーク４を進退するようにした移載機において、フォーク４上のワークＷの有無を検知する光センサ１０を移載機本体７に設けるとともに、フォーク４上のワークＷの有無によって開閉する遮光板１２と、その作動機構１３からなるシャッタ機構を有するミラー１１を配設し、光センサ１０の光をミラー１１に反射させることによりワークＷの有無を検知できるようにし、かつ、光センサ１０をミラー１１が通過する経路から外れた位置に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】 高い信頼性を持って迅速に相対ティーチングができるようにした搬送ロボットの相対ティーチング方法を提供する。
【解決手段】 基板Ｓをロボットハンド１３にて支持した状態で同一平面内を旋回及び伸縮動作させ、前記旋回方向に沿って配置された複数の処理室Ｌ、Ｐ１乃至Ｐ３間で基板を搬送する搬送ロボット１に対し、その搬送動作を教示するとき、いずれか一の処理室に対して伸縮動作する際に基準となる座標データを教示し、この座標データに基づいて他の処理室に対して伸縮動作する際に基準となる座標データを教示する。一の処理室における座標データを教示する際にその伸縮軌道データを取得し、他の処理室における座標データを教示する際に、前記一の処理室及び他の処理室への搬送ロボットの伸縮ストロークが相互に異なると、前記伸縮軌道データから前記ロボットハンドの位置を補正する。 （もっと読む）

【課題】 駆動源となるモータの個数を少なくして装置コストの削減及び全体の軽量化を図ることが可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】 被処理体Ｗを保持して搬送するための搬送装置において、ベースに回転自在に支持された回転基台２４と、第１アーム部２６Ａ、２８Ａ、第２アーム部２６Ｂ、２８Ｂ及びピック部２６Ｃ、２８Ｃをこの順序で屈伸可能に連結してなる第１及び第２アーム機構２６、２８と、前記第１及び第２アーム機構の各第１アーム部にそれぞれ連結されて前記第１及び第２アーム機構を旋回させる駆動リンク機構３０と、前記回転基台を回転駆動させる第１駆動源３２と、前記駆動リンク機構を駆動する第２駆動源３４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、比較的小さな設置面積に配置でき、上下への昇降範囲が広くできるとともに、安全にワークを移送することが可能な移送ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部１４と、前記ハンド部１４を一方向に移動させる水平アーム機構３０と、前記水平アーム機構３０を上下に移動する昇降機構２０を備えた移送ロボットにおいて、前記昇降機構２０が、ベース部材２に備えられた少なくとも２組のリンク機構から構成され、２組のリンク機構の第２関節部６が互いに内側になるように動作させながら、ハンド部１４のローリング方向、横ずれ動作、ヨーイング方向の動作を行なう。 （もっと読む）

【課題】大きさの異なる電子部品に、より対応することが可能なＩＣハンドラを提供する。
【解決手段】このＩＣハンドラ１は、電子部品を吸着する吸着ノズル８６８と、水平面内のＸ方向およびＹ方向に各々独立して移動することが可能な８つの移動ユニット８９とを備え、各々の移動ユニット８９毎に１つの吸着ノズル８６８を装着可能で、かつ、少なくとも２つの移動ユニット８９に対して１つの吸着ノズル８６８を装着可能なように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 教示位置検出手段により教示位置を検索する際に、教示位置検出手段の周辺のスペースが狭くとも教示位置が精度良く検出できるロボットを提供する。
【解決手段】 ロボット１は、レーザセンサ１０を備えるロボットハンド２を３つの連結部５，６，７が街道可能に連結されたアーム３によって移動させてターゲット冶具１８を検索し、ターゲット冶具１８が検出された検出位置である直進開始位置からターゲット冶具１８に向かってロボットハンド２を直進させる多関節ロボットである。更にロボット１は、制御装置３３を備える。制御装置３３によりロボットハンド２を移動させて第１及び第２検出位置でターゲット冶具１８を検出させ、これら２つの検出位置の位置情報を取得し、これら２つの位置情報に基づいて、前記ロボットハンド２が予め定められた経路Ｃを直進するように前記直進開始位置を較正する。 （もっと読む）

【課題】必要十分な動作範囲を確保しつつ省フットプリント、クリーンで、高いスループットを備える基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】基板を保持するハンド１３と、ハンド１３を先端に支持するアーム部２４と、アーム部２４を支持するボディ１６と、からなる第１及び第２のロボット部２５ａ、２５ｂと、第１のロボット部２５ａを支持する第１の走行ベース１５ａと、第２のロボット部２５ｂを支持する第２の走行ベース１５ｂと、第１の走行ベース１５ａと第２の走行ベース１５ｂとを支持する共通ベース１８と、を備え、第１のロボット部２５ａと第２のロボット部２５ｂが、第１および前記第２の走行ベースによって各々自在に走行可能とした。 （もっと読む）

【課題】アームの軽量化を図りつつ、製造工程を簡略化することができる真空搬送装置の製造方法及び真空搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送ロボットの製造方法において、アーム本体２０を構成する上側板２５、下側板２６及び環状部材２７と、関節軸を支持する各ブシュ２１〜２３とから中空構造のアーム５を組み立て、上側板２５、下側板２６及び環状部材２７を互いに接合する接合部と、それらの部材と各ブシュ２１〜２３の接合部とにロウ材を付着させる工程と、組み立てられたアーム５を真空加熱して、ロウ付けする工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】処理チャンバ内に収納されている基板の一部のみを搬出する場合に残りの基板が処理チャンバの内壁に干渉することを防止し、処理チャンバを十分に小型化できるようにする。
【解決手段】自由端１２２が基軸１６を通過することなく基準線１７に接近するようにアーム機構１０の前段用モータ１２Ａ及び後段用モータ１２Ｂを駆動しつつ、搬出される基板４Ａを保持した保持端２１２Ａが基準線１７上を移動するようにハンド用モータ２２Ａを駆動する。これと同時に、搬出されない基板４Ｂを保持した保持端２１２Ｂが保持端２１２Ａから離間するようにハンド用モータ２２Ｂを駆動する。 （もっと読む）

【課題】 搬送アームの位置を容易に調整することができる搬送アームの位置調整方法及び搬送アームの位置調整治具並びにウェハ搬送装置を提供する。
【解決手段】 複数のウェハ１が収納されたウェハカセット１０に、積層方向で隣り合うウェハ１の間に挿入されて、前記ウェハ１を搬送する搬送アーム２０の前記積層方向の位置を調整する搬送アームの位置調整方法であって、前記ウェハカセット１０の一側面に設けられた開口部１２を介して、前記ウェハ１の積層方向で隣合う２つのウェハ１の間に前記搬送アーム２０を挿入した状態で、当該２つのウェハ１の間隔以上の幅を有する光を前記ウェハ１及び前記搬送アーム２０に照射すると共に、前記開口部１２を介して前記２つのウェハ１と前記搬送アーム２０とで遮蔽された光を受光して、前記２つのウェハ１と前記搬送アーム２０との距離情報を取得し、該距離情報に基づいて前記２つのウェハ１に対する前記搬送アーム２０の位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】載置ずれや変形を生じさせることなく、基板保持部に基板を受け渡すこと。
【解決手段】基板Ｐを保持する基板保持部としてのプレートホルダ９に基板Ｐを搬送する搬送装置は、基板Ｐを支持する支持装置としての搬送ハンド１２と、搬送ハンド１２を駆動し、プレートホルダ９からの搬送ハンド１２の一部の高さと他部の高さとを相対的に変化させ、かつその一部の高さ及び他部の高さを減少させて、搬送ハンド１２が支持する基板Ｐをプレートホルダ９に受け渡す駆動装置１３，１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高温環境下において搬送物を確実に保持して高速搬送を図るとともに、搬送物の搬送時におけるダストをできるだけ少なくする技術を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置５０は、複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構２０と、その動作先端部において第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒを介して連結され、基板１０を載置するための載置部５とを備え、載置部５には、基板１０の側部と当接して係止する係止部５ａ、５ｂが設けられる。第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒの先端部には、第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒに設けられた凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒと、凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒによって駆動される従動機構部６とを備える付勢手段９が設けられる。従動機構部６は、凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒと係合摺動可能な長孔６２を有する従動部６１と、従動部６１の長孔６２内における凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒの移動に応じて載置部５の係止部５ａ、５ｂに向って案内移動される付勢部６ａとを有する。 （もっと読む）

【課題】ワークの強度の低下を抑えることができ、ワークを健全な状態なまま搬送先に搬送することができる吸着式の搬送装置を提供する。
【解決手段】負圧吸着作用でウェーハ１を吸着する多孔質材からなる吸着パッド１１０をフッ素樹脂製とする。 （もっと読む）

【課題】 搬出時間を短縮し、半導体ウエーハ搬出時の半導体ウエーハの破損を防止可能な半導体ウエーハ加工装置を提供することである。
【解決手段】 半導体ウエーハを収容するカセットと、該カセットが載置されるカセット載置台と、該カセットに収容された半導体ウエーハを搬入・搬出する搬送手段とを備えた半導体ウエーハ加工装置であって、該カセットは、１枚の半導体ウエーハが表裏面を略水平方向とする向きで収容される複数のウエーハ収容部と、半導体ウエーハを該カセットに搬入・搬出する該搬送手段に対向した開口部とを有し、該開口部に対峙して配設され、該カセットの複数のウエーハ収容部を撮像する撮像手段と、該カセット載置台と該撮像手段とを相対的に垂直方向へ移動する移動手段と、該撮像手段で撮像された撮像画像を解析して半導体ウエーハの収容状態を判別する判別手段と、該判別手段で判別した判別結果を記憶する記憶手段と、を更に備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
基板の搬送方向の直進性に優れた基板搬送装置を提供する。
【解決手段】
基板搬送装置１は、補助回動ギア３２と回動プーリ３１とを連結するリンク部材３３を備え、リンク部材３３はリンク部材３３の連結長（貫通孔３３Ａの中心Ｐ−貫通孔３３Ｂの中心Ｑの間の長さ）を調整するためのリンク長さ調整部３４とを備えている。このため、各部材の機械加工精度に依存して組立誤差が生じても、リンク部材３３の長さ（連結長）を調整部３４により調整して、補助回動ギア３２の中心Ｏと回動プーリ３１の中心Ｒとの間の長さと、連結長とを同じに調整できる。従って、リンク部材３３により、回動プーリ３１と補助回動ギア３２との回動量つまり回動プーリ３１と回動ギア３０の回動量を一致させて、基板の搬送方向の直進性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】省スペース化と高スループット化を図ったウェーハ搬送ロボットを提供する。
【解決手段】昇降可能な支持台２００と、支持台上に一端が軸支され水平方向に旋回可能な第１アーム部２０１と、その他端部上に一端が軸支され水平方向に旋回可能な第２アーム部２０２と、第１アーム内に設けられ、第１及び第２アームを旋回させアームの最大移動範囲内の任意の位置に停止させるアーム駆動機構２２１，２２２とで構成される水平多関節ロボット２２０と、第２アーム部の先端上に軸支され、水平方向に旋回可能な互いに対称的に配置された２つの機械式リンクアーム２４１，２４２と、その先端にそれぞれ設けられウェーハを保持するエンドエフェクタ２０８，２０９とを有する水平多関節機械式ダブルリンクアーム２４０とを備え、機械式リンクアームを旋回させる旋回機構が前記第２アームの内部に設けられ、エンドエフェクタは、互いに間隔をおいて上下に配置した。 （もっと読む）

【課題】 板状体、特に太陽電池素子を破損させることなく搬送することが可能で、かつ摺動部に微粒子などの粉塵の侵入を抑制することが可能な吸着搬送装置を提供すること。
【解決手段】 複数の貫通孔が形成される昇降基板と、前記昇降基板の貫通孔を通して下向きに設けられる摺動可能な吸着手段とを備える、板状体の吸着搬送装置であって、前記貫通孔の底面側開口部を囲むように中空状の防塵部材が設けられる、板状体の吸着搬送装置。 （もっと読む）