【課題】始点から終点までの搬送対象物を直線移動させるにあたり、移動時間の短縮と振動の低減とを両立した軌道情報生成装置を提供する。
【解決手段】多関節ロボットで搬送対象物を直線移動させるにあたり、搬送装置１０３の動力学モデルに基づいて始点Ｓから終点Ｅまでの移動に要する時間ｔ_ｅをパラメータの一つとして含む評価関数の値が最小となるように最適化手法を用いて軌道情報１３２を生成する。動力学モデルとして搬送対象物Ｗを搬送する先端リンクの動作を直線動作に限定したモデルを予め設定しておき、予め設定された搬送装置の振動特性を用いて先端リンクの移動により生じる模擬振動の大きさ（ｘ−ｘ_ａ）を算出し、算出した模擬振動の大きさ（ｘ−ｘ_ａ）をパラメータの一つとして評価関数に含め、少なくとも上記２つのパラメータである移動時間ｔ_ｅ及び模擬振動の大きさ（ｘ−ｘ_ａ）を含む評価関数の値が最小となるように軌道情報１３２を生成する。 （もっと読む）

【課題】アームの制御性低下を効果的に抑制するとともに、吸着ＯＮ・ＯＦＦ状態の切替応答性が向上するリンク式ロボットアーム装置を提供する。
【解決手段】アームの先端側に配置され且つ吸着用エア供給口Ｃ３を有するエンドエフェクタＣによって搬送対象物を吸着保持可能なリンク式ロボットアーム装置Ｘとして、アーム１の内部に設けたエア管４を介して吸着用エア供給口Ｃ３に接続され、吸着用エア供給口Ｃ３に吸着用エアを供給可能な状態と、吸着用エア供給口Ｃ３への吸着用エア供給を停止する状態との間で切替可能な吸着切替ユニット３を備え、この吸着切替ユニット３を、アーム１のうちアーム長１Ｌの半分１Ｃよりもシータ軸Ｊ３に近い位置に設けた。 （もっと読む）

【課題】搬送ロボットを用いて、カセットに収容された液晶基板等の板状の基板を搬出する際に、基板検出センサを用いて基板の位置を検出していた。従来は、基板がカセットの手前側（入り口側）に寄せられてカセット内部に収容されていたが、基板がカセットの奥側に寄せられる場合があり、従来の搬送ロボットでは対応できない。
【解決手段】本発明の搬送ロボットは、振動吸収体６の先端部に取り付けられた基板の有無を検出する基板検出センサ５と、ハンドの位置を移動させる移動機構１１（アーム機構２等）と、ハンドの位置及び移動速度を制御する動作制御部１２と、基板のエッジ位置を演算する基板エッジ位置解析部１３とを備えた。上記構成にすると、基板がカセットの奥側に寄せられて収容された場合であっても、基板の位置を検出できる。 （もっと読む）

【課題】真空処理装置において、試料の位置ずれが発生した際にそのずれ量を抑制し、予期しない搬送動作の停止を防ぐ。
【解決手段】試料の搬送を行う真空搬送室において、ロボットによる前記搬送の動作中に生じるアーム上に載せられたウエハの加速度はアームの伸長の開始または収縮の終了の際の加速度が最大であって、搬送中の試料の位置ずれを検出し、そのずれ量が所定の閾値（許容値）を超えた場合に、ロボットのアームの伸長の開始または収縮の終了の際の加速度をＡ‘からＡに低下させてずれ量が閾値を超えないようにする。 （もっと読む）

【課題】水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整が可能であっても小型化することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、搬送対象物が搭載されるハンド３と、ハンド３が連結されるアーム４と、アーム４を支持する支持部材６と、支持部材６を上下方向に移動可能に支持する柱状部材７とを備えている。柱状部材７は、支持部材６を保持する柱部１８と、柱部１８を保持する柱部１７とを備えている。柱部１７、１８は、鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜している。柱部１８は、その傾斜方向への支持部材６の相対移動が可能となるように支持部材６を保持し、柱部１７は、その傾斜方向への柱部１８の相対移動が可能となるように柱部１８を保持している。 （もっと読む）

【課題】反りがある半導体ウエハに対して、安定して吸着することができ、かつ、半導体ウエハを平らに矯正することができる真空ピンセット。
【解決手段】本体２と、本体２の端部に設けられた支持部３と、一端が支持部３に接続され、他端に吸着部５を備えた複数の先端部材４と、を少なくとも備え、先端部材４と支持部３と本体部２の内部に吸引流路１０ａ〜１０ｃが設けられた、反りを有する平板状の被処理体用Ｗの真空ピンセット１Ａであって、複数の先端部材４は、反りの形状に合わせるように、及び、反りを矯正するように、支持部３に対して可動であることを特徴とする真空ピンセット１Ａ。 （もっと読む）

【課題】 より大きな駆動源、直動ガイド能力を必要とせず、小型化が可能な基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】 基板搬送装置は、第１駆動軸と、第１駆動軸に一端が連結されたアーム部と、基板を保持することが可能な基板保持部と、アーム部の他端と基板保持部を連結する連結部と、を有する。連結部は、アーム部に対して基板保持部を回転可能に支持する回転支持部と、回転支持部によって基板保持部が回転する回転軸の方向に、アーム部に対して基板保持部を上昇させ、または、降下移動させる移動部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ハンドの先端と周辺機器とが衝突したときの衝撃が大きい場合であっても、ハンドの損傷を軽減することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】搬送対象物２を搬送する産業用ロボット１は、搬送対象物２が搭載されるハンド３と、産業用ロボット１の周辺機器にハンド３の先端が衝突したことを検知するための検知機構とを備えるとともに、ハンド３が所定方向を向いた状態で略直線状に移動するように構成されている。ハンド３は、ハンド３の先端部分を構成するとともに周辺機器にハンド３の先端が衝突したときにハンド３の基端側に向かって移動可能な衝撃吸収部材２０を備えている。 （もっと読む）

【課題】 内軸用のマグネットと外軸用のマグネットとを一体とすることで、低コストのアクチュエータを提供すること。
【解決手段】 アクチュエータは、中空構造を有し、中空構造の内側を真空排気可能に構成され、中空構造の外周側で第１コイル部を保持するハウジングと、ハウジングの内部において回転自在に支持され、外周に第２コイル部を有する内軸と、内軸の回転軸と同軸にハウジングの内部において回転自在に支持されており、内軸の外周側を囲むように配置されている円筒状の外軸と、外軸の外周側で第１コイル部に対向し、外軸の内周側で第２コイル部に対向する磁石と、内軸とハウジングの一方に設けられた整流子と、内軸とハウジングの他方に設けられ、内軸が少なくとも回転する際には整流子と摺接するブラシと、を備え、第２コイル部は、整流子とブラシを介して給電される。 （もっと読む）

【課題】アームを支持する支持部材を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材を備えている場合であっても、比較的簡易な構成で、搬入される搬送対象物の位置ずれを抑制しつつその傾きを適切に補正することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、搬送対象物が搭載されるハンド３と、ハンド３が連結されるアーム４と、アーム４を支持する支持部材６と、支持部材６を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材７と、基台８と、柱状部材７の下端を支持するとともに基台８に対して回動可能な旋回部材９と、基台８に対して柱状部材７を上下方向に直交する所定方向へ相対移動させる移動機構１０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 駆動機構の高さをコンパクトにしたアクチュエータを提供すること。
【解決手段】 アクチュエータは、第１ロータと、第１ステータと、第２ロータと、第２ステータとを備える。第１ロータの回転軸を基準として、第１ロータおよび第２ロータは同心円状に配置され、第１ロータの回転軸を基準として、第１ステータおよび第２ステータは同心円状に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 駆動機構の高さをコンパクトにしたアクチュエータを提供すること。
【解決手段】 アクチュエータは、第１ロータと、第２ロータと、ステータとを有する。第１ロータの回転軸を基準として、第１ロータおよび第２ロータおよびステータは同心円状に配置される。ステータは第１ロータと第２ロータとの間に配置されており、第１ロータと対向する第１コイルと、第２ロータと対向する第２コイルと、を有する。 （もっと読む）

【課題】反りがある半導体ウエハに対して、安定して吸着することができる真空ピンセット。
【解決手段】長尺状の本体２と、本体２の端部に設けられ、平坦部を有する先端部３と、先端部３の平坦部３ａに設けられた複数の突部４と、を備え、突部４のうち少なくとも１つが、可撓性を有する材料からなる吸着部４であることを特徴とする真空ピンセット１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 照明装置を追加することなく、アライメント用カメラでワーク端部を明瞭に観察できるワーク端部検出機構及び該ワーク端部検出機構を利用したワーク搬送機構を提供する。
【解決手段】 一方の端部に開口部を有し、他方の端部に閉塞部材を有する筒状の胴部材からなるワーク端部検出機構であって、前記閉塞部材の下面側に、前記開口部から入射した光を反射するための光反射手段が設けられており、かつ、前記胴部材の開口部側の内径（φ１）よりも、前記閉塞部材側の内径（φ２）の方が大きいことを特徴とするワーク端部検出機構。前記胴部材の内部に空気吸引口を穿設し、胴部材の上部に真空吸着ヘッドを配設することによりワーク端部検出と共に真空吸着によるワーク搬送も可能になる。 （もっと読む）

【課題】反りがある半導体ウエハに対して、安定して吸着することができる真空ピンセット。
【解決手段】長尺状の本体２と、この本体２の端部に設けられ、複数の吸着面４〜６を有する吸着部３と、吸着面４〜６毎に少なくとも一つ設けられ、被処理体を吸着する吸着孔７と、を備え、少なくとも一つの吸着面は、一辺に屈曲部１１を有し、被処理体に対して吸着孔７が接近又は離間するように、屈曲部１１を中心に回動可能に構成されていることを特徴とする真空ピンセット１を提供する。 （もっと読む）

【課題】トランスファーチャンバ内の汚染を抑制することができるロボットアームを提供する。
【解決手段】ロボットアーム１００は、半導体ウエハを搬送するロボットアームであり、ハンド２と前腕リンク１０と上腕リンク１４を備えている。ハンド２は、第１関節２０を介して前腕リンク１０に連結している。上腕リンク１４は、第２関節１１を介して前腕リンク１０に連結している。ロボットアーム１００では、前腕リンク１０が、第１関節２０と第２関節１１の間で分割可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】板状部材の一方側の面に凸部および凹部が形成された場合でも適切に保持することができる板状部材の支持装置および支持方法を提供すること。
【解決手段】ウェハＷの外縁に沿った環状の枠体５を備えて保持手段３が構成され、凸部ＷＢ表面に対向する吸引口７から空気を吸入することによって、ウェハＷの凹部ＷＣに吸引力を作用させることなくウェハＷを吸引保持することができ、ウェハＷに作用するストレスを低減させつつウェハＷを適切に保持することができる。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能でかつパスラインを低くすることが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、本体部３と、第１アーム４と、第２アーム５と、第３アーム６と、本体部３と第１アーム４とを繋ぐ第１減速機２１と、第１アーム４と第２アーム５とを繋ぐ第２減速機２２と、第１減速機２１の入力軸２５と第２減速機２２の入力軸３２とを連結する連結機構２３と、第３アーム６を回転駆動する第２駆動用モータ４０とを備えている。産業用ロボット１では、第２アーム５と第３アーム６とを繋ぐ第３関節部の移動軌跡が直線状となるように、第１減速機２１の減速比および第２減速機２２の減速比が設定されるとともに、連結機構２３が所定の速比で入力軸２５と入力軸３２とを連結している。また、第２駆動用モータ４０は、第２アーム５の、第３関節部よりも先端側に、かつ、第１アーム４側へ突出するように第２アーム５に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】搬送ロボットを用いて、カセットに収容された液晶基板等の板状の基板を搬出する際に、基板検出センサを用いて基板の位置を検出していた。従来は、基板がカセットの手前側（入り口側）に寄せられてカセット内部に収容されていたが、基板がカセットの奥側に寄せられる場合があり、従来の搬送ロボットでは対応できない。
【解決手段】本発明の搬送ロボットは、ハンド４の先端付近に取り付けられた基板の有無を検出する基板検出センサ５と、ハンドの位置を移動させる移動機構１１（アーム機構２等）と、ハンドの位置及び移動速度を制御する動作制御部１２と、基板のエッジ位置を演算する基板エッジ位置解析部１３とを備えた。上記構成にすると、基板がカセットの奥側に寄せられて収容された場合であっても、基板の位置を検出できる。 （もっと読む）

【課題】ウェハのデバイスが形成された面または形成される面に吸着痕や損傷を生じさせることなくウェハを搬送することができるウェハ搬送装置およびウェハ搬送方法を提供すること。
【解決手段】搬送ハンド３０の内部には、段差部２４に設けられた吸着孔３２と、複数の通気用の孔３１，３３とが設けられている。段差部２４は、リブウェハ１０のデバイス面２と重ならない位置に設けられている。第１通気用の孔３１は、吸着孔３２に接続されている。各第１通気用の孔３１同士は互いに独立している。各第１通気用の孔３１には、異なる第２通気用の孔３３が接続されている。各第２通気用の孔３３は、それぞれ異なる配管２５を介して真空発生源２６に連結されている。つまり、複数の吸着孔３２に対する真空系統が互いに独立して設けられている。リブウェハ１０の吸着状態は、搬送ハンド３０の内部に流れる空気の流速に基づいて判定される。 （もっと読む）