【課題】ロボットコンポーネントのキャリブレーションを実施する方法及びシステムを開示する。
【解決手段】一実施形態において、ロボットキャリブレーションを実施する方法には、ターゲット（例えば、ウェハチャック）を横断してキャリブレーションデバイスを動かすことが含まれる。更に、この方法は、センサからの光点とターゲットの周囲の間の距離を、キャリブレーションデバイスに配置されたセンサを用いて測定することが含まれる。更に、この方法は、ターゲットの中心に対するキャリブレーションデバイスの変位を求めることが含まれる。この方法は、ターゲットの座標系に対するキャリブレーションデバイスの回転角度を求めることが含まれる。更に、この方法は、ターゲットに対するキャリブレーションデバイスの変位及び回転角度に基づいて、ロボットのロボット位置をキャリブレーションすることが含まれる。 （もっと読む）

一体化されたロボット機構は、搬送機器を改善し、対象物移動を、アライメント又は識別等の別の機能と一体化するために開示されている。開示された一体化されたロボットアセンブリは、複数の加工物を移動させるための多重エンドエフェクタと、１つの加工物を移動させるための単一エンドエフェクタと、アライメント能力を提供するためのロボットボディに組み込まれた回転チャックと、搬送中に対象物を識別するための選択的な識別サブシステムとを有することができる。本発明のロボットアセンブリは、ソータ又はストッカ機器において、処理機器において、及び受渡しシステムにおいて使用されることができる。 （もっと読む）

【課題】２つのハンドを備えた搬送装置において、ハンドの動作にともなう振動の発生やアームのダレなどの不都合を低減する。
【解決手段】搬送装置Ａ１は、旋回軸Ｏｓ周りに旋回可能な旋回ベース２と、旋回ベース２に対し、旋回軸Ｏｓを挟んで旋回軸Ｏｓから等距離にある回動軸Ｏ１，Ｏ２周りに回動可能に支持されたアーム４Ａ，４Ｂと、アーム４Ａ，４Ｂのそれぞれに固定状に支持され、ワークＷを保持しうるハンド６Ａ，６Ｂと、旋回ベース２を回動させる旋回駆動手段と、アーム４Ａ，４Ｂを回動させるアーム駆動手段と、を備え、各ハンド６Ａ，６Ｂは、これに保持させるワークＷの中心が位置するべき基準点Ｓ１，Ｓ２をそれぞれ有し、上記旋回駆動手段と上記アーム駆動手段が連動して、ハンド６Ａ，６Ｂのいずれか一方を、基準点Ｓ１または基準点Ｓ２が旋回軸Ｏｓを通る水平直線上の移動行程ＧＬを移動するように所定位置間を移動させる。 （もっと読む）

【課題】搬送ロボットへの指令位置と実際に到達した目標位置には誤差が発生するため、搬送ロボットによってウエハ中心位置合わせを行う装置において、精度よくウエハ中心位置合わせができず、搬送装置の全体的なウエハ搬送精度に限界があった。
【解決手段】搬送装置稼働前に、予め、搬送ロボット３への指令位置と、ウエハアライメント装置１を用いて検出した、ウエハエッジ位置の検出範囲内における実際のウエハ２の中心位置の誤差と、から補正テーブルを作成し、ロボットコントローラに記憶しておき、搬送システム稼働時は、補正テーブルの補正量を目標位置に加算した位置を指令位置として搬送ロボットにウエハ中心位置合わせ動作をさせることで、ウエハ位置決めの誤差を減少させ、ウエハ搬送精度を高精度にする （もっと読む）

【課題】構成を複雑化することなく安定かつ高精度な搬送性を得ることができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る基板搬送装置は、一端が基台６３の支持軸に支持され、他端が基板支持用のハンド６２に接続された多関節アーム６１と、ハンドの直線移動を案内するリニアガイド６６と、ハンドをリニアガイドのガイドレール６７ａに沿って移動させるベルト７６と、ベルトを駆動する駆動機構６８と、ハンドとリニアガイドのスライダー６７ｂとの間を連結する連結部材８１とを備える。連結部材は、当該ハンドの進行方向に平行な第１の方向へのハンドとスライダー間の相対移動を規制し、かつ、鉛直方向に平行な第２の方向へのハンドとスライダー間の相対移動を許容する。 （もっと読む）

【課題】偏荷重やモーメント荷重の影響を低減し、安定した昇降動作を実現可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る搬送装置Ａ１は、固定ベース１と、昇降ベース２と、昇降ベース２を昇降させる昇降機構３と、昇降ベース２に搭載された旋回ベース４と、旋回ベース４を鉛直状の旋回軸Ｏｓ周りに旋回させる旋回機構５と、旋回ベース４に支持された直線移動機構６と、直線移動機構６の作動によりワークを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド７Ａ，７Ｂとを備える。昇降機構３は、固定ベース１に設けられたガイドレール３１１、および、昇降ベース２に設けられたガイド部材３１２からなるスライドガイド機構３１と、固定ベース１に配置されたネジ軸３２１、および、昇降ベース２に設けられたナット部材３２２を備えたネジ送り機構３２と、を備えて構成される。ネジ送り機構３２は、旋回軸Ｏｓを挟んで対向状に２つ設けられている。 （もっと読む）

【課題】直動式アーム内にあるリニアスライダなどの機構からの発塵を抑制するとともに、真空中に置かれる基板搬送ロボットでも使用可能な防塵機構を提供すること
【解決手段】リニアスライダによって直動する直動式アーム３を備えて基板９を所望の位置に搬送する基板搬送ロボット１において、リニアスライダ１８、２３を摺動可能に保持するリニアレール７、８の近傍に、リニアスライダ１８、２３と微小な隙間を介して敷設され、ポリ塩化ビニール又はフッ素樹脂で製作された集塵カバ４４をリニアレール７、８に沿って敷設した。リニアレール６上を摺動するリニアスライダ７直近に集塵カバ１０を設置し、リニアレール６上のリニアスライダ７が摺動する際に飛散するパーティクル１３を集塵カバ１０のラビリンス形状部で収集し、アームカバ８の開口部からパーティクル１３が流出することを防止し、ウエハ搬送フォーク３上のウエハ１２にパーティクル１３を付着させない処置をする。 （もっと読む）

【課題】アームを直動式の構成とし、その回転駆動部であるモータをダイレクトドライブ方式とし、さらにそのモータの回転位置検出器を１回転以内での位置検出が可能なものを使用できるようにする。
【解決手段】多段の直動式アームを伸縮動作させる大プーリ１６について、第２アームを直線状に駆動する連結プレートが第１ベルトの直線状部分におけるストローク量を移動しても第１ベルトによって回転する量が１回転未満となる直径を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】より正確な、搬送位置ティーチングや基板搬送ロボット、及び処理室内の把持装置の水平確認、調整、及び基板搬送ロボット上に載置された基板が滑り出す基板搬送ロボットの動作加速度測定を、効率的に行うことができる設置・搬送情報教示治具及び教示方法を提供する。
【解決手段】処理対象の設置・搬送情報教示治具であって、加速度検出器と、該加速度検出器を支持する支持板と、該加速度検出器に加わる重力加速度又は動作加速度を電気信号に変換して通信する通信手段と、該通信手段から通信される電気信号を処理し、得られる該設置・搬送情報を表示、出力する制御手段とを含む設置・搬送情報教示治具及びそれを用いる設置・搬送情報教示方法である。 （もっと読む）

【課題】大きな面積を有する場合であっても高精度にかつ安価に製造することができ、しかも、簡単な構造により吸着板の平坦性を確実に維持することができると同時に、吸着板の吸着面に略均質な吸引力を発生させることができる吸着板を提供する。
【解決手段】金属製の平板体３を少なくとも２枚積層して成る積層体１３と、この積層体１３の上面側に予め定められた間隔を保ちながら配設される複数のスペーサー６とを有し、平板体３は、一定のピッチを保ちながら形成される複数の貫通孔４を備え、平板体に形成される複数の貫通孔４は、他の平板体に形成される複数の貫通孔４と連通し、積層体１３の上面１７とスペーサー６の下端６ａとは略線状に接触することを特徴とする吸着板２ａによる。 （もっと読む）

【課題】
磁気ディスクあるいはそのサブストレートをカセット等から取出あるいはカセット等へ収納する時にディスクへのダメージを低減するとともに高速なディスクのチャックあるいはその開放が可能なディスクチャック機構およびディスクハンドリンクロボットを提供することにある。
【解決手段】
この発明は、第１，第２、第３のリンク部材により構成されるリンク機構がスライダクランク機構を形成し、エアーシリンダ等の進退アクチュエータの駆動で第３のリンク部材が回動してこれに設けられたチャック爪を第１のリンク部材あるいは第２のリンク部材の長手方向からこれに対して直角の方向に突出させる。直角の方向に突出したチャック爪は、ディスクに係合することでその回動が停止し、さらなる第２のリンク部材の前進あるいは後退移動によりばね部材が撓み、第１のチャック爪がディスクとの係合を維持する方向に第１のチャック爪をばね部材が付勢する。 （もっと読む）

【課題】炭素繊維強化樹脂複合材を用いて、その利点を生かしながら、パーティクル発生を抑制し、清浄環境下での基板等を搬送する用途に十分適した搬送用治具を提供する。
【解決手段】複数枚の繊維強化プリプレグシート４Ｂを積層した積層板を加工してなり、板状物を搬送する搬送装置において板状物を直接接触して保持することができる搬送用治具であって、積層板の表面が樹脂シート４Ａで被覆され、加工端面が端面保護層５で被覆されている搬送用治具１。 （もっと読む）

【課題】基板にかかる応力を抑制しつつ確実に吸着保持できるようにする。
【解決手段】外観検査装置１は、基板吸着装置として板金１５に固定された３つの吸着部群１６Ａ〜１６Ｃを備える。吸着部群１６Ａ〜１６Ｃはガラス基板Ｗの搬送方向に並んで配置されており、各々が３つの吸着部１８Ａ〜１８Ｃを備える。吸着部１８Ａ〜１８Ｃは、ガラス基板Ｗの裏面に吸着可能で、首振り動作が可能な吸着パッド２２が１つずつ設けられている。最も中央にある吸着部群１６Ｂの吸着部１８Ｂは、上方に押し付け部３３が配置されている。押し付け部３３は補助パッド３５を降下させてガラス基板Ｗを吸着部１８Ｂに押し付ける。 （もっと読む）

【課題】センサの数量を増加させることなく、基板の搬送精度を向上させた基板搬送方法、及び基板搬送装置を提供するものである。
【解決手段】センサ２０の光軸を、基板Ｓの法線方向Ｚに対して傾斜させて、基板Ｓの端面の一点を光軸上の上位検出点ＰＳ０に通過させる。また、ハンド点を法線方向Ｚに変位させて、基板Ｓの端面の他点を光軸上の下位検出点ＰＳ１に通過させる。そして、上位検出点ＰＳ０の検出結果に基づく上位距離と、下位検出点ＰＳ１の検出結果に基づく下位距離を用いて基板Ｓの中心を演算し、基板Ｓの中心を目標点に搬送させる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置で基板を搬送する基板搬送装置において、昇降する可動子が目的の位置に到達したことを確実に確認できる構成を提供し、それにより基板の破損を防止できるようにする。
【解決手段】アームとハンドを搭載した可動子５を上下に昇降させる昇降部において、装置の起動時に、搬送装置の制御装置で、インクリメンタル式のリニアスケール８のフィードバック値ＬnrＦb₀を、絶対値式エンコーダ１６から得られるフィードバック値ＭtrＦb₀のリニアスケール換算値ＭtrＦb₀'と同じになるよう記憶しなおし、所定のときにフィードバック値ＭtrＦbのリニアスケール換算値ＭtrＦb'とフィードバック値ＬnrＦbとを比較する基板搬送装置とした。 （もっと読む）

【課題】センサの数量を増加させることなく、基板の搬送精度を向上させた基板搬送方法、及び基板搬送装置を提供するものである。
【解決手段】各センサが、それぞれ対応する経路ＲＴ上にレーザを投光してスポット２０Ｐを形成し、スポット２０Ｐから透過する透過レーザの量を検出する。そして、位置データを参照して、検出値が「第１閾値」になるごとに、第１検出位置ＲＰ１に基づく基板中心Ｓａの座標を演算し、その時の基板中心Ｓａに基づいて目標点の座標を補正する。また、検出値が「第２閾値」になるごとに、第２検出位置ＲＰ２に基づく基板中心Ｓａの座標を演算し、その時の基板中心Ｓａに基づいて目標点の座標を補正する。 （もっと読む）

【課題】基板の予備位置決め機構を搬入ステージ、露光ステージに設置することなく、露光ステージに搬送する前に基板の予備位置決めを行うことができ、ピンの設置位置の調整も簡単な基板搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】前記搬入ステージ３０上の基板Ｗの端面を押動して予備位置決めを行う予備位置決め機構２と、この予備位置決め機構を支持本体１２により支持すると共に、予備位置決めされた基板を吸着して保持し前記露光ステージ４０に搬送する搬送機構２０とを備え、前記予備位置決め機構は、前記支持本体に支持された駆動手段６と、この駆動手段により駆動して前記基板の端面を押動する押動手段２とを有し、前記駆動手段は、円筒形の磁気軸体７と、この磁気軸体を軸周りに回動させる回動手段８と、この回動手段により回動する磁気軸体の周面に対面させて設けた直線状の第１長尺磁気体９Ａおよび第２長尺磁気体９Ｂと、を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】支持部材上に剥離可能に設けられた厚みの薄い半導体チップを損傷させずに吸着して持ち上げる。
【解決手段】吸着手段２０を、ホルダー部２１と、ポーラス部２２と、コレット部２３とから構成し、ホルダー部２１に設けたポーラス部２２に、コレット部２３を設けるようにする。かかるコレット部２３に吸着孔２４を設けて、吸着孔２４で吸着する。コレット部２３を設けるに際しては、脱着自在に設けることで、コレット部２３のみを交換して半導体チップ１１の種々の形状、大きさに合わせることができる。特に、吸着孔の設定に際しては、半導体チップの吸着度を変化させた対応も可能である。 （もっと読む）

【課題】 高い剛性を持ち、かつ旋回半径の小さい2アーム方式のロボット装置を提供すること。
【解決手段】 ロボット装置1は、円盤状の据付台2と、筐体3と、2本のアーム部10、20およびアーム部10、20の先端に設置されたハンド部材100、200とからなる。ハンド部材100、200は、2股に分かれたフォーク状の平板であり、液晶ガラス基板をこの2股に分かれた部分に載置可能である。大気雰囲気側となる円筒筐体3には制御基板が格納されている。
アーム部10、20は、同軸に配置されたハブ4、5、6上に設置されている。ハブ4、5、6は、同軸のインハブ型のモータが3段に連なった構成となっており、制御基板により旋回制御される。アーム部20は、アーム部10が前後進する際に、後退したままアーム部10に対して垂直方向に旋回する。 （もっと読む）

【課題】ハンドラ接続用動作（ＸＹＺ方向）とプローバ接続用動作（ＸＹ）方向を同一構成のフローティング機構を用いて動作可能とし、接続の容易性とコスト低減を可能としたフローティング機構を提供する。
【解決手段】表面から所定の深さに大径の穴と小径の貫通ねじ孔を有するブロックと、その大径の穴と略同じ径の貫通孔を形成した固定プレートと、大径の穴内に固定プレートの表面から一端を突出して配置したコイルばねと、鍔と貫通ねじ孔に螺合するねじを有する支軸と、その支軸が挿入されたときに横方向に動作可能な内径を有し一端にコイルばねを押圧するつばを有するリングと、リングが挿入された状態で横方向に動作可能な内径を有する貫通孔を有する可動プレートとを有している。 （もっと読む）