【課題】俊敏な動作と高精度な位置制御を可能とする関節装置及び基板搬送装置を提供すること
【解決手段】本発明の関節装置は、第１の平行リンクと、第２の平行リンクと、伝達機構とを具備する。第１の平行リンクは、第１の支点を中心とする第１の回転が可能な第１のレバーと、第２の支点を中心とする第２の回転が可能な第２のレバーとを有する。第２の平行リンクは、第１の支点を中心とする第３の回転が可能な第３のレバーと、第２の支点を中心とする第４の回転が可能な第４のレバーとを有する。伝達機構は、第１の支点を中心として第１の回転と共に回転する第１のギアと、第２の支点を中心として第２の回転と共に回転する第２のギアと、第１のギア及び第２のギアに噛合して回転する第３のギアと、前記第３のギアの回転と第３の回転及び第４の回転とを同期させる連結部とを有し、第１の平行リンクの駆動と第２の平行リンクの駆動とを連動させる。 （もっと読む）

【課題】
フィンガ部が水平面内で回転方向にずれて取り付けられていても、最適な位置教示データが自動で取得できる位置教示方法を提供する。フィンガ部の位置ずれ量を検出して、このずれ量を補正して、最適な位置に被搬送物を搬送できる位置教示方法を提供する。
【解決手段】
搬送ロボットが移動可能なＸ軸方向に対し平行に備えられた第１、第２の目的物を検出することで搬送ロボットの中心位置を特定し、その後、第３の目的物を検出する。これらの動作で得られた位置データから最適な搬送位置を自動で教示する。 （もっと読む）

【課題】ウエハの把持を解放した後におけるウエハの位置ズレを抑え、且つウエハの搬送に要する時間を短縮する。
【解決手段】ウエハ２が載置されるハンド２０と、ウエハ２が載置される載置位置Ａからウエハ２をハンド２０から降ろす降ろし位置Ｄまでハンド２０を移動させるための移動装置１０において、ハンド２０は、載置されたウエハ２を受け部２３に押圧してウエハ２を把持し、且つ、押圧を解除してウエハ２を解放するための押圧装置３０を備えており、制御装置４０は、載置位置Ａにてウエハ２が載置されると押圧装置３０を制御してウエハ２を把持し、移動装置１０を制御してハンド２０をウエハ２を押圧する方向に移動させながら減速して降ろし位置Ｄへと移動させ、且つ、ハンド２０が減速している間に、押圧装置３０を制御してウエハ２を解放させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】待機時のアーム等の落下を防止しつつ待機時の産業用ロボットの消費電力を低減することが可能で、かつ、産業用ロボットのスループットを向上させることが可能なロボット制御装置を提供する。
【解決手段】ロボット制御装置１５は、産業用ロボットを駆動するためのモータ１７と、モータ１７を制動するための制動手段１８と、モータ１７を駆動するモータ駆動手段２０と、モータ駆動手段２０に電力を供給する電力供給手段２１と、制動手段１８、モータ駆動手段２０および電力供給手段２１を制御する制御手段２２とを備えている。制御手段２２は、制動手段１８を作動させてモータ１７を停止させるとともに、制動手段１８の作動中に電力供給手段２１を制御してモータ駆動手段２０に電力を供給しながらモータ駆動手段２０を制御してモータ１７への電流の供給を停止する。 （もっと読む）

【課題】薄板材料の吸着に際しての空気漏れをなくすとともに薄板材料の取り外しを容易にする。
【解決手段】重ね合わせた一方のプレート３及び他方のプレート２の各々が対向することで形成された吸気通路５３内の空気を吸気孔４３より吸引すると、薄板材料１０の外縁部１０ａが先端側に形成された吸引部５内の、案内部５１に案内されて、案内部５１に連続する吸着部５２に進入し、他方のプレート２の壁面２３１が薄板材料１０の外縁部１０ａに対向し、他方のプレート２の吸着面２２が薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１に当接し、他方のプレート２の通路面２４の終端にある第二段部（平面部）２６の縁部２６１を支点として、一方のプレート３が他方のプレート２側へ撓み、一方のプレート３の吸着面３２が薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１に当接することで薄板材料１０を吸着して保持する、薄板材料の吸着装置１を提供する。 （もっと読む）

【目的】搬送ロボットをチャンバ等に衝突させずにティーチング可能な装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の荷電粒子ビーム装置は、ロボットハンド１４３を有し、荷電粒子ビームが照射される基板をロボットハンドに配置して搬送する搬送ロボット１４２と、搬送ロボットによって基板が搬送される描画室１０３と、搬送ロボットの移動位置をティーチングする際のロボットハンドの予定位置を示す予定位置座標を入力し、予定位置座標にロボットハンドを移動させた際にチャンバに干渉するかどうかを検証する検証部１４と、検証の結果、干渉しない場合に、予定位置座標にロボットハンドを移動させるロボットコントローラ１１４と、検証の結果干渉しない予定位置座標をティーチング座標として登録する登録部１６と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板搬送用ロボットのハンド部のフォークに対して要求される耐熱性要求、剛性要求、軽量化要求を満たすと共に、長尺化要求をも満たすフォーク構造を提供する。
【解決手段】基板に薄膜処理を施す際に使用する基板を搬送するロボットのハンド部に使用されるフォーク構造において、幅方向に複数枚の板状部材１１，１２，１３を連ね、当該連ねられた複数枚の板状部材を長手方向に複数段継ないだ梁状構造物をなし、当該連ねられた複数枚の板状部材を長手方向に継ぐ位置において、基端側の複数枚の板状部材と先端側の複数枚の板状部材が互い違いに重なり合っており、当該複数の板状部材が互い違いに重なり合っている部位の少なくとも２箇所において、複数個のボルト・ナット５１ａ等による機械的な締結部品や凹凸面の嵌合によるせん断荷重伝達手段５１を設けた構成のフォーク構造とした。 （もっと読む）

【課題】 半導体プロセス用ウエハを把持した後、素早く移動させることができるエッジグリップ装置を提供する。
【解決手段】 チャックハンド１は、半導体プロセス用ウエハ３をフロントガイド１２に向かって押圧して半導体プロセス用ウエハ３を把持するプッシャー２５を有する押圧機構１４を備えている。押圧機構１４は、プッシャー支持体２２と、緩衝部材２８とを更に有している。プッシャー支持体２２は、進退できるよう構成され、前後にスライドできるようにプッシャー２５に設けられている。プッシャー支持体２２は、その前方に隙間２６ａがあいている。隙間２６ａには、反発力が小さく弾性変形可能な緩衝部材２８が介在している。プッシャー支持体２２は、前進すると、緩衝部材２８を介してプッシャー２５を押されて前方に移動させる。プッシャー２５は、半導体プロセス用ウエハ３に当たって押し付けられる。 （もっと読む）

【課題】 高温下で使用することができるロボットハンド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 ロボットハンド１は、冷媒を流通させるための貫通溝５が延在する板状部材３と、貫通溝１５を覆うように板状部材３の一方の主面３ａに配置されたＦＲＰ成形体２と、貫通溝１５を覆うように板状部材３の他方の主面３ｂに配置されたＦＲＰ成形体４と、を備えている。このロボットハンド１においては、板状部材３及びＦＲＰ成形体２，４によって冷媒が流通する流路が形成される。従って、その流路に冷媒を流通させることにより、炉に対してガラス基板を搬入及び搬出するなど、高温下で使用することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】真空チャックに求められる吸着力で、吸着面の一部に載置される被吸着物を確実に吸着する真空チャックを提供する。
【解決手段】大気圧をＰ１、真空チャック１に求められる最小吸着力をＦｍｉｎとし、到達圧力がＰｕ、排気効率がＳｅの真空ポンプ５で背面側が吸引される吸着パッド２が、吸着パッドの単位表面積と該単位表面積内に露出する貫通孔の総開口面積との比である開口率ｎと、多数の貫通孔による吸着パッド全体のコンダクタンスＣが、


を満たす。（１）式を満たす真空チャック１は、被吸着物に覆われない吸着パッド２の一部から空気漏れがあっても、Ｆｍｉｎ以上の吸着力で被吸着物を確実に吸着保持する。 （もっと読む）

【課題】搬送物や周囲の雰囲気温度が比較的低い環境下においても当該温度が高い環境下においても搬送物を確実に保持して高速搬送を図るとともに、搬送物の搬送時におけるダストをできるだけ少なくする技術を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置５０は、駆動源からの動力が伝達される複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構２０と、リンク機構２０の動作先端部において第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒを介して連結され基板１０を載置するための載置部５とを備える。載置部５の基板搬送方向下流側の部位に、リンク機構２０の動作に伴い、基板１０の側部と当接して基板１０をリンク機構２０に向かう方向へ付勢する下流側付勢機構７が設けられ、載置部５の基板搬送方向上流側の部位に、リンク機構２０の動作に伴い、基板１０の側部と当接して基板１０を基板搬送方向へ付勢する上流側付勢機構９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】生産性の低下や露光処理等への悪影響を抑制する。
【解決手段】一対の接続部材ＡＭ１１、ＡＭ１２を所定の軸周りに回転自在に接続する関節部ＪＴ１２を有する。関節部は、一対の接続部材を非接触で、所定の軸周り方向に相対的に回転自在、且つ所定の軸と直交する方向への相対移動を拘束するベアリング装置ＢＲ１２を有する。 （もっと読む）

【課題】ロボットアームを構成する部材に、高いアライメント精度を要求することなく、その動作を実現することができるロボットアーム及びこれを用いた搬送装置を提供すること。
【解決手段】ガイド機構１０は、上述のガイド軸１５と、これらガイド軸１５の動きをガイドする部材としてガイドプレート１６とを備えている。ガイドプレート１６には、ガイド軸１５が挿通されるガイド穴１７ａを形成するためのガイド穴形成部材１７が固定されている。ガイド穴１７ａは、一方向であるＸ軸方向に長い形状に形成され、ガイドプレート１６をベースとしてガイド軸１５がＸ軸方向に移動するようにそれの動きをガイドする。軸受ローラ１８の外周面１８ａと、ガイド穴形成部材１７の内側壁１７ｂとの間には隙間Ｑが設けられている。これにより、実質的に重力方向でガイド軸１５の自由度を維持でき、ガイド軸１５及び軸受ローラ１８のＹ軸方向の動きの自由度も確保される。 （もっと読む）

【課題】高剛性で耐熱性もある真空環境内に適した真空ロボットのアーム構成を提供すること。
【解決手段】内部に気密な空間を有するアームベース８と、アームベース８内に設置されたアーム駆動用モータ９と、アーム駆動用モータ９によって回転する中空の減速機シャフト３１と、減速機シャフト３１の回転が入力されて所定の比だけ減速し、減速機シャフト３１の周囲で回転する第１減速機出力軸３２と、からなり、アームベース８内に減速機シャフト３１の下端が露出するよう設置された第１減速機１０と、中空の減速機シャフト３１の上端が侵入することでアームベース８の気密な空間と同圧となる気密な空間を有し、かつ第１減速機出力軸３２に固定される第１アーム２と、第１アーム２の先端に設置され、入力軸が減速機シャフト３１と接続された第２減速機１５と、第２減速機１５の出力軸に固定され、内部に気密な空間を有しない第２アームと、第１アーム２と第２アーム５とに追従するリンク機構と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】搬送アームに付着しているコンタミを除去する基板処理装置の制御方法を提供する。
【解決手段】基板の搬送を行うための静電チャックを有する搬送アームの洗浄方法であって、前記搬送アームに帯電している異物が付着している場合において、前記搬送アームに前記基板が載置されていない状態で、前記静電チャックの電極の各々に帯電している異物の電荷の極性と同じ極性の電圧を印加する電圧印加工程を有し、前記搬送アームに付着している異物を除去することを特徴とする搬送アームの洗浄方法を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数の基板を吸着するための基板吸着ユニットおよび基板吸着アセンブリに関する。
【解決手段】本発明は、複数の基板を吸着するための基板吸着ユニットおよび基板吸着アセンブリを提供し、基板吸着アセンブリは、固定フレームと、複数の基板吸着ユニットとを含む。各基板吸着ユニットは、各基板に対応して間隔をおいて固定フレーム上に固設され、各基板吸着ユニットは、真空装置に空圧的に接続し、本体と吸着部とを含む。本体は、真空装置に空圧的に接続し、吸着部は、本体の末端に対称的に設けられ、本体を介して真空装置に空圧的に接続し、基板のいずれかを均一に吸着するために用いられる複数の吸着部材を有する。 （もっと読む）

【課題】ロボット動作を診断して不具合を回避することができ、かつ、異常部位の詳細表示やパネル上でのロボット動作の再現により、メンテナンス時間を短縮できるロボットの動作診断方法を提供する。
【解決手段】複数の駆動軸をそれぞれ駆動する複数のモーター、マニピュレータ、及びセンサを有し、駆動軸によりマニピュレータを移動させるロボットの動作診断方法において、少なくとも１つの駆動軸に対し、ロボットの診断対象とする動作パターンを設定し、ロボットの初期状態での動作パターンにおいて、複数回計測したモーターを制御する制御装置の複数の入出力信号と、センサまたはマニピュレータを制御する機器の複数の入出力信号とを判定データとし、新たに計測した判定データを診断データとし、統計的パターン認識方法により診断データが判定データに含まれるかを判別することにより、新たに計測した時のロボットの動作が正常であるか判定する。 （もっと読む）

【課題】大重量の基板を高い信頼性で搬送できる基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】本ロボットは、それぞれが基板を保持する第１及び第２基板保持部11,12を有し、さらに、第１及び第２基板保持部11,12が装着された第１及び第２アーム機構13,14を備える。第１アーム機構13は、主旋回軸を含む平面に関して互いに対称に配置された一対の第１アーム19を有し、第１アーム19のそれぞれが、その中間部にて内向きに折曲可能に構成されている。第２アーム機構14は、主旋回軸を含む平面に関して互いに対称に配置された一対の第２アーム20を有し、第２アーム10のそれぞれが、その中間部にて外向きに折曲可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】ベルヌーイチャックで基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかなものとしながら、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なって、非接触状態での基板の移載を高速度で能率よく行なえる移載装置を提供する。
【解決手段】パラレルメカニズムのハンド部に、基板を非接触状態で吸引保持するベルヌーイチャックと、基板を位置決めする複数個のガイド体とを設ける。基板を吸引する際には、吸引開始位置におけるベルヌーイチャックをハンド部で位置保持して、ガイド体が基板の外郭線の外に位置する状態にして基板を吸引保持する。吸引保持された基板を、ノズル穴から吹き出される空気流で一方向へ旋回させ、旋回変位する基板の辺部をガイド体で受け止めて位置決めする。以上により、基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかにできる。さらに、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なえる。 （もっと読む）

【課題】産業用ロボットの内部で発生する粉塵の拡散を防止する。
【解決手段】ロボットのハンドを有する作業軸３０およびその周辺から発生する塵の拡散を防止する防塵構造６０であって、蛇腹部６５と前記蛇腹部６５の両端にストレート部６６ａ，６６ｂとを有し、前記蛇腹部６５で前記作業軸３０を覆う蛇腹ホース６２と、前記ストレート部６６ａ，６６ｂが嵌合する接続部を有し、前記作業軸３０の軸線に沿って所定の間隔を空けて配置された２つのホース固定部６１，６３とを備え、前記ホース固定部６１，６３では、弾性部材６８，６９を介してクランプ材７０，７１で前記蛇腹ホース６２の前記ストレート部６６ａ，６６ｂを前記接続部に締め付けることによって固定する。前記ストレート部６６ａ，６６ｂは、前記クランプ材７０，７１による締め付けに対して浮きを低減させるため、ストレート部の円周方向に沿って複数形成された薄肉部からなる緩衝部を有している。 （もっと読む）