【課題】吸着ノズルの着脱を行うノズルアウタのガタ検出装置の提供。
【解決手段】実装機のヘッドユニットに昇降及び回動自在に設けられ、その内部に負圧供給路を有するノズルシャフト１と、ノズルシャフト１を上下動するＺ軸モータ２と、ノズル下端に上下動可能に支持したノズルアウタ４と、常にはノズルアウタ４を下方に押圧する弾性体と、ノズルアウタ４の上下動によりノズルシャフト１の負圧供給路内に出没し、ノズルシャフトの負圧経路内に挿入される吸着ノズルに形成した溝部に嵌合することにより吸着ノズルの上下動を規制する嵌合部材と、実装機の所定位置に設けられ、少なくとも前記ノズルアウタ４の下面の一部と対向する歯部を形成したノズルガタ検出部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】高剛性で作業速度も高く、動作制御も容易な作業用マニピュレータを提供する。
【解決手段】基端支持部４と手先部５との間に両端部がそれぞれ回動自在に連結された３本のリンクのうち、２本を互いに平行で同一長さに形成して第１平行リンク機構ＰＬ１を形成する第１動力伝達軸Ｌ１および第２動力伝達軸Ｌ２とし、残りの１本を、第１平行リンク機構ＰＬ１の面Ｆ０に直交する面内で、第１，第２動力伝達軸Ｌ１，Ｌ２と互いに平行で同一長さの第２平行リンク機構ＰＬ２を形成する駆動アームＡとした。 （もっと読む）

【課題】装置の省スペース化を容易に実現できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供する。
【解決手段】インデクサロボット６は、第１モータ１５の駆動により第１ボールねじ１４が回動することで、基台部８を左右方向に移動することができる。また、基板保持ハンド１１４または１２４を基板受け渡し位置Ｓまで進出させる場合には、基台部８が搬送路７と交差する方向に移動して基板受け渡し位置Ｓ寄りに位置することで、基板保持ハンド１１４または１２４の進出距離を短くすることができるので、第１ロボットアーム１１および第２ロボットアーム１２の各リンク部材の長さが大きくなるのを防ぐことができる。よって、移動範囲Ｐ１を小さくし、基板搬送装置１のフットプリントを小さくして省スペース化を容易に実現できる。 （もっと読む）

【課題】 ハンドに保持されたガラス基板の位置精度を高め、ガラス基板がマガジン等に接触して損傷するのを確実に防止する。
【解決手段】 マガジン１１に対して進退移動可能な搬送用ロボット１０のハンド２１に、ガラス基板１２を吸着保持する複数の吸着保持手段を設け、また搬送用ロボット１０の旋回台２０にガラス基板を収納方向と直交する方向に芯出し位置決めする芯出し位置決め手段５１を設け、該芯出し位置決め手段によってガラス基板を芯出し位置決めした状態で旋回台を旋回するようにした。 （もっと読む）

【課題】産業用ロボットのアーム部の剛性を確保しつつ、アームの駆動源である駆動用モータの小型化を可能とすることにより、安価な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボットのアーム部を繊維強化樹脂からなるパイプ状構造物１によって形成し、産業用ロボットの本体重量の軽量化を行うと共に、アームの駆動源である駆動用モータの小型化を図ることで産業用ロボットを安価に構成する。 （もっと読む）

【課題】 ワーク搬送システムのスケールダウンおよび装置の小型化を図ることができ、かつ、ゴミなどの付着を防止しつつワークをスムーズに受け渡しすることができるトランスファロボットを提供する。
【解決手段】 トランスファロボットＡ１は、上下方向に開放したオープンスペース４０をもつフレーム部材４と、オープンスペース４０を跨いでフレーム部材４に梁状に設けられているとともに、ワークＷの下面を支持しながら水平方向に伸縮する複数のスライドアーム機構５と、複数のスライドアーム機構５と上下方向に干渉することなくオープンスペース４０内に収まるように設けられているとともに、フレーム部材４が下降移動して所定の位置にある状態では、相対的にオープンスペース４０よりも上方に位置し、その際、ワークＷを空気圧により浮上させて保持するエアベントステージ６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】回転用モータの回転駆動力を搬送用アームに正しく伝達させるとともに回転駆動軸の回転角度を正確に検出することにより、搬送部における搬送対象物を正しい位置に搬送可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置１は、気密構造を有するハウジング６１内に、所定の同心回転軸を中心として互いに独立して回動可能に構成された第１〜第３駆動軸１ａ〜１ｃと、第１〜第３駆動軸１ａ〜１ｃの所定の部位にそれぞれ取り付けられた永久磁石３２ａ〜３２ｃと、永久磁石３２ａ〜３２ｃと対応して設けられた電磁コイル３４ａ〜３４ｃとが配設されている。電磁コイル３４ａ〜３４ｃに対し所定の情報に基づいて駆動電流を供給して第１〜第３駆動軸１ａ〜１ｃを駆動し、第１〜第３駆動軸１ａ〜１ｃに固定された第１及び第２リンケージ１２ａ、１２ｂによって搬送対象物を搬送する。 （もっと読む）