【課題】単一の撮像手段により検査対象物の複数箇所の外観検査が可能で、小型化が図れる外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１は、チャック手段１０によりチャックされたコネクタ６を撮像手段１８により撮像し、画像処理により得られた画像データに基づいてコネクタ６の良否判定を行う。外観検査装置１は、所定の軸心Ｌ回りに回動操作自在に支持された回動アーム手段１１と、回動アーム手段１１に備えられると共に、軸心Ｌ上にセットされたコネクタ６をその軸心Ｌ方向両側からチャックするチャック手段１０と、軸心Ｌと直交する撮像方向Ｍからコネクタ６を撮像する撮像手段１８と、回動アーム手段１１を撮像方向Ｍと平行な方向に沿ってスライド操作自在な電動スライダ装置１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により搬送ロボットに対して搬送対象ポイントまでのハンドの移動経路を自動的に教示することが可能な自動教示システムを提供する。
【解決手段】 自動教示システムは、第１の光学センサ７２、第２の光学センサ７４、記録手段および算出手段を実現するＣＰＵ５０を備える。第１の光学センサ７２および第２の光学センサ７４は、搬送対象ポイントに対する相対位置が予め定められるように配置される。第１の光学センサ７２は、ハンド２０の水平方向の一端部を検出可能に構成される。第２の光学センサ７４は、ハンド２０の水平方向の他端部を検出可能に構成される。ＣＰＵ５０は、第１の光学センサ７２および第２の光学センサ７４によってハンド２０の端部が検出された時におけるロボット座標系における座標値を記録するとともに、その座標値に基づいてロボット座標系における搬送対象ポイントの座標値を算出する。 （もっと読む）

【課題】アームやフォークを短くしても必要な移載ストロークを得ることができ、移載機を小型軽量で低価格にするとともに、さらに、旋回動作を必要とすることなく前後の棚にアクセスすることができ、動作時間を短縮化できる移載機を提供すること。
【解決手段】屈伸可能に連結された第１アーム１及び第２アーム２を左右に１対配設し、第１アーム１の基部をそれぞれ駆動軸３に接続するとともに、第２アーム２の先端部でフォーク４を支持し、各アーム１、２の屈伸によりフォーク４を進退するようにした移載機において、第２アーム２の先端部に第２アーム２の揺動に伴って一体に回転するギヤ５を固設するとともに、第２アーム２の内側で各ギヤ５に噛合する進退方向のラック６をフォーク４に設ける。 （もっと読む）

【課題】伸縮型移動体を構成する２つの移動部材が互いに連動して移動し、且つ一方の移動部材を他方の移動部材よりも長距離移動させるための機構を、大型化を避けながら、しかも、発塵を極力抑制できる形態にて実現する。
【解決手段】伸縮型移動体５を構成する第１の移動部材９および第２の移動部材１０に夫々第１のラック１９および第２のラック２０を設け、昇降用モータ１８の回転軸１８ａに設けられた小径側の第１のピニオン２１を第１の移動部材９の第１のラック１９に噛合させ、大径側の第２のピニオン２２を第２の移動部材１０の第２のラック２０に噛合させたので、第１の移動部材９および第２の移動部材１０を連動して、且つ第２の移動部材１０が第１の移動部材９の２倍の距離移動するように構成する。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスを容易に行えるようにする。
【解決手段】スライダ６の下端部６ａとアーム５の下端部５ａとに跨って弾性シート部材１３を取付け、スライダ６がアーム５に対して最上位位置に移動したときに弾性シート部材１３が撓むように構成した。飛散したグリス１６や金属粉１６は弾性シート部材１３の撓んだ部分１３ａに集まり、その結果、メンテナンスを行うために弾性シート部材１３を撓んだ状態で取外すことにより、弾性シート部材１３の撓んだ部分１３ａに集まったグリス１６や金属粉１６が散乱してしまうことなく、グリス１６や金属粉１６の処分を手際良く行うことができる。 （もっと読む）

【課題】収納体から被搬送物を搬出入して交換する時間を短縮させると共にロボットの動作の調整作業を容易にすることができるロボット制御装置を提供する。
【解決手段】制御部１４は、前進動作手段により、直線補間のもと、第１ハンド部材２８を所定のカセット２４に向かって前進するように直進動作させる。同時に、回避動作手段により、前進動作手段による第1ハンド部材２８の直進動作に同期させて、第２ハンド部材３０をＷ２軸２９を中心に反時計方向回りに回動させる。次に、第１ハンド部材２８にカセット２４内の半導体ウェハ２３を保持させる。次に、後退動作手段により、直線補間のもと、第１ハンド部材２８をカセット２４から後退するように直進動作させる。同時に、復帰動作手段により、後退動作手段による第1ハンド部材２８の直進動作に同期させて、第２ハンド部材３０を時計方向回りに回動させる。 （もっと読む）

【課題】センサ等を使用しなくても、電子部品に対するより小さな荷重管理を可能とし、荷重制御の高精度化を実現可能な保持手段駆動装置、その制御方法及び制御プログラムを提供する。
【解決手段】サーボモータ１８のトルク制御により、駆動部１７を介して操作ロッド１６を高速で下方駆動させ、吸着ノズルを押し下げる。そして、吸着ノズル１１で保持された電子部品３が工程処理部２ａに当接する等して停止し、電子部品３に荷重が加わると吸着ノズル１１を介して操作ロッドの１６の可動接触部１６ａが当該荷重を受け取り、バネ１６ｂにて吸収される（バネ１６ｂは収縮する）。これにより、操作ロッド１６内のロッド１６ｃの位置が下方に移動されるので、制御装置２０は、このロッド１６ｃの位置情報をエンコーダ１９にて取得することで即座にこの可動接触部１６ａを介したバネ１６ｂの収縮を検出し、サーボモータ１８のトルクを制限する。 （もっと読む）

【課題】 プーリとベルトとを用いることなく、安定した動作を行うことが可能な伸縮アームを提供する。
【解決手段】 第１腕要素(20)が、第１回転中心(10)を中心として回転可能であり、第２回転中心(11)を画定する。第２腕要素(60)が、第２回転中心を中心として回転可能であり、第３回転中心(12)を画定する。第１平行リンク機構(21)で画定される相互に平行な一対の辺の一方が第１回転中心を中心として回転可能であり、他方が第２回転中心を中心として回転可能である。第２平行リンク機構(61)が画定する相互に平行な一対の辺の一方が第２回転中心を中心として回転可能であり、他方が第３回転中心を中心として回転可能である。関節機構(40)が、第１平行リンク機構の、第１回転中心を通過するリンクの姿勢を固定した状態で、第１腕要素が第１角度だけ回転したとき、第２腕要素を第１腕要素に対して、第１腕要素とは反対向きに、第１角度の２倍の角度だけ回転させる。 （もっと読む）

【課題】ロボットの防塵防水性を高めるとともに、ロボットのアームに作業性能を低下させない緩衝機構を有する水平多関節型ロボットを提供する。
【解決手段】水平多関節型ロボットは、基台に回動可能な回転軸に固着された水平方向に延びる第１のアームと、そのアーム先端の支持軸に回動可能に連結された第２のアーム１５と、該アーム１５先端の主軸筒１５Ａに上下方向に昇降するとともに、水平方向に回転する主軸とを備える。第２のアーム１５は、剛性を有し電気回路等を配設される筐体２０と、該筐体２０を上方から側面まで覆うカバー２１を有する。カバー２１には、筐体２０が旋回して移動する方向に向いている外側面２０Ａを覆うスカート部２５が形成されている。スカート部２５は、筐体２０が物と接触する際には緩衝材となるともに、その下端から筐体２０上面の天板まで長い距離があるため防水性や対塵性も確保できる。 （もっと読む）

【課題】機械的な構成で搬送対象物を把持する場合であっても、小型化を図ることが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】ロボット１は、ハンド３、４と、ハンド３、４を保持するハンド保持アーム７を含む多関節アーム部５とを備えている。ハンド３、４は、ウエハ２に当接してウエハ２を把持する把持部４２、５２と、ウエハ２を把持する方向へ把持部４２、５２を付勢する付勢部材とを備え、ハンド保持アーム７は、多関節アーム部５の伸縮動作に伴って、ハンド３、４に対して相対回動するカム部材を備えている。カム部材の内周側には、把持部４２、５２が当接するカム面が、収納部からウエハ２を搬出する前に把持部４２、５２をウエハ２から退避させるとともに、収納部からウエハ２を搬出する際の多関節アーム部５の伸縮動作に伴って、ウエハ２を把持する方向へ把持部４２、５２を移動させるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】細胞等の微小微小対象物に対しキャピラリによるインジェクション操作を行う際に、かかる操作のための動作を確実に精度よく繰り返して行うことが可能なマニピュレータ及びマニピュレータシステムを提供する。
【解決手段】このマニピュレータは、ナノポジショナの構造を有し、キャピラリの微動動作を行うことで微小対象物に対するインジェクションが可能であって、キャピラリの動作を制御する制御部４３と、制御部に対しキャピラリの動作を指示するために操作者により操作される操作部４７，４９と、を備え、操作部が、その指示の少なくとも一部を押されることで実行するボタン操作部４７ａ，４７ｂを有し、ボタン操作部を押すことで、キャピラリによるインジェクション操作の少なくとも一部の動作が行われる。 （もっと読む）

【課題】ワークを組み付けるサイクルタイムを短縮し、ワークの組み付け精度を高められるスカラロボットを提供する。
【解決手段】第一回転軸１１を中心に回動する第一アーム２１と、この第一アーム２１の先端部２３に設けられる第二回転軸３１と、この第二回転軸３１を中心に回動する第二アーム４１とを備え、この第二アーム４１の先端部４３ハンドリング部５１が設けられ、第一アーム２１と第二アーム４１とをそれぞれ回動させることによってこのハンドリング部５１を少なくとも２次元方向に移動するスカラロボット１であって、第二アーム４１の長さＬ２を第一アーム２１の長さＬ１より短くし、第一アーム２１に凹状に窪むハンドリング凹部３５を形成し、第二アーム４１が一方に回動することによりハンドリング部５１がこのハンドリング凹部３５に収まる構成とした。 （もっと読む）

【課題】旋回径を小さくしつつ、１回の搬入動作あるいは搬出動作で複数の搬送対象物を搬送することが可能な産業用ロボットの具体的な構成を提供すること。
【解決手段】ロボット１は、複数の搬送対象物２を搭載する第１ハンド３、第２ハンド４と、第１ハンド３、第２ハンド４をそれぞれ保持する第１アーム５、第２アーム６と、第１アーム５および第２アーム６を保持する共通アーム７と、共通アーム７に対する第１アーム５、第２アーム６のそれぞれの回動中心となる第１回動中心部３１、第２回動中心部４１と、共通アーム７を保持する本体部とを備えている。第１ハンド３と第２ハンド４とはロボット１の旋回動作時に重なるように配置され、第１ハンド３および第２ハンド４には、第１回動中心部３１および第２回動中心部４１との干渉を防止するための逃げ部４３、４４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】停電等の不慮の電力トラブルが生じた場合でも、ハンド位置を検出することができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】ベルト駆動で伸縮する多関節アームを備えた基板搬送装置であって、ハンド６２の位置を検出する検出手段（ハンド位置検出装置）１２０を備え、当該検出手段は、基台６３に対して相対移動可能なロッド部材１２１と、ベルト部材の移動をロッド部材のその軸方向への移動に変換する変換機構１２２と、ロッド部材に装着された磁性ブロック１２３と、磁性ブロックの位置を検出する検出ユニット１２４を有する。本発明によれば、検出ユニットを用いた磁性ブロックの位置検出によってハンドの位置を検出することが可能となる。また、真空中におけるハンドの原点位置への復帰作業も容易となり、装置稼働時間の低下を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】ハンドの原点位置において多関節アームの姿勢を安定に保持する。
【解決手段】一端が基台６３の支持軸９１に支持され、他端が基板支持用のハンド６２に接続された多関節アーム６１と、ハンドの直線移動を案内するリニアガイド６６と、ハンドをリニアガイドのガイドレール６７ａに沿って移動させるベルト７６と、ベルトを駆動する駆動機構６８とを備え、多関節アーム６１の第１アーム７１Ａ，７１Ｂと第２アーム７２Ａ，７２Ｂがほぼ平行となるハンドの原点位置で、支持軸９１の周りへの多関節アームの回動を規制するロック機構１００を備える。ロック機構１００は、ロックバー１０１と保持アーム１０２の接触によってアームの回動規制を行う。ロックバー１０１は、ハンドがその原点位置から所定距離移動するまでの間にわたり、ベルト７６と同期して移動するとともに、保持アーム１０２との接触状態を維持する。 （もっと読む）

【課題】構成を複雑化することなく安定かつ高精度な搬送性を得ることができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る基板搬送装置は、一端が基台６３の支持軸に支持され、他端が基板支持用のハンド６２に接続された多関節アーム６１と、ハンドの直線移動を案内するリニアガイド６６と、ハンドをリニアガイドのガイドレール６７ａに沿って移動させるベルト７６と、ベルトを駆動する駆動機構６８と、ハンドとリニアガイドのスライダー６７ｂとの間を連結する連結部材８１とを備える。連結部材は、当該ハンドの進行方向に平行な第１の方向へのハンドとスライダー間の相対移動を規制し、かつ、鉛直方向に平行な第２の方向へのハンドとスライダー間の相対移動を許容する。 （もっと読む）

【課題】マニピュレータおよびそれを複数備えたパワーアシスト装置において、操作性の向上を図る。
【解決手段】パワーアシストアーム１は、動作部としての直動関節５と、回転関節６と、ハンド部８とを備えている。また、パワーアシストアーム１は、各動作部を操作する第１操作部１１および第２操作部１２と、直動関節５を駆動する直動関節駆動装置と、回転関節６を駆動する回転関節駆動装置と、ハンド部８を駆動するハンド部駆動装置とを備えている。第１操作部１１はハンド部８から離れた位置にあり、第２操作部１２はハンド部８に近接した位置に設置されている。パワーアシストアーム１は、直動関節５、回転関節６およびハンド部８の力覚を第１操作部１１に提示する直動関節力覚提示装置、回転関節力覚提示装置およびハンド部力覚提示装置を備えている。 （もっと読む）

【課題】可動爪の往復移動をガイドする際に発生する粉塵を回収し易くすることが可能なウェハ搬送用ハンドおよびウェハ搬送ロボットを提供する。
【解決手段】ウェハ搬送用ハンド２０は、表面がアルマイト処理されたアルミニウムからなるハンド本体２１を備える。ハンド本体２１の内部には、駆動部２５と、この駆動部２５により往復移動を行うように構成された連結プレート２４Ａ〜２４Ｄが設けられる。ウェハ搬送用ハンド２０は、さらにガイド部材２６Ａ、２６Ｂ、２８Ｃ、および２８Ｄを備える。ガイド部材２６Ａ、２６Ｂは、ハンド本体２１のハンド表面における可動爪２２Ａ、２２Ｂと接触しない位置に埋め込まれるように配置される。ガイド部材２６Ａ、２６Ｂは、ハンド本体２１の内部において連結プレート２４Ａ、２４Ｂの往復移動をガイドするように構成される。 （もっと読む）

【課題】基板が損傷しない基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】第一、第二の従動アームによって回転され、互いに歯合した第一、第二の規制ギアに対し、それぞれ歯合する第一、第二のピニオンギアを設け、第一、第二のピニオンギアでピニオンギア用ラックを挟む。ハンドが放射方向外側から内側に向けて移動し、ハンドが搬送室内に位置する状態では、ピニオンギア用ラックは放射方向外側に移動し、緩衝部材を介して基板を押圧し、基板をクランプする。ハンドが放射方向外側に移動し、処理室内に位置するときは、ピニオンギア用ラックは放射方向内側に移動し、クランプは解除される。搬送室内でクランプされているので高速移動が可能である。 （もっと読む）

【課題】構成部品の破損等の発生を防止することと、リンクヘッドの移動・回動動作として所望の移動・回動動作を得ることと、機構全体の小型化を図ることとを可能としたパラレルメカニズム及びこれを備えた工作機械を提供する。
【解決手段】リンクヘッド３０１の３自由度の回動及び移動の少なくとも一方の制御が可能なパラレルメカニズム３００であって、リンクヘッド３０１を駆動するための４個のアクチュエータと、これら４個のアクチュエータにそれぞれ接続される４個のリンク３５０Ａ，３５０Ｂ，３５１Ａ，３５１Ｂを含み、リンクヘッド３０１に接続されるリンク集合体３５０，３５１とを備え、これらリンク集合体３５０，３５１とリンクヘッド３０１との間に介在する回転ジョイント３５５を、リンクヘッド３０１に対して一軸線方向に可撓性を有する弾性ヒンジを有して形成された直動ジョイント３７０により接続する構成とした。 （もっと読む）