【課題】全ての駆動手段をベースに配置可能な、パラレルメカニズムを用いた手術支援マニピュレータを提供する。
【解決手段】手術器具を並進動作させるための並進用連結連鎖を８本のリンクにより構成し、並進用連結連鎖の片端を手術器具に、他端をベースに固定した並進用駆動手段によって回転する並進用駆動軸に固定することで実現する。 （もっと読む）

【課題】旋回走行時に無駄のない動きを行わせることができ、且つ障害物を乗り越えるとき、４輪を接地させて安定させる構造を取りながら、障害物の乗り越え時の直進性を向上させることを可能とする。
【解決手段】前輪車台部２９及び後輪車台部３１からなる車台フレーム１と、回転軸心が走行前後方向のベアリング・ケース３３、軸受金具３５，３７、ベアリング・ケース４１，５１に回転自在に支持され車台フレーム１に前後に渡って延設され前後部に連動ベベル・ギヤ３，５を備えた操向連動軸７と、回転軸心が上下方向のベアリング・ケース３９，４５に回転自在に支持され下部に前後横フレーム４９，５１を各別に固定支持し前記前後部の連動ベベル・ギヤ３，５に各別に噛み合う操向ベベル・ギヤ９，１１を各別に固定した前後輪操向軸１３，１５と、前輪１７，１９を回転駆動する駆動部２５，２７とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ヘッドに対して電動グリッパを取り付けたロボットにおいて、簡素な構成で、しかも簡単に電動グリッパを制御する。
【解決手段】グリッパ制御部４には共有メモリ４２が設けられており、当該共有メモリ４２に対してバスライン６を介してロボット本体制御部３がアクセス可能となっている。そして、ロボット本体制御部３がコマンドおよびＳＴＡＲＴ信号を共有メモリ４２に書き込むと、当該コマンドに基づきグリッパ制御部４がグリッパ本体２を駆動制御して当該コマンドに応じた動作が実行される。このように共有メモリ４２を介してロボット本体制御部３からグリッパ制御部４へのコマンド供給が行われてグリッパ本体２が動作する。したがって、ロボット本体制御部３がコマンドおよびＳＴＡＲＴ信号を共有メモリ４２に書き込むことでグリッパ本体２を駆動制御することができる。 （もっと読む）

【課題】アームの質量及び慣性を低減可能として、アームとしての応答性能や位置決め精度を高く維持することのできるスカラロボットの手首軸回転駆動機構を提供する。
【解決手段】手首軸１６にはそれを回転させるためのスプライン溝１６ｓが形成されている。手首軸１６の挿通されるスプラインナット２２は、固定筒２２ａと回転筒２２ｂからなり回転筒２２ｂが回転されると、スプライン溝１６ｓに嵌合されるベアリングを介して手首軸１６が回転される。回転筒２２ｂには第３モータＭ３の駆動力が回転動力の伝達機構により伝達される。すなわち第３モータＭ３からの回転動力が、基端側プーリ２３からタイミングベルト２６を介して先端側プーリ２５に伝達され、同プーリ２５に連動するピニオンギア２７に噛合されるシザーズギア２８から回転筒２２ｂに伝達される。これにより、第３モータＭ３の正逆回転により手首軸１６が正逆回転されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】複数枚の基板の一括搬送および１枚の基板の枚葉搬送の切換えに要する時間を短縮することができ、構成も簡略化できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供する。
【解決手段】搬出入機構４は、複数枚の基板Ｗを積層状態で一括して保持するバッチハンド４０と、このバッチハンド４０を進退させるバッチハンド進退機構と、１枚の基板Ｗを保持する枚葉ハンド３９と、この枚葉ハンド３９を進退させる枚葉ハンド進退機構と、バッチハンド進退機構および枚葉ハンド進退機構を保持する保持ベース４１と、保持ベース４１を上下動させる昇降ブロック４３と、前記保持ベース４１を鉛直方向に沿う旋回ブロック４２とを含む。 （もっと読む）

【課題】応答性能や位置決め精度を維持しつつ、その可動範囲を広く確保することのできる水平多関節型ロボットを提供する。
【解決手段】スカラロボットには、基台１１に第１のアーム１３の基端部を回動可能に支持する連結軸１２が設けられ、その軸心Ｃ１を中心に第１のモータＭ１により正逆回転される。第１のアーム１３の先端部には、第２のアーム１５の基端部を支持させる支持軸１４が連結されその軸心Ｃ２を中心に第２のモータＭ２により正逆回転される。第２のアーム１５には先端部に軸心Ｃ３を有する主軸１６が設けられている。第１のアーム１３は軸心Ｃ１と軸心Ｃ２とを結ぶ中心線に対して偏心しており、左側面に右側に凹むかたちの凹部１３ｄが形成され、すなわち右側に湾曲した形状に形成されている。軸心Ｃ２と軸心Ｃ３との距離は、軸心Ｃ１と軸心Ｃ２との距離よりも短いことから主軸１６が凹部１３ｄに入り込ませるかたちに配置させることができる。 （もっと読む）

【課題】ストッパ位置を変更できるものにおいて、ソフト制御上の可動制御範囲に対して物理ストッパの可動範囲を間違えて設定してしまうことを抑制できるようにする。
【解決手段】制御部９は、図示しないスイッチからアームの可動制御範囲区域についての変更要求があると、複数のアーム可動制御範囲区域の選択肢を表示部１２に表示し、図示しないタッチパネルスイッチにより１つの選択肢を選択決定する旨の入力がなされたことを認識すると、前記可動制御範囲区域を当該選択決定された選択肢の可動制御範囲区域に設定し、物理被ストッパが、該設定された可動制御範囲区域により特定される物理ストッパのストッパ配置部の近くであって且つ前記設定された可動制御範囲区域内の位置に至るように、前記アームを移動させて停止させる。 （もっと読む）

【課題】 パラレルメカニズムの動作速度を低下させることなく、エンドエフェクタの動作範囲を拡大することが可能なパラレルメカニズムを提供する。
【解決手段】 パラレルメカニズム１は、ベース部２に取り付けられた電動モータ２１に一端が接続され、他端がブラケット１４に回転可能に支持され、電動モータ２１によって回転駆動される旋回軸２０と、該旋回軸２０の他端に取り付けられ、旋回軸２０の回転運動をベース部２の取付面２aに対して垂直な方向への直線運動に変換するエンドエフェクタ駆動機構３０とを備える。エンドエフェクタ駆動機構３０は、旋回軸２０の他端に取り付けられたウォーム４１と、該ウォーム４１と噛合する一対のウォームホイール４２，４３と、該一対のウォームホイール４２，４３それぞれの軸部に連結され、ウォームホイール４２，４３の回転運動を直線運動に変換する閉リンク４４とを有する。 （もっと読む）

【課題】被成膜物の反転作業の作業効率を向上させ、被成膜物に対して効率的に成膜すること。
【解決手段】減圧状態で被成膜物Ｈを一定方向側から成膜する成膜機構２１が配置された成膜室２と、被成膜物を収容するために成膜室に隣接して連通可能に設けられた収容室３と、を備える成膜装置１に用いられる機構であって、被成膜物を把持及び把持解除する把持ハンド４３と、該把持ハンドを、収容室から成膜室までの範囲で移動可能且つ把持姿勢を反転可能に支持するハンド支持部６１と、収容室及び成膜室の外部に配置され、ハンド支持部を介して、収容室から成膜室までの範囲で把持ハンドを移動させるハンド移動部４１と、収容室及び成膜室の外部に配置され、把持ハンドの把持姿勢を反転させる反転部４４と、を備えるハンドリング機構４を提供する。 （もっと読む）

【課題】中空領域を有する被搬送物を安定して保持できる簡易な構造の搬送装置を提供すること。
【解決手段】搬送装置１は、被搬送物（巻取りコア６０８）の中空領域Ｓを保持する保持領域１１２を有し、保持領域１１２を含み、スリット状の切り欠き部１１４が形成されることにより、先端部１１１が複数に分割される保持部材１０と、保持部材１０を挿入して保持領域１１２を突出させる挿入孔３２を有し、保持部材１０を移動可能に支持する支持部材３０と、を有して構成され、保持部材１０は、中空領域Ｓに挿入した保持領域１１２が中空領域Ｓを形成する内側形状６０８５の部位に当接して撓むことで巻取りコア６０８を保持し、また、保持部材１０は、支持部材３０の挿入孔３２に保持領域１１２を移動することにより、保持領域１１２を更に撓ませることで内側形状６０８５の部位への当接を解除して巻取りコア６０８を放す。 （もっと読む）

【課題】ワーク搬送路に沿って並ぶ複数の工程エリアに夫々設けられたロボットにより、ワークに対して複数の作業工程を順に実行するものにあって、全体の小型化を図る。
【解決手段】ワークＷが搬送されるワーク搬送路１３に沿って、ワークＷに対する作業を順に行うロボット１２を備える複数個の作業ステーション１４〜１７を配置して生産システム１１を構築する。ロボット１２を、直線移動レール１８の下面側に自在に移動される移動体の下面部にベースを連結し、そのベースの下面に水平旋回アーム２１を垂直軸Ｊ１を中心に旋回するように取付け、水平旋回アーム２１の先端面に昇降体を上下動するように取付け、この昇降体の下面側に手首部を垂直軸を中心に同軸回転するように取付け、手首部にワークＷを把持するための作業用ツールを取付けて構成する。 （もっと読む）

【課題】微小マニピュレータ自体の振動を軽減することで、微小な試料を確実に操作できる微小マニピュレータ、及びそれを備えた観察装置を提供する。
【解決手段】試料３００（４００）を把持するための対向する一対のアーム７１と、アームを支持するベース部１１と、ベース部に取り付けられてアームを開閉させる開閉アクチュエータ３５とを有するマニピュレータ部１００ａと、マニピュレータ部の変位を検出する変位検出部１１０ａ１、１１０ａ２と、ベース部と外部装置２００との間に取り付けられ、マニピュレータ部を試料に対して３次元移動させる移動機構１２０と、変位検出部によって検出された変位を打ち消すように、移動機構を制御する制御部１３０とを備えた微小マニピュレータである。 （もっと読む）

【課題】ロボットによる作業を行う生産システムにあって、全体をコンパクトに配置しながら、比較的低コストで構築することを可能とし、しかも人に対する安全性を高める。
【解決手段】ロボット１２の直動軸を構成する直線移動レール１３の片側に、ロボット１２がワークＷに対する作業を行う複数個の作業ステーション１４〜１６を配置して生産システム１１を構築する。ロボット１２を、直線移動レール１３の下面側に自在に移動される移動体の下面部にベースを連結し、そのベースの下面に水平旋回アーム２１の基端部を垂直軸Ｊ１を中心に旋回するように取付け、水平旋回アーム２１の先端面に昇降体を上下動するように取付け、この昇降体の下面側に手首部を垂直軸Ｊ２を中心に同軸回転するように取付け、手首部にワークＷを把持するための作業用ツールを取付けて構成する。 （もっと読む）

【課題】同一平面内において物体の位置入れ換えを効率的に行って、複数の物体の任意位置への移動を可能とする。
【解決手段】移動機構ビーム５ａ，５ｂの交点に配されたスライダ１９ａに、回転軸７ａを介して物体搭載部１１ａを持つ入れ換え機構１３ａを連結する。移動機構ビーム６ａ，６ｂの交点に配されたスライダ１９ｂに、回転軸７ｂを介して物体搭載部１１ｂを持つ入れ換え機構１３ｂを連結する。スライダ１９ａ，１９ｂの移動により、物体１２ａ，１２ｂが移動する。入れ換え機構１３ａ，１３ｂは、凸型接続部９ａと凹型接続部９ｂの嵌合により連結可能とされている。この連結状態で、物体搭載部支持機構１０が、物体搭載部１１ａ，１１ｂを支持した状態で回転し、物体搭載部１１ａ，１１ｂ、従って物体１２ａ，１２ｂの位置入れ換えを行う。入れ換え機構１３ａ，１３ｂの干渉による影響を受けずに、物体１２ａ，１２ｂを任意位置に移動できる。 （もっと読む）

【課題】煩雑な作業を行うことなく、ピペットを正確に直線運動させること。
【解決手段】ピペット素子３４を駆動対象とするねじ軸５２と、ねじ軸５２とボールねじナット６０を介して連結された回転軸５４を回転駆動する中空モータ７０と、圧電素子９２への印加電圧に応じて回転軸５４をその軸方向に沿って微動駆動させる微動機構４４を備え、中空モータ７０の駆動に伴う回転軸５４の回転運動をボールねじナット６０を介して直線運動に変換してねじ軸５２に伝達する。中空モータ７０の粗動駆動に伴うねじ軸５２の直線運動によってピペット３４をその軸方向に沿って粗動駆動し、微動機構４４の微動駆動に伴うねじ軸５２の直線運動によってピペット３４をその軸方向に沿って微動駆動させる。 （もっと読む）

【課題】容易な位置決めとインジェクションとを同時に満たすことができるマニピュレータを提供する。
【解決手段】このマニピュレータ１は、操作試料に対してインジェクションを行なうものであって、ＸＹＺ軸方向に駆動可能であり、少なくともインジェクションを行なう軸方向の圧電素子６を駆動源とするナノポジショナ７と、圧電素子に対して信号を印加することにより圧電素子を微動動作させる制御部１０ａと、を有する。 （もっと読む）

【課題】ケーブルの耐久性を向上し、発塵の量も軽減できる、多関節ロボットアームの関節部構造と、ミニエンバイロメント装置を提供することを課題とする。
【解決手段】多関節のロボットアーム２０ｂの関節部構造を構成する第１関節軸２１ａ、第２関節軸２１ｂ、及び第３関節軸２１ｃを中空軸とする。中空部２１ａ１、２１ｂ１、及び２１ｃ１には、樹脂からなる円筒状の部材である保護部材２１３を圧入して、中空部２１ａ１、２１ｂ１、及び２１ｃ１の内周面を保護部材２１３で被覆し、ケーブル２３の通路となる配線挿通孔を形成する。このような多関節のロボットアーム２０ｂの関節部構造を具備する搬送ロボット２０を、ミニエンバイロメント装置に備える。 （もっと読む）

【課題】ウエハを所定方向に向いた回転軸を中心に旋回させかつ回転軸を中心とする径方向に往復動させることが可能なロボット部と、回転軸と直交するＸ方向へロボット部を移動させるロボット部移動手段と、を有するウエハ搬送装置において、ウエハが目標位置に搬送された時点でロボット部がウエハを移動させる径方向がＸ方向に正しく直交しているように、ウエハ搬送装置に対するティーチング作業における位置精度を高める。
【解決手段】保持部１０が保持する治具５０を径方向（Ｔ）へ移動させた前後において、治具５０の撮像手段５１で目標位置に設けられたマーク２８を撮像し、撮像画像上のマークの変位に基づいて、径方向（Ｔ）への移動に伴う治具５０のＸ方向移動量を検出し、検出されるＸ方向移動量が所定値以下となるようにロボット部１１のＸ方向位置を修正する。 （もっと読む）

【課題】複数の制御系列を有するロボットにつき、各制御系列の動作可能領域が明確に把握できるように画像を表示するロボットシミュレータを提供する。
【解決手段】ロボット５１の各制御系列，右手系，左手系につき設定される動作可能エリアの一部が重複する場合、その動作可能エリア内に障害物５６が位置すると、パソコンは、障害物５６に応じて再設定した各手系の動作可能エリアの画像をディスプレイに色分けして描画表示する。 （もっと読む）

【課題】バリの取り残しや削りすぎを防止し、かつティーチングを容易にするバリ取り工具をアーム先端に備えたロボットを提供する。
【解決手段】フローティング機構が、圧縮空気が供給された低摩擦シリンダ３によって構成され、低摩擦シリンダ３の出力シャフト１５の先端に電動工具２が支持され、通常状態で電動工具２の工具先端４の回転軸がロボットの先端軸２１と同軸になるよう構成した。 （もっと読む）