【課題】付着式ピンセットに対して好適な新規の移載システムを提供する。
【解決手段】
微細部品を付着するための粘着材、この粘着材を先端に導くための導出パイプ、この導出パイプ先端に粘着材を送り出す手段、導出パイプ先端より突出及び後退して、付着した微細部品を離脱するスライドパイプからなる付着式ピンセット１を搭載するキャリア５と、このキャリア５を水平方向に走行案内する走行レール２，３と、キャリア５を上下方向に昇降案内する昇降レール４と、キャリア５を走行及び昇降レール２，３，４に沿って駆動する手段２０，３０，４０と、スライドパイプを前進及び後退する手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】教示作業が容易であり、且つ実動作でのタクトタイムを短縮できるロボット装置を提供する。
【解決手段】ワークを保持するワーク保持部１０を有して往復運動する第１アーム１１、その第１アーム１１を連結して第１アーム１１と同じ方向に往復運動する第２アーム１２とで少なくとも構成されたアーム部２、及び、第１アーム１１の動作を第２アーム１２に優先して制御して、アーム部２を始点座標Ｐ０から所定の座標位置Ｐまで移動させる制御装置を備えたロボット装置１により、上記課題を解決した。前記の制御装置は、ロボット座標系としてＲ軸を設け、始点座標Ｐ０から所定の座標位置Ｐまでの距離ＲをＲ＝Ｒ１＋Ｒ２（Ｒ１は第１アーム１１の移動距離であり、Ｒ２は第２アーム１２の移動距離である。）の順機構解を定義し、ＲからＲ１，Ｒ２への割付を逆機構解として定義することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】可動範囲の拡大が図れる産業用ロボットの技術を提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、水平多関節ロボットとして構成されており、ベース部１０に第１関節Ｊ１を介して接続するアーム部１１と、アーム部１１に手首関節部Ｊｈを介して接続するハンド部１２とを備えている。そして、アーム部１１は、第１関節Ｊ１に接続する第１アーム１１１と、第１アーム１１１に第２関節Ｊ２を介して接続する第２アーム１１２とを有している。ここで、第２アーム１１２の長さＬ２は、第１アームの長さＬ１より大きくなっている(例えば約１.５倍)。これにより、アームを第２関節Ｊ２で折り畳んだ状態で第１関節Ｊ１による水平旋回を行う場合、その最小旋回半径の最大リーチ半径に対する比率を低減でき、ロボット１の可動範囲の拡大が図れる。 （もっと読む）

【課題】 既存のロボット本体を交換することなく、基板の搬送可能領域を大きくすることができる基板搬送ロボットのロボットハンドを提供する。
【解決手段】 ロボットハンド２０を伸縮状態とすることによって、ロボットアームの先端部の可動領域では、ウェハ２１の搬送に必要な可動領域に達しない場合であっても、ウェハ２１の搬送に必要なウェハ２１の可動領域を得ることができる。これによってロボット本体を交換することなく、搬送元位置または搬送先位置の変更可能な範囲を広げることができる。またロボットハンド２０を縮退状態とすることで、ロボットアームを構成するアーム部分が他の装置と干渉する可能性を減らすことができ、ロボットの移動における制約を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】構成部品の破損等の発生を防止することと、リンクヘッドの移動・回動動作として所望の移動・回動動作を得ることと、機構全体の小型化を図ることとを可能としたパラレルメカニズム及びこれを備えた工作機械を提供する。
【解決手段】リンクヘッド３０１の３自由度の回動及び移動の少なくとも一方の制御が可能なパラレルメカニズム３００であって、リンクヘッド３０１を駆動するための４個のアクチュエータと、これら４個のアクチュエータにそれぞれ接続される４個のリンク３５０Ａ，３５０Ｂ，３５１Ａ，３５１Ｂを含み、リンクヘッド３０１に接続されるリンク集合体３５０，３５１とを備え、これらリンク集合体３５０，３５１とリンクヘッド３０１との間に介在する回転ジョイント３５５をリンクヘッド３０１に対して一軸線方向に相対移動可能に接続する直動ジョイント３５３とした。 （もっと読む）

【課題】装置全体を複雑にすることなく微小物体を容易かつ適切に操作することができるマイクロマニピュレータを提供する。
【解決手段】マイクロマニピュレータ１は、細胞を載置するためのＸＹステージ４２と、細胞を操作するための第１操作ユニット３と、第２操作ユニット４とを備えている。第１操作ユニット３は、細胞を操作するハンドリング部３４と、ハンドリング部３４をＸ、Ｙ方向に移動させるＸＹ駆動部３１と、ＸＹ駆動部３１に支持され、ハンドリング部３４をＺ方向に移動させるＺ駆動部３３とを有している。第２操作ユニット４は、細胞を操作するハンドリング部４４と、ＸＹステージ４２をＸ、Ｙ方向に移動させるＸＹ駆動部４１と、ハンドリング部４４をＺ方向に移動させるＺ駆動部４３とを有している。第１、第２操作ユニットでハンドリング部３４、４４に対する操作機能が異なる。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて部品装着時間の短縮を図ることができる部品装着方法を提供する。
【解決手段】スプラインシャフト１３の他端部１３ｂにて空気通路２７に接続される第１ブロー装置１０６にて上記空気通路内を大気圧状態に復帰させ、上記スプラインシャフトの一端部１３ａの近傍にて上記空気通路に接続される第２ブロー装置１０７にて上記空気通路内を大気圧状態に復帰させる。これにより上記空気通路内の真空圧を大気圧に復帰させるために要する時間を従来よりも短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】 部品点数の削減により構造を簡素化するとともに、慣性を小さく抑えて起動トルクを軽減させることにより、低出力駆動源の使用によってコストを削減し、さらに、放熱面積の拡大によって摩擦熱を積極的に放熱して冷却することで耐久性を向上させることができる関節構造の駆動機構を提供する。
【解決手段】 駆動源２０の作動により、出力回転軸２１を回転させ、これに伴なって第１アーム２２を旋回させるとともに、動力伝達機構３０によって第１関節軸２３を逆方向に回転させ、かつ、第２アーム２４を第１アーム２２の逆方向に旋回させる関節構造の駆動機構において、動力伝達機構３０を、第１プーリ３２と、第２プーリ３４およびこれら第１，第２プーリ３２，３４に掛け渡されるタイミングベルト３８Ａによって構成し、第１プーリ３２は駆動源２０側に固定し、かつ、中心部に出力回転軸２１を回転自在に挿通してある。 （もっと読む）

【課題】改善されたサイクル時間を達成することができる締結工具を提供すること。
【解決手段】要素（１８）を保持するための保持装置（１６）を有する、要素（１８）を部品に締結するための締結工具（１０）が開示され、この保持装置（１６）は、保持された要素（１８）を部品に締結するために、締結用駆動装置（２０）によって締結工具ハウジング（１２）に対して締結方向（２２）に沿って移動させることができる。この工具において、締結工具ハウジング（１２）（図１）の移動の際に、保持装置（１６）を所定位置に保持するために、抑制手段（３２）が設けられる。 （もっと読む）

【課題】１台の駆動源を用いてワ−クを把持したり解放したりするだけでなく、ワ−クを把持したまま上下動させられる搬送装置を提供する。
【解決手段】軸１４が下限位置のときは、３つのア−ム３２−１，３２−２，３２−３は最大限に広がっており、３つの爪３４−１，３４−２，３４−３は、搬送装置１０の真下に位置するワ−クＷから離れている。この状態から軸１４を上昇させることによりリンクホルダ４６も上昇し、この上昇に伴って３つのリンク４２−１，４２−２，４２−３はボルト４１−１，４１−２，４１−３を中心軸にして矢印Ｄ方向に回動する。この回動によって３つのア−ム３２−１，３２−２，３２−３はリンク４２−１，４２−２，４２−３によって閉じられて、３つの爪３４−１，３４−２，３４−３がワ−クＷの外周面に接触してワ−クＷは搬送装置１０に把持されることとなる。 （もっと読む）

【課題】 駆動モータを防爆型のモータを必要とせず、しかも、モータ容量を低減化できるようにする。
【解決手段】 塗装ロボットの各軸を駆動するモータをベース部１１に集中配置し、ベース部が設置される空間と、ロボット本体が設置され塗装工程を行う作業空間との間を仕切壁２４で隔絶する。 （もっと読む）

【課題】 複雑な制御を何ら必要とせず、また、駆動軸を増やすことなく、ロボットのアーム先端のエンドエフェクタの向きを常に一定になるようにする。
【解決手段】 本発明の産業用ロボットは、最上位の位置に配置されるベース部１１と、ベース部１１から下方に垂設される水平多関節アーム１２と、水平多関節アーム１２の先端部に設けられる上下方向に移動自在な上下アーム１８と、上下アーム１８の下端部に連結されエンドエフェクタ２２を有する手首部２０と、を有し、さらにエンドエフェクタ２２の向きを水平関節アーム１２の回動に連動して一定の方向に保持する平行リンク機構を備えている。 （もっと読む）

【課題】 多関節アームを駆動するとき負荷を低減し、モータ容量の縮小化を図り、省エネルギの産業用ロボットを提供する。
【解決手段】 ロボットの各制御軸を駆動するモータが集中配置されるベース部１１を最上位の位置に配置し、ベース部１１から水平多関節アーム１２を垂設し、上下方向に移動自在な上下アーム１８を水平多関節アーム１２の先端部に設け、上下アーム１８の下端部にエンドエフェクタ２２を有する手首部２０を設ける。 （もっと読む）

【課題】アーム先端重量を軽量化してモータ容量の縮小化を図りかつモータや伝動機構のメンテナンス性を高めさらに部品コストの低減化を図る。
【解決手段】第１軸乃至第４軸駆動用モータからなるモータユニットを備えたベース部11と、第１軸を中心にベース部よりも下位にある水平面上を回動する第１アーム14と、第１アームの先端部で第２軸を中心に第１アームの下位にある水平面上を回動する第２アーム16とからなる水平アーム12と、ベース部と第１アームを連結する関節部に設けられる第１の減速機34と、第１アームと第２アームの関節部に設けられる第２の減速機35と、手首部20を上下方向に昇降させる第３軸たるボールねじ機構と、手首部を揺動させる第４軸たる揺動機構を具備する上下アーム18と、第１減速機と第２減速機の各々に同軸の多重中空軸ユニットとベルト伝動ユニットの組合せからなり、第２軸乃至第４軸の各軸に動力を伝動する伝動ユニットを具備する。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で搬送物を搬送することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】 軸方向に移動可能なロッド６ａ，６ｂ，６ｃをそれぞれ有する複数のエアシリンダ５ａ，５ｂ，５ｃと、複数のエアシリンダ５ａ，５ｂ，５ｃをそれぞれ位置決め固定するとともに位置決め固定した位置を支点として遊動可能に支持するボールジョイント３ａ，３ｂ，３ｃと、複数のエアシリンダ５ａ，５ｂ，５ｃのロッド６ａ，６ｂ，６ｃ下端がそれぞれボールジョイントで連結された連結部材７と、この連続部材７から鉛直方向に設けられた搬送ベース１２を備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】 ダブルアーム型ロボットの旋回半径を小さくする。
【解決手段】 関節部３，４，５により回転可能に連結されて回転駆動源による回転力を伝達し所望の動作をさせるアーム２を二組備えてなるダブルアーム型ロボット１において、アーム２を構成する上腕６と前腕７とを伸ばしきった伸長位置と上腕６と前腕７とを折り畳みハンドを引き込んだ縮み位置との間を移動するようになされ、アーム２を縮み位置に移動させたときに、当該アーム２に取り付けられたそれぞれのハンド部８がアーム２の基端の関節部３の間に位置し、かつ、二組の肘関節部４を二組ともにハンド部８の移動方向に関して同方向でかつ水平方向側方に突出させ、ハンド部８の移動方向に関して肘関節部４が突出する方向と反対側に移動機構１１を配置するようにしている。 （もっと読む）

【課題】基板が熱膨張・熱収縮しても、基板を吸着したまま確実に追従することができる基板吸着装置を提供する。
【解決手段】中央部に設けた凹部２１ａと凹部２１ａの底部中央から外部に通じる吸気通路２１ｂと凹部の周囲に設けたボール収納凹部２１ｃとを有するパッド座２１と、大口径円筒部２２ａと大口径円筒部２２ａに連接する小口径円筒部２２ｂから成る弾性体のパッド支持体２２と、つば２３ｂを有する円筒部２３ａから成る帽子状をした、上部周囲に周縁凸部２３ｃと中央に吸気孔２３ｄを設けた吸引パッド２３と、を有する基板吸着装置であって、ボール収納凹部２１ｃにボール２４を収納し、パッド座２１の吸気通路２１ｂ上にパッド支持体２２を立設し、大口径円筒部２２ａの上面に吸引パッド２３を載置し、吸引パッド２３の垂直方向および水平方向の移動を許容するパッド押さえ２５を設けた。 （もっと読む）

【課題】伸長状態でのアーム剛性と位置決め精度を向上することができるロボットアームを提供する。
【解決手段】第１及び第２のアーム311,321を連動させる連動部340が、一方が第２のアーム321に固定された等長の第１の連動リンク341,342と、これらに連結された等長の第２の連動リンク343,344とを有する交差リンク機構と、一方が第２の連動リンク343,344の片方に固定された等長の第３の連動リンク343,344と、一方が第１のアーム311に固定され他方が第１の連動リンク341,342のうち他方に固定された等長の第４の連動リンク347,348とを有する交差リンク機構とからなり、一方の第１の連動リンク341と一方の第４の連動リンク347とのいずれかは、第１又は第２のアーム311又は321に対し該アームの軸線から外れるよう傾けて固定されている。 （もっと読む）

【課題】停止位置精度の不正確さと搬送アームの動作遅れを低減し、高速基板搬送を可能にした搬送ロボットとその搬送方法を提供する。
【解決手段】略中央部に第１の駆動軸１４が設けられ、第１の駆動軸を回動中心にして、水平面内で回動可能に支持された第１のアーム１１と、第１のアームの略両端部に第２および第３の駆動軸９ａ，９ｂが設けられ、第２および第３の駆動軸を回動中心にして、水平面内で回動可能に支持された第２および第３のアーム６ａ，６ｂと、第２および第３のアームの略先端部を回動中心にして、水平面内で回動可能に支持されたワーク支持部３ａ，３ｂとが備えられ、第２および第３の駆動軸を回動させる第２および第３の駆動源１５ａ，１５ｂは、第２の駆動軸９ａと第１の駆動軸１４との間および第３の駆動軸９ｂと第１の駆動軸１４との間に各々設けられている （もっと読む）

【課題】より簡易に被搬送物を搬送できる搬送システムを提供する。
【解決手段】搬送システムは、搬送路に沿って配置された複数の搬送ロボット１４を備える。各搬送ロボット１４は、被搬送物１２に吸着して保持する吸着カップ３８を有している。各搬送ロボット１４は、吸着カップ３８で被搬送物を保持した状態でロボットアームを駆動し、被搬送物１２を下流側に搬送する。そして、下流側に位置する他の搬送ロボット１４に被搬送物１２を渡す。これを順次繰り返すことにより、被搬送物１２を下流方向に搬送する。 （もっと読む）