【課題】基板搬送装置、基板検査装置及び基板搬送方法において、基板との不要な接触を防ぐ。
【解決手段】ウエハ搬送装置１は、ウエハＷが載置されるウエハ載置面２ａ，３ａを有し互いに平行に設置された２本のアーム部２，３と、ウエハ載置面２ａ，３ａ（アーム部２，３）をアーム部２，３の長手方向を回動軸Ａ２，Ａ３として水平面に対し傾斜させる傾斜手段としてのバランサ（錘）４，５と、アーム支持部６と、吸引用チューブとしてのアーム側吸引用チューブ７，８と、支持部側吸引用チューブ９と、傾き検出手段としての透過型センサ１０，１１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】旋回走行時に無駄のない動きを行わせることができ、且つ障害物を乗り越えるとき、４輪を接地させて安定させる構造を取りながら、障害物の乗り越え時の直進性を向上させることを可能とする。
【解決手段】前輪車台部２９及び後輪車台部３１からなる車台フレーム１と、回転軸心が走行前後方向のベアリング・ケース３３、軸受金具３５，３７、ベアリング・ケース４１，５１に回転自在に支持され車台フレーム１に前後に渡って延設され前後部に連動ベベル・ギヤ３，５を備えた操向連動軸７と、回転軸心が上下方向のベアリング・ケース３９，４５に回転自在に支持され下部に前後横フレーム４９，５１を各別に固定支持し前記前後部の連動ベベル・ギヤ３，５に各別に噛み合う操向ベベル・ギヤ９，１１を各別に固定した前後輪操向軸１３，１５と、前輪１７，１９を回転駆動する駆動部２５，２７とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】広い可動範囲に亘ってリンクの関節トルクを補償する補償機構を容易に実現し，アーム先端位置を任意に制御できるマニピュレータを提供する。
【解決手段】基台３と、２自由度平行リンク構造からなるアーム部４とを備え、アーム部４は、基台３上の関節点に接続される２つのリンク４１、４２の各関節部に、関節点Ｏを回転軸とした回転動作に応じて回転するプーリ４１１、４２１が設けられており、各プーリ４１１、４２１は、一端がバネ４１３、４２３を介して基台３上に固定されたワイヤ４１２、４２２が、巻き取り可能に接続されており、ワイヤ４１２、４２２が巻き取られるプーリ４１１、４２１の外形状は、プーリ４１１、４２１の回転角度に応じて、バネ４１３、４２３の弾性力によってプーリ４１１、４２１に対して所定のトルクを発生させるように、非円形に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 片持ビームの重心変位による該片持ビームの上下方向の撓みの反復や揺動が発生するのを抑えて、成形品取り出し精度、つまり移動体の仕事精度の低下を回避するとともに、片持ビームの基部を片持支持部材に結合する締結手段の早期劣化を回避できる片持ビームを備えた成形品取出機を提供する。
【解決手段】 トラバース型の成形品取出機１における横行フレーム（片持ビーム）３には、該横行フレーム（片持ビーム）３に支持された移動体１８の進退に伴う横行フレーム（片持ビーム）３の重心変位を抑制する重心変位抑制ウェイトからなる重心変位抑制手段１５を設ける。 （もっと読む）

【課題】 バランスシリンダーを不要にするとともに、煩雑な減圧弁の２次圧調整および構造が複雑な２次圧調整装置の付設を不要にしたカウンターウェイトを負荷重量に作用さて停止状態を保持する簡単な構造によって、モータロックのための消費電力を０にできる昇降装置を備えた成形品取出装置を提供する。
【解決手段】 成形品取出装置に備わる昇降装置２０は、昇降機構２１によって昇降部２２と該昇降部２２と同時にワーク把持ヘッド２３を昇降させる。昇降機構２０は鉛直姿勢のリニアモータによって構成し、その可動子（可動部）２６に昇降部２３を装着するとともに、可動部２６には、該可動部２６の重量、昇降部２２の重量およびワーク把持ヘッド２３の重量のトータル重量につり合う重量のカウンターウェイト２４を負荷させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、水平方向、垂直方向、水平垂直方向に搬送可能で、ワークの搬送面を自由に変更することが可能で、ワーク搬送間にロボットの設置が不要な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】ワーク３２を搬送する産業用ロボット１において、回転軸が大地に対し略水平方向に設けられた第１アーム３と、前記第１アーム３先端部に設けられ、回転軸が前記第１アーム回転軸と同方向である第２アーム４と、前記第２アーム先端部に設けられ、アームの長手方向が前記第２アーム４の回転軸方向に固定された第３アーム５と、前記第３アーム５先端部に設けられ、直交する３軸の駆動部を持つリスト６を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】搬送物を多段に収納する収納ラックの高さを増大させることなく、収納ラックの各段の搬送物に対するフォークの意図しない当接を回避しながら搬送物の載置または取り出しを行うことが可能なロボット用ハンドを提供する。
【解決手段】このロボット用ハンド６は、先端部へ向かって上向きに傾斜して延びるように配置されるフォーク１０を備え、そのフォーク１０上に搬送物としてのガラス基板１００を載せて搬送するものであって、フォーク１０には、その基端部側の第１位置Ｐ１と、この第１位置Ｐ１よりも先端部側の第２位置Ｐ２とに移動可能な加重部材１３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】マニピュレータ装置において、オートクレーブ滅菌を可能としつつ、高帯域の力覚をフィードバックでき、安定性と応答性を向上すること。
【解決手段】マニピュレータ装置は、スレーブマニピュレータ１、マスタマニピュレータ２、制御装置３を備える。スレーブマニピュレータ１及びマスタマニピュレータ２は、ジンバル部に平行リンクを介して結合した並進軸をそれぞれに備える。制御装置３はスレーブエンコーダとマスタエンコーダの検出信号に基づいて生成した広帯域の力覚を術具１７からマスタマニピュレータ２の手元操作部２７にフィードバック制御する。 （もっと読む）

【課題】ロボットの重量をできるだけ増やさずにバランスを取るために脚付根部からバラストまでのモーメントアームを長く取るとともに、末端寄りのフレームを動かしてもバラストが振り回されることがないようにしてロボットの制御を容易なものとすることにある。
【解決手段】水平方向に延在する体を持つ歩行型ロボットである恐竜型ロボットにおいて、前記体の、左右後脚によって直接支持されるフレーム３ｂの前後端部にバランス調整用のバラスト９，１０を搭載したことを特徴とする歩行型ロボット用バランス構造である。 （もっと読む）

【課題】マニピュレータ装置で、簡便に術具を滅菌可能とし、多自由度マニピュレータにおける高帯域の力覚をフィードバックできるマスタ・スレーブ制御を可能とすること。
【解決手段】マニピュレータ装置は、スレーブマニピュレータ１、マスタマニピュレータ２、制御装置を備える。スレーブマニピュレータ１は、オートクレーブ滅菌に対応可能な術具１７と、術具駆動部１１と、ピッチ軸１２０、ヨー軸１２１、並進軸１３、ロール軸１５、直動軸等の各軸に設けたアクチュエータと、そのエンコーダとを備える。マスタマニピュレータ２は、手元操作部２７と、ピッチ軸２２０、ヨー軸２２１、並進軸２３、ロール軸２５、直動軸等の各軸に設けたアクチュエータと、そのエンコーダとを備える。制御装置はスレーブエンコーダとマスタエンコーダの検出信号に基づいて生成した広帯域の力覚を術具１７からマスタマニピュレータ２の手元操作部２７にフィードバック制御する。 （もっと読む）

【課題】大きな駆動力を有するモータや大型のブレーキが不要とする上下方向駆動型の単軸ロボットを提供する。
【解決手段】上下方向に延びるケース部材に、軸方向に移動可能に取り付けられた可動部材３を有する単軸ロボットにおいて、回転可能なプーリ４３をケース部材の上端に設け、一端側に前記可動部材が取り付けられるとともに他端側にバランスウエイト４１を取り付けられたベルト部材４２を前記プーリに架け渡すことによって、前記可動部材と前記バランスウエイトとがプーリを介して移動可能に構成する。 （もっと読む）

【課題】 容器内での部品間のブリッジ現象の発生を防止するとともに容器内の部品数が少なくなっても適量の部品を取り出すことが可能であり、且つ作業性に優れる金属部品取出装置並びに金属部品取出方法を提供すること。
【解決手段】 上端に開口部を備える一端有底円筒状の容器を回転させるとともに支持する回転基台と、前記開口部を介して前記容器内外へ上下に電磁石を移動させる上下移動機構と、前記電磁石を水平に移動させる水平移動機構からなる金属部品取出装置であって、前記水平移動機構の第１位置において、前記上下移動機構は、前記容器内部に収容された金属部品を取り出すために前記電磁石を上下に移動させ、該電磁石の上下移動が、前記回転基台の回転中心から離れた前記容器の内壁近傍で行われることを特徴とする金属部品取出装置である。 （もっと読む）

【課題】 荷物の傾きを補正可能な荷受装置及び運搬機械を得る。
【解決手段】 運搬機械本体のツール支持部に取り付けられる基体２１と、基体２１に水平軸Ｊ６まわりに傾動可能に取り付けられ、荷物を支持する荷受体２２とを備え、移動体３２及び案内体３３からなる一対の直動案内３１，３１を、水平軸Ｊ６から離れた位置で、移動体３２の移動方向における互いの間隔が連続的に変化するように、一方を他方に対して傾斜させた状態で基体２１及び荷受体２２にそれぞれ取り付け、該一対の移動体３２，３２間を連結体３４，３５で連結し、該連結体に取り付けられたナット３６に係合するねじ軸３７を駆動装置Ｍ５により回動させて、連結体３４，３５を案内体３３，３３に沿って移動させることにより、荷受体２２を水平軸Ｊ６まわりに傾動させ、荷受体２２に支持された荷物を略水平に支持する。 （もっと読む）

少なくとも５自由度を有する遠隔制御型ロボットと、遠隔会議機能とを含むロボット・システム。本ロボットは、すべてロボット・ハウジングに取り付けられたカメラ、モニタ、ホロノーム・プラットフォームを含む。本ロボットは、やはりカメラとモニタを有する遠隔制御ステーションによって制御することができる。遠隔制御ステーションは、ロボットに無線で結合される基地局にリンクしている。カメラとモニタによって、遠隔場所の介護提供者が、ロボットを介して患者を監視および介護することができる。ホロノーム・プラットフォームが３自由度を提供し、ロボットが、患者を突き止める、かつ／または患者に従うために家庭または施設内を移動して回ることができる。本ロボットはまた、カメラに少なくとも２自由度を提供するための機構を有する。
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【課題】 静的バランスのくずれを、チューニング等の煩雑な分解作業を行うことなく、外部からの簡単な操作で調整して修正することのできる脚式歩行ロボット、並びに脚式歩行ロボットの静的バランス制御方法をを提供する。
【解決手段】 ロボット外表面を覆う柔軟なウェア４に、流体を充填することが可能な多数の密室空洞部５を設けて、選択した密室空洞部に充填する流体の量を加減することによりロボットの静的バランスを制御するようにした脚式歩行ロボット並びにその静的バランス制御方法の構成。 （もっと読む）

【課題】先行技術における欠点を持たない、あるいは少なくともそれらの欠点がより少ない、高速で操作可能な、物体を操作するための、特に電子部品を操作するためのデバイスおよび方法を提供する。
【解決手段】本発明は、物体を操作するための、特に電子部品を操作するためのデバイスに関する。このデバイスは、ロッド機構（１、２０、４０、５０、６０、８０）、二つの独立したアクチュエータ（４、５、２３、２４、４３、８１）、そして動的な反力および／あるいは反作用モーメントを補正するための平衡機構（５３、５４、６３から６６、８６）からなる。本発明は、また、そのようなデバイスを使用して、物体を操作する、特に電子部品を操作するための方法に関する。 （もっと読む）

【課題】圧入装置が取り付けられたロボットハンドやマニピュレータなどに圧入時の過度な圧入反力を伝達させることのない圧入装置および圧入方法を提供する。
【解決手段】圧入装置１は、位置決め手段に取り付けられる取り付け部材と、被圧入ワークの一部に係合しながら圧入時の反力を取る係合手段と、ピンＰを圧入する圧入手段と、圧入手段の先端に直接または間接的に装着される部品保持手段とから構成されていて、圧入手段は取り付け部材にばね６などを介してフローティング接続されており、係合手段は圧入手段に固着された構成となっている。圧入孔Ｗ２のエッジからピンＰが偏心荷重Ｘを受けた場合には、圧入手段が取り付け部材に対して相対的に揺動することができる。 （もっと読む）