【課題】 フォークが長くても、これを太くすることなく、フォークの先端の垂れ下がりを補正して搬送物を容易、迅速かつ的確に搬送することのできる産業用ロボットを提供する。
【解決手段】 フォーク１６は、ボルト１７によりハンド１５に着脱可能に取り付けられている。ハンド１５には、フォーク１６の下面に当接してフォーク１６の先端側を押し上げるようにシム２１とシム押さえ２２とからなるフォーク先端位置調整手段２０が取り付けられている。このシム２１は、予め種々の厚さのものが用意され、フォーク１６の先端が元端とほぼ同じ高さとなる厚さのものが選択されて使用される。 （もっと読む）

基板搬送用ロボットの為のエンドエフェクタ・アセンブリが全般的に提供される。一実施形態において、基板搬送中、四辺形基板を支持する為のエンドエフェクタ・アセンブリは、第１端部で配置された内縁部支持体と、末端部で配置された第１外縁部支持体と、を有するエンドエフェクタを含む。エンドエフェクタの第１端部は、ロボットリンク機構に結合するように適合されている。第１内縁部支持体は、第１外縁部支持体に平行となるように向けられ、第１外縁部支持体の面に対面する面を有する。縁部支持体の、この構成は、エンドエフェクタに対し基板を捕捉し、それにより、搬送中の基板の滑りを最小限にする。他の実施形態において、内縁部支持体と外縁部支持体との間が開放された、基板の端部に沿って基板の捕捉を更に高める側方ガイドが利用されてもよい。
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【課題】ウエハの擦れによる塵の発生が抑えられたウエハ搬送装置を提供する。
【解決手段】ウエハ搬送アーム１１０は、アーム本体１３０と、アーム本体１３０の先端部に設けられた二つの固定爪１４０と、アーム本体１３０に対して±Ｘ方向に移動可能な一つの可動爪１６０と、ウエハ１０の外周縁を光学的に検出するための二つのセンサー１５０とを備えている。二つのセンサー１５０は搬送基準軸を挟んでウエハ１０のノッチ１２の幅より広い間隔を置いて配置されている。固定爪１４０はウエハ１０を把持して心出しするためのウエハ心出し把持面１４２とを有し、可動爪１６０はウエハ１０を把持して心出しするためのウエハ心出し把持面１６２とを有している。ウエハ心出し把持面１４２とウエハ心出し把持面１６２の幅はいずれもウエハ１０のノッチ１２の幅よりも広い。 （もっと読む）

【課題】 ハンドに保持した基板のずれを精度よく検出する基板検出装置を提供する。
【解決手段】 保持領域に配置されたウェハ２１の縁部５０の厚み方向一方Ｚ１に投光部４３が配置され、ウェハ２１の縁部５０の厚み方向他方Ｚ２に回帰反射型リフレクタ４７が配置される。また投光部４３から投光される光が、第１光軸５１に沿って進む。ウェハ２１がずれて縁部の位置が変位した場合に受光部４４の受光状態が変化する。第１光軸５１がウェハ２１の厚み方向表面に対して略垂直に延びることによって、第１光軸５１がウェハ２１の厚み方向表面に略平行に延びる場合に比べて、保持領域に対するウェハ２１のずれが小さい場合であっても、判定手段４８は、ウェハ２１が保持領域に配置されたか否か、すなわちウェハ２１のずれを精度よく検出することができる。 （もっと読む）

【課題】基板を安定して移送することができ、基板の収納状態も感知することができる 基板移送装置を提供すること。
【解決手段】基板移送装置はハンド１３０ａ、１３０ｂがピックアップ位置から溝の位置に戻った時、ハンド１３０ａ、１３０ｂのポケット部１３２に配置された基板Ｗを把持する把持部材１４０を含む。この把持部材１４０は基板Ｗのエッジと面接触する湾曲部１４４ａを有し、そして少なくとも一つのハンド１３０ａ、１３０ｂの移動方向と同一の方向に移動可能に前記ベース上に設けられるプッシャー１４４及びプッシャー１４４が基板Ｗのエッジを側方に押すように弾性力を加える弾性体１４６を含み得る。 （もっと読む）

【課題】 ワーク搬送システムのスケールダウンおよび装置の小型化を図ることができ、かつ、ゴミなどの付着を防止しつつワークをスムーズに受け渡しすることができるトランスファロボットを提供する。
【解決手段】 トランスファロボットＡ１は、上下方向に開放したオープンスペース４０をもつフレーム部材４と、オープンスペース４０を跨いでフレーム部材４に梁状に設けられているとともに、ワークＷの下面を支持しながら水平方向に伸縮する複数のスライドアーム機構５と、複数のスライドアーム機構５と上下方向に干渉することなくオープンスペース４０内に収まるように設けられているとともに、フレーム部材４が下降移動して所定の位置にある状態では、相対的にオープンスペース４０よりも上方に位置し、その際、ワークＷを空気圧により浮上させて保持するエアベントステージ６とを備えている。 （もっと読む）