【課題】 簡易な方法で物品に打痕などを生じさせず、均一かつ効率的な積付けを可能とする物品移載用ロボット装置を提供する。
【解決手段】物品受渡ステーション３において、物品供給手段４から受取った物品Ｗを、所定の積込み容器に積付ける物品移載用ロボット装置２であって、ロボットベース部２０と、ロボットベース部２０に回動自在に連結された多関節ロボットアーム部２１と、ロボットアーム部２１の先端に回動自在に連結されたロボットハンド部２３とを含み、ロボットハンド部２３は、バケット保持部８と、物品を収容するためのバケット部９からなり、バケット部９は、バケット保持部８に対して傾動可能に保持され、かつ角度調整駆動部１２によって傾き角度の調整が可能とされる。 （もっと読む）

【課題】本発明はメンテナンスが容易な多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部８と、前記ハンド部８と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節３、４、５を備え、前記ハンド部８を１方向に移動するように伸縮し、上下方向に対向するように配置された多関節アーム２１、２２と、上下に移動するようにコラム１２に取り付けられた上下方向に移動する移動機構１１と前記多関節アーム２１、２２とを連結する支持部材１０と、前記コラム１２の下端部に連結され、前記コラム１２に取り付けられた前記多関節アーム２１、２２を旋回する台座１３とからなる多関節ロボットにおいて、前記台座１３を旋回させる減速機３７の出力軸３９の固定面が前記台座１３を支持する前記軸受４２の厚みの略中心に位置するものである。 （もっと読む）

【課題】搬送対象物を支持すると共に設置台に対して旋回可能に設置される支持手段を備える搬送装置の軽量化を図る。
【解決手段】搬送対象物を支持すると共に設置台１に対して旋回可能に設置される支持手段２を備える搬送装置であって、前記設置台１と前記支持手段２とのうち一方に固定される環状のガイド部３１と、前記設置台１と前記支持手段２のうち他方に固定されると共に前記ガイド部３１に沿って移動可能な複数のブロック部３２とを有し、前記支持手段２を前記設置台１に対して旋回可能に支持する旋回支持手段３を備える。 （もっと読む）

【課題】基板の搬送時間を十分に短縮できる基板処理装置およびその方法ならびに基板搬送装置を提供する。
【解決手段】インデクサブロックおよび処理ブロックからなる基板処理装置において、インデクサブロックと処理ブロックとの間で、基板ＷがインデクサロボットＩＲにより搬送される。インデクサロボットＩＲは上下に並ぶように設けられた複数のハンド要素２６０を備える。ハンド要素２６０間の距離は、インデクサブロックに搬入される基板Ｗが収納されたキャリアの基板収納溝間の距離と等しい。また、インデクサブロックおよび処理ブロック間に設けられる基板載置部ＰＡＳＳ２の上下に隣接する支持板５１ａ間（および支持板５２ａ間）の距離は、ハンド要素２６０間の距離の２倍である。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成によって、受光部に対する他の投光部からの干渉を防ぐことができる投光部および受光部の複数対からなる光学的検出手段を備えたロボットハンド装置を提供する。
【解決手段】 ハンド基体１１と、ハンド基体１１に上下に等間隔で取付けられた複数のハンド１２と、各ハンド１２上のワーク６の有無を検出する光学的検出手段１８とを含む。ハンド１２にワーク６を載せて目的位置に移送するためのワークの移載装置１であって、光学的検出手段１８は、各ハンド１２に対応して対を成す投光部１９〜２３および受光部２４〜２８の複数対から成り、各投光部１９〜２３および受光部２４〜２８の対は、ハンド基体１１に、各ハンド１２の幅方向両側に対向関係で配置され、投光部１９〜２３および受光部２４〜２８は上下に交互に配置され、かつ、各投光部１９〜２３と対向関係にある受光部２４〜２８と、それに隣接する他の受光部とは、幅方向に直交する方向に互いにずれた位置関係で配置される。 （もっと読む）

【課題】同一平面内において物体の位置入れ換えを効率的に行って、複数の物体の任意位置への移動を可能とする。
【解決手段】移動機構ビーム５ａ，５ｂの交点に配されたスライダ１９ａに、回転軸７ａを介して物体搭載部１１ａを持つ入れ換え機構１３ａを連結する。移動機構ビーム６ａ，６ｂの交点に配されたスライダ１９ｂに、回転軸７ｂを介して物体搭載部１１ｂを持つ入れ換え機構１３ｂを連結する。スライダ１９ａ，１９ｂの移動により、物体１２ａ，１２ｂが移動する。入れ換え機構１３ａ，１３ｂは、凸型接続部９ａと凹型接続部９ｂの嵌合により連結可能とされている。この連結状態で、物体搭載部支持機構１０が、物体搭載部１１ａ，１１ｂを支持した状態で回転し、物体搭載部１１ａ，１１ｂ、従って物体１２ａ，１２ｂの位置入れ換えを行う。入れ換え機構１３ａ，１３ｂの干渉による影響を受けずに、物体１２ａ，１２ｂを任意位置に移動できる。 （もっと読む）

【課題】ハンドに保持された基板の平面の法線方向において、これを直接的に相手側の基板保持機構と授受できるようにする基板搬送装置用のハンドを提供すること。
【解決手段】ハンド１を、基部となるハンドベース４と、ハンドベース４に重なるように配置され、基板２を支持する揺動ハンド３と、ハンドベース４と揺動ハンド３との間にあって、揺動ハンド３をハンドベース４に対して傾斜及び平行移動可能に支持する揺動機構５と、から構成した。 （もっと読む）

【課題】 剛性の低下を抑えて吸着力を向上させることによって、半導体ウエハ等の基板を確実に吸着して搬送できる真空ピンセットおよびこれを用いた基板搬送装置ならびに基板処理装置を提供する。
【解決手段】 先端側が二股に分岐した板状体７と、板状体７の先端部および分岐部の各表面の少なくとも３カ所に設けられた、気体を吸引して基板８を吸着するための吸着部３と、分岐部の吸着部３と他の吸着部３とをつなぐ吸引路４と、分岐部の吸着部３と吸引路４を介してつながって気体を吸引するための吸引部５とを備えてなる真空ピンセットにおいて、分岐部の吸着部３と吸引部５とをつなぐ吸引路４の断面積が、分岐部の吸着部３側よりも吸引部５側の方で大きい真空ピンセット１である。吸引に掛かる抵抗が小さくなり、吸引路４の容積が大きくなることから、吸着力が向上し基板８を確実に吸着することができる。 （もっと読む）

【課題】軽量で、高剛性なロボットハンド用フォークを提供すること。
【解決手段】中空構造の棒状部材を有し、前記棒状部材は長手方向に対する側壁面に１または複数の開口部を持つロボットハンド用フォークであって、前記開口部の周囲に補強構造体を設けることにより、開口部周囲の変形を抑え、高剛性を実現するロボットハンド用フォークを得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ピッチ系炭素繊維の振動減衰性をさらに向上した搬送用部材を提供する。
【解決手段】高弾性率ピッチ系炭素繊維強化樹脂複合材料（ＣＦＲＰ）層及び該ＣＦＲＰ層を構成するマトリックス樹脂よりも低い引張弾性率を有する柔軟性樹脂層で構成されたＣＦＲＰ製搬送用部材であり、特にピッチ系ＣＦＲＰ層間に前記柔軟性樹脂層が介挿された構造を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熱などの諸要因によって被保持面が変形した被保持体を、より確実に保持した状態で搬送することができる搬送装置、および搬送方法を提供すること。
【解決手段】被保持物の被保持面に対して保持面を当接させて前記被保持物を保持した状態で搬送する搬送アームＡにおいて、該搬送アームＡに、ウエハ吸着孔６が設けられたウエハ支持部２を設けるとともに、該ウエハ支持部２をウエハ支持部２の基端部２ａを中心に所定の幅だけ回動自在に構成した。 （もっと読む）

【課題】 基板を支持する支持部材を有する基板保持具がシステム構成部材と接触した場合でも、支持部材の損傷を極力回避できるようにする。
【解決手段】 基板保持具であるフォーク１０１は、スライダ１２７に固定されたピックベース１１７と、該ピックベース１１７に連結された支持部材として例えば４本の支持ピック１１９を備えている。支持ピック１１９は、中空の角筒状をなす本体１３１と本体１３１の先端に着脱自在に装着された保護部材としてのキャップ１３３とを有している。 （もっと読む）

【課題】ウエハ搬送用のハンドが１８０°回転する構成のウエハ搬送装置において、ハンドに設けられたウエハ検出用のセンサ部の検出情報を本体側に支障なく伝達することを可能にする。
【解決手段】ウエハ搬送装置１１は、本体１３に対して回動軸２１を介してハンド１４が回動可能に支持され、ハンド１４には第１光ファイバ及び第２光ファイバが、その第１端部が本体１３と対向する位置で、かつ回動軸２１に対して対称位置に配置され、第２端部が載置部１９に載置されたウエハに光を出射及び反射光を受光可能に設けられている。本体１３には、ハンド１４が第１状態又は第２状態に配置された状態において、前記両光ファイバの第１端部の端面と対向する位置に投光部３０及び受光部３１が配置されている。ウエハの検出手段は、受光部３１の受光量に基づいてウエハの検出を行う。 （もっと読む）

【課題】搬送物を多段に収納する収納ラックの高さを増大させることなく、収納ラックの各段の搬送物に対するフォークの意図しない当接を回避しながら搬送物の載置または取り出しを行うことが可能なロボット用ハンドを提供する。
【解決手段】このロボット用ハンド６は、先端部へ向かって上向きに傾斜して延びるように配置されるフォーク１０を備え、そのフォーク１０上に搬送物としてのガラス基板１００を載せて搬送するものであって、フォーク１０には、その基端部側の第１位置Ｐ１と、この第１位置Ｐ１よりも先端部側の第２位置Ｐ２とに移動可能な加重部材１３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板を搬送する間や基板の位置合わせを行う間にその基板の温度調整を行うこと。
【解決手段】基板の裏面に対向する基板保持面を備えた基板保持部と、各々基板の裏面を支持し、基板との摩擦力によって当該基板の前記基板保持面に対する横滑りを防止する凸部と、前記基板保持面に開口し、基板の裏面に向けてガスを吐出するガス吐出口と、その一端が前記ガス吐出口に接続されたガス流路を流通するガスを温度調整する温度調整部と、を備え、基板の裏面に吐出された前記ガスは基板保持面と基板との隙間を流れ、その隙間の圧力が低下するベルヌーイ効果により、当該基板が基板保持部へ向けて吸引されることにより基板を保持するように基板保持装置を構成する。この基板保持装置は基板搬送手段や基板位置合わせ手段にも適用することができる。 （もっと読む）

【課題】エンドエフェクタを含む基板移送ロボットを提供すること。
【解決手段】前記エンドエフェクタは、リストプレートと、垂直方向に移動自在に前記リストプレートに連結され、第１基板を支持するための第１ブレードと、前記第１ブレードと隣接するように前記リストプレートに連結され、第２基板を支持するための第２ブレードと、を含む。昇降ユニットは、前記第１基板が前記第１ブレードによって支持されるように前記第１ブレードを上方に移動させ、前記第２基板が前記第２ブレードによって支持されるよう前記第１ブレードを下方に移動させる。 （もっと読む）

一体化されたロボット機構は、搬送機器を改善し、対象物移動を、アライメント又は識別等の別の機能と一体化するために開示されている。開示された一体化されたロボットアセンブリは、複数の加工物を移動させるための多重エンドエフェクタと、１つの加工物を移動させるための単一エンドエフェクタと、アライメント能力を提供するためのロボットボディに組み込まれた回転チャックと、搬送中に対象物を識別するための選択的な識別サブシステムとを有することができる。本発明のロボットアセンブリは、ソータ又はストッカ機器において、処理機器において、及び受渡しシステムにおいて使用されることができる。 （もっと読む）

【課題】複数枚の基板を一台のハンドに乗せて正確な位置に搬送する。
【解決手段】ハンドに設けられた第一、第二の載置部１５ａ，１５ｂと、第一、第二の台座９ａ，９ｂとの間の距離が異なるように高さを違えておき、搬送室内から処理室内に基板１６ａ，１６ｂを第一、第二の台座９ａ，９ｂ上に配置する際に、先ず、距離が近い方の第一の載置部１５ａと第一の台座９ａとを位置合わせし、第一、第二の載置部１５ａ，１５ｂを降下させ、近い方の第一の台座９ａ上に基板１６ａを載置し、第一の載置部１５ａを基板１６ａの裏面から離間させた状態で、他方の第二の載置部１５ｂと第二の台座９ｂを位置合わせし、基板１６ｂを配置する。基板１６ａ，１６ｂを一枚ずつ位置合わせして配置することができる。 （もっと読む）

【課題】旋回径を小さくしつつ、１回の搬入動作あるいは搬出動作で複数の搬送対象物を搬送することが可能な産業用ロボットの具体的な構成を提供すること。
【解決手段】ロボット１は、複数の搬送対象物２を搭載する第１ハンド３、第２ハンド４と、第１ハンド３、第２ハンド４をそれぞれ保持する第１アーム５、第２アーム６と、第１アーム５および第２アーム６を保持する共通アーム７と、共通アーム７に対する第１アーム５、第２アーム６のそれぞれの回動中心となる第１回動中心部３１、第２回動中心部４１と、共通アーム７を保持する本体部とを備えている。第１ハンド３と第２ハンド４とはロボット１の旋回動作時に重なるように配置され、第１ハンド３および第２ハンド４には、第１回動中心部３１および第２回動中心部４１との干渉を防止するための逃げ部４３、４４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】構成を複雑化することなく安定かつ高精度な搬送性を得ることができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る基板搬送装置は、一端が基台６３の支持軸に支持され、他端が基板支持用のハンド６２に接続された多関節アーム６１と、ハンドの直線移動を案内するリニアガイド６６と、ハンドをリニアガイドのガイドレール６７ａに沿って移動させるベルト７６と、ベルトを駆動する駆動機構６８と、ハンドとリニアガイドのスライダー６７ｂとの間を連結する連結部材８１とを備える。連結部材は、当該ハンドの進行方向に平行な第１の方向へのハンドとスライダー間の相対移動を規制し、かつ、鉛直方向に平行な第２の方向へのハンドとスライダー間の相対移動を許容する。 （もっと読む）