【課題】基板の位置決めの際に、基板に生じる傷を軽減できる基板移載ロボットを提供すること。
【解決手段】基板が載置されるハンドユニットと、前記ハンドユニット上に載置された前記基板の位置決めを行なう位置決め手段と、を備えた基板移載ロボットにおいて、前記ハンドユニットが、ハンド本体部と、前記ハンド本体部から上方へ突出し、前記基板が載置される複数の載置部材と、を備え、各々の前記載置部材は、その上端において回転自在に支持されて自由回転する回転体を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウエハ保持ボートにおける任意の保持板との間で基板のやり取りを可能としつつ，保持板のピッチを従来以上に狭くする。
【解決手段】基板移載装置３００は，旋回及び昇降可能に構成された基台３１０と，基台に進退可能に設けられ，ウエハを載せて搬送するための搬送フォーク部３２２を有する第１アーム３２０と，基台に進退可能に設けられ，起倒可能な基板持ち上げ機構３４０を設けた持ち上げフォーク部３３２を有する第２アーム３３０とを備える。 （もっと読む）

本発明は、リスト・アセンブリ１００の為の方法、装置、システムを提供する。リスト・アセンブリ１００は、キャップ１０４と底部１１２を有するハウジングと、上記ハウジングに少なくとも一部が内包され、ロボット・アームに結合されるように適合された少なくとも１つのピボットと、上記ピボットに結合され、ベアリングの周りに上記ピボットを回転させるように適合されたベルトとを含む。上記ハウジングの底部は、少なくとも１つのピボットとベアリングから離して熱を反射するように適合されている。
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【課題】 正確な直線移動行程を実現しつつ、構造の簡略化を図ることができる直線移動機構、およびこれを用いた搬送ロボット、さらには真空環境下での使用に適した当該搬送ロボットを提供する。
【解決手段】 本発明に係る直線移動機構Ｂ１は、ガイド部材１と、このガイド部材１上に設定された水平直線状の移動行程ＧＬに沿って移動可能な２つの移動部材と、駆動プーリ３１ｂ、およびこの駆動プーリ３１ｂに掛け回されて移動行程ＧＬの平行線に沿う所定の往復動区間３Ａａ，３Ｂｂを往復動する出力ベルト３３を含んで構成された駆動機構３Ａ，３Ｂと、駆動プーリ３１ｂを駆動するためのモータＭ３，Ｍ４とを備え、移動部材は、連結部材２４ａ，２４ｂによって駆動機構３Ａ，３Ｂの出力ベルト３３にそれぞれ連結されており、駆動機構３Ａ，３ＢおよびモータＭ３，Ｍ４は、それぞれガイド部材１に支持されている。 （もっと読む）

【課題】 容器にローディングされた複数の基板を選択的にアンローディングできる基板移送装置及び方法を提供する。
【解決手段】容器内から複数の基板を引き出して移送する基板移送装置は、移送の時に複数の基板が各々載置される複數のブレードと、各々のブレード４２０ａの一端に設置され、容器から基板を引き出す時、ブレード４２０ａの上部に突出される引出部材５００ａと、各々のブレード４２０ａから各々の引出部材５００ａを選択的に突出させる駆動ユニット６００とを含む。引出部材５００ａは、中空形であり、ブレード４２０ａの一端に形成された締結孔４２４ａで上下移動するように設置される。引出部材５００ａは、上部が閉塞された形状を有する。 （もっと読む）

【課題】薄化したウェーハを損傷することなく保持することができるとともに、リング状の補強部を残したウェーハであっても搬送することができるウェーハの保持構造を提供する。
【解決手段】ウエーハハンド１２０は、ハンドピック１２２が先端部１２２ａを外向きにされた状態でウエーハ１の直上に移動し、さらにハンドピック１２２の下面がウエーハ１の下面よりも下に位置するまで下降する。次いで、ハンドシャフト１２４が回転することによってギヤプレート１２３が回転し、これに連動して各ピックシャフト１２５とともにハンドピック１２２が約１８０°回転し、ハンドピック１２２の先端部１２２ａがウエーハ１の下面に入り込む。この状態を保持してウエーハハンド１２０を上昇させウエーハ１を持ち上げる。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、基板に反りや歪があっても、その基板にストレスを与えることなくそのままの状態で搬送できる基板搬送装置およびそれを用いた基板搬送方法を提供することである。
【解決手段】本発明の搬送装置１は、それぞれに３個ずつの吸着孔４ａ〜４ｃ，４ｄ〜４ｆを有し、ウェーハＷを表裏両面から吸着挟持する上下のフォーク２，３と、上下のフォーク２，３を開閉動作させ、ウェーハＷを挟み込んだり、開放したりする駆動部１３ａ，１３ｂと、吸着孔４ａ〜４ｃ，４ｄ〜４ｆの吸着圧力を一つ一つ個別に検知する圧力センサ６ａ〜６ｆと、その検知結果に基づいて、上下のフォーク２，３の開閉動作を制御する制御部１１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】半導体移送装備を提供すること。
【解決手段】半導体移送装備において、ウエハ移送ロボット１０００は、フレーム内に装着され、所定の昇降軸に沿って上下移動する昇降部材を含むロボットボディー１００と、駆動リンクと複数の被動リンクとからなり、駆動リンクは昇降部材に装着され、被動リンクの末端部はロードポートが装着されたフレーム面に沿って水平方向に線形移動する関節アーム２００と、被動リンクの末端部に装着され、垂直の回転軸を中心に回転するスイングユニット３００と、スイングユニットに装着されるベース、ベースに装着されて水平方向に直線往復運動する複数のスライディングユニット、およびウエハカセットからウエハを引き出し、収納するウエハハンドを含む直交アーム４００とを備える。 （もっと読む）

【課題】
自重による基板の撓みがあっても基板収納カセットの基板の収納可能枚数を減少させる必要がないと共に、簡単な構造で低コストで製造できる基板搬送ロボット用ハンドを提供する。
【解決手段】
基板収納カセット中に所定間隔で配置された複数枚の基板Ｓを取り出したり収納したりする基板搬送ロボット１０に使用されるハンド２０で、ハンド２０の前記カセットへの挿入方向に直交する方向に湾曲または屈曲せしめられた板状部材２１と、板状部材２１をその基端部でロボット１０のアーム１３に装着するための固定部材１４及び１５とを備える。板状部材２１の湾曲・屈曲の向きは、前記カセット中に配置された基板Ｓの撓みの向きと一致し、その湾曲・屈曲の度合いは基板Ｓの自重による撓みにほぼ等しいか、基板Ｓの自重による撓みよりも大きく且つ板状部材２１の全厚が前記カセットの基板Ｓの配置ピッチを越えないように設定される。 （もっと読む）

【課題】大きなコストアップを招くことなく、簡易な構成で部品のピックアップ作業を行えるようにする。
【解決手段】ロボット１のアーム１１の先端部にホーキマニピュレータ１３と、チリトリトレイ３３を取り付ける。ホーキマニピュレータ１３は、先端にホーキ部３１を備え、部品箱５内の部品７を、水平方向にずらすようにして移動させることで、チリトリトレイ３３に移載する。 （もっと読む）

本発明に係る、ガラス板または半導体板（ウエハ）等のプレート（３）の表面（２）に付着接触する装置（１）は、該プレート表面（２）に、吸着力により付着する付着接触面（５）を備えた可撓性材料（４）を含むベース（１０）と、可撓性材料（４）からなる付着接触面（５）とプレート（３）の表面（２）との間の分離抵抗を、付着接触面（５）に垂直な方向（７）および平行な方向（８）において、異ならせる手段（６）とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】支持板材を進退機構により進退移動させることにより移載ベルトの支持板材の作用面側により被移載物を移載することができ、この移載により、移載ベルトと被移載物との間での摩擦は生じないので被移載物を傷つけたりすることがなく、柔軟性や難掴持性の被移載物を容易に移載することができると共に複雑な機構を採用することがなく、簡素な構造とすることができる。
【解決手段】移載本体１と、支持板材３の作用面３ｂ側から先端部３ａを折り返して非作用面側３ｄを経て後端部３ｃで折り返して巻回配置された被移載物Ｗを移載可能な移載ベルト４と、移載ベルトの作用面側の部位を移載本体に固定可能な固定機構５と、支持板材を進退移動させる進退機構６とを備えてなる。 （もっと読む）

【課題】厚さが比較的薄い半導体ウエーハと通常厚さの半導体ウエーハなどといった、相反する性質を持つ２種類の半導体ウエーハを、ハンドの構成部品をその都度交換することなく搬送することができるハンドを提供する。
【解決手段】ハンド１４の一方側面３８Ａに設けられた第１非接触保持部４０により半導体ウエーハＷが非接触の状態で保持される。また、同時に、ハンド１４の他方側面３８Ｂに設けられた第２非接触保持部６０により半導体ウエーハＷが非接触の状態で保持される。 （もっと読む）

【課題】 基板搬送装置及び表示パネルの製造装置のスペース効率を向上させること。
【解決手段】 加工装置３５を設けた搬送路１２に沿って、搬送ロボット１３を移動させて、第１の基板３１を加工装置３５に供給し、加工装置３５にて加工の完了した第１の基板３１を搬出する基板搬送装置１０において、第１の基板３１と同じ搬送路１２に沿って搬送ロボット１３を移動させて、第１の基板３１と一対をなす第２の基板３２を加工装置３５を通過して搬出可能とするもの。 （もっと読む）

【課題】対象物を保持する部材の間隔の調整を簡易な構造で実現することにより、軽量かつコンパクトなハンドをロボットに搭載可能にして、安価で小型のロボットを提供すること。
【解決手段】保持するパネルの幅に応じてフォーク１５の間隔を調整可能な搬送ロボット用ハンド１１であって、フォークを固設した台車２３のスライダ２３ａを連結するレール部材２２と、台車が連設されてプーリ２５、２６に巻き掛ける無端のタイミングベルト２７と、このベルトを繰り返し送って回転駆動させる送り機構３０と、を備えており、送り機構は、ベルトを挟持・解放する挟持用エアーシリンダ３１と、この挟持用シリンダをベルトの延在方向に往復移動させる送り用エアーシリンダ３２と、を具備して、プーリ２５、２６間のベルトの第１、第２ライン部２７ａ、２７ｂのそれぞれに配設されている。 （もっと読む）

【課題】比較的重量物であるワークに対してもアームを肥大化させることなくコンパクト化を図ることができ、ワークの積み降ろしにかかるサイクルタイムを短縮することができる走行型ロボット装置及びその制御方法を提供すること。
【解決手段】複数のリンク機構（第一リンク機構１１・第二リンク機構１２）により水平方向に旋回可能及び伸縮可能に構成されるアーム７と、アーム７の先端部に設けられワークを支持するフォーク９（ワーク支持体）を支持するとともに昇降及び旋回させるロボットアーム２０（昇降旋回手段）とを有するロボット６を、走行台５上に備える走行型ロボット装置１であって、フォーク９と連結され、該フォーク９の、ロボットアーム２０による昇降動作、旋回動作及びアーム７の伸縮による水平方向の移動動作をアシストするアシスト手段３０を設けた。 （もっと読む）

【課題】重量を増加することなく、液晶基板積載時のたわみ量を減少し、振動を減衰させることができる液晶基板搬送用フォークを提供すること。
【解決手段】液晶基板を載せるための複数のフォーク部と、前記フォーク部と垂直に配設され、各フォーク部を所定間隔で保持固定するブラケット部とから成り、前記フォーク部を断面形状が中空の薄肉炭素繊維強化樹脂から構成し、その中空内部に発泡樹脂を充填したので、重量を増加することなく、液晶基板積載時のたわみ量を減少させることができる。 （もっと読む）

【課題】製造工程の効率化を図れる基板搬送装置を提供することにある。
【解決手段】処理チャンバ１２にガラス基板Ｂを搬出入する転送ロボット２０は、ベース部２１に対して旋回可能に支持されたアーム部２２と、ガラス基板Ｂを保持するテーブル部２６を備え、アーム部２６に対して回転機構２５を介してテーブル部２６が連結されている。回転機構２５によりテーブル部２６を回転させることにより、テーブル部２６上に載置されるガラス基板Ｂの処理チャンバ１２に対する搬入向きを変えることができる。これにより、特定の処理工程で不良が発生しているか否かを確認したいときに、処理チャンバ１２に搬入されるガラス基板Ｂの向きを容易に変えることができる。したがって、不良発生工程を迅速かつ容易に特定することができ、製造工程の効率化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】部品表面に接触することなく、低ストレスで部品を搬送する。
【解決手段】保持アーム３がチップトレイ１０に接触した後、搬送ヘッド１を下降させ、搬送ヘッド１の貫通孔２から空気を引き、吸引口２ａ方向へＩＣチップ１１を吸引する。そして、搬送ヘッド１が上方へと移動することにより、ＩＣチップ１１は前記吸引によりトレイポケット部１０ａから浮上する。保持アーム３の下アーム部３ｂが、浮上している状態のＩＣチップ１１の底部に入り込んで、ＩＣチップ１１を掬い上げるように保持し、搬送ユニット体８を、ＩＣチップ１１を載置する所定の位置まで搬送する。 （もっと読む）

【課題】高剛性かつ軽量なロボットハンド用フォークを提供する。
【解決手段】繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）層を含み、断面が中空矩形であるロボットハンド用フォークにおいて、前記断面を構成する４面のうち、載荷面に対し略直角をなす２面の厚みが、載荷面と載荷面に対向する面の２面の厚みよりも小さく、かつ、載荷面に対し略直角をなす２面には、前記フォークの長手方向に対して斜めに繊維配向させたＦＲＰ層を含むことを特徴とするロボットハンド用フォーク。 （もっと読む）