【課題】 フォークが長くても、これを太くすることなく、フォークの先端の垂れ下がりを補正して搬送物を容易、迅速かつ的確に搬送することのできる産業用ロボットを提供する。
【解決手段】 フォーク１６は、ボルト１７によりハンド１５に取付固定されている。ハンド１５には、フォーク１６の下面に当接してフォーク１６の先端側を押し上げるように偏心駒２１からなるフォーク先端位置調整手段２０が取り付けられている。この偏心駒２１は、ナット２５を緩めて軸２２を回転させることにより回転され、フォーク１６の押し上げ量を変化させる。このフォーク１６の押し上げ量の変化により、フォーク１６の先端が元端とほぼ同じ高さになったところで、ナット２５を締め付けて偏心駒２１を固定し、フォーク先端位置調整を完了する。 （もっと読む）

【課題】分解せずに輸送できるようにした産業用ロボットを得ること。
【解決手段】複数の上下軸３ａ、３ｂと、該複数の上下軸間に上下動可能に設置され、水平方向に伸縮しワークを搬送する水平伸縮軸２０と、を備える産業用ロボットにおいて、前記水平伸縮軸が俯仰動可能に設置されていて、前記水平伸縮軸が前記上下軸に対して直角〜略平行まで俯仰動可能であり、前記水平伸縮軸を俯仰動させるアクチュエータを備え、前記産業用ロボットの稼動時には、前記アクチュエータによる前記水平伸縮軸の俯仰動の角度範囲を所定角度範囲内に規制する機械的ストッパを備える。 （もっと読む）

【課題】 フィンガ等の保持部を小型化できると共に、平板状搬送物への接触をより少なく抑えながら自重による平板状搬送物の撓みをより小さく抑えてより的確な搬送を可能にする。
【解決手段】 平板状搬送物１７は、パッド１８及び吸着部１９からなる保持部により保持される。パッド１８は、平板状搬送物１７の下面に当接してこれを支持する。吸着部１９は、パッド１８の間に配置されると共に、吸着状態にあるとき、パッド１８より高さを低く設定され、平板状搬送物１７の下面を真空吸着する。これにより平板状搬送物１７は強制的に湾曲され、湾曲の山又は／及び谷に沿う方向における撓み量が減少する。 （もっと読む）

【課題】製品保管および払い出しシステムにおける製品を搬送するロボットアームを開示する。
【解決手段】このロボットアームは、主に、アームを払い出しシステムに接続可能な基部と、基部に接続したスプロケットと、基部に接続した伸縮可能なアームセグメントと、スプロケットと伸縮可能なアームセグメントとを接続したチェーンとを備え、スプロケットの回転によって、チェーンが動き、さらに伸縮可能なアームセグメントが伸長する。このロボットアームは、製品が密に収納された、間隔の狭い棚に適した、コンパクトで効率の良い取り扱いツールを提供する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハアライメント専用装置やウェーハアライメント用のアクチュェータを使用せずに、フットプリントを最小に抑えて、低発塵でかつ、高スループットなアライメント機能を有するウェーハの搬送装置を提供する。
【解決手段】ウェーハを把持するウェーハ把持部４１と、前記ウェーハ把持部４１を支持するアーム部４０と、機台１とを有し、前記機台１は、機台座１０と、前記アーム部４０を固定支持し、かつ前記機台座１０に対して回転自在なる旋回基軸３とを有し、前記ウェーハ把持部４１は、前記ウェーハのノッチやオリフラを含む基準位置を検知する位置検知センサ５を有し、前記ウェーハが載置されるウェーハ置台１１を前記旋回基軸３が回転する回転軸心上に位置するように前記機台１に設けた。 （もっと読む）

【課題】落とし込み型の基板保持部を用いながらも、高精度な基板搬送情報を自動生成できる基板搬送教示方法を提供する。
【解決手段】シャトル搬送機構のハンド１９Ａに対する主搬送ロボットのハンド１３Ａの適正位置を教示するオートティーチングのために、被検出側治具基板１１０およびセンサ側治具基板１２０が用いられる。被検出側治具基板１１０がハンド１９Ａに保持させられ、センサ側治具基板１２０がハンド１３Ａに保持させられる。ハンド１３Ａ，１９Ａは、いわゆる落とし込み型のハンドであり、基板との間にバックラッシュが生じている。オートティーチングの際は、シリンダ１００，５３Ａのロッド１０１，５４Ａによってバックラッシュを解消した状態とする。ハンド１３Ａの適正位置を表す教示位置情報は、バックラッシュ分を補正して求められる。 （もっと読む）

【課題】ロボットが動作するとともにガラス基板のズレを検知し、アライメント補正値を求めることができるハンドを提供する。
【解決手段】ハンドに具備されたフレーム１と、ガラス基板３を載置する前記フレーム１に具備されたフォーク２からなる基板搬送用ロボットにおいて、前記フレーム１に具備したアーム５と、前記アーム５上に載置されたセンサ４とからなる。 （もっと読む）

【課題】駆動源を必要とせず、単純な構成でシリコンウェハ等の基板を適切に把持する基板把持機構の提供。
【解決手段】開放端部において把持部材１１のそれぞれを支持するアーム部２１を有し、把持部材１１を基板１００の中心軸回りに一体的に回転させる回転機構２０と、基板１００の中心軸を中心とする環状を呈するリング８と、アーム部２１にリング８をフローティングマウントするフローティングマウント機構３１１と、一端部にリング押え３１１ｂを支持し、アーム部２１の開放端部に揺動自在に支持された揺動部材３１２を有し、リング８に発生する慣性力を、把持部材１１の回転を開始又は停止する際に揺動部材３１２の他端部を基板１００の端縁から中心軸に向かう方向に揺動させる揺動力に変換する伝達機構３１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 荷物の傾きを補正可能な荷受装置及び運搬機械を得る。
【解決手段】 運搬機械本体のツール支持部に取り付けられる基体２１と、基体２１に水平軸Ｊ６まわりに傾動可能に取り付けられ、荷物を支持する荷受体２２とを備え、移動体３２及び案内体３３からなる一対の直動案内３１，３１を、水平軸Ｊ６から離れた位置で、移動体３２の移動方向における互いの間隔が連続的に変化するように、一方を他方に対して傾斜させた状態で基体２１及び荷受体２２にそれぞれ取り付け、該一対の移動体３２，３２間を連結体３４，３５で連結し、該連結体に取り付けられたナット３６に係合するねじ軸３７を駆動装置Ｍ５により回動させて、連結体３４，３５を案内体３３，３３に沿って移動させることにより、荷受体２２を水平軸Ｊ６まわりに傾動させ、荷受体２２に支持された荷物を略水平に支持する。 （もっと読む）

【課題】 基板をトレイに載せて搬送することなく、１台のロボットで複数枚の基板を同時に搬送することができる基板搬送システムを提供する。
【解決手段】 本発明の基板搬送システム１は、複数枚のウェーハＷを支持するトレイ２と、複数枚のウェーハＷが載置されるステージ３と、伸縮自在な多関節アーム４Ｂの先端に複数枚のウェーハＷを支持するハンド部４Ａが設けられ、トレイ２とステージ３との間で複数枚のウェーハＷを一括的に移載する基板搬送ロボット４とを備え、ハンド部４Ａ及びトレイ２はそれぞれ、互いに係合する櫛型形状を有しており、ステージ３には、ハンド部４Ａとの間で複数枚のウェーハＷを受け渡すための機構部（リフターピン）３２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 収容カセット内に収容された基板を搬出する際に、基板の損傷及び基板へのストレスの付与を防止し、搬送効率を向上させ得る基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 複数本の支持棹１５ａ〜１５ｂを備えた搬送フォーク１１で基板Ｗを吸着して搬送する基板搬送装置であって、搬送フォーク１１には、基板Ｗの上面を吸着する吸着パッド２３を備えた支持棹１５ａ〜１５ｄと、各支持棹１５ａ〜１５ｄを基板Ｗの撓みに合わせて位置調節する調節手段１６ａ，１６ｂ，１８，１９，２０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 異なるサイズのワークに対応してハンド幅を調整することができるとともに小型化で軽量化された搬送用ロボットのハンド及びそのハンドを有してワークを搬送する搬送用ロボットを提供する。
【解決手段】 ワークＰを載置する複数の載置部２ａ、２ｂを有する搬送用ロボット１００のハンド１１０（１）において、ハンド１１０（１）には、載置部２ａ、２ｂの間隔を調整する幅調整手段９，１０、１１と、幅調整手段９、１０、１１に、ハンド１００（１）とは独立の駆動源の駆動力を伝達、遮断するクラッチ手段１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】安価で作業性を高められるとともに、軽量化と高剛性を得ることができる搬送装置用ハンドを提供する。
【解決手段】ハンド７を本体部基部１２の補強基部１３を配置してマトリックス樹脂を含浸させることにより、タック性を気にすることなく中子への巻付け作業ができると共に、要求される強化繊維の配向が取りやすくなり、撓み、振動減衰特性を向上する。 （もっと読む）

【課題】 基板への熱輻射を小さくして載置される基板の温度上昇を抑制して、基板の反りによる搬送不良を防止できるようにする。
【解決手段】 アルミナ材からなる基板搬送ハンド９の基板載置部９ｂ、９ｃの全外周面にアルミナ材より輻射率が小さいアルミニウムを成膜したことにより、基板載置部９ｂ、９ｃからガラス基板への熱輻射を小さくし、基板載置部９ｂ、９ｃの表面に載置されるガラス基板の温度上昇を抑制して、基板の反りによる搬送不良を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】シリンダ駆動方式の移動フィンガを有する基板移送装置を提供する。
【解決手段】基板移送装置は、駆動手段によって動作が制御されるロボットアーム部と、前記ロボットアーム部の先端に設けられ、基板Ｗが置かれるブレード１２０と、前記ブレード１２０に設けられ、前記ブレード１２０に置かれた基板Ｗを正位置に位置させると同時に基板Ｗを固定するクランピング部材１３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造の装置で、パネル状のワークについて２方向の位置決めをすること。
【解決手段】
ワーク位置決定装置１００は、ワークＷを載せる複数のアーム１と、複数のアーム１に設けられた位置決定ストッパと、位置決定部材３と、を備え、複数のアーム１を２方向に傾動させ、ワークＷを位置決定ストッパおよび位置決定部材３に当接させることで、ワークＷの２方向の位置を決定する。 （もっと読む）

ハウジング１の開口部１ｂ内のチューブ部材１５上に、吸着部１６ａと少なくとも３点でハウジング１の開口部内壁の点接触する半球面状に湾曲した接触面部１６ｃとを設けた吸着パッド１６を載置し、この吸着パッド１６と摺動部材９との間に細い糸２４を張架した。
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【課題】 非金属製のフォークをハンド上の所定位置に簡単かつ正確に取付可能にすると共に、その有無を小型のセンサで容易かつ確実に検知可能にする。
【解決手段】 フォーク１６の元部に金属製の位置決め用基準駒１８を取り付け、この位置決め用基準駒１８をハンド１５に形成された位置決め用基準溝１９に嵌入してボルト１７により締め付けることによりフォーク１６をハンド１５に取り付ける。位置決め用基準溝１９は、フォーク１６の複数の取付位置に対応させて設けられており、搬送物の大きさに合わせて位置決め用基準溝１９を適宜に選択してフォーク１６を取り付ける。どの位置決め用基準溝１９にフォーク１６が取り付けられたかは、それぞれの位置決め用基準溝１９に対応させて取り付けられている金属検出型近接センサ２０により自動的に検出される。 （もっと読む）

【課題】付加的工程を必要とせずに、被処理体を保持するアーム部材上の所定位置に被処理体を配置するように、比較的高温の被処理体を移送するための機構及び方法を与える。
【解決手段】被処理体を移送するための移送機構は、被処理体の周囲と接触しかつ被処理体の動きを制限するための、その先端に設けられた先端突起を含むアーム部材を有する。アーム部材はさらに、被処理体の裏面と接触しかつ支持するためのその表面から突出する複数の支持突起を含む。 （もっと読む）

【目的】 基板に搬送装置の熱を直接伝えることなく且つ大型基板でも撓むことのない搬送装置を提供する。
【構成】 アーム１の先端部に円形状ハンド２が取り付けられ、このハンド２の底面５にはピン６が固定されている。またピン６の高さはピンに基板Ｗを載置した状態で、基板Ｗが起立壁４の上端から食み出さない程度、即ち基板Ｗの厚さ分程度、起立壁４の上端よりもピン６の上端を低く設定している。 （もっと読む）