【課題】直動式アーム内にあるリニアスライダなどの機構からの発塵を抑制するとともに、真空中に置かれる基板搬送ロボットでも使用可能な防塵機構を提供すること
【解決手段】リニアスライダによって直動する直動式アーム３を備えて基板９を所望の位置に搬送する基板搬送ロボット１において、リニアスライダ１８、２３を摺動可能に保持するリニアレール７、８の近傍に、リニアスライダ１８、２３と微小な隙間を介して敷設され、ポリ塩化ビニール又はフッ素樹脂で製作された集塵カバ４４をリニアレール７、８に沿って敷設した。リニアレール６上を摺動するリニアスライダ７直近に集塵カバ１０を設置し、リニアレール６上のリニアスライダ７が摺動する際に飛散するパーティクル１３を集塵カバ１０のラビリンス形状部で収集し、アームカバ８の開口部からパーティクル１３が流出することを防止し、ウエハ搬送フォーク３上のウエハ１２にパーティクル１３を付着させない処置をする。 （もっと読む）

【課題】基板が損傷しない基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】第一、第二の従動アームによって回転され、互いに歯合した第一、第二の規制ギアに対し、それぞれ歯合する第一、第二のピニオンギアを設け、第一、第二のピニオンギアでピニオンギア用ラックを挟む。ハンドが放射方向外側から内側に向けて移動し、ハンドが搬送室内に位置する状態では、ピニオンギア用ラックは放射方向外側に移動し、緩衝部材を介して基板を押圧し、基板をクランプする。ハンドが放射方向外側に移動し、処理室内に位置するときは、ピニオンギア用ラックは放射方向内側に移動し、クランプは解除される。搬送室内でクランプされているので高速移動が可能である。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、搬送対象物の把持、解放を行うことができる産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボットは、搬送対象物２を搭載するハンド３と、ハンド３を保持する多関節アーム部とを備えている。ハンド３は、搬送対象物２を把持するための把持部２８と、搬送対象物２から退避させる方向へ把持部２８を付勢する付勢部材２９とを備えている。把持部２８は、搬送対象物２に当接する把持部材３４と、多関節アーム部の伸縮動作に伴う慣性力で、把持部材３４が搬送対象物２に当接する方向へ把持部材３４を移動させる重量部材３５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】炭素繊維強化樹脂複合材を用いて、その利点を生かしながら、パーティクル発生を抑制し、清浄環境下での基板等を搬送する用途に十分適した搬送用治具を提供する。
【解決手段】複数枚の繊維強化プリプレグシート４Ｂを積層した積層板を加工してなり、板状物を搬送する搬送装置において板状物を直接接触して保持することができる搬送用治具であって、積層板の表面が樹脂シート４Ａで被覆され、加工端面が端面保護層５で被覆されている搬送用治具１。 （もっと読む）

【課題】厚みが薄く、かつ撓みが生じにくい搬送フォーク、特に、焼成処理温度のような高温下にさらされた場合であっても撓みが生じにくい搬送フォークを備える基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板焼成炉に対する基板の搬出入を行う基板搬送装置の備える搬送フォーク２４を、ハニカム構造体である本体部材Ｂと、本体部材Ｂの上面に接合され、本体部材Ｂよりも熱膨張率の小さい材質によって形成された天板部材Ｈとによって構成する。搬送フォーク２４が高温下にさらされると、本体部材Ｂと天板部材Ｈとの間の熱膨張率の差に起因して、相対的に熱膨張率が小さな部材である天板部材Ｈの側に曲がろうとする上向きの力が生じる。搬送フォーク２４の撓みの原因となる下向きの力（すなわち、支持する基板Ｗの重みや自重に起因する下向きの力）が、この上向きの力で相殺されることによって、搬送フォーク２４の撓みが抑制される。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気下で加熱された板状ワークを搬送する場合において、当該ワークからの熱による不都合を解消ないし低減する。
【解決手段】搬送装置Ａは、固定ベース１と、固定ベース１に対して旋回可能に支持された旋回ベース２と、旋回ベース２に支持され、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂを含んで構成された直線移動機構３と、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂに支持され、直線移動機構３の作動によりワークＷを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド４Ａ，４Ｂとを備える。ハンド４Ａ，４Ｂとガイドレール３２Ａ，３２Ｂとの間には熱反射板８が設けられる一方、固定ベース１および旋回ベース２には、固定ベース１側と旋回ベース２側とを常に連通させる空間５０２，６０２を含んで構成された冷媒循環路が設けられている。上記冷媒循環路は、上記熱反射板８に接するように取り回された冷却管７１，７３，７４，７６を含む。 （もっと読む）

【課題】高剛性でかつガラス基板を水平に保持し、高速で安定して搬送することができる搬送用ロボットハンドを提供する。
【解決手段】中空形状である複数のフォーク５を備えた搬送用ロボットハンド１において、前記フォークの固定端側の曲げ剛性が、前記フォークのうち少なくとも２本において異なっていることを特徴とする搬送用ロボットハンド。 （もっと読む）

基板搬送ロボットのエンドエフェクタが、繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）から製造された上プレートと、繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）から製造された下プレートと、上プレートと下プレートとの間に配置され、アルミニウム、ステンレス鋼およびハニカム形繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）からなる群から選択された中間部材とを備える。さらに、基板搬送ロボットが上記のエンドエフェクタを備えている。
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【課題】本発明の実施形態は、半導体基板移送用の高温抗垂下エンドエフェクターに関する。本発明の一実施形態により基板ハンドラーと共に用いるエンドエフェクターが提供される。
【解決手段】エンドエフェクターは基板を支えるように配置し、その基板を水平面に対し第１角度に位置する基板支持面を有する自由端を含む。エンドエフェクターは基板ハンドラーに取付けるように配置した固定端を含み、基板が自由端上に配置されず、第１角度が第２角度と異なる場合には、基板支持面が水平面に対して第２角度になる位置でエンドエフェクターを基板ハンドラーに取付ける。 （もっと読む）

【課題】容器及び蓋からなる薄い基板容器を、容器に挟み込む力を作用させることなくハンドリングして、炉内に積層して載置し、炉内から搬出することができ、これにより基板の汚染を防止しながら水蒸気アニール処理をし、かつ炉内処理領域への基板のセット数を高めて、スループットを高めることができる基板容器用ロボットハンドと蓋付基板容器を提供する。
【解決手段】水平に位置する蓋付基板容器３の外縁に沿って延び、水平かつ対向して互いに平行に拡縮可能な１対の容器支持枠１２と、容器支持枠を蓋付基板容器の外縁に近接する縮小位置Ｃと離れた拡大位置Ｏとの間で移動させる支持枠駆動装置１４と、支持枠駆動装置を支持し、容器支持枠を間隔を隔てて水平に囲む枠部材１６とを備える。蓋付基板容器３は、その外周の少なくとも一部に所定角度のテーパ下面３ｃを有し、１対の容器支持枠１２は、縮小位置においてテーパ下面に近接しかつ同一角度のテーパ上面１２ａを有する。 （もっと読む）

【課題】ＦＲＰ製ロボットハンドの曲げ剛性向上と機械加工性の向上との両立を可能とするＦＲＰ管状体を提供する。
【解決手段】繊維強化プラスチックからなる管状体において、外表面が、管軸方向に対し−５〜＋５°の範囲内で一方向に引き揃えられた炭素繊維を強化繊維とするＣＦＲＰ層［Ａ］と、織物および／または不織布を強化繊維として厚みが０．０１〜０．２ｍｍの範囲内のＦＲＰ層［Ｂ］とからなり、外表面の全面積に占める［Ａ］の面積が３０〜９８％の範囲内であり、かつ管状体を形成するＦＲＰの厚み方向への貫通穴の外周がＦＲＰ層［Ｂ］に接していることを特徴とするＦＲＰ管状体。 （もっと読む）

【課題】 フォークが大きな平面状の搬送物を搬送する際、他の積み重ねた搬送物を破損させることが無く、しかも簡単な板金構造でバネの要素のあるフォーク先端に装着するバンパーを提供すること。
【解決手段】 搬送ロボット等のアームに取り付けられた搬送物を載せるフォーク状ハンド先端に装着した緩衝用のバンパーにおいて、フォーク状ハンドの搬送物に対する進行方向に少なくとも１以上の折り曲げ部の有る板状の構造物であることを特徴とするフォーク状ハンド先端に装着した緩衝用のバンパーとした。 （もっと読む）

【課題】処理システムにおいて基板を搬送するのに好適なロボットエンドエフェクタ又はブレードを提供する。
【解決手段】ある実施形態において、エンドエフェクタは反対の装着端と遠端とを有し、セラミックの単体の塊から作製された本体を含む。この本体は本体の上面から上方に延びる一対の弓型リップを含む。各リップは、本体の遠端に配置された各フィンガーに配置されている。弓型内壁は、本体の装着端で、上面から上方に延びている。内壁とリップは基板受容ポケットを画定している。複数の接触パッドが本体の上面から上方に延びており、そこで基板はサポートされる。リセスが本体の底面に形成されていて、装着クランプが収容されている。 （もっと読む）

【課題】
ロボットハンド用フォークを構成する管状体と内部に挿入されている部材との接合力を強固にし、優れたロボットハンド用フォーク及び前記フォークを備えたロボットハンドを提供すること
【解決手段】
ねじによって土台に固定されてロボットハンドを構成するフォークであって、断面が矩形である管状体Ａと、管状体Ａの一端部に挿入された部材Ｂと、管状体Ａの外面から内面まで貫通し部材Ｂに到達している前記ねじの座ぐり穴とを有し、管状体Ａおよび部材Ｂが管状体Ａの内面に対して部材Ｂを押しつけることで接合固定されていることを特徴とするフォーク。 （もっと読む）

【課題】 フィラーが露出して半導体ウェーハを切削したり、フィラーが脱落してパーティクルを発生させるのを抑制できる半導体ウェーハ用のクランプ治具を提供する。
【解決手段】 半導体ウェーハＷの直径以上の長さを有するクランプ板１を備え、クランプ板１の半導体ウェーハＷに接触する複数の接触領域をダイヤモンドライクカーボン１０によりそれぞれ被覆して耐汚染性、耐食性、耐摩耗性を向上させる。接触領域であるクランプチップ５にダイヤモンドライクカーボン１０を皮膜として生成し、カーボンファイバーの端部が露出したり、短いカーボンファイバーが脱落するのを防止するとともに、導電性、耐食性、耐磨耗性等を付与するので、アウトガスや低分子不純物の移行を低減したり、最近の回路の微細化要求を満たしながら半導体ウェーハＷの汚染を有効に抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】搬送中における基板に対して適切な処置を施すことができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置５０は、第１基板収容部２０と第２基板収容部３０との間を移動可能なフォーク支持体５１と、フォーク支持体に移動可能に支持されたフォーク６０，６５と、を備える。フォークは、第１基板収容部から第２基板収容部へ搬送される基板を第１支持位置において支持し、第２基板収容部から第１基板収容部へ搬送される基板を第１支持位置とは異なる第２支持位置において支持する。第１支持位置に基板を支持したフォークは、フォーク支持体の移動中に第１待機位置に配置され、第２支持位置に基板を支持したフォークは、フォーク支持体の移動中に第１待機位置とは異なる第２待機位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気の下で用いることができるとともに、軽量かつ簡素な構成とすることができ、搬送時におけるワークの横ずれを確実に防いで搬送速度向上にも寄与することができるワーク保持機構を提供する。
【解決手段】平板状のワークＷを水平に保持するためのワーク保持機構は、ワークＷが載せられるベース部材１と、ベース部材１の所定箇所に設けられた複数のガイド部材２とを備え、ガイド部材２は、ベース部材１に対して回転自在に支持される軸部２０と、ベース部材１にワークＷが載せられる際、このワークＷの周縁部における下面一部に当接することにより、軸部２０を支点として下方に押し下げられる当接部２１と、当接部２１が下方に押し下げられると、軸部２０を支点として上方に押し上げられることにより、ワークＷの周縁部における側面一部に対向した姿勢をとる規制部２２とを有して構成されている。 （もっと読む）

【課題】移載部に設置すべきセンサの配線に起因する断線、パーティクルの問題が発生しない伸縮式移載装置を提供する。
【解決手段】基台１に対して移載部５が水平方向に進出後退する伸縮式移載装置３０であって、この移載部５に設置すべきセンサ６Ａ、６Ｂを無線式とし、このセンサ６Ａ、６Ｂに電源を供給する充電池７を移載部５に備え、この移載部５が待機位置にあるときに、充電池７を充電する非接触充電手段８を基台１に備えた。 （もっと読む）

【課題】吸着力を保持しながら基板の変形に追従するとともに、外力が開放されたとき（基板開放時）に元の位置に戻る復元力を有し、安定的な基板吸着装置およびこれを用いた搬送ロボットを提供する。
【解決手段】基板吸着部１４１を有する中空の吸着パッド１４と、この吸着パッド１４を弾性的に支持する弾性部材からなるパッド支持部材１５と、エア吸着力を発生する基板吸着部１４１とを備えた基板吸着装置１３において、
摩擦低減機構を有するマニホールド１６と、前記吸着パッド１４と前記マニホールド１６との間に弾性体１８を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】ロボットハンドの撓み及び振動を大幅に低減し、ガラス基板が更に大型化しても、高い基板収納効率、及び安定した搬送性を確保する制振制御機能を持ったロボットハンドを提供する。
【解決手段】ロボットハンド３の上下面に一対の圧電素子アクチュエーター４が、長さ方向に等間隔に複数対設けられ、ロボットハンドの撓み変位量又は／及び振動を圧電素子アクチュエーターの出力電圧変化として検出するモニタリング手段、検出した出力電圧変化と逆位相の電圧を圧電素子アクチュエーターへ印可するフィードバック手段を具備すること。 （もっと読む）