【課題】基板搬送用ロボットのハンド部のフォークに対して要求される耐熱性要求、剛性要求、軽量化要求を満たすと共に、長尺化要求をも満たすフォーク構造を提供する。
【解決手段】基板に薄膜処理を施す際に使用する基板を搬送するロボットのハンド部に使用されるフォーク構造において、幅方向に複数枚の板状部材１１，１２，１３を連ね、当該連ねられた複数枚の板状部材を長手方向に複数段継ないだ梁状構造物をなし、当該連ねられた複数枚の板状部材を長手方向に継ぐ位置において、基端側の複数枚の板状部材と先端側の複数枚の板状部材が互い違いに重なり合っており、当該複数の板状部材が互い違いに重なり合っている部位の少なくとも２箇所において、複数個のボルト・ナット５１ａ等による機械的な締結部品や凹凸面の嵌合によるせん断荷重伝達手段５１を設けた構成のフォーク構造とした。 （もっと読む）

【課題】 半導体プロセス用ウエハを把持した後、素早く移動させることができるエッジグリップ装置を提供する。
【解決手段】 チャックハンド１は、半導体プロセス用ウエハ３をフロントガイド１２に向かって押圧して半導体プロセス用ウエハ３を把持するプッシャー２５を有する押圧機構１４を備えている。押圧機構１４は、プッシャー支持体２２と、緩衝部材２８とを更に有している。プッシャー支持体２２は、進退できるよう構成され、前後にスライドできるようにプッシャー２５に設けられている。プッシャー支持体２２は、その前方に隙間２６ａがあいている。隙間２６ａには、反発力が小さく弾性変形可能な緩衝部材２８が介在している。プッシャー支持体２２は、前進すると、緩衝部材２８を介してプッシャー２５を押されて前方に移動させる。プッシャー２５は、半導体プロセス用ウエハ３に当たって押し付けられる。 （もっと読む）

【課題】搬送物や周囲の雰囲気温度が比較的低い環境下においても当該温度が高い環境下においても搬送物を確実に保持して高速搬送を図るとともに、搬送物の搬送時におけるダストをできるだけ少なくする技術を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置５０は、駆動源からの動力が伝達される複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構２０と、リンク機構２０の動作先端部において第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒを介して連結され基板１０を載置するための載置部５とを備える。載置部５の基板搬送方向下流側の部位に、リンク機構２０の動作に伴い、基板１０の側部と当接して基板１０をリンク機構２０に向かう方向へ付勢する下流側付勢機構７が設けられ、載置部５の基板搬送方向上流側の部位に、リンク機構２０の動作に伴い、基板１０の側部と当接して基板１０を基板搬送方向へ付勢する上流側付勢機構９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】搬送アームに付着しているコンタミを除去する基板処理装置の制御方法を提供する。
【解決手段】基板の搬送を行うための静電チャックを有する搬送アームの洗浄方法であって、前記搬送アームに帯電している異物が付着している場合において、前記搬送アームに前記基板が載置されていない状態で、前記静電チャックの電極の各々に帯電している異物の電荷の極性と同じ極性の電圧を印加する電圧印加工程を有し、前記搬送アームに付着している異物を除去することを特徴とする搬送アームの洗浄方法を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、要救助者を確実かつ円滑に救助し、救出時間の短縮を図る。
【解決手段】救助ロボットは２機のクローラ５、６にそれぞれ、２台のコンベア８、９が分割配置され、要救助者の救出に際して、前側のコンベア８をクローラ５の進行方向前方の走行面に向けて前進傾動させ、各クローラ５、６の低速の前進走行とともに各コンベア８、９を各クローラの走行方向とは反対方向に各クローラの走行速度と同期させて回転駆動し、前側のコンベア８の先端を要救助者が居る地点の要救助者の接触面と要救助者の身体との間に潜り込ませて当該要救助者を前後の各コンベア８、９上に引き上げ収容する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ウェーハ収納用カセット内に載置されているウェーハの載置位置がずれている場合であっても、容易に、ウェーハの位置を修正し、ウェーハを保持・搬送できるウェーハ搬送装置及び方法を提供することにある。
【解決手段】ロボットハンド１０が、ウェーハ下方の空間３２内を水平移動可能でかつ、水平移動時に保持すべきウェーハ２０の周縁部の高さ位置Ｈ_Ｗよりも大きな高さ寸法Ｈ_Ｙをもつウェーハ位置調整手段１３とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板の変形を抑えて基板の受け渡しができること。
【解決手段】基板を保持し、支持部によって支持される基板保持部材であって、前記基板が載置される載置面を有する基板載置部と、前記基板載置部と一体的に設けられ、前記載置面を含む面内に位置する所定軸を中心として前記基板載置部が回転可能なように前記支持部によって支持される被支持部とを備える。 （もっと読む）

【課題】機能を維持しながらもより小型化することができるようにした、ロボット及び物品搬送システムを提供する。
【解決手段】アーム部材２３と、アーム部材２３を揺動させるアクチュエータ２２と、アーム部材２３の先端に設けられるハンド部材２４と、アーム部材２３とハンド部材２４とを回転可能に連結する関節部材と、アクチュエータ２２を支持し直線駆動するリニアアクチュエータ３と、アクチュエータ２２及びリニアアクチュエータ３を協働させての各ハンド部材を進退方向に直線移動させるコントローラとを有して構成する。 （もっと読む）

【課題】磨耗量低減、汚染防止、アライメント精度向上、又は飛び出し防止の機能を備えた基板保持部材、基板搬送アーム及び基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置の基板搬送アームに取り付けられ、基板の周縁を載置して基板を保持する基板保持部材４であって、基板の裏面に当接して基板を保持する裏面保持部５と、基板の端面に当接する端面当接部６とを有する。端面当接部６は、Ｒ形状を有し、基板の端面に当接して基板のずれを規制するＲ形状部８と、Ｒ形状部８の上方側に設けられ、庇状に形成されたオーバーハング部８１とを含む。 （もっと読む）

【課題】搬送中に基板の位置ずれを生じにくく、且つ、パーティクルの発生を抑制可能な基板搬送装置及びこれを備えた基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置は、基板Ｗを保持して水平方向に移動可能な保持部材１０を備え、この保持部材１０は基板Ｗの下面側の周縁部を保持するために基板Ｗの載置領域の周方向に沿って複数設けられ、垂直方向の断面が円弧状の凹曲面である保持面１３、１４を備えている。 （もっと読む）

【課題】 基板を吸着して搬送する際に基板にパーティクルが付着しにくい吸着搬送部材およびこれを用いた基板搬送装置ならびにこの基板搬送装置を用いた基板処理装置および基板検査装置を提供する。
【解決手段】 先端側が二股に分岐した、支持部側から先端側に向けて長い板状体７に、板状体７の先端部の各表面の少なくとも２カ所に設けられた、気体を吸引して基板を吸着するための吸着部３と、分岐部を通って先端部の吸着部３同士をつなぐ先端側吸引路４ａと、支持部に設けられた、分岐部における先端側吸引路４ａに支持部側吸引路４ｂを介してつながって気体を吸引するための吸引部５とを備え、先端側吸引路４ａが、先端部側で直線状であり、分岐部側で湾曲している吸着搬送部材１において、先端側吸引路４ａの板状体７の長手方向における長さは、湾曲している部分の方が直線状の部分よりも長い吸着搬送部材１である。 （もっと読む）

【課題】安価でメンテナンスが容易なガラス基板搬送用ロボットハンドを提供する。
【解決手段】櫛歯状の本体に平面状にガラス基板保持部を配置し、ガラス基板保持部上にガラス基板を載置してガラス基板を搬送するロボットハンドにおいて、ガラス基板保持部にＯリングの半径方向をガラス基板と垂直になるようにＯリングを配置し、Ｏリングを円周方向に回転させる回転機構と、Ｏリングを回転させた位置で固定する固定機構とを有し、Ｏリングの外周面をガラス基板と接触させてガラス基板とＯリングの外周面の間の摩擦力によりガラス基板を保持して搬送することを特徴とするガラス基板搬送用ロボットハンド。 （もっと読む）

【課題】輻射熱を受けやすい部材から効率よく熱を逃すことができるワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】ワークを搬送するためのワーク搬送機構を備えたワーク搬送装置であって、ワーク搬送機構の外表面各所には、冷媒循環用の冷却パイプ８４が付設されており、冷却パイプ８４は、上記外表面に対して弾性部材８５を挟んだ状態で固定具８６を介して押圧固定されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板の高速移送時に生じる風によって、基板表面に塗布された塗膜に発生する塗膜の変形、波打ち等の塗膜欠陥や、さらには塗膜表面への異物付着を低減する手段を備えた基板移載装置を提供することを課題とするものである。
【解決手段】基板を積載保持するハンド部を有する基板移載装置であって、ハンド部に積載した基板を上から覆う風拡散板を有し、該風拡散板は一端部がハンド部の付け根部分に固定されていることを特徴とする基板移載装置。 （もっと読む）

【課題】基板搬送装置、基板検査装置及び基板搬送方法において、基板との不要な接触を防ぐ。
【解決手段】ウエハ搬送装置１は、ウエハＷが載置されるウエハ載置面２ａ，３ａを有し互いに平行に設置された２本のアーム部２，３と、ウエハ載置面２ａ，３ａ（アーム部２，３）をアーム部２，３の長手方向を回動軸Ａ２，Ａ３として水平面に対し傾斜させる傾斜手段としてのバランサ（錘）４，５と、アーム支持部６と、吸引用チューブとしてのアーム側吸引用チューブ７，８と、支持部側吸引用チューブ９と、傾き検出手段としての透過型センサ１０，１１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】載置ずれや変形を生じさせることなく、基板保持部に基板を受け渡すこと。
【解決手段】基板Ｐを保持する基板保持部としてのプレートホルダ９に基板Ｐを搬送する搬送装置は、基板Ｐを支持する支持装置としての搬送ハンド１２と、搬送ハンド１２を駆動し、プレートホルダ９からの搬送ハンド１２の一部の高さと他部の高さとを相対的に変化させ、かつその一部の高さ及び他部の高さを減少させて、搬送ハンド１２が支持する基板Ｐをプレートホルダ９に受け渡す駆動装置１３，１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ウエハの引っ掻き傷や粒子による汚損を最少にして半導体ウエハを確実に移送し得る試料把持用端部エフェクタを提供すること。
【解決手段】光源、及び受光部に作動するように連結された本体を有する端部エフェクタを設け、前記光源、及び受光部は離間するそれぞれの光源光路開口、及び受光路開口を有し、これ等開口の間に光透過路に沿って光ビームが伝搬し、これ等光ビームが既知のビーム形状であるように前記光源光路開口、及び受光路開口の寸法を定め、前記試料と本体との空間を狭くするため、これ等試料と本体との間の相対運動を与え、前記相対運動を与えることに組み合わせて、前記光透過路に交差するように前記試料を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】様々な形状の物体、特に床面等に密着した紙等の薄い物ならびにクリップ等の小さく且つ端面が曲面である物を安定性良く把持することが可能で、簡単な構成要素の人工ハンドの指構造と人工ハンド狭持方法を提供すること。
【解決手段】二本の指の少なくとも一方の指を動かして平面に載置された物体を狭持する人工ハンドの指構造であって、前記一方の指１は、前記物体に当接される先端部に前記物体を掬い上げる凹曲面部１２を持ち、他方の指２は、前記物体に当接される先端部に前記物体を押圧する凸曲面部２２を持つ、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】汎用性の高いサンルーフユニット把持装置を提供すること。
【解決手段】搬送ハンド１０は、略Ｕ字形状のメインフレーム３１と、このメインフレーム３１のうち互いに略平行に延びる部分同士を連結するセンターフレーム３３と、を有するサンルーフ部材３を把持する。搬送ハンド１０は、センターフレーム３３の下面が着座するセンターフレーム着座部１３２と、メインフレーム３１のうちセンターフレーム３３に略平行な部分の下面が着座するメインフレーム着座部１２５と、メインフレーム３１のうち互いに略平行に延びる部分を、内側の側面から押圧する一対の押圧部６２Ａ、６２Ｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】炭素繊維強化樹脂複合材を用いて、その利点を生かしながら、パーティクル発生を抑制し、清浄環境下での基板等を搬送する用途に十分適した搬送用治具を提供する。
【解決手段】複数枚の繊維強化プリプレグシート４ａを積層した積層板４を加工してなり、板状物を搬送する搬送装置において板状物を直接接触して保持することができる搬送用治具であって、積層板４の表面に静電消失層５が形成され、積層板４の加工端面に端面保護層６を形成した搬送用治具１。 （もっと読む）