ウェーハ搬送装置及びウェーハ搬送方法
【課題】本発明の目的は、ウェーハ収納用カセット内に載置されているウェーハの載置位置がずれている場合であっても、容易に、ウェーハの位置を修正し、ウェーハを保持・搬送できるウェーハ搬送装置及び方法を提供することにある。
【解決手段】ロボットハンド１０が、ウェーハ下方の空間３２内を水平移動可能でかつ、水平移動時に保持すべきウェーハ２０の周縁部の高さ位置ＨＷよりも大きな高さ寸法ＨＹをもつウェーハ位置調整手段１３とを有することを特徴とする。
【解決手段】ロボットハンド１０が、ウェーハ下方の空間３２内を水平移動可能でかつ、水平移動時に保持すべきウェーハ２０の周縁部の高さ位置ＨＷよりも大きな高さ寸法ＨＹをもつウェーハ位置調整手段１３とを有することを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数枚のウェーハを鉛直方向に所定の間隔で載置可能なウェーハ収納用カセットの両サイド部に形成した複数対のガイド溝に沿って水平方向に挿抜でき、前記カセットに載置されたウェーハを前記カセットから取り出す際、カセットの手前側からカセット内のウェーハ所定位置まで、ウェーハの下方の空間を前方に水平移動させた後、上昇移動させてウェーハを保持するロボットハンドを有するウェーハ搬送装置、及び、搬送方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハ収納用カセット内に載置されたウェーハを取り出す手段として、例えば、ロボットハンドを用いたウェーハ搬送装置が挙げられる。
【０００３】
ウェーハ搬送手段に用いられるロボットハンドとしては、例えば特許文献１に開示されているように、ウェーハを保持して搬送するウェーハ搬送用のロボットハンドであって、前記ウェーハを径方向に加圧して把持する複数の把持爪を有し、かつ、この把持爪のうち少なくとも１個が、前記ウェーハのオリフラ部に当接する位置決め爪となっているとともに、前記把持爪のうち少なくとも１個が、他の把持爪側に前記ウェーハを加圧する可動爪となっていることを特徴とするウェーハ搬送用のロボットハンドが挙げられる。
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のロボットハンドは、図６(ａ)〜(ｃ)に示すように、カセット３０内でウェーハ２０が定められた位置に載置されている場合（図６(ａ)）には、カセット３０の手前側からカセット３０内のウェーハ２０の直下位置まで、ロボットハンド１０を前方（図６(ａ)の矢印方向）に水平移動させた後（図６(ｂ)）、上昇移動させることでウェーハを把持できる（図６(ｃ)）。しかしながら、例えば、ウェーハ２０が載置されたカセット３０を装置に横向きにセットする際、カセット３０に傾きがあったり、衝撃が加わった場合には、カセット３０内に掲置されたウェーハ２０が水平方向（ロボットハンド挿抜方向）に位置ずれを生じる場合がある。そして、図７(ａ)〜(ｃ)に示すように、カセット３０内で前記ウェーハ２０が水平方向の位置ずれを生じた状態で載置されている場合（図７(ａ)）に、カセット３０の手前側からカセット３０内のウェーハ２０の直下位置まで、ロボットハンド１０を前方（図７(ａ)の矢印方向）に水平移動させた後（図７(ｂ)）、上昇移動させるときに、ウェーハ２０がロボットハンド１０の把持爪１２の上部に乗り上げてしまい、カセット溝３１上部壁３１ａと把持爪上端部２１ａとの間でウェーハ２０が挟まれ（図７(ｃ)）、ウェーハ２０に欠けや割れが生じる問題があった。
【０００５】
そのため、特許文献２に開示されているように、ウェーハに、方位決めや位置決めのための指標が外周縁に設けられており、ウェーハ搬送アームが、アーム本体と、アーム本体に設けられた少なくとも一つの可動爪を含む三つの爪と、三つの爪でウェーハの外周縁を挟み込むことによってウェーハを心出しして把持するために可動爪を移動させる可動爪駆動部と、カセットに収納されているウェーハのカセット開口側外周縁の位置を検出するための少なくとも二つのセンサーとを備えることを特徴とするウェーハ搬送アームが開発されている。このウェーハ搬送アームを用いれば、センサーによって検出されたデータに基づいてウェーハの中心位置を算出できるため、ある程度ウェーハの載置位置がずれた場合であっても、ロボットハンドの受け取り位置を移動させることで、前記ウェーハを確実に把持できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平７−２０１９４７号公報
【特許文献２】特開２００６−８０３４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献２の発明については、ある程度のウェーハの載置位置ずれに対しては、ロボットハンドの受け取り位置を移動させることにより、前記ウェーハの保持が可能であるものの、特許文献２のアームには位置を修正する手段が付加されていないため、ロボットハンドが移動できない位置まで前記ウェーハ収納カセット内でウェーハが位置ずれを起こしている場合には、特許文献１のロボットハンドを用いた場合と同様に、ウェーハが把持爪の上部に乗り上げてしまう結果、ウェーハの欠けや割れを引き起こす恐れがあった。加えて、特許文献２の位置決めセンサーは、ウェーハの載置された位置を正確に把握し、その位置に合せてロボットハンドを正確に移動させなければならず、装置構成が複雑となり、その制御が困難であるという問題があった。
【０００８】
本発明の目的は、ウェーハ収納用カセット内に載置されているウェーハの載置位置がずれている場合であっても、容易に、ウェーハの位置を修正し、ウェーハを保持・搬送きるウェーハ搬送装置及び方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、複数枚のウェーハを鉛直方向に所定の間隔で載置可能なウェーハ収納用カセットの両サイド部に形成した複数対のガイド溝に沿って水平方向に挿抜でき、前記カセットに載置されたウェーハを前記カセットから取り出す際、カセットの手前側からカセット内のウェーハ所定位置まで、ウェーハの下方の空間を前方に水平移動させた後、上昇移動させてウェーハを保持するロボットハンドを有するウェーハ搬送装置について、上述の課題を解決するたに検討を重ねた。その結果、前記ロボットハンドが、前記ウェーハ下方の空間内を水平移動可能でかつ、水平移動時に保持すべきウェーハの周縁部の高さ位置よりも大きな高さ寸法をもつウェーハ位置調整手段とを有することで、ウェーハ収納用カセット内に収容されたウェーハを搬送するためウェーハ下方位置に前記ロボットハンドが移動する際、ロボットハンドの動きに対応してウェーハ位置調整手段がウェーハを押し出し、前記ウェーハを保持できる位置へと調整できるため、複雑な制御を行うことなく、ウェーハ位置の修正、及び、ウェーハの把持・搬送が可能となることを見出した。
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明の要旨構成は以下の通りである。
（１）複数枚のウェーハを鉛直方向に所定の間隔で載置可能なウェーハ収納用カセットの両サイド部に形成した複数対のガイド溝に沿って水平方向に挿抜でき、前記カセットに載置されたウェーハを前記カセットから取り出す際、カセットの手前側からカセット内のウェーハ所定位置まで、ウェーハの下方の空間を前方に水平移動させた後、上昇移動させてウェーハを保持するロボットハンドを有するウェーハ搬送装置において、前記ロボットハンドが、前記ウェーハ下方の空間内を水平移動可能でかつ、水平移動時に保持すべきウェーハの周縁部の高さ位置よりも大きな高さ寸法をもつウェーハ位置調整手段を有することを特徴とするウェーハ搬送装置。
【００１１】
上記目的を達成するため、本発明の要旨構成は以下の通りである。
（２）前記ロボットハンドが、前記ウェーハ下方の空間内を水平移動可能でかつ、水平移動時に保持すべきウェーハの周縁部の高さ位置よりも小さな高さ寸法をもつ先端把持部をさらに有する上記（１）記載のウェーハ搬送装置。
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明の要旨構成は以下の通りである。
（３）前記ロボットハンドが、保持すべきウェーハを下方から吸着保持するための吸着手段をさらに有する上記（１）記載のウェーハ搬送装置。
【００１３】
（４）前記ウェーハ位置調整手段は、前記ロボットハンドの手前側に設けられ、前記ウェーハ下方の空間内を水平移動可能な高さ寸法をもつ後端把持部とは別個に設けられた部材である上記（１）、（２）又は（３）記載のウェーハ搬送装置。
【００１４】
（５）前記ウェーハ位置調整手段は、前記ロボットハンドの手前側に設けられた後端把持部である上記（１）、（２）又は（３）記載のウェーハ搬送装置。
【００１５】
（６）前記ウェーハ位置調整手段は、水平方向に可動する上記（１）〜（５）のいずれか１項記載のウェーハ搬送装置。
【００１６】
（７）前記ウェーハ位置調整手段は、その少なくとも前記ウェーハ外周縁と接する部分が、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート又はポリブチレンフタレートからなる上記（１）〜（６）のいずれか１項記載のウェーハ搬送装置。
【００１７】
（８）前記ロボットハンドは、前記ウェーハ下方の空間内を水平移動可能な高さ寸法をもち、前記先端把持爪とともにウェーハ外周縁を加圧把持する可動把持部をさらに有する上記（１）〜（７）のいずれか１項記載のウェーハ搬送装置。
【００１８】
（９）複数枚のウェーハを鉛直方向に所定の間隔で載置可能なウェーハ収納用カセットの両サイド部に形成した複数対のガイド溝に沿って水平方向に挿抜でき、前記カセットに載置されたウェーハを前記カセットから取り出す際、カセットの手前側からカセット内のウェーハ所定位置まで、ウェーハの下方の空間を前方に水平移動させた後、上昇移動させてウェーハを保持するロボットハンドを用いてウェーハの搬送を行う方法において、前記ロボットハンドが、水平移動時に保持すべきウェーハの周縁部の高さ位置よりも大きな高さ寸法をもつウェーハ位置調整手段を有し、ウェーハ収納用カセット内に収容されたウェーハを搬送するためウェーハ下方に前記ロボットハンドが移動する際、ロボットハンドの動きに対応してウェーハ位置調整手段がウェーハを押し出すことで、前記ウェーハを保持できる位置に調整することを特徴とするウェーハ搬送方法。
【発明の効果】
【００１９】
ウェーハ収納用カセット内に載置されているウェーハの載置位置がずれている場合であっても、容易に、ウェーハの位置を修正し、ウェーハを保持・搬送できるウェーハ搬送装置及び方法の提供が可能となった。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に従うロボットハンドを示した図であり、(ａ)は斜視図、(ｂ)は側断面図である。
【図２】本発明に従うロボットハンドの別の実施形態を示した図であり、(ａ)は斜視図、(ｂ)は側断面図である。
【図３】本発明に従うロボットハンドの別の実施形態を示した図であり、(ａ)は斜視図、(ｂ)は側断面図である。
【図４】本発明に従うロボットハンドの別の実施形態を示した図であり、(ａ)は斜視図、(ｂ)は側断面図である。
【図５】本発明に従うロボットハンドの吸着手段を説明するための図であり、(ａ)及び(ｂ)は上方からみた状態を示す平面図、(ｃ)は(ｂ)のＡ−Ａの断面図である。
【図６】従来の発明によるロボットハンドが、ウェーハを把持するまでの動きを説明するため、ウェーハ収納用カセットの一部について、側方から見た図である。
【図７】従来の発明によるロボットハンドが、載置位置のずれたウェーハを把持しようとする際の動きを説明するため、ウェーハ収納用カセットの一部について、側方から見た図である。
【図８】本発明によるロボットハンドが、載置位置のずれたウェーハを把持しようとする際の動きを説明するため、ウェーハ収納用カセットの一部について、側方から見た図である。
【図９】(ａ)はウェーハ収納用カセットを示した斜視図、(ｂ)はウェーハを装填したときのウェーハ収納用カセットの上面図を示したものである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明によるウェーハ搬送装置について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明によるロボットハンドを、斜め上方と側方から見た状態を示した図である。図２は、本発明によるロボットハンドの別の実施形態について、斜め上方と側方から見た状態を示した図である。図３及び図４は、本発明によるロボットハンドの別の実施形態について、斜め上方と側方から見た状態を示した図である。図８は、本発明によるロボットハンドが、ウェーハの載置位置を調整する流れを説明するため、ウェーハ収納用カセットの一部について、側方から見た状態を示した図である。図９は、ウェーハ収納用カセットの一実施形態について、斜め上方から見たときの状態及びウェーハを装填して上方から見たときの状態を示している。
【００２２】
本発明のウェーハ搬送装置は、図９に示すように、複数枚のウェーハ２０を鉛直方向に所定の間隔で載置可能なウェーハ収納用カセット３０の両サイド部に形成した複数対のガイド溝３１に沿って水平方向に挿抜でき、図８に示すように、前記カセット３０に載置されたウェーハ２０（図８(ａ)）を前記カセット３０から取り出す際、カセット３０の手前側からカセット３０内のウェーハ所定位置まで、ウェーハの下方の空間３２を前方（（図８(ａ)、(ｂ)の矢印方向）に水平移動させた後（図８(ｃ)）、上昇移動（図８(ｃ)の矢印方向）させてウェーハ２０を把持する（図８(ｄ)）ロボットハンド１０を有するウェーハ搬送装置である。
【００２３】
ここで、前記ウェーハ収納用カセット３０については、一般的に用いられるものであり、図９に示すように、前記ウェーハ２０の端部を支持するための複数対のガイド溝３１を両サイドに形成している。前記カセット３０の手前側とは、前記ロボットハンド１０を挿抜する際の、前記カセット３０のロボットハンド側をいう。また、前記カセット内のウェーハ所定位置とは、ロボットハンド１０が前記ウェーハ２０を有効に保持することができる水平位置のことをいい、具体的には、図９(ｂ)で示すように、前記カセット３０内の定位置に前記ウェーハ２０が収容され、ロボットハンド１０の挿抜側とは反対側のガイド溝３１ａに接した状態にあることをいう。
【００２４】
そして、本発明は、図８(ａ)に示すように、前記ロボットハンド１０が、前記ウェーハ下方の空間３２内を水平移動可能でかつ、水平移動時に保持すべきウェーハ２０の周縁部の高さ位置ＨＷよりも大きな高さ寸法ＨＹをもつウェーハ位置調整手段１３とを有することを特徴とする。
【００２５】
上記構成を採用することで、図８に示すように、載置位置がずれた状態でウェーハ２０収納用カセット３０内に収容されたウェーハ２０（図８(ａ)）を、搬送するべくウェーハ下方位置に、前記ロボットハンド１０が水平移動する際（図８(ｂ)）、ロボットハンド１０の動きに対応してウェーハ位置調整手段１３がウェーハ２０を前方へ押し出し、前記ウェーハ２０を把持できる位置へと調整する結果（図８(ｃ)）、複雑な制御を行うことなく、ウェーハ位置の修正、及びウェーハの把持（図８(ｄ)）、搬送が可能となる。
【００２６】
ここで、前記下方の空間３２とは、把持し、搬送するウェーハ２０の裏面２０ａと、該ウェーハの１つ下に載置されているウェーハの表面（図示せず）とで形成される空間のことをいう。
また、図８(ａ)に示すように、前記ウェーハ２０の周縁部の高さ位置ＨＷとは、前記ロボットハンド１０を前記ウェーハ収納用カセット３０に挿入した際の、前記ウェーハ２０の周縁部における裏面２０ｂの高さ位置をいう。前記ウェーハ位置調整手段１３の高さ寸法ＨＹとは、前記ロボットハンド１０を前記ウェーハ収納用カセット３０に挿入した際の、前記ウェーハ位置調整手段１３の上端の高さ位置をいい、前記ウェーハ２０の周縁部の高さ位置ＨＷよりも高い位置にある。
【００２７】
ここで、前記ウェーハ位置調整手段は、図８に示すように、保持すべきウェーハ２０の周縁部の高さ位置ＨＷよりも大きな高さ寸法ＨＹをもち、前記ロボットハンド１０が水平移動する際に（図８(ｂ)）、ロボットハンド１０の動きに対応してウェーハ位置調整手段１３がウェーハ２０を前方へ押し出すことができる構成を有していれば、その他の条件については任意に選択することができる。
【００２８】
また、図１(ａ)及び(ｂ)に示すように、前記ロボットハンド１０が、前記ウェーハ下方の空間３２内を水平移動可能でかつ、水平移動時に保持すべきウェーハの周縁部の高さ位置ＨＷよりも小さな高さ寸法をもつ先端把持部１１をさらに有することが好ましい。この先端把持部によって、図１(ａ)に示すように、前記ウェーハ２０を確実に把持することができるからである。
【００２９】
さらに、図４(ａ)及び(ｂ)に示すように、前記ロボットハンド１０が、前記把持部１１に代えて、保持すべきウェーハを下方から吸着保持するための吸着手段１５を有することもできる。この吸着手段１５を用いることで、図８(ｄ)に示すように、前記ウェーハ２０を確実に把持することができるからである。
【００３０】
ここで、前記吸着手段１５の設けられる位置については、前記ウェーハ２０を確実に吸着保持できれば特に限定はせず、図４(ａ)及び(ｂ)に示す形態の他にも、例えば、図５(ａ)及び(ｂ)に示すような位置に前記吸着手段１５を設けることも可能である。ここで、前記ウェーハ２０の吸着方法については特に限定はしないが、例えば、図５(ｃ)中の矢印方向に排気を行うことで、前記ウェーハ２０を吸着することができる。
【００３１】
前記ウェーハ位置調整手段１３は、図１(ａ)及び(ｂ)に示すように、前記ロボットハンドの手前側に設けられ、前記ウェーハ下方の空間内を水平移動可能な高さ寸法をもつ後端把持部１２とは別個に設けられた部材とすることができる。これによって、ロボットハンド１０の動きに対応して有効に前記ウェーハ２０を押し出すことができるためである。なお、図１中では、前記ウェーハ位置調整手段が、前記後端把持部１２よりもロボットハンド１０の手前側（図１(ｂ)では左側）に設けられているが、前記後端把持部１２と並列して設けられても構わない。なお、前記ウェーハ位置調整手段１３がロボットハンド１０の手前側に設けられている場合は、載置位置のずれたウェーハ２０を一旦、各把持部１１、１２で把持できる水平位置まで押し出した後、ロボットハンド１０を手前側に戻し、その後、ロボットハンド１０を上昇させて前記ウェーハ２０の把持を行う。
さらに、前記ウェーハ位置調整手段１３の形状は、図１(ａ)及び(ｂ)に示すように、柱状に限られず、図２(ａ)及び(ｂ)に示すように、幅の広い部材とすることも可能である。幅の広い部材を用いれば、前記ウェーハ２０を均一に押し出すことができ、前記ウェーハ２０の位置調整をより確実に行うことができる。
【００３２】
また、前記ウェーハ位置調整手段１３は、図３(ａ)及び(ｂ)に示すように、前記ロボットハンドの手前側に設けられた後端把持部１２とすることもできる。前記後端把持部１２の高さ寸法を前記ウェーハ２０の周縁部の高さ位置ＨＷより大きくすれば、前記ウェーハ２０の下方の所定位置まで水平移動する際には、前記ロボットハンド１０の動きに伴って前記ウェーハ２０を押し出すウェーハ位置調整手段１３としての役目を果たし、その後、前記ロボットハンド１０が上昇し、前記ウェーハ２０を把持する際には、前記先端把持部１１とともに前記ウェーハ２０を把持する後端把持部１２としての役目を果たすことができる点で有効である。ここで、前記把持部１２の形状については、図３に示すように柱状とすることもできるが、前記ウェーハ２０を水平方向に押し出すことができ、かつ、前記ウェーハ２０を把持することができる形状であれば特に限定はされない。
【００３３】
また、前記ウェーハ位置調整手段１３は、水平方向に可動するようにすることもできる。前記ロボットハンド１０の動きに対応して、載置位置のずれた前記ウェーハ２０を押し出すだけでなく、前記ロボットハンド１０とは別個に前記位置調整手段１３が水平方向に移動し、前記ウェーハ２０を押し出すことができれば、より精密な前記ウェーハ２０の位置調整が行えるためである。
【００３４】
さらに、前記ウェーハ位置調整手段１３は、その少なくとも前記ウェーハ２０の外周縁と接する部分が、緩衝材としての役目を果たせるように、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート又はポリブチレンフタレートからなることが好ましい。その他の材料を用いた場合、材料の硬度が高すぎるため、前記ウェーハ２０と接触した際、ウェーハ２０の欠けや割れを引き起こす恐れや、材料の硬度が低すぎるため、ウェーハ位置調整手段１３の一部が破損し、前記ウェーハに不純物として付着する恐れがあるからである。
【００３５】
また、前記ロボットハンド１０は、図３(ａ)及び(ｂ)に示すように、前記ウェーハ２０下方の空間３２内を水平移動可能な高さ寸法をもち、前記先端把持爪１１とともにウェーハ２０外周縁を加圧保持する可動把持部１４をさらに有することが好ましい。可動把持部１４を用いて前記ウェーハ２０の把持を行えば、ウェーハのサイズに関わらず、確実に把持できるからである。前記先端把持部１１及び前記後端把持部１２だけでは、一定のサイズのウェーハに対しては確実に保持できるものの、ウェーハのサイズが変わるたびに各把持部１１、１２の位置関係を調整しなければならず、作業が煩雑となるからである。
【００３６】
次に、本発明によるウェーハ搬送装置について、図面を参照しながら説明する。
本発明によるウェーハ搬送方法は、図９に示すように、複数枚のウェーハ２０を鉛直方向に所定の間隔で載置可能なウェーハ収納用カセット３０の両サイド部に形成した複数対のガイド溝３１に沿って水平方向に挿抜でき、図８に示すように、前記カセット３０に載置されたウェーハ２０（図８(ａ)）を前記カセット３０から取り出す際、カセット３０の手前側からカセット３０内のウェーハ所定位置まで、ウェーハの下方の空間３２を前方（（図８(ａ)、(ｂ)の矢印方向）に水平移動させた後（図８(ｃ)）、上昇移動（図８(ｃ)の矢印方向）させてウェーハ２０を把持する（図８(ｄ)）ロボットハンド１０を用いるウェーハ搬送方法である。
【００３７】
そして、本発明によるウェーハ搬送方法は、そして、本発明は、図８(ａ)に示すように、前記ロボットハンド１０が、水平移動時に保持すべきウェーハ２０の周縁部の高さ位置ＨＷよりも大きな高さ寸法ＨＹをもつウェーハ位置調整手段１３を有し、載置位置がずれた状態でウェーハ２０収納用カセット３０内に収容されたウェーハ２０（図８(ａ)）を、搬送するべくウェーハ下方位置に、前記ロボットハンド１０が水平移動する際に（図８(ｂ)）、ロボットハンド１０の動きに対応してウェーハ位置調整手段１３がウェーハ２０を前方へ押し出し、前記ウェーハ２０を把持できる位置へと調整する（図８(ｃ)）ことを特徴とする。
それによって、複雑な制御を行うことなく、載置位置のずれたウェーハの位置を修正し、ウェーハを確実に把持・搬送できる。
【００３８】
実際に、図３に示すロボットハンド１０を使用し、１ヶ月間の操業（カセット３０へのウェーハ２０の収容、カセット３０からのウェーハ２０の取り出し）を行ったところ、ウェーハ２０の欠け・割れは全く発生しなかった。また、先端把持部１１に代えて、図４に示すように、吸着手段１５を用いたロボットハンド１０を使用して操業を行った場合も、同様に、ウェーハの欠け・割れは全く発生しなかった。
【００３９】
なお、上述したところは、この発明の実施形態の一例を示したにすぎず、請求の範囲において種々の変更を加えることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
この発明によれば、ウェーハ収納用カセット内に載置されているウェーハの載置位置がずれている場合であっても、容易に、ウェーハの位置を修正し、ウェーハを保持・搬送できるウェーハ搬送装置及び方法を提供することが可能になった。
【符号の説明】
【００４１】
１０ ロボットハンド
１１ 先端把持部
１２ 後端把持部
１３ ウェーハ位置調整手段
１４ 可動把持部
１５ 吸着手段
２０ ウェーハ
３０ ウェーハ収納用カセット
３１ カセット溝、ガイド溝
３２ ウェーハ下方の空間
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数枚のウェーハを鉛直方向に所定の間隔で載置可能なウェーハ収納用カセットの両サイド部に形成した複数対のガイド溝に沿って水平方向に挿抜でき、前記カセットに載置されたウェーハを前記カセットから取り出す際、カセットの手前側からカセット内のウェーハ所定位置まで、ウェーハの下方の空間を前方に水平移動させた後、上昇移動させてウェーハを保持するロボットハンドを有するウェーハ搬送装置、及び、搬送方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハ収納用カセット内に載置されたウェーハを取り出す手段として、例えば、ロボットハンドを用いたウェーハ搬送装置が挙げられる。
【０００３】
ウェーハ搬送手段に用いられるロボットハンドとしては、例えば特許文献１に開示されているように、ウェーハを保持して搬送するウェーハ搬送用のロボットハンドであって、前記ウェーハを径方向に加圧して把持する複数の把持爪を有し、かつ、この把持爪のうち少なくとも１個が、前記ウェーハのオリフラ部に当接する位置決め爪となっているとともに、前記把持爪のうち少なくとも１個が、他の把持爪側に前記ウェーハを加圧する可動爪となっていることを特徴とするウェーハ搬送用のロボットハンドが挙げられる。
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のロボットハンドは、図６(ａ)〜(ｃ)に示すように、カセット３０内でウェーハ２０が定められた位置に載置されている場合（図６(ａ)）には、カセット３０の手前側からカセット３０内のウェーハ２０の直下位置まで、ロボットハンド１０を前方（図６(ａ)の矢印方向）に水平移動させた後（図６(ｂ)）、上昇移動させることでウェーハを把持できる（図６(ｃ)）。しかしながら、例えば、ウェーハ２０が載置されたカセット３０を装置に横向きにセットする際、カセット３０に傾きがあったり、衝撃が加わった場合には、カセット３０内に掲置されたウェーハ２０が水平方向（ロボットハンド挿抜方向）に位置ずれを生じる場合がある。そして、図７(ａ)〜(ｃ)に示すように、カセット３０内で前記ウェーハ２０が水平方向の位置ずれを生じた状態で載置されている場合（図７(ａ)）に、カセット３０の手前側からカセット３０内のウェーハ２０の直下位置まで、ロボットハンド１０を前方（図７(ａ)の矢印方向）に水平移動させた後（図７(ｂ)）、上昇移動させるときに、ウェーハ２０がロボットハンド１０の把持爪１２の上部に乗り上げてしまい、カセット溝３１上部壁３１ａと把持爪上端部２１ａとの間でウェーハ２０が挟まれ（図７(ｃ)）、ウェーハ２０に欠けや割れが生じる問題があった。
【０００５】
そのため、特許文献２に開示されているように、ウェーハに、方位決めや位置決めのための指標が外周縁に設けられており、ウェーハ搬送アームが、アーム本体と、アーム本体に設けられた少なくとも一つの可動爪を含む三つの爪と、三つの爪でウェーハの外周縁を挟み込むことによってウェーハを心出しして把持するために可動爪を移動させる可動爪駆動部と、カセットに収納されているウェーハのカセット開口側外周縁の位置を検出するための少なくとも二つのセンサーとを備えることを特徴とするウェーハ搬送アームが開発されている。このウェーハ搬送アームを用いれば、センサーによって検出されたデータに基づいてウェーハの中心位置を算出できるため、ある程度ウェーハの載置位置がずれた場合であっても、ロボットハンドの受け取り位置を移動させることで、前記ウェーハを確実に把持できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平７−２０１９４７号公報
【特許文献２】特開２００６−８０３４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献２の発明については、ある程度のウェーハの載置位置ずれに対しては、ロボットハンドの受け取り位置を移動させることにより、前記ウェーハの保持が可能であるものの、特許文献２のアームには位置を修正する手段が付加されていないため、ロボットハンドが移動できない位置まで前記ウェーハ収納カセット内でウェーハが位置ずれを起こしている場合には、特許文献１のロボットハンドを用いた場合と同様に、ウェーハが把持爪の上部に乗り上げてしまう結果、ウェーハの欠けや割れを引き起こす恐れがあった。加えて、特許文献２の位置決めセンサーは、ウェーハの載置された位置を正確に把握し、その位置に合せてロボットハンドを正確に移動させなければならず、装置構成が複雑となり、その制御が困難であるという問題があった。
【０００８】
本発明の目的は、ウェーハ収納用カセット内に載置されているウェーハの載置位置がずれている場合であっても、容易に、ウェーハの位置を修正し、ウェーハを保持・搬送きるウェーハ搬送装置及び方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、複数枚のウェーハを鉛直方向に所定の間隔で載置可能なウェーハ収納用カセットの両サイド部に形成した複数対のガイド溝に沿って水平方向に挿抜でき、前記カセットに載置されたウェーハを前記カセットから取り出す際、カセットの手前側からカセット内のウェーハ所定位置まで、ウェーハの下方の空間を前方に水平移動させた後、上昇移動させてウェーハを保持するロボットハンドを有するウェーハ搬送装置について、上述の課題を解決するたに検討を重ねた。その結果、前記ロボットハンドが、前記ウェーハ下方の空間内を水平移動可能でかつ、水平移動時に保持すべきウェーハの周縁部の高さ位置よりも大きな高さ寸法をもつウェーハ位置調整手段とを有することで、ウェーハ収納用カセット内に収容されたウェーハを搬送するためウェーハ下方位置に前記ロボットハンドが移動する際、ロボットハンドの動きに対応してウェーハ位置調整手段がウェーハを押し出し、前記ウェーハを保持できる位置へと調整できるため、複雑な制御を行うことなく、ウェーハ位置の修正、及び、ウェーハの把持・搬送が可能となることを見出した。
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明の要旨構成は以下の通りである。
（１）複数枚のウェーハを鉛直方向に所定の間隔で載置可能なウェーハ収納用カセットの両サイド部に形成した複数対のガイド溝に沿って水平方向に挿抜でき、前記カセットに載置されたウェーハを前記カセットから取り出す際、カセットの手前側からカセット内のウェーハ所定位置まで、ウェーハの下方の空間を前方に水平移動させた後、上昇移動させてウェーハを保持するロボットハンドを有するウェーハ搬送装置において、前記ロボットハンドが、前記ウェーハ下方の空間内を水平移動可能でかつ、水平移動時に保持すべきウェーハの周縁部の高さ位置よりも大きな高さ寸法をもつウェーハ位置調整手段を有することを特徴とするウェーハ搬送装置。
【００１１】
上記目的を達成するため、本発明の要旨構成は以下の通りである。
（２）前記ロボットハンドが、前記ウェーハ下方の空間内を水平移動可能でかつ、水平移動時に保持すべきウェーハの周縁部の高さ位置よりも小さな高さ寸法をもつ先端把持部をさらに有する上記（１）記載のウェーハ搬送装置。
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明の要旨構成は以下の通りである。
（３）前記ロボットハンドが、保持すべきウェーハを下方から吸着保持するための吸着手段をさらに有する上記（１）記載のウェーハ搬送装置。
【００１３】
（４）前記ウェーハ位置調整手段は、前記ロボットハンドの手前側に設けられ、前記ウェーハ下方の空間内を水平移動可能な高さ寸法をもつ後端把持部とは別個に設けられた部材である上記（１）、（２）又は（３）記載のウェーハ搬送装置。
【００１４】
（５）前記ウェーハ位置調整手段は、前記ロボットハンドの手前側に設けられた後端把持部である上記（１）、（２）又は（３）記載のウェーハ搬送装置。
【００１５】
（６）前記ウェーハ位置調整手段は、水平方向に可動する上記（１）〜（５）のいずれか１項記載のウェーハ搬送装置。
【００１６】
（７）前記ウェーハ位置調整手段は、その少なくとも前記ウェーハ外周縁と接する部分が、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート又はポリブチレンフタレートからなる上記（１）〜（６）のいずれか１項記載のウェーハ搬送装置。
【００１７】
（８）前記ロボットハンドは、前記ウェーハ下方の空間内を水平移動可能な高さ寸法をもち、前記先端把持爪とともにウェーハ外周縁を加圧把持する可動把持部をさらに有する上記（１）〜（７）のいずれか１項記載のウェーハ搬送装置。
【００１８】
（９）複数枚のウェーハを鉛直方向に所定の間隔で載置可能なウェーハ収納用カセットの両サイド部に形成した複数対のガイド溝に沿って水平方向に挿抜でき、前記カセットに載置されたウェーハを前記カセットから取り出す際、カセットの手前側からカセット内のウェーハ所定位置まで、ウェーハの下方の空間を前方に水平移動させた後、上昇移動させてウェーハを保持するロボットハンドを用いてウェーハの搬送を行う方法において、前記ロボットハンドが、水平移動時に保持すべきウェーハの周縁部の高さ位置よりも大きな高さ寸法をもつウェーハ位置調整手段を有し、ウェーハ収納用カセット内に収容されたウェーハを搬送するためウェーハ下方に前記ロボットハンドが移動する際、ロボットハンドの動きに対応してウェーハ位置調整手段がウェーハを押し出すことで、前記ウェーハを保持できる位置に調整することを特徴とするウェーハ搬送方法。
【発明の効果】
【００１９】
ウェーハ収納用カセット内に載置されているウェーハの載置位置がずれている場合であっても、容易に、ウェーハの位置を修正し、ウェーハを保持・搬送できるウェーハ搬送装置及び方法の提供が可能となった。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に従うロボットハンドを示した図であり、(ａ)は斜視図、(ｂ)は側断面図である。
【図２】本発明に従うロボットハンドの別の実施形態を示した図であり、(ａ)は斜視図、(ｂ)は側断面図である。
【図３】本発明に従うロボットハンドの別の実施形態を示した図であり、(ａ)は斜視図、(ｂ)は側断面図である。
【図４】本発明に従うロボットハンドの別の実施形態を示した図であり、(ａ)は斜視図、(ｂ)は側断面図である。
【図５】本発明に従うロボットハンドの吸着手段を説明するための図であり、(ａ)及び(ｂ)は上方からみた状態を示す平面図、(ｃ)は(ｂ)のＡ−Ａの断面図である。
【図６】従来の発明によるロボットハンドが、ウェーハを把持するまでの動きを説明するため、ウェーハ収納用カセットの一部について、側方から見た図である。
【図７】従来の発明によるロボットハンドが、載置位置のずれたウェーハを把持しようとする際の動きを説明するため、ウェーハ収納用カセットの一部について、側方から見た図である。
【図８】本発明によるロボットハンドが、載置位置のずれたウェーハを把持しようとする際の動きを説明するため、ウェーハ収納用カセットの一部について、側方から見た図である。
【図９】(ａ)はウェーハ収納用カセットを示した斜視図、(ｂ)はウェーハを装填したときのウェーハ収納用カセットの上面図を示したものである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明によるウェーハ搬送装置について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明によるロボットハンドを、斜め上方と側方から見た状態を示した図である。図２は、本発明によるロボットハンドの別の実施形態について、斜め上方と側方から見た状態を示した図である。図３及び図４は、本発明によるロボットハンドの別の実施形態について、斜め上方と側方から見た状態を示した図である。図８は、本発明によるロボットハンドが、ウェーハの載置位置を調整する流れを説明するため、ウェーハ収納用カセットの一部について、側方から見た状態を示した図である。図９は、ウェーハ収納用カセットの一実施形態について、斜め上方から見たときの状態及びウェーハを装填して上方から見たときの状態を示している。
【００２２】
本発明のウェーハ搬送装置は、図９に示すように、複数枚のウェーハ２０を鉛直方向に所定の間隔で載置可能なウェーハ収納用カセット３０の両サイド部に形成した複数対のガイド溝３１に沿って水平方向に挿抜でき、図８に示すように、前記カセット３０に載置されたウェーハ２０（図８(ａ)）を前記カセット３０から取り出す際、カセット３０の手前側からカセット３０内のウェーハ所定位置まで、ウェーハの下方の空間３２を前方（（図８(ａ)、(ｂ)の矢印方向）に水平移動させた後（図８(ｃ)）、上昇移動（図８(ｃ)の矢印方向）させてウェーハ２０を把持する（図８(ｄ)）ロボットハンド１０を有するウェーハ搬送装置である。
【００２３】
ここで、前記ウェーハ収納用カセット３０については、一般的に用いられるものであり、図９に示すように、前記ウェーハ２０の端部を支持するための複数対のガイド溝３１を両サイドに形成している。前記カセット３０の手前側とは、前記ロボットハンド１０を挿抜する際の、前記カセット３０のロボットハンド側をいう。また、前記カセット内のウェーハ所定位置とは、ロボットハンド１０が前記ウェーハ２０を有効に保持することができる水平位置のことをいい、具体的には、図９(ｂ)で示すように、前記カセット３０内の定位置に前記ウェーハ２０が収容され、ロボットハンド１０の挿抜側とは反対側のガイド溝３１ａに接した状態にあることをいう。
【００２４】
そして、本発明は、図８(ａ)に示すように、前記ロボットハンド１０が、前記ウェーハ下方の空間３２内を水平移動可能でかつ、水平移動時に保持すべきウェーハ２０の周縁部の高さ位置ＨＷよりも大きな高さ寸法ＨＹをもつウェーハ位置調整手段１３とを有することを特徴とする。
【００２５】
上記構成を採用することで、図８に示すように、載置位置がずれた状態でウェーハ２０収納用カセット３０内に収容されたウェーハ２０（図８(ａ)）を、搬送するべくウェーハ下方位置に、前記ロボットハンド１０が水平移動する際（図８(ｂ)）、ロボットハンド１０の動きに対応してウェーハ位置調整手段１３がウェーハ２０を前方へ押し出し、前記ウェーハ２０を把持できる位置へと調整する結果（図８(ｃ)）、複雑な制御を行うことなく、ウェーハ位置の修正、及びウェーハの把持（図８(ｄ)）、搬送が可能となる。
【００２６】
ここで、前記下方の空間３２とは、把持し、搬送するウェーハ２０の裏面２０ａと、該ウェーハの１つ下に載置されているウェーハの表面（図示せず）とで形成される空間のことをいう。
また、図８(ａ)に示すように、前記ウェーハ２０の周縁部の高さ位置ＨＷとは、前記ロボットハンド１０を前記ウェーハ収納用カセット３０に挿入した際の、前記ウェーハ２０の周縁部における裏面２０ｂの高さ位置をいう。前記ウェーハ位置調整手段１３の高さ寸法ＨＹとは、前記ロボットハンド１０を前記ウェーハ収納用カセット３０に挿入した際の、前記ウェーハ位置調整手段１３の上端の高さ位置をいい、前記ウェーハ２０の周縁部の高さ位置ＨＷよりも高い位置にある。
【００２７】
ここで、前記ウェーハ位置調整手段は、図８に示すように、保持すべきウェーハ２０の周縁部の高さ位置ＨＷよりも大きな高さ寸法ＨＹをもち、前記ロボットハンド１０が水平移動する際に（図８(ｂ)）、ロボットハンド１０の動きに対応してウェーハ位置調整手段１３がウェーハ２０を前方へ押し出すことができる構成を有していれば、その他の条件については任意に選択することができる。
【００２８】
また、図１(ａ)及び(ｂ)に示すように、前記ロボットハンド１０が、前記ウェーハ下方の空間３２内を水平移動可能でかつ、水平移動時に保持すべきウェーハの周縁部の高さ位置ＨＷよりも小さな高さ寸法をもつ先端把持部１１をさらに有することが好ましい。この先端把持部によって、図１(ａ)に示すように、前記ウェーハ２０を確実に把持することができるからである。
【００２９】
さらに、図４(ａ)及び(ｂ)に示すように、前記ロボットハンド１０が、前記把持部１１に代えて、保持すべきウェーハを下方から吸着保持するための吸着手段１５を有することもできる。この吸着手段１５を用いることで、図８(ｄ)に示すように、前記ウェーハ２０を確実に把持することができるからである。
【００３０】
ここで、前記吸着手段１５の設けられる位置については、前記ウェーハ２０を確実に吸着保持できれば特に限定はせず、図４(ａ)及び(ｂ)に示す形態の他にも、例えば、図５(ａ)及び(ｂ)に示すような位置に前記吸着手段１５を設けることも可能である。ここで、前記ウェーハ２０の吸着方法については特に限定はしないが、例えば、図５(ｃ)中の矢印方向に排気を行うことで、前記ウェーハ２０を吸着することができる。
【００３１】
前記ウェーハ位置調整手段１３は、図１(ａ)及び(ｂ)に示すように、前記ロボットハンドの手前側に設けられ、前記ウェーハ下方の空間内を水平移動可能な高さ寸法をもつ後端把持部１２とは別個に設けられた部材とすることができる。これによって、ロボットハンド１０の動きに対応して有効に前記ウェーハ２０を押し出すことができるためである。なお、図１中では、前記ウェーハ位置調整手段が、前記後端把持部１２よりもロボットハンド１０の手前側（図１(ｂ)では左側）に設けられているが、前記後端把持部１２と並列して設けられても構わない。なお、前記ウェーハ位置調整手段１３がロボットハンド１０の手前側に設けられている場合は、載置位置のずれたウェーハ２０を一旦、各把持部１１、１２で把持できる水平位置まで押し出した後、ロボットハンド１０を手前側に戻し、その後、ロボットハンド１０を上昇させて前記ウェーハ２０の把持を行う。
さらに、前記ウェーハ位置調整手段１３の形状は、図１(ａ)及び(ｂ)に示すように、柱状に限られず、図２(ａ)及び(ｂ)に示すように、幅の広い部材とすることも可能である。幅の広い部材を用いれば、前記ウェーハ２０を均一に押し出すことができ、前記ウェーハ２０の位置調整をより確実に行うことができる。
【００３２】
また、前記ウェーハ位置調整手段１３は、図３(ａ)及び(ｂ)に示すように、前記ロボットハンドの手前側に設けられた後端把持部１２とすることもできる。前記後端把持部１２の高さ寸法を前記ウェーハ２０の周縁部の高さ位置ＨＷより大きくすれば、前記ウェーハ２０の下方の所定位置まで水平移動する際には、前記ロボットハンド１０の動きに伴って前記ウェーハ２０を押し出すウェーハ位置調整手段１３としての役目を果たし、その後、前記ロボットハンド１０が上昇し、前記ウェーハ２０を把持する際には、前記先端把持部１１とともに前記ウェーハ２０を把持する後端把持部１２としての役目を果たすことができる点で有効である。ここで、前記把持部１２の形状については、図３に示すように柱状とすることもできるが、前記ウェーハ２０を水平方向に押し出すことができ、かつ、前記ウェーハ２０を把持することができる形状であれば特に限定はされない。
【００３３】
また、前記ウェーハ位置調整手段１３は、水平方向に可動するようにすることもできる。前記ロボットハンド１０の動きに対応して、載置位置のずれた前記ウェーハ２０を押し出すだけでなく、前記ロボットハンド１０とは別個に前記位置調整手段１３が水平方向に移動し、前記ウェーハ２０を押し出すことができれば、より精密な前記ウェーハ２０の位置調整が行えるためである。
【００３４】
さらに、前記ウェーハ位置調整手段１３は、その少なくとも前記ウェーハ２０の外周縁と接する部分が、緩衝材としての役目を果たせるように、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート又はポリブチレンフタレートからなることが好ましい。その他の材料を用いた場合、材料の硬度が高すぎるため、前記ウェーハ２０と接触した際、ウェーハ２０の欠けや割れを引き起こす恐れや、材料の硬度が低すぎるため、ウェーハ位置調整手段１３の一部が破損し、前記ウェーハに不純物として付着する恐れがあるからである。
【００３５】
また、前記ロボットハンド１０は、図３(ａ)及び(ｂ)に示すように、前記ウェーハ２０下方の空間３２内を水平移動可能な高さ寸法をもち、前記先端把持爪１１とともにウェーハ２０外周縁を加圧保持する可動把持部１４をさらに有することが好ましい。可動把持部１４を用いて前記ウェーハ２０の把持を行えば、ウェーハのサイズに関わらず、確実に把持できるからである。前記先端把持部１１及び前記後端把持部１２だけでは、一定のサイズのウェーハに対しては確実に保持できるものの、ウェーハのサイズが変わるたびに各把持部１１、１２の位置関係を調整しなければならず、作業が煩雑となるからである。
【００３６】
次に、本発明によるウェーハ搬送装置について、図面を参照しながら説明する。
本発明によるウェーハ搬送方法は、図９に示すように、複数枚のウェーハ２０を鉛直方向に所定の間隔で載置可能なウェーハ収納用カセット３０の両サイド部に形成した複数対のガイド溝３１に沿って水平方向に挿抜でき、図８に示すように、前記カセット３０に載置されたウェーハ２０（図８(ａ)）を前記カセット３０から取り出す際、カセット３０の手前側からカセット３０内のウェーハ所定位置まで、ウェーハの下方の空間３２を前方（（図８(ａ)、(ｂ)の矢印方向）に水平移動させた後（図８(ｃ)）、上昇移動（図８(ｃ)の矢印方向）させてウェーハ２０を把持する（図８(ｄ)）ロボットハンド１０を用いるウェーハ搬送方法である。
【００３７】
そして、本発明によるウェーハ搬送方法は、そして、本発明は、図８(ａ)に示すように、前記ロボットハンド１０が、水平移動時に保持すべきウェーハ２０の周縁部の高さ位置ＨＷよりも大きな高さ寸法ＨＹをもつウェーハ位置調整手段１３を有し、載置位置がずれた状態でウェーハ２０収納用カセット３０内に収容されたウェーハ２０（図８(ａ)）を、搬送するべくウェーハ下方位置に、前記ロボットハンド１０が水平移動する際に（図８(ｂ)）、ロボットハンド１０の動きに対応してウェーハ位置調整手段１３がウェーハ２０を前方へ押し出し、前記ウェーハ２０を把持できる位置へと調整する（図８(ｃ)）ことを特徴とする。
それによって、複雑な制御を行うことなく、載置位置のずれたウェーハの位置を修正し、ウェーハを確実に把持・搬送できる。
【００３８】
実際に、図３に示すロボットハンド１０を使用し、１ヶ月間の操業（カセット３０へのウェーハ２０の収容、カセット３０からのウェーハ２０の取り出し）を行ったところ、ウェーハ２０の欠け・割れは全く発生しなかった。また、先端把持部１１に代えて、図４に示すように、吸着手段１５を用いたロボットハンド１０を使用して操業を行った場合も、同様に、ウェーハの欠け・割れは全く発生しなかった。
【００３９】
なお、上述したところは、この発明の実施形態の一例を示したにすぎず、請求の範囲において種々の変更を加えることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
この発明によれば、ウェーハ収納用カセット内に載置されているウェーハの載置位置がずれている場合であっても、容易に、ウェーハの位置を修正し、ウェーハを保持・搬送できるウェーハ搬送装置及び方法を提供することが可能になった。
【符号の説明】
【００４１】
１０ ロボットハンド
１１ 先端把持部
１２ 後端把持部
１３ ウェーハ位置調整手段
１４ 可動把持部
１５ 吸着手段
２０ ウェーハ
３０ ウェーハ収納用カセット
３１ カセット溝、ガイド溝
３２ ウェーハ下方の空間
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚のウェーハを鉛直方向に所定の間隔で載置可能なウェーハ収納用カセットの両サイド部に形成した複数対のガイド溝に沿って水平方向に挿抜でき、前記カセットに載置されたウェーハを前記カセットから取り出す際、カセットの手前側からカセット内のウェーハ所定位置まで、ウェーハの下方の空間を前方に水平移動させた後、上昇移動させてウェーハを保持するロボットハンドを有するウェーハ搬送装置において、
前記ロボットハンドが、前記ウェーハ下方の空間内を水平移動可能でかつ、水平移動時に保持すべきウェーハの周縁部の高さ位置よりも大きな高さ寸法をもつウェーハ位置調整手段を有することを特徴とするウェーハ搬送装置。
【請求項２】
前記ロボットハンドが、前記ウェーハ下方の空間内を水平移動可能でかつ、水平移動時に保持すべきウェーハの周縁部の高さ位置よりも小さな高さ寸法をもつ先端把持部をさらに有する請求項１記載のウェーハ搬送装置。
【請求項３】
前記ロボットハンドが、保持すべきウェーハを下方から吸着保持するための吸着手段をさらに有する請求項１記載のウェーハ搬送装置。
【請求項４】
前記ウェーハ位置調整手段は、前記ロボットハンドの手前側に設けられ、前記ウェーハ下方の空間内を水平移動可能な高さ寸法をもつ後端把持部とは別個に設けられた部材である請求項１、２又は３記載のウェーハ搬送装置。
【請求項５】
前記ウェーハ位置調整手段は、前記ロボットハンドの手前側に設けられた後端把持部である請求項１、２又は３記載のウェーハ搬送装置。
【請求項６】
前記ウェーハ位置調整手段は、水平方向に可動する請求項１〜５のいずれか１項記載のウェーハ搬送装置。
【請求項７】
前記ウェーハ位置調整手段は、その少なくとも前記ウェーハ外周縁と接する部分が、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート又はポリブチレンフタレートからなる請求項１〜６のいずれか１項記載のウェーハ搬送装置。
【請求項８】
前記ロボットハンドは、前記ウェーハ下方の空間内を水平移動可能な高さ寸法をもち、前記先端把持爪とともにウェーハ外周縁を加圧把持する可動把持部をさらに有する請求項１〜７のいずれか１項記載のウェーハ搬送装置。
【請求項９】
複数枚のウェーハを鉛直方向に所定の間隔で載置可能なウェーハ収納用カセットの両サイド部に形成した複数対のガイド溝に沿って水平方向に挿抜でき、前記カセットに載置されたウェーハを前記カセットから取り出す際、カセットの手前側からカセット内のウェーハ所定位置まで、ウェーハの下方の空間を前方に水平移動させた後、上昇移動させてウェーハを保持するロボットハンドを用いてウェーハの搬送を行う方法において、
前記ロボットハンドが、水平移動時に保持すべきウェーハの周縁部の高さ位置よりも大きな高さ寸法をもつウェーハ位置調整手段を有し、ウェーハ収納用カセット内に収容されたウェーハを搬送するためウェーハ下方に前記ロボットハンドが移動する際、ロボットハンドの動きに対応してウェーハ位置調整手段がウェーハを押し出すことで、前記ウェーハを保持できる位置に調整することを特徴とするウェーハ搬送方法。
【請求項１】
複数枚のウェーハを鉛直方向に所定の間隔で載置可能なウェーハ収納用カセットの両サイド部に形成した複数対のガイド溝に沿って水平方向に挿抜でき、前記カセットに載置されたウェーハを前記カセットから取り出す際、カセットの手前側からカセット内のウェーハ所定位置まで、ウェーハの下方の空間を前方に水平移動させた後、上昇移動させてウェーハを保持するロボットハンドを有するウェーハ搬送装置において、
前記ロボットハンドが、前記ウェーハ下方の空間内を水平移動可能でかつ、水平移動時に保持すべきウェーハの周縁部の高さ位置よりも大きな高さ寸法をもつウェーハ位置調整手段を有することを特徴とするウェーハ搬送装置。
【請求項２】
前記ロボットハンドが、前記ウェーハ下方の空間内を水平移動可能でかつ、水平移動時に保持すべきウェーハの周縁部の高さ位置よりも小さな高さ寸法をもつ先端把持部をさらに有する請求項１記載のウェーハ搬送装置。
【請求項３】
前記ロボットハンドが、保持すべきウェーハを下方から吸着保持するための吸着手段をさらに有する請求項１記載のウェーハ搬送装置。
【請求項４】
前記ウェーハ位置調整手段は、前記ロボットハンドの手前側に設けられ、前記ウェーハ下方の空間内を水平移動可能な高さ寸法をもつ後端把持部とは別個に設けられた部材である請求項１、２又は３記載のウェーハ搬送装置。
【請求項５】
前記ウェーハ位置調整手段は、前記ロボットハンドの手前側に設けられた後端把持部である請求項１、２又は３記載のウェーハ搬送装置。
【請求項６】
前記ウェーハ位置調整手段は、水平方向に可動する請求項１〜５のいずれか１項記載のウェーハ搬送装置。
【請求項７】
前記ウェーハ位置調整手段は、その少なくとも前記ウェーハ外周縁と接する部分が、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート又はポリブチレンフタレートからなる請求項１〜６のいずれか１項記載のウェーハ搬送装置。
【請求項８】
前記ロボットハンドは、前記ウェーハ下方の空間内を水平移動可能な高さ寸法をもち、前記先端把持爪とともにウェーハ外周縁を加圧把持する可動把持部をさらに有する請求項１〜７のいずれか１項記載のウェーハ搬送装置。
【請求項９】
複数枚のウェーハを鉛直方向に所定の間隔で載置可能なウェーハ収納用カセットの両サイド部に形成した複数対のガイド溝に沿って水平方向に挿抜でき、前記カセットに載置されたウェーハを前記カセットから取り出す際、カセットの手前側からカセット内のウェーハ所定位置まで、ウェーハの下方の空間を前方に水平移動させた後、上昇移動させてウェーハを保持するロボットハンドを用いてウェーハの搬送を行う方法において、
前記ロボットハンドが、水平移動時に保持すべきウェーハの周縁部の高さ位置よりも大きな高さ寸法をもつウェーハ位置調整手段を有し、ウェーハ収納用カセット内に収容されたウェーハを搬送するためウェーハ下方に前記ロボットハンドが移動する際、ロボットハンドの動きに対応してウェーハ位置調整手段がウェーハを押し出すことで、前記ウェーハを保持できる位置に調整することを特徴とするウェーハ搬送方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２０１１−１８７９４（Ｐ２０１１−１８７９４Ａ）
【公開日】平成２３年１月２７日（２０１１．１．２７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１６２７４４（Ｐ２００９−１６２７４４）
【出願日】平成２１年７月９日（２００９．７．９）
【出願人】（３０２００６８５４）株式会社ＳＵＭＣＯ (1,197)
【出願人】（０００１８４７１３）ＳＵＭＣＯ ＴＥＣＨＸＩＶ株式会社 (265)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１月２７日（２０１１．１．２７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年７月９日（２００９．７．９）
【出願人】（３０２００６８５４）株式会社ＳＵＭＣＯ (1,197)
【出願人】（０００１８４７１３）ＳＵＭＣＯ ＴＥＣＨＸＩＶ株式会社 (265)
【Ｆターム（参考）】
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