【課題】 微小物体を正確に把持したり解放したりすることができるナノピンセット装置を提供すること。
【解決手段】 ナノピンセット１の静電アクチュエータ４ａ，４ｂを構成する固定電極５ａ，５ｂおよび可動電極６ａ，６ｂは、いずれも櫛歯形状を呈しており、相互に複数の櫛歯が噛み合うように対向配置されている。固定電極５ａ，５ｂは台座１０に固定され、可動電極６ａ，６ｂは細いビーム状の支持部７によって台座１０に弾性的に固定されている。電源回路２により固定電極５ａ，５ｂと可動電極６ａ，６ｂとの間に直流電圧を印加すると、クーロン力により可動電極６ａ，６ｂが移動してアーム３を駆動する。ナノピンセット装置５０では、静電アクチュエータ４ａ，４ｂをロック状態とすることにより、微小物体を確実に把持することができる。 （もっと読む）

【課題】 成膜装置において、真空容器の真空状態を維持したまま真空容器内の被移送物を容易に移送できるハンドリング装置を提供する。
【解決手段】 ハンドリング装置４は、把持部４ａ、操作部４ｂ、連結部４ｃ、及び連結部支持部４ｄを備える。把持部４ａは、真空容器１０の内部に配置され、互いに開閉可能に結合された一対のロッド４３及び４４を有する。操作部４ｂは、真空容器１０の外部に配置され、ロッド４３及び４４の開閉を操作するためのハンドル４１ａ及び４１ｂを有する。連結部４ｃは、把持部４ａと操作部４ｂとを互いに連結し、操作部４ｂの動きをロッド４３及び４４へ伝達するシャフト４２ａ及び４２ｂを有する。連結部支持部４ｄは、連結部４ｃが挿通された屈曲可能な筒状部分４７を有し、筒状部分４７の一端及び他端のそれぞれにおいて真空容器１０及び連結部４ｃに気密に固定されている。 （もっと読む）

【課題】 バックラッシを生じる減速機を用いても十分な精度が得られ、かつ余分なエネルギの消費を抑制できる。
【解決手段】 ロボットの制御装置は、モータ１１と、モータ軸１２に接続されるエンコーダ１３と、モータ軸１２に接続され、モータ軸１２の回転を減速する減速機１４と、減速機１４の駆動軸１６に接続される位置検出器１０と、駆動軸１６に接続される駆動用フレーム１５と、減速機１４と駆動用フレーム１５との間に設けられ、駆動用フレーム１５に、駆動軸１６の回転方向と逆方向の外部拘束力を負荷するねじりバネ１８と、駆動用フレーム１５の向きが所定の範囲内にある場合、ねじりバネ１８から駆動用フレーム１５への外部拘束力の負荷を制限する制限ピン２１と、エンコーダ１３および位置検出器１０からの出力に基づいて、モータ１１の回転を制御するモータ制御部１７とを含む。 （もっと読む）

少なくとも２つの弾性変形部（１Ａ）を有する骨材（１）と、骨材に積層されかつ空圧の駆動源（４）に連結された２系統の配管（２ａ，２ｂ）を有する積層型空圧配管部材（２）と、その部材に積層されかつ各変形部に対向する関節部（３ａ，３ｂ）に配置されかつ配管に連結された空圧動作室（１６Ａ，１６Ｂ）に空圧が印加されると対応する関節部が変形可能な平面型関節部変形部材（３）とを備える。
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【課題】 スレーブハンドと作業対象物との距離を距離検出手段により検出し、前記距離に応じて遠隔操作の操作態様を変更することで、作業者への負担を軽減することができる遠隔操作装置を提供すること。
【解決手段】 操作者が操作するマスタハンド１の操作により、スレーブハンド１１が油圧駆動される。スレーブハンド１１と作業対象物Ａとを撮像手段２１ａ，２１ｂにより撮像して両者の距離を演算する。演算された距離が所定値以上の場合においては、前記マスタハンド１の操作にかかわらず作業対象物Ａに対してスレーブハンド１１を近づける駆動動作を含む自動動作モードが選択され、前記距離が所定値未満である場合においては、前記マスタハンド１の操作に基づいてスレーブハンド１１を駆動することができる手動動作モードが選択されるようになされる。 （もっと読む）

【課題】 本発明では、スペース効率を向上させることができるとともに、小指から順に折り曲げていくというような人間らしい把持動作を行うことができるロボットハンド装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 ロボットハンド装置１は、基部１０から延設される４本の指機構２０と、各指機構２０を作動させる１つのモータ３０と、を備えている。さらに、このロボットハンド装置１には、各指機構２０を作動させるために各指機構２０に連結される４つの回動ローラ５０と、各回動ローラ５０に対してモータ３０からの動力を異なるタイミングで伝達するように構成される動力伝達機構６０と、が設けられている。 （もっと読む）

【課題】進行波により対象物を搬送する上で、十分な搬送性能を実現することができ、構造が簡単であり、かつ小型化に適したアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ基板１１上にフレキシブル基板１４を重ね合わせて固定し、フレキシブル基板１４上に複数の伸縮駆動素子１２を並設して固定し、各伸縮駆動素子１２の上端にシート状の弾性部材１３を載せて係止し、制御駆動部１５をフレキシブル基板１４を通じて各伸縮駆動素子１２に接続している。制御駆動部１５は、フレキシブル基板１４を通じて各伸縮駆動素子１２に電圧を順次印加し、各伸縮駆動素子１２をＺ方向に順次伸縮させて、弾性部材１３を変形させて波打たせ、弾性部材１３に進行方向がＸ方向の進行波を形成する。この弾性部材１３に対象物を載置すると、この弾性部材１３の進行波により対象物がＸ方向とは逆方向に搬送される。 （もっと読む）

【課題】 障害物が密集した場所やインビトロ等の狭い作業空間において、脆弱物を把持および／または切断するためのロボットハンドの提供。
【解決手段】 一対の把持爪と、把持用アクチュエータと、把持用アクチュエータおよび把持爪とを連結する把持力伝達系とを備え、前記把持力伝達系の一部または全部が弾性特性を有する材料からなり、前記把持用アクチュエータの駆動により前記把持力伝達系および／または前記把持爪に撓みを生じさせながら脆弱物を把持するロボットハンド。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各駆動部の負荷をより正確かつ速やかに操作器にフィードバックすることができ、操作性を向上させることができる手術支援装置を得ることを目的とするものである。
【解決手段】マニピュレータ３にマニピュレータ駆動機構が設けられている。マニピュレータ駆動機構２１には、ダイレクトドライブ方式のスレーブ側モータ１４が設けられている。操作器１の関節部には、ダイレクトドライブ方式のマスタ側モータ６が設けられている。操作器１は、マニピュレータ３からの力覚フィードバックを受けるように制御される。 （もっと読む）