【課題】シートのバタつきを抑制し、吸着の安定化を図ることができるシート吸着装置の提供。
【解決手段】吸着面２に形成された溝１０に沿って空気を流通させることによりエゼクタ効果を発現させ、シートＳを吸着面２に吸着するシート吸着装置１であって、溝１０における上記空気の流通経路の終端部１０ｂにおいて、上記空気を回収する回収部３０を有するという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】フィルムの剥がれに強く、安定した吸着ができるフィルム吸着装置の提供。
【解決手段】フィルムＡを真空吸着する吸着面１０ａを有する第１の吸着部１０と、負圧室２５内部を通風する空気流れを形成する空気導入口２６及び空気導出口２７を有すると共に、フィルムＡが剥がれた時にできる隙間を流れる空気のエジェクタ効果による負圧によって、第１の吸着部１０による第１の吸着領域とは異なる第２の吸着領域におけるフィルムＡを吸引する開口部２２を有する第２の吸着部２０と、を有するフィルム吸着装置１を採用する。 （もっと読む）

【課題】凸部が設けられた半導体ウエハ等の板状部材を支持して搬送する際に、当該支持の安定化を図ることができ、凸部に接触する接触面を当該凸部から簡単に切り離すことができるようにすること。
【解決手段】凸部Ｗ１が設けられた半導体ウエハＷの支持装置１２であり、当該装置は、凸部Ｗ１の先端に接触可能な接触体２６と、半導体ウエハＷに吸引力を付与する吸引手段３０とを含む。接触体２６は、接触面２６Ａ側に貫通する吸引口４０を備えた自粘性を有する材料によって構成されている。接触体２６を無負荷状態で断面視したときに、接触面２６Ａは、吸引口４０に向かって先細となる形状をなす。接触面２６Ａは、半導体ウエハＷを支持したときに、凸部Ｗ１の先端面形状に合わせて変形可能に設けられる。 （もっと読む）

【課題】板状部材の一方側の面に凸部および凹部が形成された場合でも適切に保持することができる板状部材の支持装置および支持方法を提供すること。
【解決手段】ウェハＷの外縁に沿った環状の枠体５を備えて保持手段３が構成され、凸部ＷＢ表面に対向する吸引口７から空気を吸入することによって、ウェハＷの凹部ＷＣに吸引力を作用させることなくウェハＷを吸引保持することができ、ウェハＷに作用するストレスを低減させつつウェハＷを適切に保持することができる。 （もっと読む）

【課題】ワークの種類に関わらずワークを精度よく搬送可能なワーク搬送方法およびワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】同心円周上に所定ピッチで複数個の貫通孔が形成さえた、保持面から僅かに突出したパッド７７を先端のＵ形の保持アーム３４に、さらに所定ピッチで複数個有し、当該パッド７７から保護シートに向けて圧縮空気を吹き付けて保持アーム３４の保持面と保護シートとの間に負圧を発生させて保護シートを浮遊させた状態で懸垂保持し、あるいは当該パッド７７で表面の回路の露出したウエハの裏面を吸着保持してそれぞれを搬送する。 （もっと読む）

【課題】凹凸著しい面で汎用的に簡単に利用できる真空吸着パッドを提供すること。
【解決手段】開閉弁筒体の内側に密着され略中央に真空連通孔を穿設した薄膜構造の弁膜と、前記筒体の開口部に断面凹状の弾性体の筒体が密着され、該弾性体筒体内側底面には前記薄膜の真空連通孔に当接する弾性体台状平滑突部の弁座を設け、また前記弾性筒体の伸張により底部を移動させるための可動板と、前記弾性体筒体内側と真空生成装置とを連通する継ぎ手とが弾性筒体の底面部に設けられ形成された伸縮真空制御室と、前記可動板を弾性体筒体長手方向に、前記弁膜とは逆方向に動かすために可動板に接し設けられた接面検知作動杆とからなり、真空吸着パッドが対象物を吸着する場合の３つの状態遷移に対応した真空開閉弁付き真空吸着パッドとした。 （もっと読む）

【課題】複数のエジェクタ１５をロボットアーム５に搭載した上で、基板Ｗに反り等の変形がある場合でも、ロボットハンド１による保持力を十分に確保して、基板Ｗの移送作業の能率向上を図ること。
【解決手段】ハンド本体７に基板Ｗの裏面を吸着可能な複数の吸着パッド１３が設けられ、各吸着パッド１３がエジェクタ１５に接続され、ハンド本体７における各吸着パッド１３の周縁部に基板Ｗの裏面側の空気を吸い込み可能な吸込孔２７が形成され、各吸込孔２７が空気を吸い込む送風器２５に接続されていること。 （もっと読む）

【課題】基板Ｗの重量、ロボットハンド１の加減速が大きくなっても、基板Ｗに傷が発生することを十分に抑えつつ、基板Ｗを移送すること。
【解決手段】ハンド本体７に基板Ｗの裏面当接可能な複数の当接ピン１３が設けられ、ハンド本体７における各当接ピン１３の周縁部に基板Ｗの裏面側の空気を吸い込み可能な吸込孔２１が形成され、各吸込孔２１が空気を吸い込む送風器１９に接続されていること。 （もっと読む）

【課題】薄板状ワークを吸着し、搬送するに際し、ウエハを搬送し、所望位置に載置するまでの過程で別途のデバイスに受け渡す受渡し工程を不要とでき、しかも、ウエハにダメージを与えない、産業用の搬送機械に取り付けられる、ワーク搬送用機器と、このワーク搬送用機器が取付けられた産業用の搬送機械を使用するワーク搬送方法を提供する。
【解決手段】ワーク搬送用機器１０は、薄板状ワークＷを吸着する吸引孔２ａを具備する２以上の把持部材２，…と、２以上の把持部材２，…を一体に固定する本体部材１と、を少なくとも有し、把持部材２のうち、少なくとも吸引孔２ａの開設された領域は本体部材１の側端から張り出して張り出し箇所２’を形成しており、本体部材１のうち、吸着される薄板状ワークＷ側の側面には撓み防止部材１４が配されて張り出し箇所２’を支持しており、少なくとも、該張り出し箇所２’が薄板状ワークＷ側へ撓むのを抑止している。 （もっと読む）

【課題】ゴム栓をノズル内に確実に保持し、ノズルで吸引しつつ受け台から確実に引き上げ、ノズルから受け台に確実に受け渡すようにする。
【解決手段】小径部６と大径部５と中心の孔部７を有するゴム栓４の小径部を吸着させるゴム栓吸引ノズル２と、ゴム栓吸引ノズルでゴム栓の大径部を受け取る又は受け渡すゴム栓受け台３，３’を備えるゴム栓吸着送り装置１で、ゴム栓吸引ノズルが、小径部を収容する有底で円形の収容穴９と、収容穴の周りに配設され、大径部における小径部に続く端面５ａに対向して開口し、開口８ａを収容穴内に連通させた複数の小孔８と、複数の小孔の他端側の開口８ｂを連通させた吸引孔１３とを備える。ゴム栓受け台が、大径部を収容する円形の受け溝１６と、受け溝と該ゴム栓の該孔部７と外部とに連通して設けられたエア抜き孔１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】ワークの強度の低下を抑えることができ、ワークを健全な状態なまま搬送先に搬送することができる吸着式の搬送装置を提供する。
【解決手段】負圧吸着作用でウェーハ１を吸着する多孔質材からなる吸着パッド１１０をフッ素樹脂製とする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハを安定してハンドリングでき、接触等による半導体ウエハのスクラッチや欠けを防止することができる半導体ウエハ用真空ピンセットを提供する。
【解決手段】ハンドグリップ部と、中心角が１８０度超３６０度未満の開環形状の吸着板、及び前記吸着板に配設される吸着口及び前記複数の吸着口を接続する第1真空吸引経路を有する吸着部と、角度調整機構を有し、前記ハンドグリップ部と前記吸着部とを接続する接続部と、一端が前記第１真空経路に接続され他端が半導体ウエハを吸着する真空吸引力を生成する真空圧源に接続されて、前記真空圧源の生成した前記真空吸引力を前記吸着口に伝達する第２真空吸引経路と、を有し、前記吸着板は、半導体ウエハの半径をＲとした場合に、外周の大きさが０．７１Ｒより大きく０．８５Ｒ未満であり、且つ内周の大きさが０．５Ｒ以上０．６１Ｒ未満であることを特徴とする半導体ウエハ用真空ピンセット。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ等の板状部材を支持して搬送する際に、当該板状部材の割れや、落下を回避可能な支持装置を提供すること。
【解決手段】凸部Ｗ１が設けられた半導体ウエハＷの支持装置１２であり、当該装置は、凸部Ｗ１の先端に接触可能な接触体２６と、この接触体２６を保持する保持体２５と、半導体ウエハＷに吸引力を付与する吸引手段３０と、接触体２６からウエハＷを切り離す切離手段３１とを含む。接触体２６は、保持体２５に設けられた凹部３３内に受容されたリング状をなし、接触面２６Ａ側に貫通する吸引口４０を備えた自粘性を有する材料によって構成されている。 （もっと読む）

【課題】ベルヌーイチャック１３のノズル口１５の周縁部付近に斥力としての正圧が発生することを抑えて、保持ハンド５の保持効率を十分に高めること。
【解決手段】ハンド本体７に複数のベルヌーイチャック１３が設けられ、各ベルヌーイチャック１３は、先端側が開口しかつエアを噴出可能なノズル口１５をそれぞれ有し、各ベルヌーイチャック１３にノズル口１５の内壁面に沿うようにエアを導入可能かつエアを供給するエア供給源１９に接続した導入孔１７がそれぞれ形成され、各ベルヌーイチャック１３のノズル口１５の周縁部が先鋭形状をそれぞれ呈していること。 （もっと読む）

【課題】 微小なワークを保持することができるとともに、様々な表面形状のワークを確実に保持することができ、一台で表面形状の異なる複数のワークに対応することができるチャックを提供すること、及び、チャックの台数を削減してコストダウンを図るとともに、調整時間を短縮して生産性の向上を図ることができる時計の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 ストロー部材４の先端面４ａをワークＸに当接させるとともにストロー部材４の基端側からエア吸引することで、ストロー部材４の先端面４ａにワークＸを吸着させ、ワークＸを保持するチャック１において、ストロー部材４は、その軸線Ｌ方向に沿って平行に配設された軸線Ｌ方向に移動可能な複数のパイプ４０からなる。 （もっと読む）

【課題】保持ハンドの小型化及び非接触搬送装置の構成の簡略化を図りつつ、ワークの搬送中におけるワークの損傷の発生を十分に抑制することができる非接触搬送装置を提供する。
【解決手段】移動部材３にハンド本体７が設けられ、ハンド本体７の中央側に作動流体が流入可能な流入口１１を有し、ハンド本体７の保持面９における流入口１１の周辺に、ベルヌーイ効果を利用してハンド本体７の保持面９とワークＷの表面と間に負圧を発生させる複数のベルヌーイチャック１３が配設され、各ベルヌーイチャック１３は、作動流体をハンド中心５ｃ側へ噴出可能かつ作動流体を供給する作動流体供給源１７に接続した噴出孔１５をそれぞれ有したこと。 （もっと読む）

【課題】撓んだ肉薄ワークであっても吸着可能であり、吸着時にもワークに損傷を与えることなく搬送時においてワークの移動を防止でき、且つ薄型化および小型化可能な簡素な構成のベルヌーイチャックを提供する。
【解決手段】ワークＷを吸着保持するベルヌーイチャック１において、円板状の吸着保持板７の平面状の吸着面７Ａに、吸着保持板７の外周側面７Ｂに開口する外端１１Ａを有する４本の直線状の溝１１を放射状に設け、吸着保持板７の内部に、吐出ポンプに連通する圧縮空気供給路１０を穿設するとともに、放射状に設けた分配流路１２によって圧縮空気供給路１０と各溝１１の内端１１Ｂとを連通させる。 （もっと読む）

【課題】ワークＷの変形を抑制して、ワークＷの一部とハンド本体７の保持面９との干渉を回避すること。
【解決手段】ハンド本体７の内部に作動流体を収容可能かつ作動流体を供給する作動流体供給源１３に接続した供給チャンバー１１が形成され、ハンド本体７の保持面９に複数のベルヌーイチャック１７が設けられ、各ベルヌーイチャック１７に作動流体を噴出可能な噴出凹部１９がそれぞれ形成され、各ベルヌーイチャック１７が噴出凹部１９の内壁面に沿うように作動流体を導入可能かつ供給チャンバー１１に連通した導入孔２１をそれぞれ有したこと。 （もっと読む）

【課題】 搬送中に保持ハンドからワークＷが脱落することを防止しつつ、搬送中におけるワークＷの損傷の発生を十分に抑制することができる非接触搬送装置を提供する。
【解決手段】ハンド本体７の保持面９にベルヌーイチャック１１が設けられ、ベルヌーイチャック１１が作動流体供給源１５に接続した噴出孔１３を有し、ハンド本体７の保持面９にワークＷの周辺部を吸着する複数の吸着ピン１９が設けられ、各エアを吸込み可能かつエアを吸引するエア吸引源２３に接続した吸込孔２１をそれぞれ有し、上方向から非接触で保持されたワークＷに作用する圧力とワークＷの重量がつりあう所定の均衡状態におけるハンド本体７の保持面９とワークＷの表面とのクリアランスＬ分だけハンド本体７の保持面９に対してそれぞれ突出するようになっていること。 （もっと読む）

【課題】反りのあるワークＷを保持ハンド５により非接触で保持する場合であっても、ワークＷの表面を保持ハンドの保持面に平行に沿うようにさせて、保持ハンド５によりワークＷを非接触で安定して保持すること。
【解決手段】保持ハンド５における複数のベルヌーイチャック９の噴出孔１１へ作動流体を供給する作動流体供給ユニット１３が設けられ、保持ハンド５の保持面７の全域に複数のセンサ１７が散点的に配設され、複数のセンサ１７のうち少なくともいずれかのセンサ１７によってワークＷとの間隔が所定の接近距離になったことが検出されると、作動流体の供給動作を開始するように作動供給ユニット１３を制御すること。 （もっと読む）