【課題】可撓性を有するワークを非接触で安定的にチャックすることができるチャック装置を提供する。
【解決手段】チャック装置１は、ワークＷの鉛直上方に対向配置されて当該ワークを非接触状態で吸引する複数のベルヌーイチャック機構７、９と、複数のベルヌーイチャック機構のうち少なくとも１つのベルヌーイチャック機構について、ワークとの対向方向の位置を、他のベルヌーイチャック機構におけるワークとの対向方向の位置と異なる位置に変更可能な可変部と、を備え、可変部によってワークとの対向方向の位置が変更されるベルヌーイチャック機構が可動ワーク吸引手段を構成するとともに、当該可動ワーク吸引手段の位置変位に伴ってワークに湾曲部１５を形成して当該ワークを保持する。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有するワークを非接触で安定的にチャックすることができるチャック装置およびチャック方法を提供する。
【解決手段】可撓性を有するワークＷを保持するチャック装置であって、ワークＷの鉛直上方に位置して当該ワークＷを非接触状態で吸引するベルヌーイチャック機構４と、当該ベルヌーイチャック機構４を挟んで水平面上に対向配置され、当該ベルヌーイチャック機構４による吸引力で浮上するとともに自重で撓んだワークＷの側縁Ｗ_２を挟持し、当該側縁Ｗ_２よりも中央部Ｗ_１が鉛直上方に位置する湾曲姿勢にワークＷを保持する一対の保持手段１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有するワークを非接触で安定的にチャックすることができるチャック装置を提供する。
【解決手段】可撓性を有するワークＷを保持するチャック装置１であって、本体フレーム２と、本体フレーム２に設けられ、吸引力を作用させる吸引穴６をワークＷ表面に対向させて位置するとともに、吸引穴６の吸引力によってワークＷを非接触状態で吸引する複数のベルヌーイチャック機構４、４’と、ベルヌーイチャック機構４’に設けられ、吸引穴６’の角度を可変して当該吸引穴６’とワークＷ表面との対向方向を変位させる揺動機構１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ワークの板厚が薄く形成されたとしても、簡易な構成で、ワークの利用部位を非接触状態に維持したまま安定してチャックできる。
【解決手段】チャック装置１は、ワークＷと対向する本体２と、本体に配され、ワークと接触する突出部３と、本体と突出部とワークとで囲繞される囲繞空間Ｎから気体を吸引する吸引手段５と、ワークまでの相対距離ｄを測定する測定センサ６と、相対距離に基づいて、相対距離が所定の目標値で安定化するように吸引手段の吸引力を制御する吸引制御部７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】加工装置による加工精度を向上する。
【解決手段】被加工物としてのワークを凍結固定して加工を行う加工装置１０において、所定の方向に移動可能なベッド１ａ，１ｂと、ベッド１ｂに固定され、ワークを載置するベース２と、ベース２を冷却する温度制御手段２０と、ベッド１ａ，１ｂに対する位置を変動可能に制御され、ワーク２を加工する工具５と、を備え、温度制御手段２０は、ベース２を冷却することにより、ワークを該ワークの材質、および／または該ワークの加工条件に応じた所定の温度に制御する。 （もっと読む）

【課題】極小サイズのカメラレンズ等、真空吸引チャックの気密接触に必要な辺縁スペース部分が得られない小物ワークを保持・搬送する装置を安価に提供する。
【解決手段】保持搬送装置１の先端にワークを押し付け保持するためのワークストッパー４とワーク位置決めのためのガイド３を備え、ワーク背面より保持装置側に向かう流体流発生のため流体を噴出または吸引する開口５を具備している。 （もっと読む）

【課題】ワーク全体へ加工することができ、かつワークへの加工の作業効率を低下させることなくワークの形状矯正を行うことができるワーク位置決め装置を提供する。
【解決手段】ワーク位置決め装置１は、テーブル３と、一対の突出部材６ａ，６ｂと、エア噴出孔７と、を備える。テーブル３は、ワーク２を載置するための載置面３ａを有する。一対の突出部材６ａ，６ｂは、載置面３ａから突出するようにテーブル３に設けられている。エア噴出孔７は、一対の突出部材６ａ，６ｂに設けられ、載置面３ａへ向かってエア４を噴出するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】チャックプレート上のすべてのピン頭に、ウェーハやマスク基板等の被加工物を凝固固着するために余剰な量の冷凍液の液滴を保持した場合においても、被加工物を変形させることなく、板状の被加工物を高平坦度で加工することが可能な冷凍ピンチャックを提供する。
【解決手段】チャックプレート上面に多数のピン２が離散配置された冷凍ピンチャックにおいて、前記ピンのピン頭２ａの半径ｒ、隣り合うピン同士の間隔ａ及びピン高さｈが、下記式（１）
４／３・πｒ³ ＜ （ａ²−πｒ²）ｈ …（１）
の関係を満たすような構成とする。 （もっと読む）

【課題】チャックプレート上のすべてのピン頭に、ウェーハやマスク基板等の被加工物を凝固固着するのに十分な量の冷凍液の液滴を均一に保持させることができ、しかも、必要とされる冷凍液の使用量を低減することが可能な冷凍ピンチャックを提供する。
【解決手段】チャックプレート上面に多数のピン２が離散配置された冷凍ピンチャックにおいて、ピン頭の表面粗さＲａを０．１μｍ以上０．５μｍ以下とする、又は、ピン頭に窪みを形成する。 （もっと読む）

【課題】 厚みが薄い板状体であっても搬送中の損傷を確実に防止することができる板状体の搬送装置を提供する。
【解決手段】 板状体Ｐを上方から吸着保持する保持部材１０と、保持部材１０を移動可能に支持する支持部材２０とを備える板状体の搬送装置１であって、保持部材１０は、板状体Ｐと対向する下面側に環状に配置された噴射口１２ａと、噴射口１２ａにより囲まれた下面側中央部１０ａと板状体Ｐとの間に形成される空間Ｓを大気に開放する大気開放口１２ｃとを備え、噴射口１２ａは、板状体Ｐの外縁に向けて気体を噴射するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】支持板の突起加工を省略して密着保持層の安定した姿勢での支持や気体流通空間の区画を実現し、支持板の損傷を防ぐことのできる基板保持具及びその製造方法を提供する。
【解決手段】支持用の支持板１と、この支持板１の表面に貼着されて半導体ウェーハＷを着脱自在に保持する可撓性の密着保持層１０とを備え、支持板１の表面と密着保持層１０との間に気体流通空間１３を形成し、支持板１の中央部厚さ方向に、気体流通空間１３の空気を外部に排気して密着保持層１０を凹凸に変形させる排気孔２を穿孔した保持具で、支持板１の平坦な表面に貼着される密着保持層１０の被貼着面１１に複数の凹凸１２を形成することにより、密着保持層１０の姿勢を安定させ、かつ気体流通空間１３を区画形成する。密着保持層１０の被貼着面１１に凹凸１２を形成するので、支持板１に微細な突起を多数形成する必要がない。 （もっと読む）

【課題】接合材層の穴への流れ込みを防止できるとともに、吸着面の均熱性の低下を防止することができる半導体製造装置用部品を提供すること。
【解決手段】半導体製造装置用部品１は、セラミック部材１０及びベース部材３０を備える。セラミック部材１０には、第２主面１２にて開口する第１の穴４７，８１が設けられる。また、ベース部材３０は、第１の穴４７，８１に連通する第２の穴４９，８２を有する。そして、セラミック部材１０の第２主面１２及びベース部材３０の支持面３１は接合材層２０を介して接合される。また、支持面３１には、穴４９，８２を包囲する位置に溝９０，９１が設けられる。なお、接合材層２０は溝９０，９１の外側領域に存在し、溝９０，９１内の空間には接合材層２０の一部が入り込んで溜まり９２を形成する。 （もっと読む）

【課題】 各種ブレードを多分割した筒状治具内に樹脂鋳込して保持させ、加工機の回転チャック等に支持した筒状治具をその片端側から区分毎に順次加工するブレードの樹脂充填保持方法とブレードの樹脂充填加工方法とブレードの樹脂充填保持装置を提供する。
【解決手段】 筒１，２を軸心方向に二つ割とするとともに該筒に所定間隔毎に楔状の切込み空間Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を形成した筒状治具２０と、上記筒状治具に設けた各切込み空間に挿入するＶ字状の隔壁板６〜１１と、上記各隔壁板の筒内の先端６ａ〜１１ａで支持されるべく筒内に挿入されたブレードＢと、上記筒状治具内に充填しブレードＢを保持する樹脂材Ｊと、を具備するブレードの樹脂充填保持装置１００である。 （もっと読む）

【課題】研磨などによる加工精度を向上させることができる保持装置を提供する。
【解決手段】保持装置５０は、板状の被保持体たる基板を下方から支持する保持装置であって、上方へ開口された収容空間５２内に印加される電圧の値に応じて液相と固相との間で可逆的に相変化して粘弾性が変化する電気粘性流体ＥＲＦを収容した保持部材５１と、保持部材５１内に備えられて電気粘性流体ＥＲＦに電圧を印加する電極５３とを備え、基板の少なくとも一部が電気粘性流体ＥＲＦ中に浸るように基板を収容空間５２内に収容した状態で、電気粘性流体ＥＲＦに電圧を印加して電気粘性流体ＥＲＦの粘弾性を変化させることにより、基板を電気粘性流体ＥＲＦを介して保持部材５１により固定保持するように構成される。 （もっと読む）

【課題】 新技術（凝固液体）により中間部を高精度・低ストレスに保持することで端部加工が超精密に加工でき且つ加工コスト低減と中間部の変質を無くしたタービンブレードの固定装置を提供する。
【解決手段】 底部１Ｃにブレード端部の突当面１Ｄを設けた有底固定筒１と、上記有底固定筒の外壁１Ａに固着されて筒内空間Ｓに突出させた複数本の位置決めピン２〜５と、更に、上記有底固定筒の外壁内空間で支持されたヒンジブロック７と、上記有底固定筒内に液体Ｗ０を凝固させる凝固部１０とからなり、上記有底固定筒の空間内に挿入されたブレード部品の中間羽根部Ｂ１を上記位置決めピンとヒンジブロックと凝固液体Ｗ１とで保持する。 （もっと読む）

【課題】ワークの加工寸法精度を向上させることができるワーク固定シートおよびそれを用いた加工方法を提供する。
【解決手段】ワーク固定シート１０において、剥離機能を有する剥離層１２の他面１２ｂにワーク固定剤１３を付着させる。また、剥離層１２の他面１２ｂからワーク固定剤１３を剥離してワーク３０の加工に用いる。すなわち、ワーク固定剤１３が剥離層１２から剥離されるまでは剥離層１２に付着させておくことができる一方、剥離層１２からワーク固定剤１３を容易に剥離することができるので、ワーク固定剤１３を容易に取り扱うことができる。このワーク固定剤１３を介して固定台４０の上にワーク３０を直接固定することができるので、ワーク３０を固定台４０に強固に固定した状態で加工を行うことができる。これにより、ワークの加工寸法精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】
凝固流体によって支持された被加工物を切削する一つの方法および装置において、第一の被加工物部分および第一の被加工物部分を支持する第一の凝固流体部分を切削媒体で切削することが含まれる。これは凝固流体に切削された部位を形成する。凝固流体の切削された部位は修復される。一つの方法においては、所定の深さを有する凝固流体によって支持された被加工物を切削することが含まれる。切削媒体が第一の被加工物部分および第一の凝固流体を切削し、凝固流体の切削された部位を形成する。凝固流体の所定の厚さは、凝固流体の切削された部位の深さが該所定の厚さ未満となるものである。 （もっと読む）

【課題】マグネットチャックに於ける磁極と仕切板との間に形成される隙間を半田を用いることなく塞ぐ。
【解決手段】磁気発生部４が側板３を外装とする本体ケース１に収容され、本体ケース１の上部に複数の磁極１２、１３を配置した面板１０が載置されて一体化し、磁力が磁気発生部４又は本体ケース１の側板３に接触する磁極１２、１３を通して被吸着体に作用するマグネットチャックＡに於いて、面板１０が、磁気発生部上端面４ａと接触する第１磁極部材１２と、本体ケース１の側板３上端面３ａと接触する第２磁極部材１３と、第１磁極部材１２と第２磁極部材１３の間に配置されて夫々の磁力線を遮断する仕切板１４と、を有し、第１磁極部材１２と仕切板１４との接触部、及び仕切板１４と第２磁極部材１３との接触部を溶接３４する。 （もっと読む）

【課題】簡単な機構により中心孔を有するディスク基板を安定して回転保持することができるディスク基板の保持装置を提供する。
【解決手段】中心孔を有するディスク基板１００の内周縁１０２を保持して該ディスク基板１００を回転させるディスク基板の回転保持装置１０において、押圧体３４が鉛直方向に軸支されたスピンドル１２の中空孔１２ａに挿入されロッド２６を下方に付勢することで、ロッド２６の上端部に固定されたガイドコマ２８が弾性体３０を押圧して弾性体３０を拡径させディスク基板１００の内周縁１０２に弾性体３０を圧接させることでディスク基板１００を保持し、ロッド２６を押圧体３４の付勢力に反して上方へ移動させガイドコマ２８が弾性体３０に外力を加えていない状態において、弾性体３０は中心孔の口径より小さい直径をなしていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】固定用治具の固定面に接着用ワックスを均一かつ薄膜状に付着させ、被加工物の高さのばらつきを抑制するとともに、固定用治具に接着用ワックスで接着、固定する際に被加工物に作用する無理な応力を抑制することにより、被加工物を高精度で加工可能な被加工物の固定方法を提供する。
【解決手段】有機溶剤を溶媒として接着用ワックス５を溶解したワックス溶液を、被加工物固定用治具１の固定面２に付着させる工程； 付着したワックス溶液が液体状態にあるときに、被加工物固定用治具１の固定面２上のワックス溶液付着面に被加工物４の固定面を接着する工程；接着用ワックス５の軟化点以下の温度で溶媒を蒸発させ、残留する接着用ワックス５により被加工物４を被加工物固定用治具１に固定する工程；からなる被加工物４の固定方法。 （もっと読む）