【課題】ワークとこのワークを加工する加工工具とが接触する位置に効率良く加工液を供給すること。
【解決手段】ある実施の形態における加工装置は、ワークＷに接触してワークＷを研削加工する研削工具９と、研削工具９を下側先端部に装着し、鉛直方向を回転中心として回転可能に支持する回転軸７２とを有する加工機構を備える。また、加工装置は、ワークＷと研削工具９との接触位置に加工液を供給する加工液供給ノズル１０を備える。回転軸７２は、軸心位置を鉛直方向に貫通する貫通孔を有し、加工液供給ノズル１０は、貫通孔７２１に挿通されて回転軸７２と接触しないように固定された貫通管部１１と、加工液を噴出する噴出口１２３が形成され、貫通管部１１の下側先端部に装着された噴出部１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】サンプルに形成された薄膜の除去工程中に該薄膜に関する情報を、渦電流プローブを使用して実状態で取得する方法を開示する。
【解決手段】渦電流プローブに検出コイルを設ける。渦電流プローブの検出コイルに交流電圧を印加する。渦電流プルーブの検出コイルがサンプルの薄膜に近接したときには、該検出コイルで第１の信号を測定する。該検出コイルが、既知の組成を有しおよび／または該コイルから離れて設けられた基準部材に近接する位置にあるときには、該検出コイルで第２の信号を測定する。第１の信号に含まれる利得及び／又は位相の歪みを第２の信号に基づいて校正する。校正した第１の信号に基づいて薄膜の特性値を決定する。上述の方法を実行する装置を更に開示する。加えて、研磨剤でサンプルを研磨し、このサンプルを監視する化学機械研磨（ＣＭＰ）システムを開示する。このＣＭＰシステムは、研磨テーブルと、研磨テーブル上でサンプルを保持する構成であるサンプルキャリヤと、渦電流プローブとを含む。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＰにおける過研磨の発生を抑止するレイアウトを効率よく作成すること。
【解決手段】研磨予測評価装置２０の分割部２１は、集積回路のレイアウトを複数のメッシュに分割する。過研磨領域抽出部２２は、メッシュの配線密度と周辺メッシュの配線密度に基づいて過研磨条件を参照し、ＥＯＥが発生するメッシュを抽出する。ダミー修正部２３は、ＥＯＥが発生するメッシュや周辺メッシュのダミー配線を修正することで、ＥＯＥの発生を抑える。過研磨条件を算出する過研磨条件算出装置３０は、試験パターンに対する研磨結果から、過研磨が発生する条件を求める。 （もっと読む）

【課題】高速回転する砥石車１１から高精度研削制御に必要とする情報を外部に容易に伝達可能として、外部からセンタレス研削盤１０に対して高精度研削の制御を可能とする。
【解決手段】調整車１２と、この調整車１２と互いの外周面を対向して配置された砥石車１１と、を備えたセンタレス研削盤１０において、砥石車１１には、砥石車１１の状態を検出する検出センサ２７，２８と、検出センサ２７，２８から得る砥石車情報を電磁誘導により外部に伝達する情報伝達コイル２３と、を具備する一方、砥石車側筐体に、情報伝達コイル２３から電磁誘導により砥石車情報が伝達される情報被伝達コイル２５を設ける。 （もっと読む）

【課題】低コストで面触れを十分に低減できる小型かつ省電力のブレーキディスクロータの研削装置および研削方法を提供する。
【解決手段】研削装置１０は、上砥石１６、下砥石１８、テーブル駆動モータ４８、支持部材５４、支持部材５４に回転駆動力を与えるワーク駆動モータ５６を備える。ブレーキディスクロータ５８は、支持部材５４に支持される。テーブル駆動モータ４８は、ブレーキディスクロータ５８の被研削部がその外周面から上砥石１６および下砥石１８に接触し、その後、上砥石１６と下砥石１８との間に進入するように支持部材５４を移動させる。 （もっと読む）

【課題】軽量・コンパクト・簡素な構成の変位センサ装置を、既存の設計によるスピンドルヘッドに容易に装備できるスピンドル装置を提供する。
【解決手段】このスピンドル装置は、スピンドルヘッドのハウジングの外に突出した回転軸のクイル３０３ａに対向する変位センサ装置２０を備えたものであり、この変位センサ装置２０は、導電部を渦巻状に形成したコイルを有し、かつ、その渦巻面をクイル３０３ａと対向させて当該クイルのまわりを取り囲むフレキシブルプリント基板２２によって構成される。 （もっと読む）

【課題】研削などの機械加工の際、石英ガラス板などの被加工物が定盤に強固に固定されると共に、容易に剥離することができるようにする。
【解決手段】
脱脂により清浄化した石英ガラス定盤に、脱脂により清浄化した被加工物の石英ガラス板を紫外線硬化型エポキシ系樹脂を介して設置した。これに５００Ｗの高圧水銀灯より発生する波長３６５ｎｍの紫外光を３０秒間照射して定盤に石英ガラス板を強固に接着した。接着後、ダイヤモンドホイールを用いて接着面の反対側表面を溝きり加工した後、表面の研削液を除去して１００Ｗの出力を有する波長１８５ｎｍの紫外光を接着面に３０分間照射したところ定盤と石英ガラス板が剥がれた。 （もっと読む）

【課題】より省スペース化を図り、大型の板状物を研削・研磨可能な装置を提供する。
【解決手段】保持面５０ａを有する搬送機構５がワークを保持機構２に搬送する前に、位置合わせ機構７においてワークが所定位置に位置合わせされる研削装置において、位置合わせ機構７は、垂直方向の一面７００を有する板部材７０と、板部材７０から突出し一面７００に沿うワークの外周縁に突き当てる少なくとも３個以上の突き当て部材７０２と、突き当て部材７０２を垂直面内においてワークの外周縁に当接させて互いが接近及び離反する方向に移動させる突き当て部材移動部と、搬送機構５の保持面５０ａと板部材７０の一面７００にワークが挟まれた状態で突き当て部材移動部７０２を駆動して突き当て部材７０２をワークの外周縁に突き当てることによってワークの位置合わせを行う制御部９とを有し、ワークを縦置きして位置合わせを行う機構としてワークが大型化しても装置が大型化することを抑制する。 （もっと読む）

【課題】異常状態データを的確に記憶し、異常原因の解析を容易にするワイヤソーを提供する。
【解決手段】複数の溝ローラー２間にワイヤ３を巻回してワイヤ列を形成し、このワイヤ列のワイヤ３を走行させ、加工物５を前記ワイヤ列に押し当てて加工物５を切り出すワイヤソー１において、ワイヤソー１の駆動状態に応じて変化する状態データを検出すると共に発生した異常を異常信号として検出する検出手段と、前記検出手段によって検出された状態データを所定時間単位に順次記憶すると共に記憶領域が不足した際に最も古い状態データに最新の状態データを上書き記憶するようにした記憶手段２４と、前記記憶した状態データを表示する表示手段２９とを設け、前記検出手段で異常信号を検出した際、所定時間の間、状態データを記憶するとともに所定時間経過後に状態データの記憶を停止させて記憶手段２４に記憶された状態データを表示手段２９に表示するワイヤソー。 （もっと読む）

一態様では、研磨方法は、基板を研磨するステップと、研磨中に監視すべき選択されたスペクトル特徴の識別情報および選択されたスペクトル特徴の特性を受け取るステップとを含む。この方法は、基板が研磨されている間に基板から反射された光の一連のスペクトルを測定するステップを含み、研磨中に材料が除去されるため、その一連のスペクトルの少なくとも一部は異なる。研磨方法は、一連のスペクトル内のそれぞれのスペクトルに対する選択されたスペクトル特徴の特性の値を判定して、その特性に対する一連の値を生成するステップと、一連の値に関数を適合させるステップと、関数に基づいて研磨終点または研磨速度に対する調整を判定するステップとを含む。
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【課題】切削ブレードの正確な最下点端部位置でセットアップを行うことが可能な切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法を提供する。
【解決手段】光学センサー６５をＸ方向（水平方向）及びＺ方向に移動してＸ方向の少なくとも異なる３点で切削ブレード５０の外周端部を検出する複数端部検出工程と、検出された複数の外周端部のＸ，Ｚ座標から該切削ブレード５０の回転中心座標（Ｘ_０、Ｚ_０）５５を算出する中心算出工程と、回転中心座標（Ｘ_０、Ｚ_０）のＸ座標と合致する位置Ｘ_０に該光学センサーを位置付け、該切削ブレードをＺ方向に移動させて、該切削ブレード５０の最下点となる端部の位置を検出する最下点端部検出工程と、該中心算出工程と該最下点端部検出工程とを遂行して、前回割り出された該切削ブレード５０の最下点端部の位置と比較し、該切削ブレード５０の消耗量を算出する消耗量算出工程と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】切削ブレードの正確な最下点端部位置でセットアップを行うことが可能な切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法を提供する。
【解決手段】光学センサー５０をＸ方向（水平方向）及びＺ方向に移動してＸ方向の少なくとも異なる３点で該切削ブレード５０の外周端部を検出する複数端部検出工程と、検出された複数の外周端部のＸ，Ｚ座標から該切削ブレード５０の回転中心座標（Ｘ_０、Ｚ_０）５５を算出する中心算出工程と、該切削ブレード５０の回転中心座標（Ｘ_０、Ｚ_０）と該切削ブレード５０の複数の外周端部のうち少なくとも一つの外周端部のＸ，Ｚ座標に基づいて、該切削ブレード５０の半径を算出する半径算出工程と、該中心算出工程と該半径算出工程とを遂行して、前回割り出された該切削ブレード５０の半径と比較し、該切削ブレード５０の消耗量を算出する消耗量算出工程と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】間接定寸段の研削において、熟練者の経験や勘に頼らずに、さらに、熟練者の経験や勘による場合に比べてより安定した加工精度を得ることができる研削盤および研削方法を提供する。
【解決手段】直接定寸段の研削における円筒状ワークＷおよび砥石車４３の軸直交方向の撓み量の合計値X_total(t_dir)を算出し、間接定寸段の研削における円筒状ワークＷおよび砥石車４３の軸直交方向の撓み量の合計値X_total(t_indir)を算出する。算出した直接定寸段の研削における撓み量の合計値X_total(t_dir)と間接定寸段の研削における撓み量の合計値X_total(t_indir)とに基づいて、間接定寸段の研削において砥石車４３の円筒状ワークＷに対する位置を制御する。 （もっと読む）

【課題】回転する研磨工具を被研磨面に押し付ける研磨荷重を精密に測定し、高精度に制御する。
【解決手段】研磨ヘッドは、筐体９と、流体軸受２によってスラスト方向に移動可能に支持される工具軸１と、工具軸１を回転駆動する回転駆動手段７と、工具軸１に荷重を与える変位機構８と、筐体９に支持された差動トランス３と、を有する。差動トランス３は、工具軸１に固定された芯４に対向し、回転駆動手段７と工具軸１とを連結する板ばね５を含む伸縮連結部の下側に配置され、板ばね５の押込み長を測定することで、被研磨面１１に対する研磨パッド１０の研磨荷重を検出する。 （もっと読む）

【課題】 加工具によるレンズ加工に関する較正を精度良く、効率的に行え、また、較正に必要なレンズの消費を抑える。
【解決手段】 レンズチャック軸に保持された眼鏡レンズの周縁を加工具により加工する眼鏡レンズ加工装置は、加工具によるレンズ加工を較正するための基準となる較正用玉型を記憶する記憶手段と、レンズチャック軸の保持されたレンズを較正用玉型に基づいて加工具により加工する加工手段と、レンズの周縁又はレンズ面に接触させる測定子を持ち、測定子の移動を検知してレンズの周縁又はレンズ面の加工形状を検知する加工形状検知手段と、加工手段を動作させてレンズの周縁を加工した後、加工形状検知手段を動作させて得られたレンズの加工形状と較正用玉型とに基づいて加工具によるレンズ加工の較正データを得る較正制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】砥石の偏摩耗が発生し難い研磨具を提供すること。
【解決手段】支持板１１、支持板の下方に接続部材１２を介して支持され、下面に環状砥石１３が装着された環状砥石装着板１４、および砥石装着板に固定された超音波振動子１５を含む研磨具であって、上記接続部材が、下記式（Ｉ）〜（IV）の関係を満足する形状及び配置の環状接続部１２ａを備えており、砥石が装着された砥石装着板の幅方向の重心が、砥石装着板の上面の環状接続部の外周縁と内周縁との間の領域の下側に位置していることを特徴とする研磨具：（Ｉ）０．１≦Ｗ／Ｌ≦０．５、（II）０．３≦Ｔ／Ｗ≦１０、（III)Ｌ₁／Ｌ≧１／４、（IV）Ｌ₂／≧１／４［但し、Ｗ及びＴは各々環状接続部の幅及び高さ、Ｌは環状砥石装着板の幅、そしてＬ₁は環状砥石装着板の環状接続部の外周縁よりも外周側の部分の幅、そしてＬ₂は環状砥石装着板の環状接続部の内周縁よりも内周側の部分の幅である］。 （もっと読む）

【課題】 ワークの研削面を冷却液によるウオータールーム雰囲気を形成し、研削効率を飛躍的に向上させた研削ホイールとその冷却方法と冷却装置等を提供する。
【解決手段】 両縁フランジ１Ｆを備えた環状基台１と、上記環状基台の外周面１Ｂに装着された環状砥石２とからなる研削ホイール１０にして、上記環状基台１と回転主軸５の外周壁５Ａとに連絡孔Ｈが穿かれ、上記回転主軸の軸芯に穿かれた通路孔（通路）Ａから高圧冷却液Ｋを環状砥石２の内周面２Ａに供給可能に構成させたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、研磨運転中に、あるいは同様の運転中に、軌道運動により回転するクランクピンの寸法を良好な寸法性能、高い信頼性、低い慣性力で点検する装置を提供することである。
【解決手段】研磨機械の研磨運転中にクランクシャフト（３４）のクランクピン（１８）の直径を点検する点検装置は、研磨機械の研磨ホイールスライド部（１）上に配置された支持部（５）に対して回転する第１アーム（９）と、第１アームに対して回転する第２アーム（１２）と、第２アームによって保持された参照装置（２０）と、参照装置に連結された計測装置（１６、１７、４０−４５）とを有している。案内装置（２１）が、参照装置（２０）に固定され、クランクピンの軌道運動の過程で点検装置のクランクピンとの係合を可能にし、制御装置（２８−３０）が停止位置へ点検装置を移動する時に第１アームの移動と第２アームとの移動との制限を可能にする。 （もっと読む）

【課題】原点検出機構の信頼性を高め、切削装置の稼働率の向上を図る。
【解決手段】チャックテーブル２０と、切削ブレード５０が一端部に装着されたスピンドル４９を支持するスピンドルハウジング４８を含む切削手段４６と、該切削ブレード５０と該チャックテーブル２０とを接触させて電気的導通により原点位置を検出する原点検出機構８０とを備えた切削装置であって、該原点検出機構８０は、３個以上の電極端子９０と、該電極端子９０の２個の組み合わせを順次選択して該スピンドルの該端面を介して電気的導通が図れているかを確認すると共に、電気的導通が確認された該電極端子９０の２個の組み合わせを選定する電極端子選定回路８２と、選定された電極端子９０と切削ブレード５０とチャックテーブル２０とを含み、該切削ブレード５０が該チャックテーブル２０に接触した瞬間の電気的導通を検出する原点検出回路８４と、から構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 レンズ加工時のトラブル対応の容易化、対応の迅速化を図る。
【解決手段】
レンズチャック軸と眼鏡レンズの加工具とが配置された加工室と、眼鏡レンズの加工条件データを入力するデータ入力手段と、加工条件データに基づいてレンズチャック軸と加工具との相対的な位置を変化させて眼鏡レンズを加工する加工制御手段とを備える眼鏡レンズ加工装置は、加工具による眼鏡レンズの加工状態の映像を撮影可能に加工室に配置されたカメラと、カメラに撮影された映像を記憶する記憶手段と、装置の動作開始信号及び加工終了信号に基づいてカメラにより撮影された映像の記憶手段への記憶を制御する記憶制御手段と、を備える。記憶制御手段は、さらに加工条件データを付加データとして眼鏡レンズ毎の映像に対応付けて記憶手段に記憶させる。 （もっと読む）