【課題】加工熱が発生してもチャックテーブルを常に水平に保持することが可能な加工装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブル４４と、加工手段２６とを備えた加工装置であって、該チャックテーブル４４を固定的に支持する固定支持部８０と、該チャックテーブル４４を上下方向に移動可能に支持する可動支持部９０と、該固定支持部８０の温度上昇値を計測する計測手段９６と、該可動支持部９０の温度上昇値を計測する計測手段９８と、温度上昇値に対する該保持面の高さ位置変化量データを記憶した記憶手段１０２と、該計測手段９６，９８で計測された温度上昇値と、該記憶手段１０２に記憶されている該高さ位置変化量データに基づいて該第１及び第２可動支持部９０を駆動して、該保持テーブル４４の傾きを該加工手段２６と平行に補正する制御手段１００と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板研磨装置の研磨テーブルの研磨面の温度を測定し、該測定した温度情報をＰＩＤ制御によりフィードバックして研磨面を温調しながら基板を研磨する基板研磨装置、基板研磨方法、基板研磨装置の研磨パッド面温調装置を提供する。
【解決手段】研磨パッド１１が貼付された研磨テーブル１３と、基板を保持するトップリング１４とを備えた基板研磨装置において、研磨パッド１１面上の温度を検出する放射温度計１９と、研磨パッド１１面上の温度を調整するパッド温調手段２６と、研磨パッド温度情報に基づいてパッド温調手段２６を制御して研磨パッド１１面上の温度を制御する温度コントローラ２０を備え、温度コントローラ２０は複数種のＰＩＤパラメータから所定のルールに基づき所定のＰＩＤパラメータを選択し、パッド温度情報に基づいて選択したＰＩＤパラメータを用いて研磨パッド１１面上の温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】各研磨処理における諸条件が異なっても、各研磨時間を制御し、各被処理基板の研磨量を略一定とする。
【解決手段】研磨加工の時間経過に応じて変化する状態変数を取得する状態変数取得手段１２と、研磨加工が開始されてから所定の経過時間までの前記状態変数の平均値と研磨レートとの相関式を記憶する記憶手段２２と、被処理基板に対する研磨加工動作を制御する制御手段２０とを備え、前記制御手段は、研磨加工が開始されてから所定の経過時間における前記状態変数の平均値と前記相関式とを用いて研磨レートを算出し、算出された研磨レートに基づき加工終了までの時間を決定する。 （もっと読む）

【課題】より高精度に研削焼けを判定することができる研削焼け判定方法を提供する。
【解決手段】工作物Ｗが砥石４０により研削されることによって発生する工作物Ｗの研削点における発熱量Ｑに関連するパラメータである発熱関連量Ｑｐを検出する発熱関連量検出工程Ｓ２と、クーラント液の供給によって冷却される工作物Ｗの研削点における冷却量Ｃに関連するパラメータである冷却関連量Ｃｐを検出する冷却関連量検出工程Ｓ３と、発熱関連量Ｑｐおよび冷却関連量Ｃｐに基づいて、工作物Ｗの周面における研削焼けの有無を判定する研削焼け判定工程Ｓ４〜Ｓ６とを備える。 （もっと読む）

【課題】切削装置が設置された室内の温度が変化しても、所望の切り込み深さでウエーハを切削可能な切削ブレードの管理方法を提供する。
【解決手段】チャックテーブルと、ウエーハを切削する切削手段と、切削水供給手段５６と、切削水の温度を制御する温度コントローラ１０４と、該切削ブレードの切刃の磨耗を検出するブレード検出手段と、該切削ブレードの基準位置を検出する基準位置検出手段とを備えた切削装置の管理方法であって、切削水の温度１０２と室内の温度１００を検出する温度検出工程と、該切削ブレードの切刃の基準位置を検出する基準位置検出工程と、切刃の磨耗量を検出し、切刃の基準位置との差を求め、切刃の基準位置を補正する基準位置補正工程と、切削水温度及び室温を検出する前記温度を実施し、該基準位置検出工程を実施した際の室温と異なる室温を検出した際に、該温度コントローラが切削水の温度を制御する温度制御工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】切削水の温度や、室内の温度が変化しても、所望の切り込み深さでウエーハを切削可能な切削ブレードの管理方法を提供する。
【解決手段】チャックテーブルと、ウエーハを切削する切削手段と、切削水供給手段と、切刃の磨耗を検出するブレード検出手段６８と、該切削ブレード５０の基準位置検出手段とを備えた切削装置における切削ブレード５０の管理方法であって、切削水の温度と切削装置が設置された室内の温度を検出する温度検出工程と、該切削ブレード５０の切刃５０aの基準位置を検出する基準位置検出工程と、該切削ブレード５０の磨耗量を検出し、切刃５０aの基準位置との差を求め、切刃５０aの基準位置を補正する基準位置補正工程と、温度検出工程を常時実施し、切削水温度と第１の所定値以上異なる切削水温度を検出するか、室温と第２の所定値以上異なる室温を検出した際に該基準位置検出工程を再び実施するリセット工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 測定対象物への接触が適正な状態で、測定対象物からの磁化信号を正確に測定できる磁気測定装置を提供する。
【解決手段】 この磁気測定装置は、測定対象物２０を励磁する励磁コイル２と、励磁された測定対象物２０からの磁化信号を検出する検出コイル３とを有する。励磁コイル２および検出コイル３の磁心の測定対象物２０に対向する先端部を柔軟性材料６で構成し、その先端部の測定対象物２０との摺接面を硬質磁性体の薄板７で構成する。 （もっと読む）

【課題】高精度且つ効率的にねじ研削を行うことができるねじ研削盤を提供する。
【解決手段】ねじ研削盤１は、砥石台送り機構３５により砥石車２６を切り込み量を有するように位置決めした後、テーブル２０をテーブル送り機構２１により移動させて砥石車２６をワークＷに対して相対移動させるもので、ワークＷの他端側のねじ溝に当接可能な測定子４６を有する測定機構４５と、測定子４６をねじ溝に当接する位置とねじ溝から離れた位置との間で進退させる進退機構と、制御装置６０とを備える。測定機構４５は、測定子４６の変位を検出して軸線方向におけるワークＷの熱変位量を測定する。制御装置６０は、測定機構４５によって測定された熱変位量を基にワークＷ軸線方向各位置での熱変位量を算出して、算出した熱変位量を基にワークＷ軸線方向における送り位置を補正しながらテーブル送り機構２１によりワークＷ及び砥石車２６を相対移動させる。 （もっと読む）

【課題】Ｚ軸方向へ移動する指令が出された時に、砥石がワークの中心軸方向に常に移動することを可能とする研削盤および研削方法を提供する。
【解決手段】ベッド１０を基準として主軸台２０の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位Ｌ１を常時監視する第一変位監視手段７１、６１、６２と、ベッド１０を基準として心押台３０の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位Ｌ２を常時監視する第二変位監視手段７２、６１、６２と、主軸台２０の相対変位Ｌ１および心押台３０の相対変位Ｌ２に基づいて、予め設定された基準Ｚ軸に対するワーク軸の傾きθ１を算出する傾き算出手段６３と、ワーク軸の傾きθ１に基づいてワークＷのテーパ誤差を補正する補正手段６４とを備える。 （もっと読む）

【課題】付加加工を行わず、除去加工のみでロープ溝の成形を行い、ロープを外すことなくロープ溝の加工及び修正加工を短時間で実施することができる溝車のロープ溝加工装置及びロープ溝加工方法を提供する。
【解決手段】溝車１のロープ溝内で研削砥石１１を回転させてロープ溝を加工する加工装置と、前記加工装置を前記溝車の半径方向に移動し得るように支持する半径方向可動器３４と、前記研削砥石の温度を測定する温度測定装置２０と、前記温度測定装置の測定値から温度勾配を算出する温度勾配演算器２３と、前記加工装置の研削負荷を測定する負荷測定装置２２と、前記研削砥石の温度及び前記温度勾配並びに前記研削負荷にもとづいて前記加工装置の切り込み量を設定する演算装置２５とを備えた構成。 （もっと読む）

【課題】研磨砥石の形状・条件を変更・調節する必要がなく、ゴム弾性層外周面の研磨性をその軸方向に沿って効果的に制御可能な研磨機を提供する。
【解決手段】回転可能な円筒形状の研磨砥石と、ゴムローラと研磨砥石の軸方向が互いに平行となるようにゴムローラを保持して回転させることが可能な保持手段と、ゴムローラの外周面の軸方向の温度分布を制御可能な制御手段と、を備えたことを特徴とするプランジ方式円筒研磨機。 （もっと読む）

【課題】研削加工を高精度に保ち、且つ、研削効率の向上を可能とする研削盤を提供する。
【解決手段】本発明の研削盤１は、本体部２と、被研削部の寸法を計測し定寸信号を発生する定寸装置３と、本体部２が熱的に安定しているか否かを判定する熱的安定判定部４と、制御部５とを備える。制御部５は、熱的安定判定部４が安定でないと判定した場合には、加工条件が第一加工プログラムに基づき決定され且つ定寸信号を受信したときに変更される直接定寸モードで本体部２を制御し、熱的安定判定部４が安定と判定した場合には、加工条件が定寸信号によらず第二加工プログラムに基づき決定且つ変更される間接定寸モードで本体部２を制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 研削装置の状態を常時観察できる研削装置及び研削装置の観察方法を提供することである。
【解決手段】 ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石が配設された研削ホイールを有する研削手段と、研削領域に研削水を供給する研削水供給手段とを備えた研削装置であって、前記チャックテーブルに保持されたウエーハの研削によって発生する研削屑を含んだ研削水によって研削状態を観察する観察手段を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウエハ研磨プロセスにおける研磨パッドの表面温度の変化を小さく抑えることを可能とするウエハ研磨装置を提供する。
【解決手段】ウエハ研磨装置１００では、研磨パッド１４に研磨剤を供給しながらウエハＷを研磨パッド１４に押し当てて研磨する。ウエハ研磨装置１００は、ウエハＷを研磨パッド１４に押し付ける研磨ヘッド１８と、底面がウエハＷの研磨面よりも研磨パッド１８側に位置するとともにウエハＷの外周を囲むように研磨ヘッド１８に着脱自在であり、温調媒体としての冷却液を流すための溝２２ａを備えたリテーナーリング２２と、リテーナーリング２２を研磨ヘッド１８に取り付けたときに溝２２ａにより形成される流路２３に冷却液を供給するための第２冷却機構２４を具備する。 （もっと読む）

【課題】ウェハの局所的な厚さの変化を回避する。
【解決手段】複数の半導体ウェハの両面を同時に研削するための方法において、それぞれの半導体ウェハが、転動装置によって回転させられる複数のキャリヤのうちの１つのキャリヤの切欠きにおいて自由に可動でありかつこれによりサイクロイド状の軌道上を移動させられるように配置されており、半導体ウェハが、回転するリング状の２つの作業ディスクの間で材料除去形式で機械加工されるようになっており、それぞれの作業ディスクが、固定と粒を含む作業層を有しており、作業層の間に形成された作業ギャップの形状が、研削の間に決定され、少なくとも１つの作業ディスクの作業領域の形状が、作業ギャップが所定の形状を有するように作業ギャップの測定されたジオメトリに応じて機械的に又は熱的に変化させられる。 （もっと読む）

【課題】定盤の全面が同じ温度となるように制御して熱膨張を抑止する定盤形状制御装置を提供する。また、この定盤形状制御装置を備えてワークの平面精度を向上させるような平面加工装置を提供する。
【解決手段】内周センサ１７、外周センサ１９および中間センサ１８から無線送信された物理量が、予めデータベースに登録された内周、外周および中間の所定の物理量に近づくように定盤内周熱交換室１１、上定盤中間熱交換室１２、上定盤外周熱交換室１３、下定盤内周熱交換室１４、下定盤中間熱交換室１５、下定盤外周熱交換室１６に冷媒を送って上定盤１０１および下定盤１０２を冷却する定盤形状制御装置１０、およびこの定盤形状制御装置１０を備える平面加工装置とした。 （もっと読む）

【課題】研磨中に研磨の均一性をモニタできるようにすることを目的とする。
【解決手段】上定盤３に保持された被研磨物Ｗと、下定盤２上に装着された研磨パッド１とを接触加圧した状態で、供給ノズル４からスラリーを供給しながら、被研磨物Ｗと研磨パッド１とを相対的に摺動させて行なう研磨の状況をモニタするシステムであって、研磨パッド１の径方向互いに異なる位置に配置された複数の温度センサ１１の検出出力に基づいて、研磨パッド１の温度の均一性を算出し、この温度の均一性と研磨の均一性との間の相関関係から研磨の均一性をモニタするようにしている。 （もっと読む）

【課題】砥石寿命を正確に判定することができる砥石の接線研削抵抗測定方法、砥石寿命判定方法及びツルーイング完了確認方法並びに砥石寿命判定装置及びツルーイング完了確認装置を提供する。
【解決手段】砥粒をボンドで結合した砥石層が円盤状コアの外周面に形成された砥石の接線研削抵抗測定方法である。砥粒の最表面から砥粒切れ刃の切込み深さにおける平均砥粒断面積を得る断面積取得工程Ｓ１０、Ｓ１１と、平均砥粒断面積を底面積、切込み深さを高さとする砥粒の切れ刃の円錐モデルを想定し、円錐モデルの頂角の１／２である半頂角に対する正接を計算する正接計算工程Ｓ１２と、研削パラメータを設定するパラメータ設定工程Ｓ１３と、研削パラメータ及び正接から接線研削抵抗を計算する接線研削抵抗計算工程Ｓ１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】短時間でかつバラツキがない研削条件を決定することができるとともに、研削焼けの発生を抑制することができる研削条件決定方法を提供する。
【解決手段】研削条件決定方法において、砥粒の最表面から切込み深さｇにおける砥粒断面積Ａを得る断面積取得工程Ｓ１０、Ｓ１１と、砥粒断面積Ａを底面積、切込み深さｇを高さとする砥粒の切れ刃の円錐モデル３０における半頂角αに対する正接ｔａｎαを計算する正接計算工程Ｓ１２と、研削パラメータを設定するパラメータ設定工程Ｓ１３と、研削パラメータ及び正接から接線研削抵抗Ｆｔを計算する接線研削抵抗計算工程Ｓ１４と、接線研削抵抗Ｆｔから研削熱量Ｑを計算する研削熱量計算工程Ｓ１５と、研削熱量Ｑから研削点における最高温度θｍａｘを計算する最高温度計算工程Ｓ１６と、最高温度θｍａｘと閾値とを比較し、研削焼けを判断する研削焼け判定工程Ｓ１７、Ｓ１８、Ｓ１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】加工ディスクの変形のために、上部加工ディスクの意図的な変形や作用ギャップを適切に変化させる。
【解決手段】上下キャリア・ディスクに保持される上下加工ディスクと、キャリア・ディスクを軸心を同じにして相互に配置され、駆動シャフトを介して作動モータにより互いに相対的に回転駆動されるよう構成され、かつ、ワークの両面を加工処理する作用ギャップを形成する加工ディスクと、作用ギャップの間隔をあけた位置で加工ディスク間の距離を測定する距離測定装置とを備える。さらに、上部キャリア・ディスクは、駆動シャフトに連結された支持リング上に懸垂され、キャリア・ディスクの環状部分および支持リングと力発生器により支持リングの外周からキャリア・ディスクの外周に付与される半径方向力を介して外部から制御可能な手段と、距離測定装置の測定値または力計測装置の測定値のそれぞれに基づいて力発生器の力を調整する制御手段を備える。 （もっと読む）