【課題】中心から外周に向けて徐々に厚くなるように保護膜を被覆する保護膜被覆機構を備えるとともに、被加工物を均一な厚みに研削することができる研削装置を提供する。
【解決手段】被加工物１０を保持する円錐状の保持面を備えたチャックテーブル５３２と、研削手段と、研削送り手段と、支持面に液状樹脂を滴下し被加工物を回転させて支持面に保護膜２１０を被覆する保護膜形成手段とを具備する研削装置であって、保護膜２１０の厚みを計測する厚み計測手段と、対面態を調整する対面状態調整手段と、保護膜２１０の厚み情報を記憶するメモリを備え、厚み情報に基づいて対面状態調整手段を制御する制御手段とを具備し、制御手段は、保護膜２１０の厚み情報に基づいて保護膜２１０の外周から中心に至る勾配を求め、外周から中心に至る勾配とチャックテーブル５３２の円錐状の保持面における外周から中心に至る勾配に基づいて対面状態調整手段を制御する。 （もっと読む）

【課題】設備を大型化することなく、短時間で高精度な心出しを行うことができる心出し装置を提供すること。
【解決手段】レンズＬを心出しする心出し装置１Ａを構成するにあたり、レンズ保持具２と、レンズを回転させるときの回転中心線ＣＬと直交する面内でレンズ保持具を変位させる面内方向移動機構（ＸＹステージ４ａ）、および回転中心線と直交する面に対するレンズ保持具の傾きを調整する傾き調整機構（αβステージ４ｂ）を有する位置調整部４Ａと、先端に当該位置調整部が取り付けられたレンズ保持軸５と、回転中心線に対するレンズの偏心を一方のレンズ面Ｌａ側から検出する偏心検出部６Ａと、回転中心線に対するレンズの面振れを他方のレンズ面Ｌｂ側から検出する面振れ検出部７とを設ける。 （もっと読む）

【課題】加工熱が発生してもチャックテーブルを常に水平に保持することが可能な加工装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブル４４と、加工手段２６とを備えた加工装置であって、該チャックテーブル４４を固定的に支持する固定支持部８０と、該チャックテーブル４４を上下方向に移動可能に支持する可動支持部９０と、該固定支持部８０の温度上昇値を計測する計測手段９６と、該可動支持部９０の温度上昇値を計測する計測手段９８と、温度上昇値に対する該保持面の高さ位置変化量データを記憶した記憶手段１０２と、該計測手段９６，９８で計測された温度上昇値と、該記憶手段１０２に記憶されている該高さ位置変化量データに基づいて該第１及び第２可動支持部９０を駆動して、該保持テーブル４４の傾きを該加工手段２６と平行に補正する制御手段１００と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】軽量・コンパクト・簡素な構成の変位センサ装置を、既存の設計によるスピンドルヘッドに容易に装備できるスピンドル装置を提供する。
【解決手段】このスピンドル装置は、スピンドルヘッドのハウジングの外に突出した回転軸のクイル３０３ａに対向する変位センサ装置２０を備えたものであり、この変位センサ装置２０は、導電部を渦巻状に形成したコイルを有し、かつ、その渦巻面をクイル３０３ａと対向させて当該クイルのまわりを取り囲むフレキシブルプリント基板２２によって構成される。 （もっと読む）

【課題】板状被加工物に変形が生成されている場合には、変形を自動的に強制して吸引保持させることができる加工装置を提供する。
【解決手段】搬送機構１２は搬送プレート３２と、搬送プレート３２の下面に配設され、板状被加工物２を吸引保持する吸引保持板３４、及び吸引保持板３４を囲繞し且つ吸引保持板３４の下面を越えて突出する弾性囲繞部材３６と含む。吸引保持された板状被加工物２が支持機構１０の吸引支持板２６上に位置されると、搬送機構１２の弾性囲繞部材３６の下端が支持テーブル２４の上面に接触されて、密閉空間Ｒが形成され、板状被加工物２の裏面と吸引保持板３４の表面との間に間隙が生成されている場合には、吸引されることによって密閉空間Ｒに負圧が生成され、これによって大気圧により搬送プレート３２が下降し弾性囲繞部材３６が収縮され、板状被加工物２が吸引支持板２６上に押圧され、板状被加工物２の変形が矯正される。 （もっと読む）

【課題】被研削物を研削面に押し当てて研削する際、被研削物の姿勢を適切に制御し、研削精度を向上できる研削装置、研削装置用の研削ヘッド及び研削方法を提供することを目的とする。
【解決手段】被研削物を研削面に押し付けて研削する研削装置用の研削ヘッドであって、前記被研削物を表面に保持する弾性の保持手段と、前記保持手段を研削方向に沿って引っ張るための引張手段と、前記保持手段を介して前記研削面に対して前記被研削物を押し付ける押圧手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】磁気ヘッド用の研磨装置及び研磨方法の提供。
【解決手段】回転するラップ加工定盤１４と、該ラップ加工定盤１４にロウバー１３を空気圧により加圧するエア加圧機構部１１と、圧縮空気をエア加圧機構部１１に供給する加圧力制御部７０と、エア加圧機構部１１が供給する圧縮空気の加圧力を加圧制御信号を用いて指令するラップ制御部１００とを備え、加圧機構部１１がラップ制御部１００より目標とする加圧力に対応した値の加圧制御信号Ｖ１が出力されたとき、標準応答時間経過後に目標加圧力により被研磨部材を加圧する研磨装置であって、目標加圧制御信号Ｖ１の１．４倍の第１加圧制御信号Ｖ２を加圧力制御部７０に出力した後、目標加圧制御信号の値に戻す第２加圧制御信号Ｖ１を加圧力制御部７０に指令することにより、応答時間を短縮するもの。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの裏面を研削する研削加工装置において、研削手段の回転軸の傾きの調整を容易にすることで、生産効率およびウェーハの品質の向上を図る。
【解決手段】研削ユニット３０に回転軸３０ａを傾かせる傾斜調整機構１００と、様々な研削条件に対応した角度調整値を記憶する研削条件記憶手段１１０を設ける。ウェーハ１の研削条件を研削条件記憶手段１１０で選択することで、研削ユニット３０の角度調整値が読み取られる。この角度調整値に基づいて、傾斜調整機構１００の、前後調整用スペーサ１０１と左右調整用スペーサ１０５とを動かすことで、研削ユニット３０がウェーハ1の研削条件に対応した傾斜角度に調整される。研削ユニット３０の角度を調整した後、研削ユニット３０によりウェーハ１を研削することで、所望の厚さのウェーハ１が得られる。 （もっと読む）

【課題】被加工物を高い精度で研磨することのできるラッピング装置及びラッピング方法を提供する。
【解決手段】アダプタ１２ａは、ラップベース１１により支持された第１の支持部と、被加工物１００の被加工面がラッピング面に接するように被加工物が取り付けられる第２の支持部と、第１の支持部と第２の支持部との間に延在するアーム部１２０ａとを有する。高さ調整機構１６は、ラッピング面からアダプタの第１の支持部までの高さを変更する。アダプタ１２ａの傾きを検出する傾き検出器１８がアダプタに設けられる。高さ調整機構により第１の支持部の高さを調整することで、ラッピング面に対するアダプタ１２ａの傾きを調整する。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルの傾き角度を調整してウェーハ厚さを所望の状態に調整可能な研削加工装置において、ウェーハ厚さを把握しながらウェーハを研削する工程での、厚さ測定にかかる手間を軽減して生産効率を高める。
【解決手段】二次研削位置の近傍に、二次研削されたウェーハ１のみの厚さを径方向に複数ポイント測定する仕上げ厚さ測定装置８０を配設し、該装置８０で測定されたウェーハ１の厚さからウェーハ１の径方向の厚さ分布を把握する。把握した径方向の厚さ分布に基づき、傾き角度調整機構７０によってチャックテーブル２０を傾斜させて砥石３７に対するウェーハ１の角度を適宜調整し、二次研削後のウェーハ厚さを所望の状態にする。 （もっと読む）

【課題】種々の形状のワークの修正研磨の行えるワークの片面研磨装置を提供する。
【解決手段】ワークの片面研磨装置は、ワーク保持ヘッド２０と、上面に研磨パッドが貼付された定盤とを具備し、ワーク保持ヘッド２０のヘッド本体２２内に形成された加圧室３３と、該加圧室３３に加圧流体を供給する加圧源と、加圧室３３内に位置してヘッド本体２２に取付けられ、保持プレート２６の少なくとも周方向の複数個所を部分的に押圧する複数のアクチュエータ４０ａ、４０ｃ、４０ｅと、該アクチュエータの保持プレート２６への押圧力を調整する調整手段とを具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】試料の研磨面における研磨痕や応力ムラの発生を抑え、試料表面の極めて広い範囲において十分な平坦度が得られて分析評価の可能な領域の大幅な拡大化を実現し、信頼性の高い薄膜化された試料を得る。
【解決手段】試料保持部２は、試料１０が固定される試料台１１と、試料台１１を研磨表面１ａに対して移動自在とし、試料台１１を研磨表面１ａ内の任意の位置で固定する試料台設置機構と、試料台１１に固定された試料１０の研磨表面１ａ内における研磨方向に対する設置角度を調節する角度調節機構１３と、試料台１１を研磨表面１ａに対して水平となるように調節する水平調節機構１４とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、溝付きローラの位置調整を容易に行うと共に、ワークの両面を高精度に加工することを課題とする。
【解決手段】ワーク２７の第１の面２７Ａの第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５からセンサまでの第１の距離データ及びワーク２７の第２の面の第２の所定位置Ｍ１〜Ｍ５からセンサまでの第２の距離データに基づいて、複数の溝付きローラ６２,６３,６４,６５,６６の溝６２Ａ,６３Ａ,６４Ａ,６５Ａ,６６Ａにより形成されるローラ拘束面Ｊが所定の面に対して略平行となるように、複数の溝付きローラ６２,６３,６４,６５,６６の軸方向の移動量Ｇ２又は移動量Ｇ３を求め、この移動量Ｇ２又は移動量Ｇ３に基づいて、複数の溝付きローラ６２,６３,６４,６５,６６の位置を自動調整後に、ワーク２７の両面を加工する。 （もっと読む）

【課題】研磨対象物である基板が外れてしまうことを防止し、安定した研磨を実現することができる基板保持装置を提供する。
【解決手段】トップリング１は、ウェハを保持してウェハを研磨パッド１０１に押圧するトップリング本体２と、トップリング本体２の外周部に設けられ、研磨パッド１０１を押圧するリテーナリング３とを備えている。リテーナリング３は、磁性体からなるピストン４０６と、ピストン４０６に当接する面に磁石４２０を有するリング部材４０８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】３点支持式の薄片研摩装置の板厚分布の修正を研摩を中断することなく、自動的に行なう。
【解決手段】研摩ヘッド２に固定され、先端が研摩定盤に接して研摩ヘッド２と研摩定盤の間隔を制御可能に保持するアクチュエータ４ａ付きの２個のマイクロメータと、研摩ヘッド２の研摩試料１０上に設けられ、研摩試料１０の厚さを測定する３個の膜厚測定器３ａ〜３ｃとを備え、膜厚測定器３ａ〜３ｃの測定値に基づき研摩試料１０の平行度を修正するようにアクチュエータ４ａを制御する。研摩中に研摩試料１０の板厚分布を３個の膜厚測定器３ａ〜３ｃで検出し、その板厚分布を研摩中にアクチュエータ４ａを制御して修正するから、平行度の高い薄片試料を作製することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの研削工程時の研削条件の調整を、非熟練作業員でも簡便かつ確実に行うことができる半導体ウェーハの製造方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハの製造方法であって、少なくとも、原料ウェーハを研削する研削工程を有し、該研削工程により研削されたウェーハ面のナノトポグラフィを測定し、このウェーハ面の複数の直径または半径上のナノトポグラフィ測定値を平均して平均値成分を求め、前記平均する前のナノトポグラフィ測定値から前記平均値成分を差し引いて残差成分を求め、前記平均値成分および残差成分に基づいて前記研削工程の研削条件を調整することを特徴とする半導体ウェーハの製造方法。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの研削工程時の砥石のチルト／シフト調整を、非熟練作業員でも定量的に簡便かつ確実に行うことができる半導体ウェーハの製造方法および研削装置を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハの製造方法であって、少なくとも、原料ウェーハを砥石で研削する研削工程を有し、該研削工程により研削されたウェーハ面のナノトポグラフィを測定し、このウェーハ面の複数の直径または半径上のナノトポグラフィ測定値を平均して平均値成分を求め、該平均値成分の凹凸量と該凹凸を平坦化するための前記砥石のチルト調整量および／またはシフト調整量との相関関係を計測して関係式を予め求め、該予め求めた関係式に基づいて以後の研削工程において前記砥石のチルト調整および／またはシフト調整を行うことを特徴とする半導体ウェーハの製造方法および研削装置。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で容易に板状被研削物を均一な厚さに研削する。
【解決手段】研削砥石２７がチャックテーブル１０の回転中心Ｘ上に載るようにチャックテーブル１０の回転中心Ｘと研削ホイール２５の回転中心Ｙとをオフセットして配置する。第１のエアーベアリング１３に１対のチャック側圧力ポートを設け、第２のエアーベアリング２６に１対の砥石側圧力ポートを設ける。第１のエアーベアリング１３のハウジング１２は、ウェーハ９の研削砥石２７に対する当たり面の傾斜角を調整可能に構成する。１対のチャック側圧力ポートと１対の砥石側圧力ポートとで検出した圧力差Ｐ_AC、Ｐ_BWに基づいて、第１のエアーベアリング１３のハウジング１２を傾斜させる。 （もっと読む）

【課題】 大口径ウェハの研磨においても、仕上がり研磨面の平坦性を向上させることができる保持ヘッド、研磨装置および研磨方法を実現する。
【解決手段】 本発明の保持ヘッド、研磨装置および研磨方法は、研磨パッドを有する研磨テーブルとウェハ１４とを相対的に動かし、研磨剤を供給しながらウェハ１４の研磨面１５を研磨パッドに接触させることにより研磨面１５に研磨処理を施す研磨装置の保持ヘッド１１と、研磨面１５に対向するウェハ１４の裏面近傍の保持ヘッド１１内部に設けられた空洞Ａ〜空洞Ｃを満たす温水１２ａ〜１２ｃと、研磨面１５における温度プロファイルが所望の形状になるよう温水１２ａ〜１２ｃの温度を制御する温度制御装置１２を有する。 （もっと読む）

【課題】移動に際して移動体の姿勢が移動軸方向に対して傾き難くすることができる移動体構造、及び、ワークに高精度な研削加工を施すことができる研削盤を提供する。
【解決手段】基台（ベッド）１０と、基台１０に所定の移動軸方向Ｘに移動自在に組付けられた移動体（砥石台）２０と、基台１０に対して移動体２０を移動させる駆動装置１２と、移動体２０の移動軸方向Ｘに対する傾きを監視する姿勢監視手段（リニアスケール）１３，１４と、姿勢監視手段１３，１４での監視結果に基づき、移動軸方向Ｘの軸線であり、駆動装置１２から移動体２０に駆動力が付与される作用点を含む軸線である駆動軸線Ｋの線上以外の部位において、基台１０と移動体２０との間に制動力または推進力を付与することで、移動軸方向Ｘに対する移動体２０の傾きを修正する姿勢修正手段（制動装置）４０とを備える。 （もっと読む）