【課題】量産コストを低減させることができる圧粉磁心の製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁被覆処理された純鉄粉又は鉄を主成分とする鉄系合金粉末を金型を用いて加圧成形して圧粉磁心を得る工程Ｓ１、得られた圧粉磁心に熱処理を施す工程Ｓ２、及び熱処理された圧粉磁心の少なくとも一部に研削砥石を用いた後加工を施す工程Ｓ３を含んでいる。前記後加工を施す工程において、圧粉磁心及び研削砥石を自転させつつ研削加工を施すことで圧粉磁心の加工面に生じる加工跡を等方性にする。 （もっと読む）

【課題】チップの摩耗が進展した場合でも、ウェーハの品質を維持可能な研削ホイールを提供する。
【解決手段】研削ホイール３は、略板状のホイールベース９１と、ホイールベース９１の一面から環状に突出するように設けられ、ウェーハに押し当てられる砥石３２と、を備え、砥石３２は、環状の外周方向に沿って設けられた複数のチップ３２２を有し、隣り合うチップ３２２の間隔寸法は、チップ３２２の先端側よりも基端側の方が大きくなるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】ワークテーブルに回転支持されたワークを、コラムに設けられた砥石車により研削加工する立型研削盤において、高精度な研削加工を実施することができる配置構成を備えた研削盤を提供する。
【解決手段】砥石車３を回転支持する砥石台１０の旋回ユニット１１の旋回テーブル２１に対する配置構成は、砥石台１０に回転可能に軸承される砥石車３の砥石軸２０が旋回テーブル２１の旋回軸２１ａに対してワークＷを回転支持するワークテーブル１側となるように配置されている。これにより、旋回テーブル２１とワークＷの干渉がなくなり、旋回テーブル２１をワークＷから上下方向に離隔させる必要がなく、砥石軸２０の長さを小さく設定することができる。 （もっと読む）

【課題】縦長のワークについて、ワーク高さを均一に加工するとともに、その一平坦面を中凸面形状に研削加工することができる片面研削技術を提供する。
【解決手段】回転する砥石車１の平坦な研削砥石面１ａと、砥石車１に対向して固定的に配置した押えガイド２の研削案内面２ａとから形成された研削部ＧＰに、ワークＷを通し送りしながらその底面Ｗｂを片面研削する。押えガイド２の研削案内面２ａは、ワークＷの研削代分ｈを研削する研削砥石面１ａの部位に対向して配置される切込み傾斜案内面５と、切込み傾斜案内面５に連続して設けられる研削砥石面１ａと平行な平坦案内面６と、平坦案内面６に連続して設けられる切込み傾斜案内面５と逆の傾斜とされた逃し傾斜案内面７とを備えてなる。 （もっと読む）

【課題】難削材基板の研削時に基板を高精度で研削すると共に、高い剛性を有する。
【解決手段】研削盤（１０）は、多角形をなすよう配列された少なくとも三つのリニアガイド（３１〜３３）と、これらリニアガイドに沿って摺動可能に取付けられたサドル（３４）と、サドルの下端に取付けられていて、サドルの摺動方向回りに回転可能な研削ホイール（３６）と、研削ホイールに対面して配置されていて、基板（Ｗ）を保持しつつ回転可能なチャック（２９）と、を具備し、研削ホイールが基板を研削する研削部位（Ｂ）がリニアガイドにより形成される多角形の重心に対応する位置に配置されている。さらに、研削ホイールをチャックに向かって送込む研削送り部（３７、３８）を具備し、研削ホイールを送込む送込み方向は、研削ホイールが基板を研削する研削部位と重心とを結ぶ直線上に在るのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】研削の際に高速回転されるホイールマウント及び研削ホイールの結合部から研削液が漏出することなく、そしてまた結合部の腐食が回避される研削装置を供給する。
【解決手段】回転スピンドル３２と、ホイールマウント３４と、基台４０と、砥石４２から構成されホイールマウント３４の下面３４ｂに装着される研削ホイール３６とを含む研削手段を備える。ホイールマウント３４の下面外周部には、研削ホイール３６の基台４０の上面４４aが当接される上面被装着面と基台４０の内周面４４ｃが嵌合される内周面被装着面とが形成されている。ホイールマウント３４には砥石４２に研削液を供給する研削液供給路５８が形成され、研削液供給路５８から流出した研削液を砥石４２に導く研削液案内路４８を規定するための円環形状の研削液案内路規定部材５０が、ホイールマウント３４の下面３４ｂで且つ内周面被装着面の内周側に配設されている。 （もっと読む）

【課題】ワークとこのワークを加工する加工工具とが接触する位置に効率良く加工液を供給すること。
【解決手段】ある実施の形態における加工装置は、ワークＷに接触してワークＷを研削加工する研削工具９と、研削工具９を下側先端部に装着し、鉛直方向を回転中心として回転可能に支持する回転軸７２とを有する加工機構を備える。また、加工装置は、ワークＷと研削工具９との接触位置に加工液を供給する加工液供給ノズル１０を備える。回転軸７２は、軸心位置を鉛直方向に貫通する貫通孔を有し、加工液供給ノズル１０は、貫通孔７２１に挿通されて回転軸７２と接触しないように固定された貫通管部１１と、加工液を噴出する噴出口１２３が形成され、貫通管部１１の下側先端部に装着された噴出部１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】 ホイールマウントに研削屑が固着することのない研削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削砥石が環状に配設された研削ホイールを回転可能に支持する研削手段と、被加工物と該研削砥石とに研削水を供給する研削水供給手段とを備えた研削装置であって、該研削手段は、回転駆動されるスピンドルの先端に固定された該研削ホイールが着脱自在に装着されるホイールマウントを含み、該研削ホイールが着脱自在に装着される該ホイールマウントの装着面にはＤＬＣがコーティングされていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 最短の研削加工時間でウエーハ裏面の研削が完了可能な研削装置及び研削方法を提供することである。
【解決手段】 ウエーハの研削方法であって、粗研削用の研削砥石での研削時間をｘ、仕上げ研削用の研削砥石での研削時間をｘより短いｙとしたとき、第１研削ユニットで（ｘ＋ｙ）／２で求められる時間粗研削加工を実施する。次いで、第１研削ユニットで研削後のウエーハを第２研削ユニットの粗研削用の研削砥石を使用して、ｘ−（ｘ＋ｙ）／２で求められる時間粗研削加工を実施する。その後、第２研削ユニットの仕上げ研削用の研削砥石を使用して、ｙの時間仕上げ研削加工を実施する。 （もっと読む）

【課題】ホイールチップの高さ調節を通じてホイールチップの交換周期を最大化し、ホイールチップの交換回数を最小化するウエハ研磨装置を提供する。
【解決手段】メインモータにより回転するスピンドルシャフト１３０と、前記スピンドルシャフト１３０と軸方向に結合されて回転自在なホイールシャンク１４０と、前記スピンドルシャフト１３０とギアにより結合されて回転するムービングシャフト１６０と、前記ムービングシャフト１６０と結合され、前記ホイールシャンク１４０に支持されることによってウエハを研磨するように構成配置されるホイールチップ１１０とを有する。 （もっと読む）

【課題】単一の研削装置によって、ワークを移し替えることなく、荒加工と仕上げ加工とを行う。
【解決手段】回転駆動装置のヘッド部２０を構成する回転軸２２には、先端側に第１の回転砥石２４が、基端側に第２の回転砥石２５が設けられ、第１の回転砥石２４の砥石２４ａは比較的粗い砥粒から構成され、第２の回転砥石２５の砥石２５ａは微細な砥粒から構成されており、第１の回転砥石２４は小径のもので、第２の回転砥石２５は大径となっている。ワーク１は回転テーブル１０に載置されており、この回転テーブル１０とヘッド部２０とを相対移動させることによって、ワーク１の表面１ａを第１の回転砥石２４による荒加工と、第２の回転砥石２５による仕上げ加工とが行われる。 （もっと読む）

【課題】 ワークの研削面を冷却液によるウオータールーム雰囲気を形成し、研削効率を飛躍的に向上させた研削ホイールとその冷却方法と冷却装置等を提供する。
【解決手段】 両縁フランジ１Ｆを備えた環状基台１と、上記環状基台の外周面１Ｂに装着された環状砥石２とからなる研削ホイール１０にして、上記環状基台１と回転主軸５の外周壁５Ａとに連絡孔Ｈが穿かれ、上記回転主軸の軸芯に穿かれた通路孔（通路）Ａから高圧冷却液Ｋを環状砥石２の内周面２Ａに供給可能に構成させたものである。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で外周部のダレの発生を防止することができる砥石及びこれを用いた研削装置を提供する。
【解決手段】片側に被研削物を研削する研削面２を有する円環状の砥石１であって、前記研削面２の内周部４における前記被研削物と当接する研削面積が、前記研削面２の外周部５における研削面積よりも狭い。これにより、内周部４の単位面積当たりの仕事量を増加させるので、両頭平面研削装置に適用した場合に、外周部５と内周部４の摩耗を均一にすることができる。 （もっと読む）

【課題】突起欠陥部の過研磨を防止すると共に欠陥修正のタクトを短縮する。
【解決手段】平坦な基板５表面に形成された微細パターンの突起欠陥部７を研磨して修正する突起欠陥修正装置であって、前記基板５表面に対向して平滑面２ａを有する研磨板２と、前記研磨板２を前記基板５表面から所定距離だけ離隔した状態で前記基板５に対して相対的にスライド移動させる移動機構３と、を備え、前記研磨板２に移動方向と交差して設けた切削部１７により、前記研磨板２の相対移動に伴って前記突起欠陥部７を切削するものである。 （もっと読む）

【課題】簡単な装置構成で、処理対象の表裏両面のバリ取りやドロス除去などの表面処理を行うことができる表面処理装置を提供する。
【解決手段】表面処理装置１０は、複数の下部駆動ローラ１２及び上部駆動ローラ１４と、一対の上部回転ブラシ１６Ａ及び１６Ｂ，一対の下部回転ブラシ２２Ａ及び２２Ｂ，複数の跳ね上げ防止ブロック３０により構成されている。下部駆動ローラ１２と上部駆動ローラ１４は、回転ブラシ１６Ａ，１６Ｂ，２２Ａ，２２Ｂの入口部及び出口部において、搬送面と略直交する方向で相対しており、その駆動力によってワークＷを搬送する。前記入口部及び出口部の下部駆動ローラ１２及び上部駆動ローラ１４と、前記上部回転ブラシ１６Ａ及び１６Ｂ，下部回転ブラシ２２Ａ及び２２Ｂの間に前記跳ね上げ防止ブロック３０を配置することで、ワークＷの跳ね上げ防止と回転ブラシへの案内を行う。 （もっと読む）

【課題】支柱部を適切な位置に配置することにより、装置サイズを小型化することができる加工装置を提供すること。
【解決手段】略矩形状の配置面３１ａを有する基台３１と、配置面３１ａに配置され、回転可能に配設されたターンテーブル３７と、ターンテーブル３７に回転可能に配置され、半導体ウェーハＷを保持する保持面５４ａを有するチャックテーブル５１と、保持面５４ａに保持された半導体ウェーハＷを加工する加工ユニット３３、３４、３５と、保持面５４ａに向けて加工ユニット３３、３４、３５を進退可能に支持すると共に、配置面３１ａの角側においてターンテーブル３７に近接配置された側方支柱部４２、４３、４４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 研削砥石のドレッシングの回数を減らすことができるとともにウエーハにスクラッチを生じさせることの無い研削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削ホイールを回転可能に支持した研削手段とを備えた研削装置であって、該研削ホイールは、スピンドルの先端に連結されたホイールマウントに装着されるマウント装着部を有する環状基台と、該環状基台の自由端部にリング状に配設された複数の研削砥石とから構成され、該環状基台の該マウント装着部から該自由端部に至る外周側面及び内周側面を洗浄する洗浄手段が配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、平坦なワークピースの両面研削加工のための装置に関し、これは上方および下方の加工ディスクを有し、これらはそれぞれ研削層を有する加工面を有し、加工面が相互の間に加工間隙を形成し、この中でワークピースが研削されることが可能であり、加工ディスクの少なくとも１つが駆動機構により回転可能に駆動されことができ、さらにワークピースを加工間隙内で案内するための装置を有している。本発明に係り、加工ディスクの少なくとも１つにバリ取り手段が配置され、これが装置内におけるワークピースの加工時にワークピースのバリ取りを行うよう設計されている。 （もっと読む）

【課題】研削速度を速めることができ、生産性の向上を図ることのできるウエーハの研削方法を提供する。
【解決手段】回転可能なチャックテーブル５４と、ウエーハ１１を研削する回転可能な研削ホイールを有する研削手段と、保持面に対して垂直方向に研削送りする研削送り手段とを備えた研削装置であって、前記研削ホイールは、ホイール基台と、基台の自由端面に環状に配列された第１の研削砥石８０と、該第１の研削砥石８０の半径方向内側で該第１の研削砥石８０と半径方向の間隔が研削すべきウエーハ１１の半径よりも短い間隔を有し、該第１の研削砥石８０と同心円状に配列された第２の研削砥石８２とを含み、ウエーハの１１回転中心Ｐ１に該第１の研削砥石８０が通過するように該研削ホイールを位置付け、該チャックテーブル５４を回転するとともに該研削ホイールを回転させて、該第１の研削砥石８０と該第２の研削砥石８２とによってウエーハを研削する。 （もっと読む）

【課題】 ナノ精度の高精密研削装置の提供。
【解決手段】 磁気軸受と静圧水軸受により軸受けされる回転／直動可能な砥石軸１３、前記砥石軸を回転／直動させる回転／直動複合アクチュエータ１６，１８、前記砥石軸の移動距離を測定する位置測定手段８５、および、前記砥石軸１３を固定するコラム７を砥石軸方向に直線移動させる駆動手段９を備える研削ステージＴＳと、前記砥石軸に軸承される砥石１４の研削加工面に対して被研削物表面を直角方向に保持する回転保持具２０、および、静圧水軸受で軸受けされた前記回転保持具の主軸を回転駆動させる回転駆動手段を備えるワークステージＷＳ、とを供える研削装置１。 （もっと読む）