【課題】被加工物上面が乾燥することを防止して被加工物上に切削屑が固着することを防止可能な切削装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブル１８と、スピンドルと、被加工物１１を切削する切削ブレード２８と、該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、切削ブレード２８を覆うブレードカバー４６と、を含む切削手段と、該チャックテーブル１８と該切削手段とを相対移動させる加工送り手段と、該チャックテーブル１８と該切削手段とを該加工送り方向に直交する割り出し送り方向に相対移動させる割り出し送り手段と、を具備し、該ブレードカバー４６は、加工進行方向先頭側に配設されて該切削ブレード２８に向かって切削液を供給する切削液ノズル７０と、該ブレードカバー２８から加工進行方向後ろ側に伸長するように配設されて、被加工物１１を洗浄する洗浄液からなる洗浄液カーテンを形成する洗浄液カーテン形成手段５０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】カップ形砥石の砥粒面と被加工物の摺接部である加工点へ研削液を効率よく供給し、加工点に給液された研削液を周辺に飛散させずに回収することができる給液構造を提供する。
【解決手段】カップ形砥石２０の全周を覆うように筒状のカバー３０が設けられ、カップ形砥石２０の台金２１には、中央壁部２２のスピンドル１０側の面に設けた受液部２５から中央壁部２２を貫通し、周壁２３の内側に開口した複数の給液穴２６が形成され、カバー３０は、台金２１の周壁２３及び砥粒層２４の外周を小間隙Ｓを介して取り囲む円筒状周壁３１を有し、カップ形砥石２０の回転により研削液を小間隙Ｓ内を通してカバーの内側方向に移動させるポンプ手段２７，３２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】高速研削装置を提供する。
【解決手段】周囲研削面を持つ研削ホイールと、研削ホイールを軸線を中心として取り付け且つ回転するための機械装置と、クーラント流体を研削面に正割をなして差し向けるように形成されたスロット状ノズルを含むクーラント供給システムとを含む高速研削装置を提供する。スロット状ノズルの出口は、細長い軸線及び短い軸線を有し、細長い軸線は研削ホイールの軸線に対して傾斜している。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で製造コストを低減することができる加工液ノズルを提供する。
【解決手段】ワイヤソーの加工部の上方に加工液ノズル１４をワイヤの配列方向に沿って延長配置して、その加工液ノズル１４からワイヤ上に加工液を供給する。加工液ノズル１４には、加工液供給部に連結され、下部に自身の延長方向に沿って供給口２０ａを設けた供給管２０と、その供給管２０内を上部室２０Ａと下部室２０Ｂとに区画するように供給管２０内に設けられ、自身の延長方向に沿って複数の透孔２２ａを配列した区画板２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】研磨不良の発生を抑制した研磨装置を提供する。
【解決手段】この研磨装置は、下記のようなスラリー配管３００と、純水供給部３２０と、を備えている。スラリー配管３００は、鉛直下向きに延伸した出口部３０２と、出口部３０２から鉛直上向きに延伸した先で、鉛直下向きに屈曲する第１屈曲部３０４と、第１屈曲部３０４から鉛直下向きに延伸した先で、少なくとも水平よりも高い方向に屈曲する第２屈曲部３０６と、を備えている。また、純水供給部３２０は、スラリー配管３００の外部から、出口部３０２に向けて純水を供給する。 （もっと読む）

【課題】吐出する研削油を低減できる歯車研削盤を提供する。
【解決手段】歯車研削盤は、歯車となるワークを研削する砥石と、砥石を回転駆動する研削スピンドルと、ワークを載置するワークテーブルと、ワークの研削中に、研削油を吐出するクーラントパイプと、を含み、クーラントパイプの先端が研削中の砥石及びワークに向けて配置され、先端の幅又は研削油を吐出する研削油吐出口の幅は、ワークの中心軸を通るワーク幅よりも狭い。 （もっと読む）

【課題】研磨砥粒を固まらせることなく研磨液を研磨装置の研磨パッドに供給することができる研磨液供給装置を提供する。
【解決手段】底壁と天井壁および側壁とを有する研磨液収容タンクと、研磨液収容タンク内に収容された研磨液を研磨装置に供給する研磨液送給手段とを具備する研磨液供給装置であって、研磨液収容タンクを構成する少なくとも壁の内面に付着した研磨液を洗い流す洗浄水を噴射する洗浄手段を具備している。 （もっと読む）

【課題】外径研磨と内径研磨のいずれの場合にもクーラント供給が可能であり、クーラント供給装置の取換えが不要なクーラント供給装置を提供する。
【解決手段】クーラント供給装置１は、ワークＷの内周面Ｐ１および外周面Ｐ２の研磨を行う砥石ＳにクーラントＬを供給する。クーラント供給装置１は、第１アーム２と、第２アーム３とを備えている。第１アーム２には、内径研磨用噴射口８が形成されている。第２アーム３には、外径研磨用噴射口１３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】全ての原石の切断面に研磨砥液を十分に行き渡らせることにより、原石を精度良く切断することができるウエハ製造方法およびウエハ製造装置を提供する。
【解決手段】Ｘ方向（第１方向）に並んだ複数の原石１０を、Ｘ方向に走行するワイヤで切断することにより、各原石１０から同時にウエハを切り出すウエハ製造方法であって、各原石１０のＸ方向の両外側においてワイヤ２２に研磨砥液３５を吐出しつつ、ワイヤ２２で各原石１０を切断することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表面張力による加工液の内側への収束を防止し、溝ローラ間に形成されるワイヤ列のワイヤに均一に加工液を供給できるワイヤソーを提供する。
【解決手段】複数の溝ローラ間にワイヤ列が形成されたワイヤソーのワイヤ列のワイヤ４の上位に、このワイヤ列のワイヤ４と直行する方向に加工液１３を供給する加工液供給ノズル８が設けられている。この加工液供給ノズル８の下面には円弧形状でスリット状の加工液吐出口１２が形成されており、加工液１３を吐出した際に加工液吐出口１２の両端部分で加工液１３が鉛直下方に向けて供給される。 （もっと読む）

【課題】マグネシウム合金板の表面を平滑に湿式研磨した場合に、その表面に研磨焼けが生じにくく、縞模様が目立たないようにすることができるマグネシウム合金板の研磨方法およびその研磨方法によって作製されたマグネシウム合金板を提供する。
【解決手段】マグネシウム合金板の研磨方法は、搬送されるマグネシウム合金板Ｐの表面を、研磨液１３の使用下で研磨ベルト１Ａ（研磨材）により研磨する研磨工程を具える。そして、研磨液１３は、研磨ベルト１Ａの幅方向の局所に噴射されることなく、マグネシウム合金板Ｐの上に噴射される。そうすることで、研磨液１３をマグネシウム合金板Ｐの表面幅方向全体に均一に広げられ、マグネシウム合金板Ｐの幅方向に対して、研磨液１３の濡れ状態に局所的な差が生じることを緩和することができる。 （もっと読む）

【課題】ワークとこのワークを加工する加工工具とが接触する位置に効率良く加工液を供給すること。
【解決手段】ある実施の形態における加工装置は、ワークＷに接触してワークＷを研削加工する研削工具９と、研削工具９を下側先端部に装着し、鉛直方向を回転中心として回転可能に支持する回転軸７２とを有する加工機構を備える。また、加工装置は、ワークＷと研削工具９との接触位置に加工液を供給する加工液供給ノズル１０を備える。回転軸７２は、軸心位置を鉛直方向に貫通する貫通孔を有し、加工液供給ノズル１０は、貫通孔７２１に挿通されて回転軸７２と接触しないように固定された貫通管部１１と、加工液を噴出する噴出口１２３が形成され、貫通管部１１の下側先端部に装着された噴出部１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】砥石に向けて切削水を吐出するノズルの位置調節を高精度な位置調節機構を用いることなく粗く行なった場合でも、加工装置の加工精度を高い状態に維持することができる。
【解決手段】加工装置において、回転して被加工物Ｗを切断もしくは被加工物Ｗに対して溝入れする円板状の砥石１と、砥石１の外周部に設けられた切削部５に砥石１の径方向から対向するとともに切削部５の幅方向に位置調節可能に設けられ、砥石１に向けて切削水Ｌを吐出するノズル７と、を備え、ノズル７の断面形状は、切削部５の幅方向に沿った方向の寸法“ａ”が、切削部５の周方向に沿った方向の寸法“ｂ”より大きい矩形状、もしくは楕円形状に形成されている。 （もっと読む）

化学的機械的研磨機は、研磨パッドを支持する研磨プラテンと、各々が研磨パッドに接触させた状態で基板を保持する第１および第２の基板キャリアと、第１および第２の可動スラリーディスペンサーとを含む。可動スラリーディスペンサーは、（ｉ）旋回端および遠位端を含むアームと、（ｉｉ）遠位端上の少なくとも１つのスラリー分配ノズルと、（ｉｉｉ）研磨プラテン全体にスラリーを分配するために遠位端でスラリー分配ノズルを振るために旋回端を中心にアームを回転させるディスペンサー駆動部とを含む。一変形例では、可動スラリーディスペンサーは、１つまたは複数のヒンジ継ぎ手で連結される複数の区分と、旋回端および遠位端と、遠位端にまたは遠位端の近くに位置する少なくとも１つのスラリー分配ノズルとを有するヒンジ連結アームを含む。
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【課題】サイクルタイムの短縮による生産性の向上と、製品歩留まりの向上を図ることのできるアンギュラ玉軸受の差幅研削方法及び装置を得る。
【解決手段】 回転軸２１に連動して回転する内輪１４又は外輪１３の回転軸２１とは逆側の端面の実際の差幅を差幅検出手段５１によって検出しつつ、回転軸２１とは逆側からその端面に当接される砥石６１で内輪１４又は外輪１３の端面研削を行う際には、回転軸２１内に穿設された研削水流路２４を介してアンギュラ玉軸受１１の回転軸側端面に供給される研削水により、アンギュラ玉軸受１１の内部洗浄を行いつつ研削を実施することで、研削くずが軸受内部に進入することを防止できる。 （もっと読む）

【課題】噴出する流体の量を抑制し、噴出流体の飛散を防止するようにした機械加工用閉鎖式ノズル装置を提供すること。
【解決手段】
ノズル２を箱形状とし、内部に供給される流体を滞留させる空間部６を設けた。この空間部に砥石４の一部を両側から閉鎖状態で挟んで囲み、内部で流体を砥石に吹き付け冷却する。砥石との間に設けられた隙間７から空間部内の流体を外部に流出させ砥石面を冷却させる。空間部にはノズルに接続したパイプ３を介して流体源からの流体を供給する。２つの供給体のある場合は、点滴供給等により異なる流体を混合しミスト状態を可能としている。 （もっと読む）

【課題】均一な付着量となるようにマルチワイヤーソーのワイヤーにスラリーを供給すること。
【解決手段】砥粒を含むスラリー３３をワイヤー２５に供給するスラリー供給部を備え、スラリー供給部は、スライス加工位置に対してワイヤー移動方向の上流および下流位置に配置されたスラリー供給容器２９と、スライス加工位置の下方領域に配置されて流れ落ちるスラリー３３を受けるスラリー受皿４２と、スラリー供給容器２９とスラリー受皿４２とに接続されてスラリー供給容器２９にスラリーが所定量以上溜まるように循環供給するスラリー循環経路とを有し、スラリー供給容器２９は、スラリー循環経路から送られたスラリーを排出する一対の開口部３０をワイヤー移動方向の上流側および下流側に有し、一対の開口部３０にワイヤー２５を通してスラリー供給容器２９内のスラリー３３中にワイヤー２５を通過させることにより、ワイヤー２５にスラリー３３を付着させることを特徴とするマルチワイヤーソー。 （もっと読む）

【課題】研削加工ワークの寸法精度を高める研削装置の研削液供給システムおよびワークテーブルを提供する。
【解決手段】左右方向に往復移動可能なワークテーブル上に備えられた電磁チャック上に載置されたワークの表面を回転する砥石車３で研削加工する研削装置であって、前記ワークテーブルは、ワークテーブルの右側面、および前後面に研削液ガイド板をワークテーブル上面位置より１〜５ｍｍ低い位置に備えるものであり、前記砥石車の右側傍にはワーク表面と砥石車とが接する作用点に向けて研削液を噴き出す研削液供給ノズル１８が設けられ、該研削液供給ノズルの右面側に研削液噴出孔を複数底部２５１に穿ち、かつ、ワークテ−ブルが反転して往復する左右２方向に向けてノズル側面に研削液右噴出口２５２および左噴出口２５３を備える三方向噴出供給ノズル２５を設けた平面研削装置。 （もっと読む）

【課題】噴射孔の摩耗を防止し、研削液の層流状態を確保し、研削効率のよい、省エネの噴射ノズル及び研削加工方法を提供。
【解決手段】微細孔２からなる噴射孔列、拡張室６、供給口５を備えた噴射ノズル１０の材質をステンレス等の鉄系材質とし、少なくとも噴射孔２の孔内面１１及び出入口を浸炭処理する。この噴射ノズルを用いて、供給口より研削液２１を供給して、研削液を前記噴射孔より、略層流状態で噴出させ、略層流状態をほぼ確保しながら研削加工部２２に供給し、研削加工を行う。研削液は絶対濾過度２０〜３０μｍのフィルターを介して供給する。 （もっと読む）

【課題】切削加工された金型の加工凹部内のラップ処理を自動的に行えるラップ処理方法と当該ラップ処理方法の実施に活用できるラップ用工具を提供する。
【解決手段】数値制御工作機械にセットされた金型１の加工凹部２内にラップ剤８を充填し、数値制御工作機械の主軸４に取り付けたラップ用工具３を前記ラップ剤８内で自転させながら前記加工凹部２の被ラップ処理面２ａに沿って移動させることにより、当該ラップ用工具３でラップ剤８を被ラップ処理面２ａに作用させてラップ処理を行うことを特徴とする。又、このラップ処理方法の実施に活用できる工具として、工具本体６の周面に、この周面に接するラップ剤８を工具本体６の自転により遠心方向に飛散させるための凹凸加工（突条７など）が施されているラップ用工具などを提供する。 （もっと読む）