【課題】良好なスクライブラインを形成することができるスクライブヘッド、およびスクライブ装置を提供する。
【解決手段】ホルダ３１は、第１回転軸３２ａを中心に、スクライビングホイール６０を回転可能に支持する。ホルダジョイント３５は、第２回転軸３８ａを中心に回転させられることによって、ホルダ取付ブロック４０に対して揺動可能に支持される。ここで、第１回転軸３２ａは、第２回転軸３８ａの直下からスクライビングホイール６０の進行方向に沿ってズレて配置されている。そして、押込みボルト４８によって、第２回転軸３８ａと略平行な押込み力が付与されることによって、ホルダジョイント３５は、ホルダ取付ブロック４０に対して固定される。 （もっと読む）

【課題】 面取り加工機上で、円筒状シリコンインゴットブロックの結晶方位を正確に検知する方法の提供。
【解決手段】 レーザ光反射型変位センサｓを用い、クランプ装置７に挟持された円筒状シリコンインゴットブロックｗをＣ軸周りに一回転（０から３６０度）させてエンコーダ回転角度（θ）と４つのパルスピーク高さの相関図を表し、そのうちの１つのパルスピーク高さを示す回転角度（θ）をエンコーダにおける４５度位置に回転して回転切断刃に対する切断開始角度と決定する。 （もっと読む）

【課題】マザーブロックを個々のチップに分割するとともに、マザーブロックが分割された複数のチップが所定単位数ずつ保持部材により保持された複数個の集合体分割ブロックを確実に形成し、電子部品を効率よく製造する。
【解決手段】マザーブロック１０を保持する粘着面１ａを備えた第１保持部材１を第２保持部材２の粘着面２ａ上に貼り付けてなる複合保持部材２０の、第１保持部材の粘着面上にマザーブロックを保持し、マザーブロックを貫通して第１保持部材の厚み方向の途中にまでは達するが、第２保持部材には達しない深さでカットする第１カット工程と、マザーブロックと第１保持部材を貫通して、第２保持部材の厚み方向の途中にまで達する深さでカットする第２カット工程を実施して、マザーブロックが複数のチップ１０ａに分割され、かつ、チップが所定単位数ずつ第１保持部材により一体的に保持された、複数個の集合体分割ブロック１０ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】チップと一体化したチップホルダを用いることによって、チップ交換に伴う調整作業のわずらわしさを解消する。
【解決手段】複数のスクライブヘッドを有するマルチヘッド搭載スクライブ装置において、ホルダジョイント２０の下面に形成された開口２３には内側にマグネットが埋設され、開口の中心軸と垂直な平行ピン２５が設けられている。チップホルダ１０の一端の少なくとも一部は磁性体で構成されているので、チップホルダ１０の一端がホルダジョイントの開口２３に挿入されれば、チップホルダの傾斜部１６ａが平行ピン２５に接触して位置決めされ、マグネットによって固定される。 （もっと読む）

【課題】スクライブ装置に用いられるカッタのチップの取付け及び交換作業の煩雑さを解消する工具を提供する。
【解決手段】チップホルダ６０Ａは、一端に回転自在に取付けられたチップ、及び外周面部の全周にわたって円環状に形成された窪み、側面から突出した操作バー６１Ａを備える。チップホルダ６０Ａは、操作バー６１Ａをホルダ取付け部７０Ａのバー導入溝７１Ａに導入しながら、保持孔部７２Ａに挿入される。操作バー６１Ａがバー導入溝７１Ａの最上部にまで引き上げられると、チップホルダ６０Ａの窪み６２が、保持孔部７２Ａの弾性部材と係合し、チップホルダ６０Ａはホルダ取付け部７０Ａに固定される。また、操作バー６１Ａはバー導入溝７１Ａで回転方向の動きが抑止されるので、チップホルダ６０Ａは、ホルダ取付け部７０Ａの保持孔部７２Ａ内で正確に位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】円板状ホイールの円周に沿ってＶ字形の刃先を形成したスクライビングホイールにおいて、スクライブし分断した脆性材料基板の端面強度を向上させること。
【解決手段】スクライビングホイールの円周を粗研磨によってＶ字状に形成して研磨面１３とし、次に先端部分を所望の頂角α２となるよう仕上げ研磨により研磨面１６を形成する。更に研磨面１６を超仕上げ研磨し、研磨面１７を形成する。こうすれば刃先の稜線の凹凸を少なくすることができ、スクライブしたときの脆性材料基板の端面強度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】円周稜線に沿って溝が形成されたスクライビングホイールの寿命を長寿命化できるようにすること。
【解決手段】スクライビングホイールの円周に沿ってＶ字形の刃先１３を形成する。刃先１３となる円周部分に一定のピッチで微小なＵ字形の溝１４を形成する。この溝１４の間は突起となる。溝と突起の交点で溝側から最も交点に近い位置に接線を引いたときに、溝の両端の接線が成す接線交差角α１を９０°以上１３５°以下とする。これによってスクライビングホイールを用いてスクライブしたときの刃先の欠けを少なくし、長寿命化することができる。 （もっと読む）

【課題】チップの取付け及び交換作業の煩雑さを解消し、さらに、適正なチップに誤りなく交換できるようにする。
【解決手段】チップホルダ６０Ａは、一端に回転自在に取付けられたチップ１４、及び外周面部の全周にわたって円環状に形成された窪み６２、側面から突出した操作バー６１Ａを備える。チップホルダ６０Ａは、操作バー６１Ａをホルダ取付け部７０Ａのバー導入溝７１Ａに導入しながら、保持孔部７２Ａに挿入される。操作バー６１Ａがバー導入溝７１Ａの最上部にまで引き上げられると、チップホルダ６０Ａの窪み６２が、保持孔部７２Ａの弾性部材７３と係合し、チップホルダ６０Ａはホルダ取付け部７０Ａに固定される。また、操作バー６１Ａはバー導入溝７１Ａで回転方向の動きが抑止されるので、チップホルダ６０Ａは、ホルダ取付け部７０Ａの保持孔部７２Ａ内で正確に位置決めされる。
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【課題】サファイアウェーハの分割によって形成される発光デバイスの輝度を向上できる分割方法を提供すること。
【解決手段】本発明の分割方法は、表面に発光層４１２が積層されたサファイアウェーハＷの裏面Ｗｂに分割予定ラインに沿う切削溝４０１を形成する切削溝形成工程と、サファイアウェーハＷの内部に分割予定ラインに沿う改質層４０２を形成する改質層形成工程と、改質層４０２を起点としてサファイアウェーハＷを個々の発光デバイス４１１に分割し、各発光デバイス４１１の裏面側の角部を切削溝形成工程で形成された切削溝４０１によって面取りされた状態とする分割工程とを有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】ベースプレート上を上下に摺動するスライダとホルダジョイントを保持するホルダブラケットとの間を確実に連結できるようにすること。
【解決手段】ベースプレート１１上に設けられるスライダ１８にホルダブラケット２０を取り付ける。ホルダブラケット２０はボトムプレート１３の貫通孔１３ｂに挿入され、ボトムプレート１３の下面でホルダフランジ２１に連結される。更にホルダブラケット２０は２本のサポートスタンド２５，２６によってホルダフランジ２１に連結される。こうすればスライダ１８を上下動することでホルダブラケット２０とホルダフランジ２１を確実に連動させ、ホルダジョイント２４を上下動させることができる。 （もっと読む）

【課題】一度切削水ノズルを調整した後、ブレードカバーを取り外し再度装着しても切削水ノズルの調整を不要とする切削装置を提供する。
【解決手段】スピンドルハウジングと、スピンドルハウジングの端面に装着され、切削ブレードを覆うとともに切削ブレードに切削水を供給する切削水ノズルが配設されたブレードカバー６２と、スピンドルハウジングの端面に固定されてブレードカバー６２を位置決めする位置決めプレートとを具備し、位置決めプレートは、ブレードカバー６２のＸ軸方向を位置決めするＸ軸方向位置決め部と、ブレードカバー６２のＺ軸方向を位置決めするＺ軸方向位置決め部とを有し、ブレードカバー６２の装着面には、位置決めプレートのＸ軸方向位置決め部に嵌合するＸ軸方向嵌合部８６ａ、８６ｂと、位置決めプレートのＺ軸方向位置決め部に嵌合するＺ軸方向嵌合部８８ａ、８８ｂが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スクライブラインを湾曲させる際に、スクライブラインの角度を変化させるモータの基準角度を容易に設定できるようにすること。
【解決手段】旋回モータ３１にエンコーダ３２を取り付け、その回転力をクラッチプレート４１を介してスクライビングホイールを取り付けているキングピン５１に伝達する。クラッチプレート４１は直線状に一対の突出部を有しており、側方より溝を有するリセットバー７０によってその方向を設定して基準角度とする。 （もっと読む）

【課題】脆性材料基板を切断するに際し、スクライブ開始時のかかりがよく、交点飛びを防止し、脆性材料の分断面の品質が良好なスクライブ方法とスクライビングホイールを提供すること。
【解決手段】スクライビングホイール１０の円周稜線１１に沿って互いに隣接する溝２１，２２を設け、その間隔を、脆性材料基板に圧接したときに２つの溝が同時に接することがない間隔とする。スクライビングホイール１０を用いて円周の長さだけテストスクライブし、基板と接触した点からスクライブラインが形成されるまでの距離ｄ１を検出する。スクライビングホイールをテストスクライブの終了時と同一の回転角度を保ちつつ判別された距離ｄ１分だけダミースクライブを行い、スクライビングホイールについてダミースクライブの直後の回転角度を保ちつつスクライブする。これによってかかり性能が良く、端面強度を保持したスクライブ方法が実現できる。 （もっと読む）

【課題】 ノーマルカッターを使用するものでありながら、高浸透できれいな溝面の垂直クラックを得ることのできるスクライブ方法を提供する。
【解決手段】 刃先稜線部に切り欠きが形成されていないノーマルカッターを、脆性材料基板のスクライブ予定ライン上に第一押圧荷重で押圧しながら第一距離を前進させるスクライブ工程と、ノーマルカッターを第一距離より短い第二距離を後退させる工程と、後退させた位置でノーマルカッターの刃先荷重を第二押圧荷重に上げて破壊点を形成する破壊点形成工程と、ノーマルカッターを第一押圧荷重に戻して破壊点から第一距離を前進させるスクライブ工程とを繰り返すことによって、高浸透の破壊点を所定のピッチでスクライブラインに形成する。 （もっと読む）

【課題】脆性材料基板を切断するに際し、スクライブ開始時のかかりがよく、交点飛びを防止し、脆性材料の分断面の品質が良好なクライビングホイールを提供すること。
【解決手段】スクライビングホイール１０の円周稜線１１に沿って第１群の溝２１−１〜２１−５を設け、夫々の溝に隣接して第２群の溝２２−１〜２２−５を設ける。第１群の各溝と隣接する第２群の溝との間隔を、脆性材料基板に圧接したときに２つの溝が同時に接することがない間隔とする。これによってかかり性能が良く、端面強度を保持したスクライビングホイールを実現することができる。 （もっと読む）

【課題】確実性が高く、かつ、寸法精度の向上した樹脂付き脆性材料基板の分割方法を提供する。
【解決手段】脆性材料基板の一主面に樹脂が付着してなる樹脂付き脆性材料基板を主面に垂直に分割する方法が、樹脂付き脆性材料基板の樹脂側の分割予定位置に溝部を形成する溝部形成工程と、脆性材料基板側の分割予定位置にスクライブラインを形成するスクライブライン形成工程と、スクライブラインに沿って前記樹脂付き脆性材料基板を分割するブレイク工程（例えば、脆性材料基板の主面上であって分割予定位置に対して対称な２つの位置と、樹脂側の主面であってスクライブラインの延長線上の位置とに対し、所定の付勢部材にて付勢することによって、樹脂付き脆性材料基板を分割するブレイク工程）と、を備えるようにする。 （もっと読む）

【課題】Ｖ字状溝部が設けられた樹脂付き脆性材料基板を高い確実性にて分割方法を提供する。
【解決手段】脆性材料基板の一主面に樹脂が付着してなるとともに、脆性材料基板の他主面にＶ字状溝部が設けられた樹脂付き脆性材料基板を、Ｖ字状溝部の先端部を起点として主面に垂直に分割する方法が、樹脂付き脆性材料基板の樹脂側の分割予定位置に第２溝部を形成する溝部形成工程と、Ｖ字状溝部に沿って前記樹脂付き脆性材料基板を分割するブレイク工程（例えば、脆性材料基板の主面上であってＶ字状溝部に対して対称な２つの位置と、樹脂側の主面であってＶ字状溝部の先端部の延長線上の位置とに対し、所定の付勢部材にて付勢することによって、樹脂付き脆性材料基板を分割するブレイク工程）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 振動時の横変位量を低減して水平クラックのない高浸透、高品度のスクライブラインを形成するために有効なスクライブヘッド並びにスクライブ装置を提供する。
【解決手段】 カッターホイール６を脆性材料基板Ｍに押しつける加圧機構１１と、カッターホイール６を上下振動させるための振動発生体１４と、該振動発生体１４によって上下方向に振動する垂直軸２３と、該垂直軸２３の下端に取り付けられ、前記カッターホイール６を保持するキャスタフレイム２６とからなり、前記振動発生体１４は超磁歪素子を組み込んだ圧電アクチュエータで形成されており、前記垂直軸２３と振動発生体１４とは分離されて上下に対向する受け部２０ａ、２３ａを介して接触され、かつ、垂直軸２３は弾性部材２０により常時振動発生体１４に向かって付勢されており、これにより前記カッターホイール６の上下に運動する振幅の横変位量が５μｍ以下となるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 被加工物に発生する欠けや破損、又はひげ状のバリの発生等の不良を低減可能な切削方法を提供することである。
【解決手段】 切削ブレードの表裏面側に配設されたそれぞれ複数の切削水噴出口を有する一対の切削水供給ノズルから切削水を該切削ブレードへ供給しつつ、被加工物と該切削ブレードとを相対移動させることで被加工物を該切削ブレードで切削する切削方法であって、該切削水噴出口から噴出される切削水の流速が７ｍ／ｓ〜１０ｍ／ｓの範囲内であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スクライブラインを湾曲させる際に、所望の方向にスクライブできるようになるまでの距離を短くできるようにすること。
【解決手段】旋回モータ３１の回転力をギア３３、スプラインシャフト３４を介してキングピン５１に伝える。これによりスクライビングホイールを取り付けているホルダジョイント５０に回転力を加えて回転させる。こうすればスクライビングホイールの走行方向を自在に変えながらスクライブラインを形成することができ、所望の方向にスクライブできるようになるまでの距離を短くすることができる。 （もっと読む）