【課題】電極におけるバリの発生を抑制することができる電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子１の製造方法は、第１電極４ａ及び第２電極４ｂが設けられた圧電素子基板２を準備する圧電素子基板準備工程Ｓ１と、切断予定線Ｃに沿って第１電極４ａ及び第２電極４ｂにレーザーＬを照射し、第１電極４ａ及び第２電極４ｂの厚みを薄くすることにより第１電極４ａ及び第２電極４ｂに薄化部Ａを形成するレーザー照射工程Ｓ２と、薄化部Ａを形成した後に、薄化部Ａに沿って圧電素子基板２をダイシングによって切断する圧電素子基板切断工程Ｓ３とを有する。 （もっと読む）

【課題】集塵能力を維持して水平方向及び垂直方向のみならず作業方向に限定されることなく、切削作業が行ない易い携帯用切削工具及び集塵構造体を提供すること。
【解決手段】携帯用切削工具１は、防護カバー体１１と集塵部１４とを有する集塵構造体１０を備え、集塵部は、矩形集塵開口１５ｃを一方に有し、集塵ホースＳｈを接続する接続開口１５ｅを他方に有する筒状本体部１５と、矩形集塵開口を中央にして回転刃９の側面に沿って筒状本体部にそれぞれ配置した一側補助板１６Ａ及び他側補助板１６Ｂを有する補助集塵板１６と、筒状本体部と防護カバー体との接続機構１９とを有し、接続機構は防護カバー体に設けた設置基部１７と、この設置基部に取付けた支持部材１７Ｅと、この支持部材に支持されて筒状本体部を係合する係合部材１８と、設置基部に係止され係合部材を被切削部材側に付勢する弾性部材１８Ｅとを備える （もっと読む）

【課題】生産性を向上することが可能な基板切断装置を提供する。
【解決手段】基板１を吸着保持するチャックテーブル２と、チャックテーブル２に吸着保持された基板１の位置を認識する位置認識手段と、チャックテーブル２に吸着保持され位置認識された基板１を複数の個片に切断する切断手段とを備えた基板切断装置において、位置認識手段は３つの認識部１０を有し、各認識部１０が、基板１に付した３つの位置決めマークＭ１，Ｍ２，Ｍ３のうち、それぞれ別個の位置決めマークを１つずつ認識するように構成した。 （もっと読む）

【課題】高密度化に伴って高アスペクト比の圧電柱を微細なピッチで形成しなければならない。
【解決手段】ベース部材１３上に２本の圧電部材１２、１２が並列に並べられて接合固定され、圧電部材１２には、溝１１３によって複数の圧電柱１１２が形成され、複数の圧電柱１１２は、圧電柱配列方向（ノズル配列方向）に傾斜して形成され、各圧電柱１１２は、溝１１３の深さ方向（圧電柱の高さ方向）において基端（溝１１３の底部側）から先端まで一定の角度で傾いている。 （もっと読む）

【課題】 樹脂層が形成されたガラス基板等の脆性材料基板に対してスクライブラインを効率よく確実に形成することのできるスクライブ方法を提供する。
【解決手段】 円形の外周縁に沿って第一稜線角θ_１をなす稜線が形成された左右一対の第一刃面１２と、第一刃面の根元側に続く左右一対の第二刃面１３とからなる二段の刃面を有し、第一刃面１２を、脆性材料基板を加工するに適した角度で形成し、第二刃面１３を、樹脂層を切断するに適した角度で形成した二段の刃面を持つ溝付きカッターホイール１０を使用し、このカッターホイール１０を、樹脂層３の上面に圧接させながら転動させることにより、第二刃面１３で樹脂層３を切断するとともに、第一刃面１２の刃先稜線を基板に食い込ませてスクライブラインを形成する。 （もっと読む）

【課題】 円筒状インゴットを四側面剥ぎ切断加工して四角柱状インゴットに加工する際の切削屑を大幅に減らしたい。
【解決手段】 ダイヤモンド刃先幅が１．２〜２．５ｍｍと狭い回転切断刃９１ａ，９１ｂを用い、最初に円筒状インゴットｗの切断深さの約１／２の高さの溝を加工し、ついで、円筒状インゴットを１８０度回転させたのち、前記回転切断刃で円筒状インゴットの切断深さの約１／２の高さの溝を加工として溝同士を連結させて円筒状インゴットの側面より円弧柱状物を切り落とす。 （もっと読む）

【解決手段】 板状のガラスＷを割断する加工ヘッド２は、ガラスＷの上面の割断予定線Ｓ１上にスクライブ溝を形成するスクライブ溝形成手段７と、それよりも移動方向後方側に配置されて上記スクライブ溝よりも外方のスクラップ部分ＷＳを押し下げる押し込み手段８とを備えている。この押し込み手段８は、移動方向に沿って配置された複数の押し込みローラ２２を備えており、それらは順次移動方向の後方側に位置する程、徐々に高さが低くなっている。
【効果】 ガラスＷの上面にスクライブ溝が形成された後に、スクラップ部分ＷＳが複数の押し込みローラ２２によって徐々に押し下げられるので、ガラスＷを割断予定線Ｓ１に沿って無理なく割断することができる。 （もっと読む）

【課題】 工程短縮を図るとともに、分断面に十分な端面強度を与えることができる分断方法を提供する。
【解決手段】 溝なし第一カッターホイールと、溝の周方向長さが突起の周方向長さよりも長い溝付き第二カッターホイールとを用いて、第一基板の第一方向に第一カッターホイールでスクライブを行い、第二基板の第一方向に第二カッターホイールでフルカットとなるスクライブを行い、次いで、ブレイク処理を行って冊状基板を形成する。
次に、短冊状基板の第二基板の第二方向に第一カッターホイールでスクライブを行うとともに、第一基板の第二方向に第二カッターホイールによりフルカットとなるスクライブを行い、次いで、ブレイク処理を行って貼り合せ基板を単位基板に分割する。 （もっと読む）

【課題】 工程短縮を図るとともに、分断面に十分な端面強度を与えることができる貼り合せ基板の分断方法を提供する。
【解決手段】 溝なしの第一カッターホイールと、所定の溝付きの第二カッターホイールとを用いて、（ａ）第二基板の第一方向に沿って第二カッターホイールでフルカットスクライブを行うと同時に、第一基板の第一方向に沿って第一カッターホイールによりスクライブを行い、（ｂ）ブレイク処理を行って複数の短冊状基板を形成し、（ｃ）各短冊状基板の第一基板の第二方向に沿って第二カッターホイールでフルカットスクライブを行うと同時に、第二基板の第二方向に沿って第一カッターホイールによりスクライブを行い、（ｄ）ブレイク処理を行って単位基板ごとに分割する。 （もっと読む）

【課題】 円筒状シリコンインゴットの側面剥ぎ切断装置上で、円筒状単結晶シリコンインゴットの結晶方位を正確に検知する方法および外周刃の横揺れ幅を小さくすることができる自己補償機構の提供。
【解決手段】 加圧冷却液供給パッド一対９６ｐ，９６ｐを外周刃９１ａを挟んで外周刃の前面および後面に設け、ポンプ９６ｐより供給される加圧液体の供給管を２分岐し、分岐された供給管のそれぞれの先端を前記一対の加圧冷却液供給パッドの液体貯め空間に望ませた外周刃横揺れ自己補償機構９６。および、レーザ光反射型変位センサｓを用い、円筒状単結晶シリコンインゴットの結晶方位を正確に検知する。 （もっと読む）

【課題】 工程短縮を図るとともに、分断面に必要な端面強度を与えることができる貼り合せ基板の分断方法を提供する。
【解決手段】 溝なしの第一カッターホイールと、所定の溝付きの第二カッターホイールとを用いて、（ａ）第二基板の第一方向に沿って第二カッターホイールでフルカットスクライブを行うと同時に、第一基板の第一方向に沿って第一カッターホイールによりスクライブを行い、（ｂ）ブレイク処理を行って複数の短冊状基板を形成し、（ｃ）各短冊状基板の第二基板の第二方向に沿って第二カッターホイールでフルカットスクライブを行うと同時に、第一基板の第二方向に沿って第一カッターホイールによりスクライブを行い、（ｄ）ブレイク処理を行って単位基板ごとに分割する。 （もっと読む）

【課題】側溝を改修する際に、老朽化した側壁上面の見栄えの悪さを解消できる側溝の改修を容易にできるようにする。
【解決手段】側溝の左右両側壁上部の蓋受面上を走行する車輪を有し該両側壁間を側溝の長さ方向に移動可能な台部と、該台部に装着した、円板刃を有するカッターを備え、該円板刃の外周部が前記台部側方に突出しており、台部を側溝の長さ方向に移動しながら側溝の側壁を長さ方向に沿って水平に切断するカッター装置を用いることで、側溝の側壁上部を容易に切断でき、側壁上面の見栄えの悪さを解消する側溝の改修が容易にできるようになる。 （もっと読む）

【課題】 切断機において給水ホースが外側へ弛むことを防止する。
【解決手段】 切断機１０は、円板刃１２を回転駆動する本体１４と、本体１４に対して回転可能に支持されている刃物カバー４６と、刃物カバー４６に設けられている給水ノズル５６と、給水ノズル５６に接続されている給水ホース５０と、本体１４に取り付けられているとともに、給水ホース５０を保持しているホースホルダ５４を備えている。ホースホルダ５４は、本体１４に対して回転可能に支持されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多様化する単結晶インゴットの直径及びコーン状の端部形状に関わらず、切断位置の基点を高精度に特定でき、切断位置のずれを抑制することができるインゴットの切断方法を提供することを目的とする。
【解決手段】円筒研削された円柱状の直胴部と、該直胴部の少なくとも一端に形成された円筒研削されていない鏡面状態のコーン状の端部とを有する単結晶インゴットを切断するインゴットの切断方法であって、前記円筒研削された直胴部表面と前記円筒研削されていない鏡面状態のコーン状の端部表面の光の反射の違いを利用して、前記円筒研削面と前記円筒研削されていない境界の位置を検出する工程と、該検出した境界の位置を基点として切断位置の位置決めを行った後、前記インゴットを切断する工程とを有することを特徴とするインゴットの切断方法。 （もっと読む）

【課題】テーブルユニットの小型化や軽量化が図れる。
【解決手段】加工対象品１０１が隙間１０に横方向から搬入された後、昇降駆動機構４が下降駆動するのに伴い、上クランプユニット７の自重だけで又は第１弾性部材９の弾力又は第２弾性部材１７の弾力の作用により上クランプユニット７が下降して、上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持し、テーブルユニット５が加工対象品１０１の中央部を下から支持した後、昇降駆動機構４が上クランプユニット７及びテーブルユニット５から機構的に離れた縁切れ状態となることにより、上クランプユニット７を開閉する駆動機構に必要な電気駆動のためのケーブルや空気駆動のためのエアーチューブなどがテーブルユニット５から除去するこができるようになっている。 （もっと読む）

【課題】チップと一体化したチップホルダを用いることによって、チップ交換に伴う調整作業のわずらわしさを解消する。
【解決手段】マルチヘッド搭載スクライブ装置は複数のスクライブヘッドと、スクライブヘッドの先端に設けられるホルダジョイント２０と、ホイールチップ１４を備えたチップホルダ１０と、相対移動部とを具備する。ホルダジョイントの下面に形成された開口２３には内側にマグネットが埋設され、開口の中心軸と垂直な平行ピン２５が設けられており、チップホルダの一端がホルダジョイントの開口に挿入されれば、チップホルダの傾斜部１６ａが平行ピン２５に接触して位置決めされ、マグネットによって固定される。 （もっと読む）

【課題】円周稜線に沿って溝が形成されたスクライビングホイールのスクライブ品質を向上させるようにすること。
【解決手段】スクライビングホイールの円周に沿ってＶ字形の刃先１３を形成する。刃先１３となる円周部分に一定のピッチで微小なＵ字形の溝１４を形成する。この溝１４の底面は一定の深さの平面部１５とする。こうすればこのスクライビングホイールを用いてスクライブしたときに、脆性材料基板への切込量を最大でも平面部１５の深さｄ１までに制限することができ、スクライブ性能や分断面の品質を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】スクライブ時に生じるカレットなどのパーティクルの固着による悪影響を避けるスクライビングホイールを提供する。
【解決手段】スクライビングホイールの円周に沿ってＶ字形の刃先を形成する。刃先の円周部分に微小なＵ字形の溝１４を形成する。この溝１４の底面にはパーティクルの退避部として排出溝１５を形成する。こうすればスクライブ時に溝の内部に付着したパーティクルを排出溝１５より外部に排出させることができるので、スクライブへの悪影響を避けることができる。 （もっと読む）

【課題】良好なスクライブラインを形成することができるスクライブヘッド、およびスクライブ装置を提供する。
【解決手段】ホルダ３１は、第１回転軸３２ａを中心に、スクライビングホイール６０を回転可能に支持する。ホルダジョイント３５は、第２回転軸３８ａを中心に回転させられることによって、ホルダ取付ブロック４０に対して揺動可能に支持される。ここで、第１回転軸３２ａは、第２回転軸３８ａの直下からスクライビングホイール６０の進行方向に沿ってズレて配置されている。そして、押込みボルト４８によって、第２回転軸３８ａと略平行な押込み力が付与されることによって、ホルダジョイント３５は、ホルダ取付ブロック４０に対して固定される。 （もっと読む）

【課題】切削ホイールが設置された切削部を別途構成し、胴体部に結合及び分離可能にすることにより、交替が容易なスクライバーホルダーを提供する。
【解決手段】スクライバー装置に装着されるスクライバーホルダーに関し、より詳しくは、切削ホイールのある部分を容易に交替可能なスクライバーホルダーに関する。
本発明によると、スクライビング装置に装着されるスクライバーホルダーにおいて、切削ホイールが回転可能に設置される切削部と、スクライビング装置に直接装着される装着部を有し、切削部が結合可能に内部に開口部が形成された胴体部と、胴体部の一側に形成された溝部に、弾性部材と一緒に挿入設置される締付部材と、を備え、切削部が開口部を通じて胴体部に結合するとき、切削部が、弾性部材によって支持される締付部材を加圧することにより、結合が維持されることを特徴とするスクライバーホルダーが提供される。 （もっと読む）