【課題】捻り振動を用いた光走査装置において温度変化による走査特性の変化を抑制する
【解決手段】光を反射させる反射面を有するミラー３１と、ミラー３１を捻り振動させるための回転軸ｋとなる弾性連結部１６ａ，１６ｂを備え、回転軸ｋを中心にしてミラー３１を揺動させて光を走査する。そしてミラー支持枠３２と熱アクチュエータ３３が、ミラー３１と弾性連結部１６ａ，１６ｂとを連結するとともに、温度が高くなるほどミラー３１の回転軸ｋ周りの慣性モーメントが低くなるようにミラー３１を変位させる。なお、ミラー３１の慣性モーメントを変化させるために、ミラー３１の反射面は、円以外の形状（図では楕円形状）を有し、熱アクチュエータ３３は、反射面に垂直な回転軸を中心にミラー３１を回転させる。 （もっと読む）

【課題】複数の偏向角に自動的かつ高精度に位置決めされた状態で偏向させることが可能であり、構造や制御アルゴリズムの設計が容易な静電偏向素子を提供する。
【解決手段】静電偏向素子１００は、支持基板１１０と、支持基板１１０に対して偏向し得るマイクロミラー１２１から構成される。支持基板１１０は、マイクロミラー１２１に対向する面に設けられた複数個の駆動電極１１１Ａ〜１１１Ｍと、駆動電極１１１Ａ〜１１１Ｍの上に設けられた絶縁層１１３を有している。マイクロミラー１２１は、支持基板１１０に対向している対向面１２３が円筒面で構成されている。対向面１２３の一部は互いに連結されない状態で支持基板１１０に接している。 （もっと読む）

【課題】塑性域を持たない材料でできた部品を、延性材料で構成される部材に固定する。
【解決手段】特に時計の分野に関するもので、組み付け部２２は、第１の材料でできた部材２７が、塑性域を持たない第２の材料でできた部品３の円形開口部２８に、上記部材２７と上記部品３との間に取り付けられる第３の材料でできた中間部品２４を用いて、軸方向に打ち込まれる。中間部品２４は、上記部材２７を受けるための穴を備えた連続シリンダであって、これにより、中間部品２４は、上記部材２７の軸方向の打ち込み力の少なくとも一部を、径方向に均一に吸収する。また、上記部品３は、その円形開口部２８の周りに分散配置されて弾性変形手段を構成する穿孔２６を備えており、これらは、上記径方向の力のうち中間部品２４に吸収されないものを吸収するためのものであり、これによって、上記部品３を破壊しないように当該組み付け部２２を固定している。 （もっと読む）

【課題】大型化を招くことなく揺動軸部のがたつきを防止可能な光スキャナと、その光スキャナを利用した画像投影装置とを提供すること。
【解決手段】揺動軸部と、揺動軸部に設けられた反射面を有する揺動体と、揺動軸部を支持するベース台と、揺動軸部を揺動させる駆動部とを備える光スキャナである。ベース台には、揺動軸部の一端を支持する第１軸受と、揺動軸部の他端を支持する第２軸受とが設けられる。揺動軸部は、テーパ状に形成されたテーパ部分を、その一端に有する。そして、第１軸受はテーパ部分に係合するスラスト軸受であり、第２軸受は揺動軸部の外周面と接触するラジアル軸受である。 （もっと読む）

【課題】生化学反応チップにおいて、簡易で機能的、かつ安全安価な反応チップを実現すること。
【解決手段】生化学反応チップの主流路の少なくとも片端に試薬を送液するための送液口を持ち、反応チャンバが回転中心に対して円周状に配置されているチップとする。また、回転可能な生化学反応チップとなる基材の内側に複数の反応チャンバと反応チャンバに至る複数の流路を有する。また、反応チャンバまでの流路と主流路が細流路によってバイパスされている生化学反応チップとする。 （もっと読む）

【課題】堅牢性および信頼性を向上させた回転軸を形成する可動部品を備えるマイクロシステムまたはナノシステム用電気機械部品の製造方法を提供する。
【解決手段】バーを有する少なくとも１つの固定部と、前記バーの少なくとも一部の周りを回転する少なくとも１つの可動部を備えたマイクロ電気機械システムの製法であって、少なくとも１本のバーとなる少なくとも１つの所定の材料からなる層を支持体上に形成する工程ａ）と、少なくとも１枚の第１グラフェンシートと、該第１グラフェンシートから離間してこれに対して可動とされた少なくとも１枚の第２グラフェンシートとを含む複数枚のグラフェンシートを前記バーの周りに形成する工程ｂ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、従来の数Ｗではなく数ｍＷ出力程度の低出力レーザー光によって駆動が可能であり、低開口数の対物レンズを用いて微小物体である可動部材の駆動が出来る技術の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、可動部材が支持部材により移動自在により支持される構造を有するとともに、操作するべき可動部材を囲む流体を保持するために構成された面と、前記流体に囲まれた可動部材に電場を印加する手段と、受けた光の近傍における、前記受けた光の局所電場への変換のために構成された、前記面上の少なくとも１つの光伝導性領域と、この光伝導性領域を介し流体内の可動部材近傍に光を集光照射し、誘起された局所電場に応じて、前記可動部材に生じる不均一誘電分極力による推進力を生じさせる光源を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】誘起電荷電気浸透を用いた、液体中でのアクチュエータ等として用いることができる電気浸透可動デバイスを提供する。
【解決手段】液体が収容されている液室と、前記液室内に設置された、回転軸または支点を有し導電性部分を有する導電性可動構造体と、前記導電性可動構造体に電界を印加する電極とを備え、前記電極から印加された電界により前記導電性可動構造体に誘起される電荷と対をなして形成される電気二重層部分に起こる電気浸透流により、前記導電性可動構造体を可動させる電気浸透可動デバイス。 （もっと読む）

【課題】電界によって流動する異方性流体の移動速度を促進する流体を提供する。
【解決手段】異方性流体８は、誘電率異方体を含み、電界によって流動する誘電性流体と、電界印加により前記誘電性流体を加速することのできる電荷移動錯体とを混合状態で含み、さらに前記誘電率異方体と異なる特性を有する微粒子９を分散した流体。 （もっと読む）

【課題】サイズを小さくしかつ切換速度を速くしたマイクロメカニカル素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロメカニカル素子５は、２つの接触電極３a、３bを橋絡する可動電極である切替素子６と、この切替素子６を接触電極３a、３bに対して静電力により垂直方向に移動し、接触電極３a、３bに接触した状態と離れた状態の２つの安定した状態に保持するための切換電極２a、２bとを有し、切換電極２a、２bは接触電極３a、３bの間とその上方に配されて構成されている。 （もっと読む）

【課題】アンカーの変位量を大きくとれ、しかも小型化が可能である回転錘構造体及びそれを用いたセンサ、並びにそれらの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の回転錘構造体は、一対の封止基板１１，１３と、前記一対の封止基板間に配置されるように前記一対の封止基板にそれぞれ接合され、枠体１及び回転軸体３を備えた錘基板と、前記錘基板と分離した状態で前記一対の封止基板間において前記回転軸体３の周りを回転可能である錘２と、を具備し、前記錘基板は、前記ベース層２１と、前記活性層２２と、前記ベース層２１及び前記活性層２２に挟持された絶縁層２３と、を有するＳＯＩ基板で構成されており、前記枠体の領域及び前記回転軸体の少なくとも一方の領域に対応する前記活性層は、平面視において前記錘の外延部と少なくとも一部でオーバラップする領域を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】磁性光硬化樹脂を用いて作成した回転構造体およびそれを使用した磁気駆動マイクロチュエータを提供する。
【解決手段】磁気駆動マイクロアクチュエータは、磁性光硬化樹脂を用いて光造形法によって実際に作製された回転子と、この回転子の周りに配置した電磁コイル対とから構成され、電磁コイル対で回転磁場を印加することにより回転子を回転させることを特徴としている。このアクチュエータによれば、微小流量を連続流で送液可能なマイクロスクリューポンプおよび狭所空間を移動する泳動マクロマシン等を達成することができる。 （もっと読む）

【課題】挿入損失の少ない光スイッチを提供する。
【解決手段】光スイッチは、単一のポート１２を有する光入力部と、複数のポート２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃを有する光出力部と、光入力部のポート１２と光出力部のポート２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃとを光学的に結合するためのマイクロミラー３０とを有している。マイクロミラー３０は、その向きが変更可能な反射面３２を有している。光スイッチはまた、マイクロミラー３０を移動させてマイクロミラー３０を介して互いに光学的に結合されるポート１２，２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃを切り替える移動機構（移動体４２とアクチュエーター４４）と、光出力部から出力される光の強度を検出する複数の検出部５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃと、検出部５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃで得られる情報に基づいてマイクロミラー３０の反射面３２の向きを制御する制御部７０を有している。 （もっと読む）

微小電子機械システム（ＭＥＭS）トランスデューサ９０が、相互直交方向９２，９４，９６の加速を検知するようになっている。ＭＥＭSトランスデューサ９０は、アンカーシステム１１６によって基板９８の上方につるして保持された試験質量１００を含む。アンカーシステム１１６は、方向９６の加速に応答して試験質量１００が回転軸１３２に関して回転することを可能とすべく、回転軸線１３２に関して試験質量１００を基板９８に枢動的に接続する。試験質量１００は、試験質量１００を通って延びる開口１１２を有する。開口１１２内には別の試験質量１４８が存在し、別のアンカーシステム１５２が基板９８の表面１０４の上方に試験質量１４８を保持する。アンカーシステム１５２が、少なくとも一つの方向９２または方向９４の加速に応答して、試験質量１４８が基板９８の表面１０４と実質的に平行に移動することを可能にする。
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【課題】径方向空隙型の微小電気機械に適した４極以上の多極化へ対応可能で、かつ高速回転下での渦電流遮断性を備えたロータ磁石において、残留磁化Ｍｒが０．４２Ｔ〜０．７Ｔであり、さらにＭｒを高めること。
【解決手段】ロータ磁石５をＲ-ＴＭ-Ｂの結晶化により、磁気的に等方性であり、かつ残留磁化Ｍｒが０．９５Ｔ以上の着磁性に優れたナノ複合多結晶集合組織の厚膜積層体とし、必要に応じて、磁界中冷却による面内多極磁化を施す。特に、パルスレーザディポジッション(ＰＬＤ)を用いたナノ構造のマニュピュレーション技術によって、人工的に制御されたαＦｅとＲ-ＴＭ-Ｂとを１０^３層以上、交互に積み上げたナノ複合組織を有する厚膜を作製する。 （もっと読む）

【課題】 可動電極を配置することで駆動電圧を小さくすることが可能な光学装置を提供する。
【解決手段】 光学装置２は、基板１２と可動ミラー４２と可動電極層２４と規制部３０ａ，３０ｂを備えている。基板１２と可動ミラー４２と可動電極層２４には、それぞれ電極が形成されている。規制部３０ａ，３０ｂを配置することによって、外力が作用したときに可動電極層２４が上方向に変位し、可動電極層２４と基板１２との間の電極間距離が大きくなることを禁止することができる。可動電極層２４を配置することによって、基板１２と可動ミラー４２との間の電極間距離を２区画に分割し、基板１２と可動ミラー４２との間の電極間距離を小さくすることができる。可動ミラー４２を傾斜させるための駆動電圧を小さく抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】 レーザー光により駆動させることができるとともに、様々な形状に造形することができる液晶造形体及び該液晶造形体を用いたマイクロマシンを提供する。
【解決手段】 重合性液晶樹脂に造形用レーザー光を照射し硬化させることにより造形された液晶造形体である。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ技術により構築が簡単な改良型トルク・モータを提供する。
【解決手段】ベースと、ベースから離れて延び、互いに離れて仮想多角形の隅部に配置され、電極内でそれぞれ終端する４つの極片と、極片の１つを囲むコイルと、ベース上に旋回可能に取り付けられ、その間に可変リラクタンス空隙を画定するように、電極の取り付けられた１つに向かって及びこれから離れて移動するように配置された部分を有する電機子と、ベース及び電機子の１つに取り付けられ、前記電機子の旋回軸に平行な方向に分極された永久磁石とを有し、少なくとも一部がＭＥＭＳ技術によって形成されたトルク・モータ。 （もっと読む）

【課題】均一な温度制御、高粘性送液、気液混合もしくは気液分離を同時に行えるマイクロリアクタを提供すること。
【解決手段】弾性部材で形成され内部に流体が導入される弾性管と、熱伝導率の高い部材で円筒状に形成され外周に前記弾性管が巻き付けられる弾性管保持部と、この弾性管保持部の内部に設けられた温度調整素子と、前記弾性管保持部を内包するように円筒状に形成され圧力調整可能な密閉空間が形成される圧力チャンバーと、前記圧力チャンバー内に自転可能に設けられ弾性管保持部に巻き付けられた前記弾性管を押圧するローラーと、これら弾性管保持部と圧力チャンバーを相対的に一定の方向に回転駆動することにより前記弾性管の内部に導入される流体を前記ローラーで一定の方向に移動させる駆動機構、を備えることを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】大型化を招くことなく、共振振動を十分に抑制することができる光走査装置、画像表示装置及び網膜走査型画像表示装置を提供する。
【解決手段】光走査装置は、枠体と、入射した光を反射する反射ミラー面を有する反射ミラー部と、前記反射ミラー部を前記枠体に支持させるミラー支持部とを備えている。光走査装置は、ミラー支持部を通り、反射ミラー面を横断する軸を中心として反射ミラー部を駆動させることによって、光を走査させる。光走査装置は、枠体とミラー支持部とを別体に設けた。 （もっと読む）