【課題】少なくともひとつの辺長が１０００ｍｍを超えるような特に大型のペリクルを収納したペリクル収納容器を傾斜及び脱落させることなく安定にかつ清浄な状態を保ち保管するとともに、ペリクル収納容器及び収納されているペリクルに十分な緩衝能力を発揮して衝撃や振動を与えず、輸送及び運搬することが可能なペリクル用梱包箱を提供する。
【解決手段】ペリクル用梱包箱１は、少なくともひとつの辺長が１０００ｍｍを超えるペリクルを収納するペリクル収納容器３０を保管及び／又は輸送するための梱包箱であって、該梱包箱の内部底面に、該ペリクル収納容器の外部底面に突出した複数の脚部３３を夫々挿入する凹みを有する複数の緩衝体１８が、分離して取り付けられているものである。 （もっと読む）

【課題】全高の高いケーキを安定的に台紙に固定することができるケーキ固定具を提供する。
【解決手段】ケーキ固定具３０は、台紙２０の下面側に接するベース部分６０と、互いに離間した位置でベース部分６０から上方に立設する一方側ピン４０および他方側ピン５０とを含む。略直角三角形の板部材である一方側ピン４０および他方側ピン５０は、最も狭い角度θを有する頂点を上方に指向させると共に、ベース部分６０の平面視においてその側面部が互いに９０度をなすように配設する。ベース部分６０は等脚台形状の板部材であり、２つのケーキ固定具３０を背面合わせに隣接配置してケーキ１を固定する際にベース部分６０同士を接触させるための内側端面６４を有する。内側端面６４は、等脚台形の上底部分に位置する端面であり、両ピン４０，５０の斜辺部４２，５２は外側端面６２と連続して形成される。 （もっと読む）

【課題】 運搬時の振動等の衝撃を確実に吸収して、ウエハーを確実に保護することができ、かつ、ケースへの出し入れ作業も容易に行うことができるウエハー用運搬ケースを提供すること。
【解決手段】 容器本体１を下蓋部材11と上蓋部材12とを開閉自在に構成して、かつ、この下蓋部材11の内側面には、少なくとも一つの高さが異なる三つの３点支持突起２を突設して、これら３点支持突起２の三箇所の各頂点に、前記ウエハーＷの表面を当接して載置可能にする一方、前記上蓋部材12の内側面には、規制凸部３を突設して、容器本体１の閉塞時に、この規制凸部３の頂点を、前記ウエハーＷの上面またはその近傍に配設されて浮き上がりを規制可能にする。 （もっと読む）

【課題】コンタクトレンズ用出荷容器の窪み部からのコンタクトレンズの取り出しを、レンズに傷を生じさせることなく行うことができ、また、収納時にレンズの光学特性に悪影響を及ぼすことなく、一定の位置にコンタクトレンズを保つことを可能としたコンタクトレンズ用出荷容器を提供する。
【解決手段】コンタクトレンズ５を収容する窪み部１と該窪み部１の周囲に形成したフランジ部２及び支持部３を有する容器本体部と、窪み部１を覆う蓋部４と、からなり、コンタクトレンズ５の少なくとも周縁部１０全周が蓋部４と接するように窪み部１及び蓋部４を形成し、コンタクトレンズ５を蓋部４に吸着させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】シート材を成形したものでありながら、他の補強体を用いずとも、保管、輸送中の外力に耐え、内部に収納したペリクルへの異物付着を防止する十分な剛性を有する、軽量かつ低コストのペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】ペリクルを載置する容器本体と、ペリクルを被覆すると共に容器本体と周縁部で嵌め合い係止する蓋体とからなる樹脂のシート材を成形した少なくとも一辺の長さが５００ｍｍを超えるペリクル収納容器において、容器本体の互いに平行な２辺が、側面方向から見た場合に、蓋体と嵌め合い係止した周縁部の内側に少なくとも２段の立面を有する階段形状に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マスクに貼り付けても、マスクに歪みを与えることの少ないリソグラフィー用ペリクルを提供する。
【解決手段】ペリクルフレームの一方の端面に接着剤層を介してペリクル膜が張設され、他方の端面にマスク貼付側の面が平坦な粘着剤層が設けられ、かつその粘着力が１Ｎ／ｍから100Ｎ／ｍの範囲にあることを特徴とし、前記粘着剤層のマスク貼付側の面の平坦度を15μｍ以下とし、ペリクル膜が貼付された前記接着剤層の面の平坦度を15μｍ以下とするのが望ましい。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板等の板状体を平置き状態で収納する搬送用容器として、振動や落下衝撃等による板状体のコーナー部の保護を良好になしえる容器を提供する。
【解決手段】上方に開口する平面矩形の容器本体１を有する搬送用容器であり、容器本体１の収納部１５の側壁内面の四隅部に、側壁内面より拡張形成されたコーナー逃がし用の切欠空間１６を設け、切欠空間１６の内面から縦横の側壁１４ａ，１４ｂの内面に亘る隅角部近辺領域１７の内面に沿って、容器本体１より剛性のある補強材２０を装着する。 （もっと読む）

【課題】輸送時の振動によりポリシリコンの表面とフィルムの内面とが擦れることによる樹脂粉の発生を効果的に防止でき、かつ外気を袋内に吸い込むことによる汚染を完全に防止することができるポリシリコンの新規な包装体の製造方法の提供。
【解決手段】製造方法は、ヤング率が２００〜１０００ＭＰａ、平均表面粗さ（Ｒａ）が０．０５〜０．１５μｍ、及び厚さが１２０〜３５０μｍである樹脂フィルムよりなる包装袋１に、その開口部よりポリシリコン３を充填し、次いで開口部より包装袋内を前記包装袋フィルムに内容物であるポリシリコンに密着した形状を型付けできる圧力で減圧し、包装袋をポリシリコンに密着せしめた後、開口部を大気に開放し、その後開口部を封止することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】ガラス製の発光管の内部に高圧ガスが封入されたランプの保護カバーにおいて、破裂時の瞬間的な高圧ガスの圧力に耐久できる保護カバーを提供すること
【解決手段】ランプの発光部を囲繞するランプ保護カバーであって、軸部と、該軸部を中心として回転可能に連結され、開閉自在な２つの樹脂製の容器半体と、該容器半体の内側に設けられたランプ収容部と、該容器半体同士の対向する該ランプ収容部の縁部に設けられた軸方向に沿って延在する端面部と、少なくとも一方の容器半体の端面部より、該軸方向に対して直交する断面内で、ランプ収容部内に延伸させた突起部と、該保護カバーを閉じた状態のときに、該容器半体が回転することを規制するストッパーと、を備えること。 （もっと読む）

【課題】内部に収容させた食品の見栄えをより向上させ得る食品用容器を提供すること。
【解決手段】表面にヒートシール層を備えた樹脂多層シートが熱成形されてなり、前記ヒートシール層が容器内側となるように熱成形されてなる食品用容器であって、前記ヒートシール層が着色されていることを特徴とする食品用容器を提供する。 （もっと読む）

【課題】ペリクル膜の張力による撓みやハンドリング時における撓みが小さい、剛性の高いペリクルフレームならびにペリクルを提供する。
【解決手段】材質が炭素繊維と樹脂からなる複合材料を成型加工した後、表面に樹脂皮膜を付与して炭素繊維が表面に露出していないことを特徴とするペリクルフレームであり、該樹脂皮膜の材質がフッ素樹脂、シリコーン樹脂またはアクリル樹脂であり、前記樹脂皮膜を黒色とするのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】高エネルギーの光の照射下においてもヘイズの発生を低減することができると共に、異物検査に優れたペリクル枠体及びペリクルを提供する。
【解決手段】ペリクル枠体２は、アルミニウム材で枠状に形成されており、アルミニウム材は、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、リン酸、及びそれらの塩からなる群から選択される少なくとも１つの電解液で陽極酸化処理された陽極酸化皮膜Ｐが表面に形成されており、アルミニウム材の素材には、Ｃｕ：０．５〜３．０％、Ｍｇ：１．５〜４．５％、Ｚｎ：４．０〜７．０％を含む。 （もっと読む）

【課題】包装作業がより簡便となる物品用包装体を提供すること。
【解決手段】受け枠体（下枠体）１１と被せ枠体（上枠体）１３とからなる物品用包装体。被せ枠体１３と受け枠体１１とは、両側が相互に対面する合せ面縁部対１７とされ合体させたとき筒状空間Ｓ１を形成可能に上向き・下向き溝部１５、１６を一組以上備えている。各合せ面縁部対１７には、受け・被せ保護フィルム１９、２１を掛け渡し固着する。そして、受け枠体１１と被せ枠体１３とを合体させたとき受け・被せ保護フィルム１９、２１で被包装物品を挟持して抱持する。 （もっと読む）

【課題】マスクの平坦性に影響を与えにくく、且つヘイズの低減を図ることができるペリクルを提供する。
【解決手段】ペリクル枠体２と、ペリクル枠体２の上縁面２ｅに展張支持されたペリクル膜３と、上縁面２ｅの反対側の下縁面２ｆに設けられた粘着剤１０とを備えるペリクル１であって、粘着剤１０は、アクリル系樹脂粘着剤であり、ペリクル枠体２は、Ｃｕ：０．５〜３．０％、Ｍｇ：１．５〜４．５％、Ｚｎ：４．０〜７．０％を含むアルミニウム材にて形成されている。 （もっと読む）

【課題】露光機内のマスクステージにマスクを装着した状態で、ペリクル上の透明性異物の検査を行うことができるペリクル及び露光装置を提供する。
【解決手段】ペリクル５０のペリクルフレーム５２に、ペリクル膜５１の表面上を伝搬する弾性表面波を発生させる弾性表面波素子２０Ａと、弾性表面波を受信する弾性表面波素子２０Ｂとを設け、当該弾性表面波によってペリクル膜５１上の異物の有無を検出する。このとき、ペリクル５０を装着したフォトマスク１を、露光機１００のマスクステージ１０３に載置した状態で異物検査を行う。また、弾性表面波素子２０Ａ，２０Ｂをペリクルフレーム５２に複数組設ければ、ペリクル膜５１上の異物の位置を特定できる。 （もっと読む）

【課題】接着テープを使用することなく組み立てることができ、また、取り外す場合には道具を用いないで内容物の形をくずすことなく簡単に取り外すことができる保形成形型を提供する。
【解決手段】両端に継目部を有する可撓性の帯材２と、一方の継目部３から長手方向に延設された凸状の差込み片４ａ，４ｂと、他方の継目部５に形成され、差込み片４ａ，４ｂが挿入される切込み部６ａ，６ｂと、継目部のいずれか一方に形成され、切込み部６ａ，６ｂに挿入された差込み片４ａ，４ｂの抜けを防止する抜け止め片９と、継目部のいずれか他方に形成され、抜け止め片９が係止される第二の切込み部８とを備えてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗装材にて塗装を行う場合において、塗膜の破損を抑制できるペリクル枠体、ペリクル、ペリクル枠体の製造方法を提供する。
【解決手段】ペリクル１のペリクル枠体２は、アルミニウム又はアルミニウム合金からなる枠部材のコーティングにおいて、塗装材のガラス転移点を５０℃以上３５０℃以下としている。これにより、ペリクル枠体２に撓みが生じた場合であっても、ペリクル枠体２と塗装材との密着性を確保できているため、塗膜Ｐの剥がれを防止できる。また、所定の強度を有するため、ハンドリング治具等による塗膜Ｐの削れも防止できる。したがって、塗膜Ｐの亀裂等の破損の発生を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハーを安全且つ容易に収納、運搬、取り出しができ、搬送時の振動や衝撃から保護し破損を防止することができる半導体ウエハーの収納容器を提供する。
【解決手段】 容器部本体と蓋部からなる半導体ウエハーの収納容器であって、容器部本体が半導体ウエハーと当接する底面と該底面から立ち上がる側壁からなり、側壁が柔構造を有する内側壁及び外側壁の２重構造に形成され、容器部本体の外側壁と蓋部の外側壁内側が各々嵌合して密閉状態を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】寸法精度を確保しつつ、分割部材にて構成される枠部材に塗装材により塗装を行う場合であっても、塗膜の破損を抑制できるペリクル枠体、ペリクル及びペリクルの製造方法を提供する。
【解決手段】ペリクル１のペリクル枠体２では、分割枠体のコーティングにおいて、塗装材のガラス転移点を５０℃以上１５０℃以下としている。これにより、ペリクル枠体２に撓みが生じた場合であっても、ペリクル枠体２と塗装材との密着性を確保できているため、塗膜Ｐの剥がれを防止できる。また、所定の強度を有するため、ハンドリング治具等による塗膜Ｐの削れも防止できる。したがって、塗膜Ｐの亀裂等の破損の発生を抑制できる。また、分割枠体とすることにより、寸法を容易に調整することができるため、寸法精度を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】温度変化を与えることなく、ペリクル膜の膜張力を向上する。
【解決手段】基板３０上に成膜した高分子材料からなるペリクル膜１１を、開口部を有する枠体２０にその開口面を覆うように貼り付ける第一の工程と、基板３０から枠体２０に貼り付けられたペリクル膜１１を剥離する第二の工程と、枠体２０のペリクル膜１１を、開口部を有するペリクルフレーム１０にその開口面を覆うように貼り付ける第三の工程と、をこの順に含む。第一の工程において枠体２０の少なくとも１辺に枠体２０の内側に向かう外力を加えて当該枠体２０の辺を内側に変形させた状態でペリクル膜１１を枠体２０に貼り付ける。 （もっと読む）