基板容器は、囲み部と、該囲み部に形成されて囲み部を介する基板容器内部への流体アクセスを提供するアクセス構造とを有する。前記アクセス構造は開口部と内部表面とを有する。グロメットはアクセス構造の内部表面と接触するように設置されている。
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ウエハーの挿入及び取り外しのための開口部を画定しているドア枠付きの囲み部と、囲み部をシールするためのドア枠に装着できるドアを含むウエハー容器。連続的弾性シールは、該周縁の内側にドアの周りに延びている。シールは、ドアの周囲に隣接したシール面に位置していてドアの半径方向溝に部分的に挿入できる。断面において、弾性シールは、挿入部と、架橋部によって連結したシールヘッドとを備えている。シールヘッドは、ドアのシール面の方に架橋部から突出する足部と、架橋部に対して足部とほぼ反対方向に延びるヘッド部とを有している。ドア枠は、シール係合構造を有するため、ドアがドア枠に着座すると、弾性シールの架橋部は、シール係合構造に接触して架橋部をシール面の方に軸方向に変位させ、シールヘッドのヘッド部の半径方向の回転と、シール係合構造との接触を生じさせる。該変位作用によってまた、シールヘッドの足部のドアのシール面との接触が積極的に行われる。
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基板コンテナは、エンクロージャとドアシャーシとを有する。エンクロージャはエンクロージャの内部に対して基板を挿入したり取り出したりするためのアクセス開口部を備えている。ドアシャーシは開口部を選択的に閉じるように形成されている。ドアシャーシは第１の壁を有し、そこから周辺壁が延びている。基板コンテナはシャーシに対して動作可能に連結されたラッチ機構を有する。ラッチ機構はシャーシを開口部へ動作可能に固定するように形成されている。基板コンテナのドアは凹凸加工された粒子捕捉領域を有しており、ラッチ機構やその他のところで発生した粒子が粒子捕捉領域によって捕捉される。
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半導体ウェーハキャリアが載置される容器本体１と、該容器本体１を覆うカバー２とから構成される半導体ウェーハキャリア容器であって、前記容器本体１が熱可塑性樹脂（ａ１）及び炭素繊維（ａ２）からなる樹脂組成物（Ａ）を成形してなり、該容器本体１の表面抵抗率が１０^２〜１０^１２Ω／□であり、前記カバーが熱可塑性樹脂（ｂ１）及び有機化合物である帯電防止剤（ｂ２）からなる樹脂組成物（Ｂ）を成形してなり、該カバー２の表面抵抗率が１０^３〜１０^１３Ω／□であり、かつ該カバー２が透明性を有することを特徴とする半導体ウェーハキャリア容器によって、帯電防止性に優れ、汚染防止性に優れ、耐擦傷性に優れ、しかも内部の視認性にも優れている半導体ウェーハキャリア容器を提供できる。 （もっと読む）

ウェーハを保持するための容器は、上面、底面、１対の対向面、背面、ドアフレームにより規定される対向開口前部をもつ筐体を含む。ドアは、開口前部を閉止するため、ドアフレームにおいて封止的に係合可能である。容器はさらに、固定式ウェーハ制止手段および操作可能ウェーハ制止手段を含む筐体内ウェーハ制止手段を含む。操作可能ウェーハ制止手段は、ドアフレームに対してドアを係脱することで選択的に位置決め可能であり、ドアがドアフレームから離脱する場合、容器に対してウェーハの挿入あるいは除去を可能にするよう位置決めされ、ドアがドアフレームと係合する場合、ウェーハを容器内で制止するため、固定式ウェーハ制止手段と協動するよう位置決めされる。
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内側ドア部と外側ドア部を有するウエハーキャリアドア。内側ドア部はほぼ連続する内面を有している。外側ドア部は内側ドア部の少なくとも一部分の上に延びている。外側ドア部はその中に形成された複数の開口部を有する。外側ドア部は内側ドア部に取り付けられる。
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電荷を散逸する基板キャリアは、実質的に一体型のコンテナ内にオーバーモールドされた導電性グリッドまたは網状構造を備えている。このグリッドは下に存在する接地されたサドルと電気接続している。キャリアは実質的に透明な側壁と、保管された基板を概ね軸方向に整列して保持するための導電性の棚とをさらに備え得る。
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基板容器および底板は、例えば、コネクタ機構の二つの部材間をねじ式で連結することにより、容器と底板との間の距離を調整する機構で連結されている。同様に、容器に孔を開けるダックビル弁と、衝撃による損傷を最小化する吸収材とが提供される。
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ウェファボックスは、トレイ（１０）とカバー（６２）を含む。トレイ（１０）は、内側（３４、３６、３８、４０）の及び外側（２４、２６、２８、３０）の、壁の配置を含み、その間に水平な半円形の溝（４８，５０，５２，５４）を備えていて、間隔をあける、強度を高める、及び水平方向の衝撃を吸収する機能を遂行する。トレイ（１０）はさらに、内側の壁（３４、３６、３８、４０）の中に形成されたウェファキャビティ（４２）を含む。ウェファキャビティ（４２）は、垂直方向の衝撃を吸収する機能を備えるために、その床の上に隆起線の格子（４６）を含む。カバー（６２）の壁（７６、７８、８０、８２）は、トレイ（１０）の外側の壁（２４、２６、２８、３０）に係合して咬合し、それによって二重の壁の配置を形成する。台座配置（９０、９２）は、カバー（６２）上部の、コーナーと長手方向中央とに形成され、相互の積層配置を介して衝撃と振動の伝播を最小化又は除去するために、相互に積層されたボックスの間で離れた状態にする隙間を提供する。
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フォトクロミック性不要電磁放射線露光表示装置を含む半導体ウェハ、基板又はレチクルの保管及び輸送用収納容器（１０，２４）。フォトクロミック材料は収納容器の少なくとも一部を製造するために使用されるプラスチックに組み入れられる。フォトクロミック材料は選択された波長範囲の光の露光に呼応して色又は暗さを変化させる。
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搬送器が機械により持ち上げられるように、機械とインターフェース接続するように構成されている筐体、ドアおよびフランジを含み、半導体ウエハ処理操作の際にシリコン半導体ウエハを輸送する搬送器。筐体とドアとの間のシールの完全性を維持するために筐体の歪みを防止すべく、フランジにかかる荷重が筐体の上部以外の一部に移送されるように、リフトサドルはフランジを容器に連結する。
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メモリディスクの輸送容器はカセットを含み、カセットは開放上端と及び開放底と、開放上端を覆う上カバーと、底を覆う底カバーとを有する、本体部は対向側壁及び対向端壁を有する。２個の側壁は各々、垂直な上部と、内方に収束する底部とを備える。この側壁は、基板を垂直方向に位置決めし且つ間隔をあけた配列で保持するために切欠を画定する、内方に対向する長手状歯即ちスペーサを有する。各歯は開放上端から開放底まで連続すると共に、各歯は側壁の垂直上部に上垂直部を、また側壁底部に収束下部を有する。
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【課題】半導体ウェハを収容している搬送容器に衝撃力が作用した場合に、半導体ウェハが破損しないようにした半導体ウェハ搬送容器を提供する。
【解決手段】一組の対向する面１７ａ，１８ａに半導体ウェハ２７を収容するウェハ支持溝２６が縦方向に形成され上部に開口部３を有するたボトムケース２にカバー４を着脱自在に係止可能に設け、このカバー４の裏面側に設けた保持部材４１により半導体ウェハ２７の上部外周縁２７ｂを押圧保持させる。ボトムケース２の底部８に配設された弾性を有するクッション部材２９を設け、半導体ウェハ２７の下部外周縁２７ａを前記ウェハ支持溝２６の谷部２６ａから若干離隔させるように保持する。 （もっと読む）