【課題】コイルスプリングを能率良く確実に組み付け易いバルブ装置を提供する。
【解決手段】凹状の弁体収容室８を備えると共にその弁体収容室８の底部に流体流入路１３を形成してあるバルブボディ１と、弁体収容室８を塞ぐバルブカバー２と、弁体収容室８に収容されて流体流入路１３を開閉可能な弁体７と、弁体７とバルブカバー２との間に圧縮変形状態で装着されて、弁体７を閉じ位置に移動付勢するコイルスプリング１４と、バルブボディ１とバルブカバー２との間に挟み込まれる板状のガスケット１０であって、コイルスプリング１４をコイル軸芯方向に挿通可能な貫通孔１５を備え、コイルスプリング１４の外周側を位置決め状態に保持する複数の突片１６を貫通孔１５の周縁に沿って突設してあるガスケット１０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】弁箱から弁板を取り出し可能にした開口側からの操作で弁板を簡単に着脱でき、弁ロッドの弁板取付部における基端及び先端側で強固に固定し、弁板の姿勢を安定化させたゲートバルブを提供する。
【解決手段】弁ロッド９の弁板取付部１０に弁板６を固定して開閉動作させるゲートバルブにおいて、弁板に弁ロッドを挿入する取付孔８を設け、該孔内において相互に密接する弁板と弁ロッドの接合平面８ａ，１０ａを接合させ、上記弁板取付部１０の基端側の傾斜面１１によるくさび効果で弁板の基端側において弁板と弁ロッドの上記接合平面を相互に圧接させ、弁ロッドの先端部９ａと弁板の先端側端面６ｃとにねじ１５，１６で連結板１４を固定して、それらを連結すると共に、両接合平面を相互に圧接させる連結板の圧接機構により、弁板と弁ロッドの先端側においても上記接合平面を相互に圧接させる。 （もっと読む）

【課題】ホットウォールチャンバからの熱によってシール部材が加熱されても，高い真空度を保持したいチャンバ内への大気の侵入を防止し，そのチャンバ内の真空圧力を保持できるようにする。
【解決手段】ホットウォールチャンバであるプロセスチャンバ２００Ｂと，それより高い真空度を保持することが要求されるトランスファチャンバ３００との間のゲートバルブ装置は，トランスファチャンバの側壁と筐体の側壁との間は，そのトランスファチャンバとの基板搬出入口を第１シール部材３３０Ａとその外側の第２シール部材３３０Ｂにより囲んで２重シール構造とし，これらシール部材間の隙間を筐体の内部空間に連通する少なくとも１つの連通孔４０８を筐体の側壁に設け，トランスファチャンバとの基板搬出入口を，筐体内を昇降自在な弁体４１０によって開閉するようにした。 （もっと読む）

【課題】真空弁の全高及び第２流路出口の大きさを変えることなく、コンダクタンスを大きくした真空弁。
【解決手段】
第１流路３２が形成された小径部４１と、弁室３９が形成された大径部４３と、大径部４３の側面に備わり弁室３９と連通する第２流路３３が形成されたポート部４２とを備える弁本体３１と、小径部４１と大径部４３の接続部に形成される弁孔３５と、弁孔３５周辺に形成される弁座３４と、弁座３４と当接及び離間するように動作を行う弁体２４と、を有する真空弁１において、弁室３９と第２流路３３の接続部である第２流路連通入口３７が非円形状をしていること、第２流路連通入口３７の開口部の開口下辺３７４が弁座３４に沿って形成されていることにより、弁室３９に流入した流体をスムーズに流すことができるためコンダクタンスが大きくなる。 （もっと読む）

【課題】バルブ全高を大きくせずにコンダクタンスを大きくできる真空弁を提供すること。
【解決手段】真空容器に接続される配管上に配設され、弁の開閉により真空容器内の真空度を制御する真空弁１において、弁体５を内包するボディ２が筒状であり、ボディ２の側面に第１筒状孔部１０９と第２筒状孔部３が同じ加工方法で設けられ、第１筒状孔部１０９にポート形成部材１０４が接続され、第２筒状孔部３に、第２筒状孔部３の開口端面を塞ぐ閉鎖部材４が接続されている。 （もっと読む）

【課題】 メンテナンス性に優れた真空用バルブを提供することを目的とする。
【解決手段】 流路となる複数の開口面を備えた真空用バルブにおいて、前記開口面のうちの少なくとも１つの開口面から前記真空用バルブの弁体を取り出すことができるように構成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 外径寸法の小さく、低製造コストの真空用バルブ筐体及びこの筐体から構成される真空用バルブを提供する。
【解決手段】 直方体形状の筐体の少なくとも１面の中央部に凹部を設け、前記凹部の底面の中央部に開口面を設け、前記開口面の外周の外側に他の配管のフランジを固定するためのボルト孔を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】Ｌ型・Ｔ型バルブの変更を容易にするとともに、コンパクトな真空用バルブを提供する。
【解決手段】弁体13と弁座12を直方体形状の筐体10内に備え、前記筐体10の１面に前記弁体13により開閉される弁開口面11を設け、前記弁開口面11と直交する面の何れかの１面に第１の開口面18を設けてバルブを構成し、第１の開口面18以外の前記弁開口面11と直交する面を第２の開口面20とし、前記第２の開口面20を封止できるように構成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 排気ポンプ及びゲートバルブの駆動部を設置するためのスペースを低減し、装置全体の小型化を図ること。
【解決手段】 排気ポンプ及びゲートバルブの駆動部を設置するためのスペースを低減し、装置全体の小型化を図る。真空チャンバ５と、真空チャンバ５の排気口１０に連通された排気ポンプ６と、排気口１０に対して近接離間する方向に移動されて排気口１０を開閉する弁体１１を有するゲートバルブ７と、を備える。真空チャンバ５には、排気口１０から弁体１１の移動方向に対して傾斜された方向に延ばされた接続部８が設けられ、接続部８に排気ポンプ６が接続されている。また、ゲートバルブ７は、真空チャンバ５内に設けられた弁体１１と、弁体１１の移動方向に延ばされて弁体１１を駆動するロッド１３を有する駆動部１２と、を備え、駆動部１２が接続部８の外側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】十分に大きな応力が作用しても閉鎖部の耐久性のある精密な変位を可能にするガス供給バルブを提供する。
【解決手段】ガス供給バルブはバルブシート（１）と、閉位置でバルブシート（１）に押し付けられる閉鎖部（２）と、閉鎖部（２）をバルブシート（１）に押し付ける揺動アーム（３）とを備えている。閉鎖部（２）とアーム（３）との間に、アーム（３）またはアームに配置した伝達要素（５）がアーム（３）の揺動時に伝達プレート（４）に沿ってスライドするように伝達プレート（４）を配置し、閉鎖部（２）が開位置から閉位置に変位可能とされている。 （もっと読む）

【課題】金属素材を絞り加工して形成したハウジングを有するバルブにおいて、該ハウジングに対する操作部の取り付けを、強度低下を来すことなく簡単かつコンパクトに行うことができるようにする。
【解決手段】２つのポートＰ１，Ｐ２を結ぶ流路中の弁座４を弁部材５で開閉する主弁部１と、この弁部材５を開閉操作する操作部２とからなる真空用バルブにおいて、上記主弁部１のハウジング３を、金属材を絞り加工して形成した円筒形のハウジング本体６に、２つのポート部材７，８を接合することにより構成し、該ハウジング３の端部には、内向きに折曲したフランジ状の取付部１０を形成し、該取付部１０上に円環状の支持座体２１を介して上記操作部２を取り付けると共に、円環状の支持プレート２５と上記取付部１０との間にシール部材３３を挟持させ、該支持プレート２５と上記弁部材５とにベローズ２３の両端を連結する。 （もっと読む）

【課題】複数のバルブを具備する流体用容器においてブロック集積バルブを用いる場合に、振動、衝撃、ゆがみによるブロック集積バルブのトラブルを回避すること。
【解決手段】容器本体（Ａ）、バルブユニット（Ｂ）、及び容器本体（Ａ）上にバルブユニット（Ｂ）を容器本体（Ａ）から離して保持固定するバルブユニット保持体（Ｃ）を有し、容器本体（Ａ）が、容器本体（Ａ）の内部へ通じる容器管（ａ−１）、（ａ−２）を少なくとも容器本体（Ａ）の上部に具備し、バルブユニット（Ｂ）が、ベースプレート（ｂ−１）、ベースプレート（ｂ−１）上に設置されたブロック集積バルブ（ｂ−２）、並びにブロック集積バルブ（ｂ−２）に通じるバルブユニット管（ｂ−３）、（ｂ−４）を少なくとも具備し、容器管（ａ−１）とバルブユニット管（ｂ−３）、容器管（ａ−２）とバルブユニット管（ｂ−４）とが、着脱可能な接合部により接合されているバルブ付流体用容器。 （もっと読む）

【課題】 高圧、真空圧のどちらにでも対応することができ、安全性に優れた圧力制御弁を提供する。
【解決手段】 内筒３０と外筒１０とを螺合する際の締め込み量を変化させることにより全長の伸縮を可能とした本体と、内筒３０内部に形成された弁座３４と、弁座３４に対して押圧される弁体４０、及び前記本体の全長を伸縮させることにより前記弁体４０を前記弁座３４へ押圧する力を変化させる弦巻バネ４４とを備える。このような構成の圧力制御弁１００は、筒状の本体のいずれかの端部に対して加圧あるいは負圧を施すことにより弁体４０が弁座３４から離間する構成とする。そして、本体には、弁体４０を弁座３４に押し付ける力を固定するために外筒１０の回動を防止する止めネジ２４と、弁体４０を弁座３４に押し付ける力が圧力制御機器に働く危険圧力よりも小さくなるように外筒１０の締め込み量を制限する限界値設定ナット５０とを備える。 （もっと読む）

熱エネルギの実質的な部分の伝導を許容する、改良された液体流れ制御弁１５ａは、第一の部分６０と、第二の部分６２と、可動の要素６４とを含む。第一の部分は、流体源と流体的に連通する開口６６を含む。第二の部分は、第一の開口６６と少なくとも部分的に整合された第二の開口６８を有する。可動の要素は、第一の部分と第二の部分との間に配設され且つ第一の部分及び第二の部分から隔てられて、熱エネルギの少なくとも実質的な部分を第一の部分から第二の部分まで伝導するのを許容する。可動の要素は、可動の要素が開放した位置にあるとき、第一の開口及び第二の開口と少なくとも部分的に整合すると共に、可動の要素が閉じた位置にあるとき、第一の開口及び第二の開口の少なくとも一方と非整合状態となる開口７０を含む。 （もっと読む）

【課題】ブロック間に露出する取付ねじを腐食性雰囲気から隔離できる薬液弁を提供すること。
【解決手段】ピストン５８の上下動に対応して入力ポート６３と出力ポート６４を連通する弁座６５に弁体６６を当接又は離間させ、腐食性流体を制御するものであって、複数のブロック５１，５２，５３，５４を取付ねじ５５で一体化した薬液弁において、取付ねじ５５の周りに設けられ、ボディ５３と取付ブロック５４との間で弾性変形する封止部材１を設ける。 （もっと読む）

【課題】 高温・高圧の流体の流量を安定して調整する。
【解決手段】 入口ポート（１１）に連通する第一室（２１）と、出口ポート（１２）に連通する第二室（２２）とを含むハウジング（１９）と、第二室内に延びていて第一室と第二室とを連通する筒状部（２５）と、該筒状部の先端（２５ａ）に設けられた弁座（６１）と、該弁座を開閉する弁体（３２）とを具備し、弁座および弁体のうちの少なくとも一方が、筒状部を形成する材料よりも熱変形量が小さい材料から形成されている流量調整装置が提供される。またハウジングには、第二室に連通していて圧力ポート（１８）を備えた圧力室（２９）が形成されており、第二室と圧力室とを分離する互いに連結された第一および第二の可撓性分離手段（４１、５１）とこれら分離手段の間に配置されるベッド（７５）とを具備してもよい。筒状部（２５）に補強部材（９０）が埋込まれていてもよい。 （もっと読む）

【課題】 部品数の増加を抑えるとともに、より一層のコンパクト化が果たされた集積化流体制御装置を可能とする継手部材を提供する。
【解決手段】 センサ付き継手部材10は、隣り合う流体制御機器16,20の下端開口同士を接続するＶ字状通路41aが形成された通路ブロック41と、通路ブロック41の側面に設けられた圧力センサ42とを備えている。通路ブロック41には、Ｖ字状通路41aから分岐して圧力センサ42に通じる分岐通路41bが形成されている。 （もっと読む）