【課題】弁体の無摺動動作によりパーティクルや粉塵の発生を抑えつつ開閉動作でき、大口径に設けた場合にも大型化を防ぎ、スループットを上げるために高速に開閉動作し、開閉動作後の弁体を確実にロックし、ウエハや基板等の大型化に対応し、エアシリンダの駆動源を用いたときに弁閉時にエアを排気しても弁閉止状態を確実に保持するゲートバルブを提供する。
【解決手段】弁箱１に保持枠体２を介在させてピストンロッド１１を有する複動式エアシリンダ５を設け、ステム４にステムホルダ２１を設け、ステムホルダ２１の摺動部３１を揺動リンク３２のガイド部３３に沿って上下動自在に摺動させ、ピストンロッド１１とステムホルダ２１との間に傾動保持用スプリング１３を装着し、ローラカム１５と傾動用ローラ１４とを弁閉傾動動作開始位置で嵌合させ、これらの嵌合時に揺動リンク３２を揺動させてその揺動動作に伴って弁体３を弁座シール面７に揺動閉止させた。 （もっと読む）

【課題】駆動機構の圧力解除状態において閉塞部材が所定の位置にあるようなバルブを提供する。
【解決手段】バルブの一又は複数の貫通開口部（２）を閉塞するための閉塞部材（１）が、駆動機構（３）により閉位置と開位置との間で動かされる。駆動機構（３）が、閉塞部材（１）を閉位置に変位させるための第１圧力作用空間（４）と、閉塞部材（１）を開位置に変位させるための第２圧力作用空間（５）とを備えている。バルブは、閉塞部材（１）を閉位置又は開位置に向かって付勢する弾性要素（６）を備えている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能なスライド弁を提供する。
【解決手段】弁箱１０に回動自在に設けられた回転軸２０を中心として揺動回転する可動弁部４０を設け、可動弁部４０の揺動により開口部を開閉すると共に、回転軸２０を、内部に流体通路を設けたスイベルジョイント構造を採用し、制御流体の制御により可動弁部４０の弁座への圧接分離可能とし、また、回転軸２０をピストンにより駆動可能なラックピニオン機構により揺動回転させる。 （もっと読む）

【課題】真空装置に用いられる回転式スライド弁に於いて、衝撃の少ない回転操作が可能な操作部構造を提供する。
【解決手段】ピストンの直線運動を、ピニオンラックを介して回転運動に変換し、弁体を回動作動させる弁構造に於いて、ピストン１１２の突起部１１２ｃの円筒面にに形成され、突起部１１２ｃの根本部分から、シリンダ本体１１１の一端側１１１ａに向かって断面積が広がるように、軸線（長手方向）Ｃに対して傾斜した緩衝溝１１８を設け、圧力空間１１３内の流体を緩衝溝１１８を介して排出する。 （もっと読む）

【課題】過度の高圧を解放する機能を真空システムに低コストに実現することを可能とする真空バルブ、及びそうした真空バルブを備えるクライオポンプを提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオパネル６０に排気された気体をクライオポンプ容器３０の外部に排出するためにクライオポンプ容器３０に設けられているベントバルブ７０と、クライオポンプ容器３０の外部に対して内部に陽圧が生じたか否かを圧力センサ５４の測定値に基づいて判定し、陽圧が生じたと判定した場合にはベントバルブ７０を開放し、陽圧が生じていないと判定した場合にはベントバルブ７０を閉鎖する制御部２０と、を備える。制御部２０がベントバルブ７０を閉鎖しているときにクライオポンプ容器３０内外の差圧の作用によって機械的に開弁され得るようにベントバルブ７０の閉弁力が調整されている。 （もっと読む）

【課題】開閉検知用センサの取付作業を容易化できるようにする。
【解決手段】内部に弁座１５を有して、真空下水管４の途中に接続される接続管部１２と、弁座１５に対して弁体１６を当接離反可能に支持する弁駆動部１４とを備え、弁駆動部１４が、その本体ケーシング１８の外周面に、弁座１５の開閉状況を検知可能な開閉検知用センサ２６ａを備えた真空弁構造であって、弁駆動部１４の本体ケーシング１８に、開閉検知用センサ２６ａの取付位置を示すセンサ取付位置指示部４１を設けるようにしている。 （もっと読む）

【課題】真空容器の内部におけるガスの流れを制御する技術を提供する。
【解決手段】ガス供給部からプロセスガスの供給を受けてプロセス対象にプロセスを実行する真空容器５００におけるプロセスガスの真空圧力と流れとを真空ポンプを使用して制御する真空制御システム１０を提供する。真空制御システム１０は、真空容器５００において相互に相違する位置に配置された複数のガス排出口５６１，５６２の各々と真空ポンプ３００との間に接続されている各真空制御バルブ１００，２００と、プロセス対象に供給されるプロセスガスの真空圧力を計測する圧力計測部６３１と、計測された真空圧力に応じて複数の真空制御バルブ５６１，５６２の各々の開度を操作する制御装置６１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】真空弁の全高及び第２流路出口の大きさを変えることなく、コンダクタンスを大きくした真空弁。
【解決手段】
第１流路３２が形成された小径部４１と、弁室３９が形成された大径部４３と、大径部４３の側面に備わり弁室３９と連通する第２流路３３が形成されたポート部４２とを備える弁本体３１と、小径部４１と大径部４３の接続部に形成される弁孔３５と、弁孔３５周辺に形成される弁座３４と、弁座３４と当接及び離間するように動作を行う弁体２４と、を有する真空弁１において、弁室３９と第２流路３３の接続部である第２流路連通入口３７が非円形状をしていること、第２流路連通入口３７の開口部の開口下辺３７４が弁座３４に沿って形成されていることにより、弁室３９に流入した流体をスムーズに流すことができるためコンダクタンスが大きくなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は遮断機能を有する真空制御バルブの設計自由度を高める技術を提供する。
【解決手段】本発明は、真空容器と真空ポンプとの間に接続され、作動流体によって弁開度を操作して真空容器内の真空圧力を制御する真空制御バルブ３０を提供する。本真空制御バルブ３０は、リフト量の調節による弁開度の操作と遮断とを行う弁体３３とピストンとを有する動作部と、ピストンを収容するシリンダ３１と、リフト量が小さくなる方向に動作部を付勢する付勢部と、ピストンの外周面とシリンダ３１の内周面との間の隙間を、ピストンの動作に追従しつつ密閉するベロフラム３４と、ベロフラム３４によって密閉され、作動流体の作用圧力に応じてリフト量を大きくする方向に荷重を発生させる弁開度操作室と、作動流体の供給に応じて動作部に対してリフト量を小さくする方向に荷重を発生させる遮断荷重発生室と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は遮断機能を有する真空制御バルブの設計自由度を高める技術を提供する。
【解決手段】本発明は、真空容器と真空ポンプとの間に接続され、作動流体によって弁開度を操作して真空容器内の真空圧力を制御する真空制御バルブ３０を提供する。本真空制御バルブ３０は、リフト量の調節による弁開度の操作と遮断とを行う弁体３３とピストンとを有する動作部と、ピストンを収容するシリンダ３１と、リフト量が小さくなる方向に動作部を付勢する付勢部と、ピストンの外周面とシリンダ３１の内周面との間の隙間を、ピストンの動作に追従しつつ密閉するベロフラム３４と、ベロフラム３４によって密閉され、作動流体の作用圧力に応じてリフト量を大きくする方向に荷重を発生させる弁開度操作室と、作動流体の供給に応じて動作部に対してリフト量を小さくする方向に荷重を発生させる遮断荷重発生室と、を備える。 （もっと読む）

【課題】環状シール部材が弁体本体と保持部材との間に形成されるアリ溝の内壁に固着していても、ポペット弁体のシール面を傷付けることなく、保持部材と弁体本体を容易に分解することができる真空弁を提供すること。
【解決手段】弁体本体（３７）と保持部材（３４）とが固定ねじにより固定され、弁体本体（３７）と保持部材（３４）の間に形成されたアリ溝（３９）に環状シール部材（３５）が装着されたポペット弁体（３３）を備える真空弁（１）において、弁体本体（３７）は、固定ねじが締結される第１雌ねじ穴（３７ｂ）が形成されており、保持部材（３４）は、内径寸法が固定ねじ（３８）の雄ねじ部（３８ａ）の外径寸法より大径である第２雌ねじ穴（３４ａ）が形成されている。 （もっと読む）

【課題】真空容器の真空引きの過程において発生するパーティクルの巻き上がりを抑制する技術を簡易に実装する技術を提供する。
【解決手段】真空制御バルブ１００は、真空容器に接続される上流側流路１４１と、真空ポンプに接続される下流側流路１４２と、を含む流路１４０と、弁開度を操作することによって、上流側流路１４１と下流側流路１４２との間のコンダクタンスを変化させる開閉弁１１０と、上流側流路１４１の内部の圧力を計測する圧力センサ１２０と、上流側流路１４１の目標圧力値を予め設定された時間関数として変化させ、計測された圧力と目標圧力値との間の偏差に応じて開度を操作する制御部１５０と、を備え、制御部１５０は、真空制御バルブ１００の外部からの開始入力に応じて、コンダクタンスを操作することによって偏差を小さくする制御を開始する。コンダクタンスは、ゼロから予め設定された範囲までの連続した範囲で操作することができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成によって容易に開弁できる真空弁を提供する。
【解決手段】弁座１２に当接して流路部１１を塞ぐ弁体１３と、弁体１３にロッド１４を介して取付けられるダイヤフラム１７と、ダイヤフラム１７を収容する弁駆動室１０と、を備える真空弁１である。
そして、弁駆動室１０はダイヤフラム１７によってロッド側室１９とヘッド側室１８とに分けられており、ヘッド側室１８に真空圧を導入して弁体１３を弁座１２から離して開弁するとともに、ロッド側室１９に真空圧を導入して弁体１３を弁座１２に当接させて閉弁する。 （もっと読む）

【課題】発生した腐食性ガスの透過による金属部品の腐食が防止され、安価に、かつ歩留まりの高い製造が可能であるとともに、流体中への不純物の溶出や薬液の汚染が極めて少ない、耐久性に優れ安定した制御性能が得られる背圧制御弁を提供する。
【解決手段】本体と、ボンネットと、バネ受けと、ピストンと、バネと、本体の第一の空間に蓋をする形で第一弁室を形成する第一ダイヤフラム部が配置され、第一ダイヤフラム部下面中央に本体の第一の空間内部に位置する連通流路より大径に設けられた弁体が配置され、ロッド下端面に第二ダイヤフラム部が配置されてなる弁機構体と、ベースプレートとからなり、ピストンの上下動に伴って弁体と本体の弁座とによって形成される流体制御部の開口面積が変化するように構成されていることを特徴とする背圧制御弁。 （もっと読む）

【課題】環状シール部材が部品に固着していても容易に分解できる真空弁を提供すること。
【解決手段】弁座４４を備えるボディ４０と、弁座４４に当接又は離間する弁体１９と、弁体１９に駆動軸１７を介して連結するピストン１４を収納するシリンダ１０と、ボディ４０と駆動部２との間の流体の漏れを防止するベローズ２５と、ベローズ２５の上端部２５ａを挟み込むようにしてシリンダ１０とボディ４０とを連結する連結部４と、連結部４とベローズ２５の上端部２５ａとの間に配置される環状シール部材２９と、を有する真空弁１において、ベローズ２５は、上端部２５ａが連結部４からシリンダ１０側へ突出し、連結部４から突出する部分（肉厚部２５ｄ）に引掛溝３１を形成する。 （もっと読む）

【課題】ピストンの廻り止め構造が簡単で分解作業が容易な真空弁を提供すること。
【解決手段】弁座４４を備えるボディ４０と、弁座４４に当接又は離間する弁体１９と、弁体１９に駆動力を付与する駆動部２と、を備え、駆動部２が、弁体１９に連結する駆動軸１７と、駆動軸１７の弁体１９と反対側に連結するピストン１４と、ピストン１４を収納するピストン室１３を備えるシリンダ１０と、ピストン１４に保持されてピストン室１３を区画するベロフラム１５と、を備える真空弁１において、ピストン１４は、移動方向に突出する突起部２１ａを有し、シリンダ１０は、突起部２１ａに対向する面に、突起部２１ａに嵌合してピストン１４の廻り止めをする廻り止め部１２ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】高真空バルブにおいて、弁部材を開閉駆動するロッドの軸シール部から真空雰囲気にある流路へのグリースの蒸発、溶出、流出を抑制し、軸シール部の長寿命化を図る。
【解決手段】この高真空バルブは、第１のポート１２と第２のポート１３との間の流路１１に弁座１６を設け、該弁座に接離する弁部材１４を備えた弁体部１と、パイロット流体圧により駆動されるロッド１５が上記弁座に対向する流路壁を貫通して流路内に挿入され、その先端に連結した弁部材を弁座の開閉のために駆動する弁駆動機構部２とを備える。上記ロッドの軸シール部３０を、貫通孔１８内にグリース溜３１を設けて、該グリース溜の流路１１側にグリース保持用のシール部材３２を設けると共に、グリース溜の反対側に真空シール用シール部材３３を設け、グリース溜の軸方向長さを、上記弁部材の最大ストロークと同じかそれ以上に形成する。 （もっと読む）

【課題】製品組立後でもストローク調整部材の原点位置を簡単且つ正確に調整できる真空弁を提供すること。
【解決手段】真空弁１は、第１ピストン２６と第２ピストン２７を個別に移動させることにより弁体７のストロークを変更し、流量を段階的に制御する。真空弁１は、第２ピストン２７を上蓋２２に当接させた状態で第２ピストン２７に突き当たるまでストローク調整部材３８を調整ネジ部１１ｄに締め付けてストローク調整部材３８を止めネジ３９で固定することにより、ストローク調整部材の原点位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】爆発性雰囲気の生成が予測される火気使用禁止区域内においても使用可能な真空検知スイッチを提供する。
【解決手段】検知対象空間となる各真空吸着パッド６の真空吸引空間１０ａに連通する真空検知室１８と大気開放する大気圧室１９との圧力差に応じて摺動変位するピストン１５により、圧縮空気導入ポート２６と圧縮空気出力ポート２８との間の空気通路を開閉する弁体２５を開閉操作する。圧縮空気導入ポート２６には空気圧力源８から圧縮空気が供給され、真空吸引空間１０ａが真空になったときに圧縮空気出力ポート２８から検知信号として圧縮空気を出力する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、異物を巻き上げることなく、排気時間を短縮することが可能な排気バルブの提供を目的とするものである。
【解決手段】
異物を巻き上げずに排気すること、排気時間を短縮することの相反する２つの要求を解決するために、バルブの開き始めは異物を巻き上げないよう大きな排気抵抗を有し、バルブの動作ストロークとともに排気抵抗が連続的に減少し、バルブ全開時には排気ポンプを有効に活用できるように、小さな排気抵抗をもったスロー排気バルブを実現する。 （もっと読む）