【課題】 バルブボディ１の流路孔側から軸受装置側への異物の侵入に伴うシャフト４の動作不良やバルブロックを防止することを課題とする。
【解決手段】 バルブボディ１の収容孔２１や軸受ホルダー１０の軸受孔２４内においてシャフトバルブ（バルブ５を一体成形したシャフト４）を回転可能に支持する軸受装置として、シャフト４の回転軸方向に連続して配置される２連ボールベアリング１１、１２、およびこの２連ボールベアリング１１、１２よりも流路孔側に配置されるオイルシール１３を備えたことにより、バルブボディ１の流路孔側から挿通孔２６を通って軸受装置側（２連ボールベアリング側）への、ＥＧＲガス中に含まれる微粒子や溶接スパッタ等の異物の侵入をオイルシール１３のガスケット機能によって防止することができる。これにより、シャフトバルブの動作不良やバルブロックを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】バルブ全体の強度向上を図りつつコンパクト性を維持でき、封止性能と操作性能を向上させ、内部部品の損傷を抑えつつ組立・分解を容易にしてシール性能を維持でき、軸シール部分の漏れを容易に検出して高圧流体の漏れを確実に防止できる高圧用回転弁の軸封構造を提供する。
【解決手段】バルブ本体２０に設けた弁体２１をパッキン２３を軸装したステム２２を介して回動させる高圧用回転弁の軸封構造である。この軸封構造は、パッキン２３のバルブキャビティ２９側にパッキン座金２４を設け、このパッキン座金２４にかかる高圧流体用スラスト荷重をバルブ本体２０の一部で支受けしたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は遮断機能を有する真空制御バルブの設計自由度を高める技術を提供する。
【解決手段】本発明は、真空容器と真空ポンプとの間に接続され、作動流体によって弁開度を操作して真空容器内の真空圧力を制御する真空制御バルブ３０を提供する。本真空制御バルブ３０は、リフト量の調節による弁開度の操作と遮断とを行う弁体３３とピストンとを有する動作部と、ピストンを収容するシリンダ３１と、リフト量が小さくなる方向に動作部を付勢する付勢部と、ピストンの外周面とシリンダ３１の内周面との間の隙間を、ピストンの動作に追従しつつ密閉するベロフラム３４と、ベロフラム３４によって密閉され、作動流体の作用圧力に応じてリフト量を大きくする方向に荷重を発生させる弁開度操作室と、作動流体の供給に応じて動作部に対してリフト量を小さくする方向に荷重を発生させる遮断荷重発生室と、を備える。 （もっと読む）

【課題】外部からグリスを補給することなく可及的にグリス切れを回避することのできる流量制御弁を提供すること。
【解決手段】シール部材６１より水の通路側に位置するように筒状のスリーブ７１を設け、このスリーブ７１の水の通路側の端部の位置が、ロッド６の表面の部分であって弁体２が全開状態でロッド６に対してシール部材６１が当接する部分が、ロッド６が移動して弁体２の全閉時になってもスリーブ７１で覆い続けることができる位置になるように、スリーブ７１の長さを設定し、ロッド６が往復移動してもグリスがシール部材６１に対して残留し続けるようにした。 （もっと読む）

【課題】スラスト荷重を受けるための部品点数を減らすことが可能なバルブを提供する。
【解決手段】ボールバルブの弁箱に、内外に貫通する弁棒保持孔が形成され、弁棒２が弁箱の内側から弁棒保持孔に挿入され、弁棒保持孔の内周部に、弁棒２のスラスト荷重を受ける段差面が弁箱と一体に形成され、弁棒２に形成された鍔部が、弁箱内から弁棒２の軸心方向において段差面に当接することで、弁棒２の外側への抜け出しを阻止するように構成され、弁棒２と弁棒保持孔との間が凹部１２ａを有するシール部材１２によりシールされ、シール部材１２は、凹部１２ａの開放端を弁棒２の挿入方向Ａとは反対側に向けて、弁箱の内側から弁棒保持孔に挿入されている。 （もっと読む）

【課題】弁棒とブッシュとの間隙よりも狭いシール部材を新たに設けて大気側への漏洩蒸気量を低減することにある。
【解決手段】蒸気入口部及び蒸気出口部を有する蒸気弁本体と、この蒸気弁本体の上面開口部を閉塞する上蓋２０２と、この上蓋の大気側から蒸気弁本体内の蒸気室に貫通させて設けられ先端部に有する弁体により蒸気出口部より流出する蒸気流量を制御する弁棒２０５と、この弁棒が貫通する上蓋２０２の貫通穴に弁棒２０５が軸方向に往復動するに適正な間隙を存するように設けられたブッシュ２０１とを備えた蒸気弁装置において、弁棒２０５とブッシュ２０１との間隙からの漏洩蒸気量を低減するため、上蓋２０２の蒸気室側に貫通する弁棒の周囲に、弁棒２０５とブッシュ２０１との間隙よりも狭く、好ましくは弁棒２０５の外表面に接触するように配置された環状のシール部材３０１を備える。 （もっと読む）

弁を伴う使用のための現場で取り外し可能なボンネット組立体が本明細書に記載されている。内部弁を伴う使用のための一例の現場で取り外し可能なボンネット組立体は、内部弁に取り外し可能に連結されるものである本体（２０８）を含む。本体は、弁充填物（２２０）を受容するものである穿孔を画定する。加えて、現場で取り外し可能なボンネット組立体は、内部弁の軸部を回転可能に係合するものであるカム組立体（２１２）を有する心棒（２１０）を含む。心棒は本体に回転可能に連結され、かつ心棒は穿孔内に少なくとも部分的に位置付けられる。さらに、現場で取り外し可能なボンネット組立体は、本体に対する取り外し可能な調節器の調節により、弁充填物により心棒に及ぼされる力を変化させることが可能になるように外的に接近可能である、取り外し可能な調節器（２２２）を含む。取り外し可能な調節器は、弁充填物を交換または修理するために現場で取り外し可能である。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置等の流路に設けたときには薬液等のガス化用材料を気化又は昇華させて供給制御可能な容器用ブロックバルブであり、全体又は他の部品を交換することなく継手部分のみを着脱して交換でき、コストの削減に寄与し、コンパクト性を発揮し、ガスの漏洩を確実に防止し、流路洗浄度の低下を抑え、しかも、全体を均一に加熱してガスを供給できる容器用ブロックバルブを提供すること。
【解決手段】容器本体１２に設けた入口側と出口側流路１３、１４に集積弁実装用の流路ブロック２０を連通状態で容器本体１２上に搭載すると共に、この流路ブロック２０の流入口と流出口に継手用ブロック部材４０を着脱自在に設けた容器用ブロックバルブである。 （もっと読む）

【課題】ブッシュを軽量化してコストダウンを図り、サイズの異なる複数種類のブッシュを共通の回転操作具を用いて回すことが可能な弁の軸封部構造を提供する。
【解決手段】ブッシュ４０を固定位置又は固定解除位置まで回すことによって、ブッシュ４０が弁棒の軸心Ｃ方向においてブッシュ挿入部に対し着脱可能となる弁の軸封部構造であって、回転操作具の一対の係合ピン３３が挿入可能な凹部４１がブッシュ４０に一対形成され、凹部４１の両端には、係合ピン３３がブッシュ４０の回転方向Ｄにおいて当接する当り面４２ａ〜４２ｄが形成され、凹部４１の外周側はブッシュ４０の外周面に開放され、各当り面４２ａ〜４２ｄは凹部４１の内周側からブッシュ４０の外周面にわたって形成されている。 （もっと読む）

【課題】コンパクトかつ、長寿命で、安価な真空弁の提供
【解決手段】シリンダ部１２と、弁本体３１に備える第１ポート３２と、第２ポート３３と、弁座部３４と、可動軸２３に接続され弁座部３４と当接、離間するシール部材３５部材を備える弁体２４と、を有する真空弁１において、シリンダ部１２が、第１ピストン４５と第２ピストンを備え、第１操作ポート２５に圧力流体が供給されることで、第１ピストン４５及び第２ピストン４６が受圧し移動して、第２ピストン４６が、シリンダチューブ内当接面２１ｄに当接した際、第１ピストン４５と端部当接面４５ｄとの間に空間を有するので、さらに第１ポート３２と第２ポート３３を遮断する側に移動し、第１ピストン４５の押圧力のみが、弁座部３４に当接するシール部材３５への圧力となる。 （もっと読む）

弁箱と弁棒とを有した制御弁のためのパッキンナット組立体は、弁箱と作用可能に結合するように構成されているとともに弁棒（３８）を受け入れるようなサイズに形成されている主要な孔（６６）と第一の座ぐり穴および第二の座ぐり穴とを有しているパッキンボックス（４０）を備えている。第一の座ぐり穴（６８）は弁パッキン（７０）を受け入れるようなサイズに形成されており、第二の座ぐり穴（６４）は雌ネジを有している。中央孔を有しているパッキンナット（４２）は、弁棒を受け入れるようなサイズに形成され、パッキンボックスの第二の座ぐり穴と係合するように位置決めされるネジ切りされた外側表面を有している。パッキンナットは、第一の座ぐり穴に面するように位置決めされた調節面を有し、調節工具を受け入れるようなサイズに形成された複数の工具受け入れ用アパーチャを有する調節頭部を有している。
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【課題】４５０°Ｆ（２３２℃）までの運転温度において、耐火災安全性、低漏洩性（５００ｐｐｍ以下）を備えた状態で弁棒を封止する機能をもつ、２部材からなる低摩擦で活荷重形式のパッキン構造を提供する。
【解決手段】弁棒１６のプロセス流体側の端部２６寄りで、弁棒１６を囲む下部リング状パッキン群２４は、一対の柔軟性黒鉛リング３２を低摩擦特性のＰＴＦＥ製ワッシャー３８で挟み、更にその上下を一対の硬いカーボンブッシュリング３４で挟むことにより、低摩擦と耐火災安全性を確保し、荷重源に近い位置で弁棒１６を囲む上部リング状パッキン群２８は、複数のＰＴＦＥ製Ｖ型リングが信頼性のある低漏洩と低摩擦封止をもたらし、ボルト２０、ナット１８を締め付けて押さえフランジ６０から皿形バネ５８を押圧して、押さえ金具４８を介して、上下のリング状パッキング２４，２８に一定のバネ荷重を掛ける。 （もっと読む）