【課題】ロータの、特に該ロータの一部を構成する回転軸を効果的に冷却し、例えば動翼と該動翼に対向して配置される静翼との間のクリアランスが変化して、排気性能が変化するような時に、警報を発するか、またはポンプ運転を停止して、ポンプを保護できるようにする。
【解決手段】磁気軸受５０，５２，５８によりロータを磁気浮上させ、該ロータをモータ１２により高速回転させて気体を排気するターボ分子ポンプにおいて、磁気軸受５０，５２，５８に冷却用気体を導入する冷却用気体導入部６４と、磁気軸受に導入される冷却用気体の圧力を検出する圧力検出部６８とを備え、ポンプ運転中に圧力検出部６８で検出された圧力が規定圧力以下になった時に、警報を発すか、またはポンプ運転を停止する。 （もっと読む）

【課題】より高い捕助圧力でもっと効率的に差動することができる複合真空ポンプを提供することを目的とする。
【解決手段】真空ポンプは、少なくとも３つの第１排気部分（１０６）、第２排気部分（１０８）、第３排気部分（１１０）を含み、第３排気部分（１１０）は、第１及び第２排気部分の下流に配置され、且つホルウィック分子ドラッグ排気機構（１１２）及び再生排気機構（１１４）からなり、分子ドラッグ排気機構のロータ要素（１２０）は、再生排気機構のロータ要素（１２２）を取り囲む。 （もっと読む）

本発明は、シーグバーン・ポンプ機構（１４）と直列接続のターボ分子ポンプ機構（１２）を含む真空ポンプ（１０）を提供する。気体がターボ分子ポンプ機構及びシーグバーン・ポンプ機構の両方を通過することができる第１のポンプ入口（１６）が、設けられる。さらに、気体がターボ分子ポンプ機構とシーグバーン・ポンプ機構との間の場所においてポンプに入り、シーグバーン・ポンプ機構のみを通過することができる段間（入口）１８が、設けられる。段間入口（１８）と流体連通する、シーグバーン・ポンプ機構の第１の複数の段（３２、３４）内の流路（５２、６２）が存在し、段間入口を通ってポンプに入る気体は、前述の流路に沿って並行排気される。
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【課題】真空ポンプをコンパクトに形成する。
【解決手段】第１の入口８０および第２の入口８２を有するハウジング４０と、および第１のポンプ段６０および第２のポンプ段７０と、を備えた真空ポンプであって、真空ポンプは、ガスが第１の入口８０を通過して第１のポンプ段６０内に到達するように、および、第２の入口８２を通過して第２のポンプ段７０内に到達したガスが、はじめに第２のポンプ段７０により圧縮され、次に第１のポンプ段６０により圧縮されるように形成されてい。コンパクトな真空ポンプを得るために、第２のポンプ段７０がホルベック（Ｈｏｌｗｅｃｋ）ポンプ段を含むことが提案される。 （もっと読む）

電磁軸受を利用したターボ機械の予備機械軸受のクリアランスおよび摩耗を決定する装置および方法である。シャットダウン中、または電源喪失中の破局的な障害の可能性を低下させるために、回転装置は、電磁軸受を利用してシャフトを操作して、予備機械軸受のクリアランスを測定する。電力が回復したときに、プログラム可能制御装置が、電磁軸受に電力を供給して、所定のシーケンスに従ってシャフトを自動的に移動させ、予備機械軸受と接触させて、予備機械軸受のクリアランスを決定する。これらの値は、制御装置のメモリに記憶される。測定したクリアランスを、以前に測定した予備機械軸受のクリアランスの測定値と比較して、予備軸受の摩耗を決定する。実際の摩耗を、軸受の許容可能な摩耗と比較する。実際の摩耗が所定値を超える場合には、警告を生成する。実際の摩耗が許容可能な摩耗と等しい、またはこれを超える場合には、制御装置は、修理または交換が行われるまで、自動的にターボ機械をロックして、それ以上の動作を妨げる。そうでない場合には、制御装置は、シャフトを心出しして、ターボ機械が通常動作できるようにする。
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【課題】気体を高真空から大気圧まで圧縮できる翼要素で、軸方向の寸法精度および幾何的な公差精度を向上でき、且つ部品点数が少なく安価に製作できる翼要素を有するターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】回転軸１と、回転翼と固定翼とを交互に配置することによって形成された排気部１０と、軸受モータ部５０を備え、回転軸１をスラスト方向に支承する軸受に気体軸受４０を用い、該気体軸受の固定側部位４１の両面にスパイラル溝４５を形成し、回転軸１に固定された上側回転側部位４２と下側回転側部位４３とにより、スパイラル溝４５の形成された固定側部位４１を挟み込むようにし、前記回転翼と固定翼の少なくとも一方を、円板状の翼部３２ｂと該円板状の翼部に連なる円筒状スペーサ３２ｓとを一体に形成したスペーサ付翼部３２ｂｓで構成し、該スペーサ付翼部３２ｂｓを多段に積み上げることにより、前記排気部を形成した。 （もっと読む）

【課題】気体を高真空から大気圧まで圧縮できるターボ型真空ポンプで、回転体を高速且つ高精度に回転保持でき、安価にて製造できるターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプの略全長に延びる回転軸１と、ケーシング２内に回転翼と固定翼とを交互に配置することによって形成された翼排気部１０と、軸受モータ部５０を備えたターボ型真空ポンプにおいて、回転軸１をスラスト方向に支承する軸受に気体軸受４０を用い、気体軸受の固定側部位４１の両面にスパイラル溝４５を形成し、回転軸１に固定された上側回転側部位４２と下側回転側部位４３とにより、スパイラル溝４５の形成された固定側部位４１を挟み込むようにし、下側回転側部位４３の前記スパイラル溝４５との対向面と反対の面、および下側回転側部位４３と軸方向に対向する固定翼６３の面の少なくとも一方の面に、気体を半径方向に圧縮排気する遠心翼要素４３ａ，６３ａを形成した。 （もっと読む）

【課題】気体を高真空から大気圧まで圧縮できるターボ型真空ポンプで、回転体を高速且つ高精度に回転保持でき、安価にて製造できるターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプの略全長に延びる回転軸１と、ケーシング２内に回転翼と固定翼とを交互に配置することによって形成された排気部１０と、モータ５１と回転軸１を支承する軸受５３，５４，５５とを有した軸受モータ部５０を備えたターボ型真空ポンプにおいて、回転軸１をスラスト方向に支承する軸受に気体軸受４０を用い、該気体軸受の固定側部位４１の両面にスパイラル溝４５を形成し、回転軸１に固定された上側回転側部位４２と下側回転側部位４３とにより、スパイラル溝４５の形成された固定側部位４１を挟み込むようにし、排気作用による排気側と吸気側の差圧によるスラスト力をうち消す方向に作用するスラスト磁気軸受５５を設け、回転体の軸方向変位を検出する変位センサ４６を設けた。 （もっと読む）

【課題】気体を高真空から大気圧まで圧縮できる翼要素で、構造がシンプル且つ、高効率（運転動力の小さい）の翼要素を有するターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプの略全長に亘って延びる回転軸１と、ケーシング２内に回転翼と固定翼とを交互に配置することによって形成された排気部１０と、回転軸１に回転駆動力を与えるモータ５１と回転軸１を回転自在に支承する軸受５３，５４，５５とを有した軸受モータ部５０を備えたターボ型真空ポンプにおいて、回転軸１をスラスト方向に支承する軸受に気体軸受４０を用い、該気体軸受の固定側部位４１の両面にスパイラル溝４５を形成し、回転軸１に固定された上側回転側部位４２と下側回転側部位４３とにより、スパイラル溝４５の形成された固定側部位４１を挟み込むようにし、上側回転側部位４２に、スパイラル溝４５と対向する面と逆の面に、気体を半径方向に圧縮排気する遠心翼要素４２ａを形成した。 （もっと読む）

【課題】気体を高真空から大気圧まで圧縮できるターボ型真空ポンプで、回転体を高速且つ高精度に回転保持でき、安価にて製造できるターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプの略全長に亘って延びる回転軸１と、ケーシング２内に回転翼と固定翼とを交互に配置することによって形成された排気部１０と、回転軸１に回転駆動力を与えるモータ５１と回転軸１を回転自在に支承する軸受５３，５４，５５とを有した軸受モータ部５０を備えたターボ型真空ポンプにおいて、回転軸１をスラスト方向に支承する軸受に気体軸受４０を用い、該気体軸受の固定側部位４１の両面にスパイラル溝４５を形成し、回転軸１に固定された上側回転側部位４２と下側回転側部位４３とにより、スパイラル溝４５の形成された固定側部位４１を挟み込むようにし、下側回転側部材４３と回転軸１の端面１eとの間にスペーサ４６を設けた。 （もっと読む）

【課題】小型化、軽量化が可能で、簡単な構成で分離して構成された動翼を取付ける第１の回転軸とモータのロータ等を取付ける第２の回転軸が締結でき、高速回転及び比較的ロータを高温で稼動させるのに適したターボ型真空ポンプを提供すること。
【解決手段】ポンプ部Ｐの軸方向片側に動翼を回転支持する軸受及びモータ部Ｍを配置したターボ型真空ポンプにおいて、動翼を取り付ける第１の回転軸２５と、モータロータ４１を取り付ける第２の回転軸４４と、第１の回転軸２５と第２の回転軸４４を締結する締結部材２９とを具備し、第１の回転軸２５は高耐食性の材料で、第２の回転軸４４は強磁性の材料で構成され、第１の回転軸２５の線膨張係数が第２の回転軸の線膨張係数に比べて小さく、第１の回転軸２５は中空構造であり、締結部材２９は第１の回転軸２５の中空部を貫通し第１の回転軸２５と第２の回転軸４４を締結する。 （もっと読む）

真空ポンプが、ハウジングと、軸を中心にハウジングに対して回転するために軸受装置により支持された駆動シャフトと、ハウジング上に装着されたステータ部品及びこのステータ部品に軸方向に近接して駆動シャフト上に装着されたディスク状のロータ部品を含むポンプ機構とを備える。軸受装置が、複数の可撓性部材で連結された内側及び外側環状部分を含む弾性支持体により径方向及び軸方向の両方向に支持された軸受を含むことにより、軸受の内側レースと弾性支持体の外側部分との間に固定関係が存在して、ポンプ機構のロータ部品とステータ部品との間の軸方向の間隙を決定するようになる。
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【課題】小型で、圧縮比が高い真空ポンプを提供する。
【解決手段】遠心流ポンプ部４を備える真空ポンプにおいて、遠心流ポンプ部４は、遠心流ポンプロータ４０１の回転軸を中心として同心円状に、複数の遠心流ポンプａ〜ｄを多段に配置し、外側の遠心流ポンプｄから内側の遠心流ポンプａの方向に排気を行なう構造とし、また、少なくとも最内側の遠心流ポンプａのシール面に、遠心流ポンプロータ４０１の回転により差圧を生じさせるリード溝が設けられるものとする。 （もっと読む）

本発明は、スチール製シャフト（１４）と、シャフト（１４）によって保持された、シャフトのスチールとは異なる材料から成る一体構造のロータ（１２）とを有する真空ポンプインペラに関する。シャフト（１４）は軸方向中空室（２２）を有しており、ロータ（１２）は軸方向連結部（１６）を有しており、該軸方向連結部（１６）は形状結合及び／又は摩擦結合によってシャフトの中空室（２２）に着座している。
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ロードロック室を排気するための真空排気装置を説明する。ブースタポンプが、分子ドラッグ段と、多段遠心コンプレッサ機構とを有する。補助ポンプが、流体を大気圧で又は約大気圧で排気するための多段遠心コンプレッサ機構からなる。かかる装置は、在来のロードロック排気装置と関連した騒音、大きさ、及び振動レベルを下げることができる。
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