【課題】磁気軸受装置の回転試験を低コストで行なうことが可能な磁気軸受装置および真空ポンプ装置を提供する。
【解決手段】磁気軸受装置は、回転翼１５を回転させる磁気軸受スピンドル１と、磁気軸受スピンドル１を制御するコントローラ１６とを備え、コントローラ１６は、回転翼１５が磁気軸受スピンドル１に取り付けられている第１の動作モードであるか、または回転翼１５が磁気軸受スピンドル１に取り付けられていない第２の動作モードであるかに基づいて磁気軸受スピンドル１の制御を行なう。 （もっと読む）

【課題】水素ガスの排気速度を大きくするとともに、メンテナンスの作業性を簡略化した真空排気装置を提供すること。
【解決手段】真空排気装置１００に水素濃度センサ７と圧力センサ８を設け、ターボ分子ポンプ３０の吸気側配管３内の水素分圧をモニターし、水素分圧を変化させる各種パラメータをパラメータ制御部９により制御する。すなわち、パラメータ制御部９から水素分圧に比例する電気信号を、開閉バルブ制御部１１、調整バルブ制御部２１およびモータ制御部３１の各制御部へ出力し、開閉バルブ１０、調整バルブ２０およびターボ分子ポンプ３０のモータをそれぞれ独立に制御する。これにより、ターボ分子ポンプ３０の吸気口側の水素分圧を増加させ、水素ガスの排気速度を大きくすることが可能となる。また、水素濃度センサ７、圧力センサ８のメンテナンス作業は簡単である。 （もっと読む）

本発明はプロセス流量及びターボ分子ポンプにより真空化される真空プロセス室内の圧力を制御するための装置及び方法である。ポンプとプロセス室との間のスロットル弁は圧力及び流量を規制するように制御される。ポンプの下流側の支援弁はまた好ましい安定した作動範囲内でのスロットル弁の設定を維持するように制御される。 （もっと読む）

真空ターボ分子ポンプは、ステータコイルと永久磁石により励磁されるモータロータを有するブラシレス直流電流駆動モータによって駆動され、モータロータは、回転とは反対方向の起電力を生じ、ステータコイルと接続されたモータ制御部は、給電電圧からステータコイル内で形成される電流を生じ、回転周波数発生器は、駆動モータの回転周波数を定格回転周波数に制限し、モータ制御部と接続された電圧給電部は、一定直流電圧をモータ制御部用の給電電圧として供給し、一定給電電圧が低いように構成され、限界回転周波数で、電磁力が、モータ制御部及びステータコイルによって形成可能な最大の駆動力に等しいようにされ、限界回転周波数は、定格回転周波数の1.3倍よりも小さく、これにより、モータ電力は制限され、駆動モータの回転周波数は、高い信頼度で限界回転周波数に物理的に制限される。
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【課題】ターボ分子ポンプが破損した場合における、制御ボックスの脱落防止、コネクタの破損防止、所望の真空度の維持に好適な真空ポンプを提供する。
【解決手段】第１の締結ボルト４１で締結される第１の締結部３１とポンプ筐体１に第２のボルト４２で締結される第２の締結部３２とを有する薄板３を介して、制御ボックス２がポンプ筐体１の取付け面１Ａに取付けられる。ポンプ回転動作方向の大きな衝撃力がポンプ筐体１に加わったときに、その衝撃力は薄板３が撓むことにより吸収する。 （もっと読む）

【課題】 ポンプ本体の大型化を招くことなくポンプ本体と制御部とを一体化することができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】 モータ８や磁気軸受を構成する電磁石６１〜６３等が設けられたベース２に電源収納部２１を形成し、その電源収納部２１に電源制御部を構成するＤＣ電源部やインバータ部や軸受駆動回路等をそれぞれ収納するようにした。電源収納部２１は、従来利用されていなかったベース２の電磁石６３を含むアキシャル磁気軸受部分を囲む領域に形成されているため、ポンプ本体を大型化することなくポンプ本体と電源部とを一体化することができる。 （もっと読む）

【課題】 ポンプ本体と制御装置とを一体化した真空ポンプにおける、制御装置内部の結露を抑制すること。
【解決手段】 ベース３の底部（ステータコラム２１の底部）に、ポンプ本体を冷却するための冷却管２６を配設する。そして、この冷却管２６による冷却の影響を受けないようにするために、制御装置２４を断熱部材２７を介してポンプ本体に取り付ける。このように断熱部材２７を配設することにより、ポンプ本体と制御装置２４とを熱的に絶縁することができる。そのため、ポンプ本体が冷却管２６の作用で露点以下まで冷却される場合であっても、制御装置２４の内部の温度は低下することがない。従って、制御装置２４内において、大きな温度差が生じる状態を回避することができる。これにより制御装置２４内の結露の発生を抑制することができる。
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【課題】 電磁石から位置センサへの磁束の漏れによる影響を防止することで磁気シールド板が省略された磁気軸受装置及び該磁気軸受装置が搭載されたターボ分子ポンプを提供する。
【解決手段】 電磁石１０５Ｙ−を構成する一方の磁極（Ｎ極）から出た磁束は他方の磁極（Ｓ極）へ流入される。同様に、この電磁石１０５Ｙ−の一方の磁極（Ｎ極）から出た磁束は、隣接する電磁石１０５Ｘ−のＳ極へ流入される。このため、従来のように、漏れ磁束が下側径方向センサ１０８側に流入することは無くなる。このことにより、位相余裕度は高くなり、ロータ軸１１３が発振し難くなる。このため、剛体モードの共振点がこの位相範囲内に存在していても安定した運転ができる。そして、この際には、磁気シールド板２００を省略することができる。従って、ターボ分子ポンプのコストダウンに繋がる。 （もっと読む）

チャンバ内の圧力を制御する真空ポンプ排出装置（１０）であって、分子ポンプ排出機構（１２）及びバッキングポンプ排出機構（１４）を有する真空ポンプ排出装置。バッキングポンプ排出機構（１４）は、モータ（３４）により回転可能であり、モータは、分子ポンプ排出機構（１２）をバッキングポンプ排出機構（１４）と同時に回転させるようになっている。バッキングポンプ排出機構及び分子ポンプ排出機構の回転速度を制御する手段が設けられる。
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【課題】 新しいポンプ制御プログラムによるポンプ本体の制御に容易に対応することができるターボ分子ポンプの電源装置。
【解決手段】 ＣＰＵ１０で処理されるプログラムは、互いに独立した機種依存プログラム（ポンプ制御プログラム）とローダプログラムとから成る。機種依存プログラムは、励磁アンプ１１およびインバータ１２を制御するためのプログラムである。ローダプログラムは、不揮発性メモリ１３に格納されている機種依存プログラムを通信ポート１７を介してＰＣから送信された機種依存プログラムで書き換えるためのプログラムである。ＬＣＤ／スイッチ１５により書き換えモードに設定されると、機種依存プログラムの書き換えが行われる。同一の電源装置２であっても、機種依存プログラムの書き換えを行うことにより種々のポンプ本体１に対応することができる。 （もっと読む）

【課題】 ターボ分子ポンプの温度上昇勾配を変化させることができて、ターボ分子ポンプの損傷を防止できるターボ分子ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】 温度センサ３は、ターボ分子ポンプ１の温度を検出して信号を第２制御部１２に出力する。また、第１制御部１１は、ターボ分子ポンプ１に内蔵されている機種判別抵抗に一定の電圧を印可して、その抵抗値を検出することにより、ターボ分子ポンプ１の機種を検出して目標温度および温度上昇勾配を設定して、信号を第２制御部１２に出力する。また、第２制御部１２は、温度センサ３からの信号と、第１制御部１１からの信号を受けて、ヒータ７の電源をオンオフ制御して、ターボ分子ポンプ１が上記目標温度に到達するまで、ターボ分子ポンプ１の温度を、上記温度上昇勾配に略沿うように上昇させるようになっている。 （もっと読む）

【課題】 ヒューズ切れを容易に判断できて、メンテナンスがし易い回転軸支持装置を提供すること。
【解決手段】 電磁石Ｘ１,Ｘ１’を駆動する電磁石駆動回路５,６が有しているヒューズのヒューズ切れを検出するヒューズ切れ検出回路７を形成する。上記ヒューズ切れ検出化回路７を、及ぼす力の力線方向が同一である対をなす電磁石Ｘ１,Ｘ１’を駆動する二つの電磁石駆動回路５,６の対毎に一つずつ形成する。 （もっと読む）