【課題】ターボ分子ポンプ各々の間の駆動状態の時間的な差異及び人的要因による設定ミスを抑制し、複数のターボ分子ポンプに対して迅速かつ正確な設定を行う。
【解決手段】複数のターボ分子ポンプ装置は、それぞれターボ分子ポンプＴＢと、各ターボ分子ポンプの駆動をそれぞれ制御する複数の電源装置ＣＲとを有する。任意の１台の電源装置１１３は、ターボ分子ポンプ１１４の駆動制御のための制御情報を設定するとともに、通信ケーブル１０７を介して他の電源装置１２３，１３３に入力値を送信する。他の電源装置１２２，１３３は、受信した入力値をターボ分子ポンプＴＢの駆動制御のための制御情報として設定する。 （もっと読む）

【課題】気体を高真空から大気圧まで圧縮できるターボ型真空ポンプで、回転体を高速且つ高精度に回転保持でき、安価にて製造できるターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプの略全長に延びる回転軸１と、ケーシング２内に回転翼と固定翼とを交互に配置することによって形成された翼排気部１０と、軸受モータ部５０を備えたターボ型真空ポンプにおいて、回転軸１をスラスト方向に支承する軸受に気体軸受４０を用い、気体軸受の固定側部位４１の両面にスパイラル溝４５を形成し、回転軸１に固定された上側回転側部位４２と下側回転側部位４３とにより、スパイラル溝４５の形成された固定側部位４１を挟み込むようにし、下側回転側部位４３の前記スパイラル溝４５との対向面と反対の面、および下側回転側部位４３と軸方向に対向する固定翼６３の面の少なくとも一方の面に、気体を半径方向に圧縮排気する遠心翼要素４３ａ，６３ａを形成した。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、ポンプステータ(10)及びポンプロータ(11)に関する。ポンプロータ(11)は、ポンプステータ(10)のリーダによって読み出され得るトランスポンダ(14)を含んでいる。ポンプロータ(11)は、動作データ(BD)を決定するためのセンサ(26)、及びメモリ(27)を更に含んでいる。メモリ(27)は、測定された動作データ(BD)の履歴、又は耐用寿命特性(LDK) のいずれかを記憶する。このようにして、夫々のポンプロータの摩耗の程度が決定されてポンプロータに記憶される。従って、ポンプロータは、保守に関する情報を全て格納している。ポンプロータが別の真空ポンプに使用される場合であっても、ポンプロータに関する情報はポンプロータに記憶されたままである。
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【課題】気体を高真空から大気圧まで圧縮できるターボ型真空ポンプで、回転体を高速且つ高精度に回転保持でき、安価にて製造できるターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプの略全長に延びる回転軸１と、ケーシング２内に回転翼と固定翼とを交互に配置することによって形成された排気部１０と、モータ５１と回転軸１を支承する軸受５３，５４，５５とを有した軸受モータ部５０を備えたターボ型真空ポンプにおいて、回転軸１をスラスト方向に支承する軸受に気体軸受４０を用い、該気体軸受の固定側部位４１の両面にスパイラル溝４５を形成し、回転軸１に固定された上側回転側部位４２と下側回転側部位４３とにより、スパイラル溝４５の形成された固定側部位４１を挟み込むようにし、排気作用による排気側と吸気側の差圧によるスラスト力をうち消す方向に作用するスラスト磁気軸受５５を設け、回転体の軸方向変位を検出する変位センサ４６を設けた。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプ等の構成変更等をすることなく、また真空ポンプ等の機械的劣化を引き起こすことなく、稼働停止後における真空ポンプの確実な再起動を容易に可能とし、信頼性の高い真空処理を実現する制御装置及び真空処理装置を提供する。
【解決手段】制御装置１０は、例えば制御部３に対して外付けで着脱自在に接続されるものであり、制御部３の補助真空ポンプ２の稼働制御に言わば割り込んで、回転停止期間内において、上記した停止期間運転モードを挿入し、当該停止期間運転モードを実行する。停止期間運転モードでは、回転停止期間内において、補助真空ポンプ２のロータ１２の１回又は複数回の間欠運転が規定されている。 （もっと読む）

【課題】電源装置内部の結露を防止することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】真空ポンプ本体２と一体的に設けられた電源装置３の内部に結露センサ７を設ける。結露センサ７が電源装置内部の結露を検出すると、ＣＰＵ８は、冷却水バルブ６を閉じる。そして、冷却水路５を通じて電源装置内部を流通している冷却水の流れを停止させる。 （もっと読む）

【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプの通気を、真空ポンプがその中で使用されるプロセスを考慮して改善する。
【解決手段】本発明は真空ポンプを有する装置および通気方法に関するものである。通気をプロセスに適合させるために、複数の通気パラメータの中から１つの通気パラメータを選択することが提案される。本提案により、前記装置は通気パラメータ・メモリおよび通気パラメータ選択手段を含む。 （もっと読む）

【課題】ロータ温度をより正確に推定することができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプにおいて、ロータ２の温度とモータ６の平均電流との相関関係が予め記憶部３５に記憶されている。そして、演算部３１は、モータの平均電流を算出し、算出されたモータ平均電流と相関関係とに基づいてロータ２の温度を推定する。記憶部３５には固定要因（ターボ分子ポンプの設定温度、圧力調整バルブの設定温度、ガス種）の異なる複数の相関関係が記憶されており、設定部３６により入力設定された固定要因に応じた相関関係を用いる。 （もっと読む）

【課題】回転軸に耐腐食性、低熱膨張係数の特性を付与し、長期間連続運転でき、また回転軸と動翼の線膨張係数の違いによる温度変化時の問題を回避することができ、かつ高速回転することにより小型・軽量化できるターボ真空ポンプを提供する。
【解決手段】吸気口が設けられたケーシング２１内に、動翼と静翼からなるポンプ部が設けられ、ポンプ部の軸方向片側に動翼を回転支持する軸受およびモータを配置したターボ真空ポンプにおいて、動翼４１−１〜５と、軸方向の嵌合部４２を有するリング状部材４３−１〜５とを交互に軸方向に積層して、嵌合部で動翼とリング状部材とを固定し、リング状部材の内径嵌合部４７と回転軸４５の外周部を嵌め合わせて、リング状部材４３−１〜５と回転軸４５とを固定し、回転軸４５の外周部と動翼４１−１〜５の内周部にはすきま４６を設けた。 （もっと読む）

【課題】モータ制御用ケーブル（高電圧用ケーブル）と磁気軸受制御用ケーブル（低電圧用ケーブル）を必要とする磁気軸受形ターボ分子ポンプにおいて、機種の異なる複数のポンプとこれに対応する制御部とを接続する際に誤接続を容易に検出できるようにしたターボ分子ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプ本体１と該ポンプ本体１に対して種々の制御を行う制御部２とを高電圧用ケーブル１１と低電圧用ケーブル１２を介して接続するターボ分子ポンプにおいて、ポンプ本体１側に前記高電圧用ケーブル１１と低電圧用ケーブル１２の配線を接地又は短絡する第１の切換部５を設け、制御部２側に前記接地又は短絡を検出する検知回路９を前記高電圧用ケーブル１１と低電圧用ケーブル１２の配線に接続する第２の切換部８を設けた。 （もっと読む）

【課題】 ターボ分子ポンプに取り付けられた電気ヒータの前段に絶縁トランスを設置するに際して、ヒータＯＦＦにおける絶縁トランスの残留磁束をほぼ零にする。さらに、ヒータＯＮ時における突入電流を防止する。
【解決手段】 ヒータ１２９をトライアック７８の位相制御でソフトＯＦＦさせることにより、ヒータＯＦＦ時における絶縁トランス８０の残留磁束をほぼ零まで逓減させる。また、ヒータ１２９をＯＮする瞬間には、トライアック７８を位相制御でソフトＯＮさせることにより、ヒータＯＮ時における絶縁トランス８０の磁束飽和を防止し、このことにより突入電流の発生を阻止する。 （もっと読む）

【課題】容器への振動の伝達をより小さくし、この場合、簡単且つコスト的に有利でしかも従来の欠点を回避する、磁気軸受を備えた真空ポンプを提供する。
【解決手段】本発明は、少なくとも１つの能動型（制御型）磁気軸受を有する真空ポンプを備えた装置に関するものである。真空ポンプから容器へ伝達される振動を低減させるために、前記装置に切換手段を設けることが提案される。一方法においては、磁気バイアスが、この切換手段の関数として、磁気バイアス電流の変化により低下されることが提案される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で回転機械本体の機種が識別でき、当該回転機械に接続したコントローラをその機種に最適な制御条件に設定することが容易に、且つ確実に設定接続できる回転機械装置における回転機械本体の機種識別方法、及び回転機械装置を提供すること。
【解決手段】磁気軸受部１０にて回転体Ｒを支承する回転機械本体に、該回転機械本体の機種毎に制御条件の適応したコントローラを制御ケーブル３０を介して接続する構成の回転機械装置において、制御ケーブル３０と回転機械本体の間、又は制御ケーブル３０とコントローラ４０の間に設置したアダプタユニット２３、２４，２５に、当該回転機械本体の機種を識別できる機種識別情報を搭載し、コントローラ４０側から該機種識別情報を認識できるようにした。 （もっと読む）

【課題】１本の動力系ラインを並列接続された複数の配線に分岐した構成において、複数の配線の断線を検出することができる真空ポンプ装置。
【解決手段】Ｕ相ラインの配線は２つの配線UL1，UL2に分岐され、コネクタＣ２の２本のコネクタピンにそれぞれ接続されている。各配線UL1，UL2には、モニタ用の抵抗RMが設けられている。並列配線されたＵ相配線UL1，UL2間には比較回路２０２Ｕが設けられており、比較回路２０２Ｕにより配線UL1，UL2が断線したときの抵抗RMの電圧ドロップを検出する。その結果、分岐された配線の断線によるコネクタピンの定格電流超過の発生や、配線の定格を超えた使用を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】運転コストが小さくて、かつ、回転軸の振れが大きい状態であっても、磁気軸受に回転軸を安定に支持させることができる磁気軸受の制御装置を提供すること。
【解決手段】バイアス電流生成部２３が一定の第１バイアス電流を生成している第１状態の制御電流に基づいて、バイアス電流が第１バイアス電流と異なる一定の第２バイアス電流である第１状態の次の第２状態における上記第２バイアス電流を選択するバイアス電流選択部２５を備える。バイアス電流選択部２５は、第２バイアス電流を表す信号をバイアス電流生成部２３に出力する。 （もっと読む）

【課題】回転速度が低い場合でも生成物の堆積を防止することができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ポンプ本体１をヒータ２９で加熱してポンプ温度を目標温度に制御するターボ分子ポンプにおいて、目標温度設定部８は、回転体４の回転速度が所定回転速度のときには目標温度を所定温度に設定し、回転体４の回転速度が所定回転速度より低いときには目標温度を所定温度よりも高い温度に設定するようにしたので、回転速度が低い場合でも生成物の堆積を防止することができる。また、回転体４の回転停止中であってもポンプ温度を目標温度設定部８で設定された目標温度に制御するようにしたので、回転体４が堆積物に固着して回転駆動できなくなるのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 小型化および低コスト化を図ることができ、装置取付の自由度の向上を図ることができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】 操作ユニット４は駆動制御ユニット３に着脱可能に接続されており、真空処理装置１に搭載する場合には、駆動制御ユニット３は装置コントローラ１１により操作されるので操作ユニット４を必要としない。また、ポンプメンテナンスの際には、操作ユニット４を駆動制御ユニット３の入力部Ｃ１に接続して、操作ユニット４によりターボ分子ポンプを操作する。操作ユニット４が入力部Ｃ１に接続されると、駆動制御ユニット３はリモートモードから操作ユニットモードに自動的に切り替わり、操作ユニット４からの操作信号のみが有効とされる。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプにおいて、振動検出センサの取り付けを容易とし、製造経費を抑制する。
【解決手段】真空ポンプ１は、磁気浮上により回転支持されるロータにより吸排気を行う真空ポンプであり、ロータを磁気浮上させ回転駆動させるポンプユニット２と、ポンプユニットに磁気浮上および回転駆動のための電力を供給する電源ユニット３とを備え、このポンプユニット２と電源ユニット３とを一体あるいは連接した構成とすると共に、電源ユニット３に、ポンプユニット２の振動を検出する振動・姿勢検出部４のうちの少なくとも振動検出センサを設ける構成とする。真空ポンプ１は、ポンプユニット２と電源ユニット３とを一体化あるいは連接し、電源ユニット３が内部に備えている回路基板に加速度センサ等の振動検出センサおよび演算回路を取り付けることによって、新たに回路基板を設けることなく外部振動を検出する。 （もっと読む）

【課題】 特別な構成を付加することなく、ロータへの反応生成物の堆積を防止して、定期メンテナンスの間隔を延ばすことができる磁気軸受型ターボ分子ポンプを提供する。
【解決手段】 磁気軸受型ターボ分子ポンプは、ロータ4が、ハウジング内において、電磁石を有する制御型磁気軸受11,12,13により非接触支持されて電動モータ15により回転させられるものである。磁気軸受制御手段2が、電磁石に供給する励磁電流を制御することにより、ロータ4を加振するようになされている。 （もっと読む）