【課題】改善された真空技術的性能を有する真空ポンプ用高速回転ロータを提供することである。
【解決手段】第１のスリーブ１６および支持構造（１４；６０）を含む、真空ポンプ２用高速回転ロータ１０に関するものである。真空技術的性能を上昇させるために、第１のスリーブ１６の内側に第２のスリーブ１８が配置され且つ第１および第２のスリーブが複合材を形成することが提案される。 （もっと読む）

【課題】改善された真空データを有するホルベック・ポンプ段を提供することである。
【解決手段】転がり軸受４により回転可能に支持され、且つハブ８およびハブに固定されたスリーブ１０を有する、ロータ２であって、スリーブ１０が第１の端部１２およびハブとは反対側のフリーな第２の端部１４をもつ、該ロータ２と、およびスリーブに対して同心に、隙間幅１００を有する隙間３０を形成して、スリーブを包囲するように配置されているステータ２０と、を備えた真空ポンプに関するものである。真空データを改善するために、隙間幅が転がり軸受に向かって低減することが提案される。 （もっと読む）

【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 （もっと読む）

【課題】翼排気部における排気性能を一層向上させる。
【解決手段】動翼部６５には、放射状のロータ翼６５ａを有する内周側の翼配列部６５Ａと、放射状のロータ翼６５ｂを有する外周側の翼配列部６５Ｂが半径方向に連続して形成されている。翼配列部６５Ａ、６５Ｂを複数にしたので、各翼配列部のロータ翼またはステータ翼は、翼枚数、翼角度または翼厚さの少なくとも１つを他の翼配列部のものとの調整を図りながら最適なものとすることが可能となり、これにより、排気性能を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構造において高い圧力比を有する真空ポンプを提供することである。
【解決手段】軸１２、軸と結合されたハブ４０、およびハブの第１の側と結合された、軸に同心の第１のスリーブ５０、を有するロータを備えた真空ポンプ特に分子真空ポンプに関するものであり、少なくとも１つの第２のスリーブ５２が、軸に同心に、軸方向においてハブの第１の側に向かい合う第２の側でハブと結合され、および第１のスリーブは、ガス流れ内において第２のスリーブに後続配置されている。 （もっと読む）

【課題】ホルベック段を有する真空ポンプの性能をさらに上昇させるために、スリーブの変形を小さくする。
【解決手段】少なくとも１つの繊維方向を有する繊維複合材料からなる少なくとも１つのセクション１６を含むロータ１２を備えた真空ポンプに関するものであり、スリーブ２４に設けたセクション１６が少なくとも１つの螺旋状に配置された溝３０を有し、および繊維方向を有する繊維の少なくとも１つの部分２８が溝３０に平行に配向されているように、繊維複合材料の繊維が配向され、これにより、真空ポンプの運転において、セクション１６が遠心力の作用に抵抗する。本発明は、このようなセクション１６、およびこのようなセクション１６の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ロータ翼を安価な金属部材を用いて作製した場合でも、剛性を大きくすることができるターボ分子ポンプを提供する。
【解決手段】ロータ６０は、ロータ軸５の軸方向に沿って多段に配列された複数の動翼部６１〜６７を有する。各動翼部６１〜６７は、それぞれ、軸心から放射状に形成された多数のロータ翼６１ａ〜６７ａを有する。各動翼部６１〜６７を構成するロータ翼６１ａ〜６７ａの外周側面には、それぞれ、環状連結部材７１〜７７が、焼き嵌めまたは焼き・冷し嵌めにより取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】ねじ溝ポンプ及び又はねじ溝ポンプ部を有する複合分子ポンプにおいて、ねじ溝
ポンプ部のロータとステータとの間の微小な間隙を更に狭めることなしに、高いポンプ効
率が得られるようにする。
【解決手段】ねじ溝ポンプ部３のロータ３ａの表面及び該ロータ表面と対向するステータ
３ｂの表面の少なくとも一方の表面にセラミックスの粒子のブラストを行なって、該表面
に０．０１乃至０．１ミリメートルの高さの微細な凹凸３ａ１を有する粗表面に形成した
。 （もっと読む）

【課題】回転翼を軽量化することに伴い生ずる重心位置変動及び慣性モーメント比の変動を調整することの可能な回転体及び該回転体を搭載した真空ポンプを提供する。
【解決手段】回転体１０３のハブ９９の下端で、かつ環状張出部９８の内周端には下方に向けて延長部材２０３が環状に突出されている。そして、この延長部材２０３の下端には、この延長部材２０３の厚みよりも外側に向けて大きい厚みを有する環状の重り部２０５が形成されている。重量調整部材としての延長部材２０３及び重り部２０５はステータコラム１２２の形状に沿って回転体１０３の内側に突出されている。そして、重り部２０５は延長部材２０３の長さを経た分回転体１０３の重心位置よりも一層離隔して配設されている。 （もっと読む）

【課題】高速回転するロータが、異常により分裂する際の破壊トルクを低減する。
【解決手段】ロータ４を構成するロータ４のロータ円筒部９の最下部にリング材５１が形成されている。リング材５１は、炭素繊維強化プラスチック等の繊維強化複合材料により形成されている。ロータ４に、ロータ４とは別部材としてリング材５１を形成することにより、ロータ４に発生した亀裂の進展が遅延し、ロータ４が分裂する際の破壊トルクを大幅に低減する。 （もっと読む）

【課題】ロータ変形に起因するロータの径方向ずれを抑制することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】真空ポンプは、軸芯に対して垂直な締結面３３５を有するシャフト３３と、締結面３３５に立設された位置決めピン４０ａ，４０ｂと、締結面３３５にボルト締結され、ピン４０ａ，４０ｂが嵌挿される貫通穴３０１が形成されたロータ３０と、シャフト３３を回転駆動するモータと、を備える。そして、ピン４０ａは締結面３３５の軸芯と直交する直線Ｌ１上の位置に立設され、ピン４０ｂは、締結面３３５の軸芯と直交するとともに直線Ｌ１と所定角度θを成す直線Ｌ２上の位置に立設されている。 （もっと読む）

【課題】高速回転するロータが、異常により分裂する際の破壊トルクを低減する。
【解決手段】ロータ軸５は、上端部に嵌め合い軸部５ａを有し、ロータ４の中央部には、厚さ方向に貫通する嵌合用開口部４ａが形成されている。ロータ４は、中央部において、ロータ軸５の嵌め合い軸部５ａと軸方向において重合する部分を有しておらず、ロータ４とロータ軸５の嵌め合い軸部５ａとは、冷やし嵌めまたは焼き・冷やし嵌めのみによって固定されている。ボルト締結部を有していない分、ロータ４は質量が小さくなり、破壊トルクを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】装置への低周波振動の伝送を回避する、及び／又は、ポンプ要素とハウジングとの間の相対運動を低減することにより運用寿命が延びる真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプ(10)には、ポンプハウジング(24)の外側面(22)に保持要素(36,38) が設けられている。保持要素(36,38) は、少なくとも１つの質量要素を支持するために設けられている。好ましくは真空ポンプ(10)の長手軸(34)に対して非対称的に配置された質量要素により、生じる振動が抑制され得る。 （もっと読む）

【課題】翼排気部における各構成部材間の伝熱効率を向上する。
【解決手段】スペーサ５とステータ翼６が一体に形成されたステータ翼構成体７が軸方向に多段に積層されている。下段側のスペーサ５の段部５ｆと上段側のスペーサ５の下端面５ａとの間には間隙Ｇが形成され、この間隙Ｇに柔軟な材料で形成されたＯリング２１が介装されている。Ｏリング２１はスペーサ５の溝部５ｆおよび下端面５ａの各表面が有する微細な凹凸に倣って変形するため、接触部の接触面積が増大し、これにより、伝熱効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】高速回転するロータが、異常により分裂する際の破壊トルクを低減する。
【解決手段】ロータ４に一体に形成されたロータ円筒部４ｂの最上段のネジ溝４ｂ２にリング部材２１を嵌合する。リング部材２１は、ロータ４とは別部材として焼き嵌めにより取り付けられる。リング部材２１は、ロータ４に発生した亀裂を一旦停止させるので、ロータ４が分裂する際の破壊トルクを低減する。 （もっと読む）

高真空ポンプ１１が複数のポンピングステージを備え、該ポンピングステージはそれぞれ、少なくとも１つの回転型ロータ要素１、１３、３３と１つの固定ステータ要素とを含む複数の相互に協働する要素を備える。ポンピングステージのうちの少なくとも１つのポンピングステージの要素のうちの少なくとも１つの要素は、短繊維によって強化されたプラスチック材料から作られており、短繊維は、プラスチック材料のマトリックス内部に無秩序で実質的にランダムに分散されている。短繊維によって強化されたプラスチック材料の使用は、射出成形によって少なくとも１つの要素を作ることを可能にし、また従来の真空ポンプと比べた場合に大幅に削減された生産コストで真空ポンプ１１を製造することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】アンバランス修正用部材により、ロータアンバランスの修正と、ロータ温度が許容温度を越えたか否かを判断することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】外周面に排気作用部としての回転翼８が設けられた円筒状のロータ２を高速回転して、ガスを排気する真空ポンプにおいて、アンバランスを修正する修正用磁性部材としてのＣ型リング２１は、ロータ２の許容温度に相当するキュリー温度を有する磁性材料で形成され、ロータ２の内周面に該ロータ２のアンバランスを修正するために付加される。Ｃ型リング２１と対向する位置には、Ｃ型リング２１の透磁率変化を検出するインダクタンス式のギャップセンサ４４が配設されている。検出部３１は、Ｃ型リング２１の透磁率変化に基づいてロータ２の温度を監視する。 （もっと読む）

【課題】より高い捕助圧力でもっと効率的に差動することができる複合真空ポンプを提供することを目的とする。
【解決手段】真空ポンプは、少なくとも３つの第１排気部分（１０６）、第２排気部分（１０８）、第３排気部分（１１０）を含み、第３排気部分（１１０）は、第１及び第２排気部分の下流に配置され、且つホルウィック分子ドラッグ排気機構（１１２）及び再生排気機構（１１４）からなり、分子ドラッグ排気機構のロータ要素（１２０）は、再生排気機構のロータ要素（１２２）を取り囲む。 （もっと読む）

【課題】固定翼や回転翼を冷却または加熱する際の効率を向上させることができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、回転可能に支持されたロータと、ロータの外周に、回転軸方向に多段に設けられた回転翼３２と、多段の回転翼３２に対して回転軸方向に交互に配設された多段の固定翼２２と、多段の固定翼２２の間に配置され、固定翼２２の外周部を軸方向から挟持して位置決めする複数のスペーサリング２３ａ，２３ｂと、を備える。そして、冷却用または加熱用の流体が流れる管状の流路４２ｃを固定翼２２に形成し、軸方向上下に配置された一対の固定翼２２の流路４２ｃ同士を連通する流路４２ｄをスペーサリング２３ｂに形成したことにより、固定翼２２が流体により直接冷却または加熱され、固定翼２２や回転翼３２を冷却または加熱する際の効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】効率的にステータを昇温させることができる真空ポンプの提供。
【解決手段】真空ポンプは、ロータ２の排気上流側に形成された複数段の回転翼８、および複数段の回転翼８に対して交互に配設された複数段の固定翼９とで構成されるターボポンプ部と、ロータ２の排気下流側に形成された円筒状ロータ部１２、および円筒状ロータ部１２の外周側に隙間を介して配置された円筒状のネジステータ１１とで構成されるドラッグポンプ部と、を備える。そして、ネジステータ１１に、ステータ加熱用のヒータ２２が埋め込まれている。ネジステータ１１はヒータ２２により直接加熱されるので、ネジステータ１１を効率的に昇温させることができる。 （もっと読む）