【課題】ロッドのシール構造において、磁気粘性流体中の磁性粒子によるロッドパッキンの摩耗を抑制すること。
【解決手段】磁気粘性流体を封入したシリンダチューブ１０と、シリンダロッドの外周面２０Ａとの隙間をシールするロッドパッキン４２を備えるものを前提とする。ロッドパッキン４２よりもシリンダチューブ１０の中側においてシリンダチューブ１０とシリンダロッドの外周面２０Ａとの間に磁性粒子の通過を規制する磁性粒子規制装置６０を備える。磁性粒子規制装置６０は、シリンダチューブ１０とシリンダロッドの外周面２０Ａとの間に、軸方向にスペースをあけて嵌め込まれた各一対の磁性板６１と、各一対の磁性板の間の内径側のスペースＳに磁路を形成するように設けられた永久磁石６２と、を有する。また、シリンダロッド２０の少なくとも外周面２０Ａが非磁性体とされている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、案内レールとスライダとの間の粉塵を効率的に排出し、省エネルギー化及び省スペース化を実現する直動案内装置を提供する。
【解決手段】案内レール２と、スライダ３と、案内レール２及びスライダ３にそれぞれ形成された転動体転動溝２ａ，３ａ間に挿入された転動体６と、案内レール２とスライダ３との間の粉塵を吸引する吸引手段１０とを有し、吸引手段１０が、貫通した管形状の容量可変部１１と、第１の逆止弁１２及び第２の逆止弁１３とを有して、第１の逆止弁１２を介して容量可変部１１に連結されたスライダ３が案内レール２に対して摺動することにより、容量可変部１１の容積が変化することで負圧を発生させて、第２の逆止弁１３側から案内レール２とスライダ３との間の粉塵を排出する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でコストを抑えつつスラスト軸受に作用するスラスト荷重を低減させることが可能なスラストバランス調整装置及び回転機械を提供する。
【解決手段】スラストバランス調整装置１０は、回転体４に設けられたバランスピストン１１と、バランスピストン１１を回転可能に収容し、流体が流通可能に連通する略環状のバランス室１２と、バランス室１２内の外周側に設けられて流体の軸方向Ａへの流通を制限し、相対的にバランスピストン１１の軸方向Ａ一方側を高圧室１５に、他方側を低圧室１６に設定する第一のシール手段１３と、高圧室１５または低圧室１６の少なくとも一方に設けられてバランス室１２とバランス室１２の外側との流体の流通を制限する第二のシール手段１４と、スラスト磁気軸受を駆動させて、バランスピストン１１の軸方向Ａの位置を調整して、高圧室１５と低圧室１６との圧力差を制御する圧力制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】バーミラーを用いることなく、干渉計の測長光路を減圧して位置決め精度を向上させることで、ステージ外部の減圧が困難な加工装置等への適用及び装置の小型化を可能にする。
【解決手段】位置決め装置の固定部であるベース１は、Ｙガイド面２を有し、Ｙ凹空間部６、シール部７、Ｙ軸受８を有するＹスライダ３は、Ｙガイド面２に沿って移動する。Ｘ凹空間部９、シール部１０、Ｘ軸受１１を有するＸスライダ５は、Ｙスライダ３上をＸガイド面４に沿って移動する。干渉計２５ａ及びミラー２７ａ、２７ｂは、Ｘスライダ５のＸ凹空間部９に配置され、干渉計２５ｂ及びミラー２７ｃ、２７ｄは、Ｙスライダ３のＹ凹空間部６に配置される。各凹空間部６，９は、それぞれ排気ホース１５、１６によって減圧される。 （もっと読む）

【課題】精度良く且つ容易に加工を行うことが出来るにもかかわらず、シール効率を高めることができる、板状物用のシールユニットを提供する。
【解決手段】下側部材３０の上面３１を上側部材２０の下面２４に密着させ、且つ下側部材３０の背面３４を取り付け板１０の表面に密着させて取り付けることで、シールユニットＳＵが組み立てられる。このとき、下側部材３０の凹部３２と、上側部材２０の下面２４とで囲われる空間が、帯金Ｗが通過する開口ＡＰとなる。 （もっと読む）

【課題】プロセス室内を所望の真空圧に維持した状態で、基板の搬入及び搬出が可能な差動排気シールを備えた真空チャンバーを提供する。
【解決手段】真空チャンバー１０は、プロセス室Ｐを基板Ｗが通過するように所定の方向に基板Ｗを搬送可能な基板搬送機構としての浮上チャック４０と、プロセス室Ｐの周囲に配置され、搬送される基板Ｗ、及び該基板Ｗと対向するシール面２１との間の隙間を密封する差動排気シール２０と、を備え、浮上チャック４０は、搬送される基板Ｗの歪みを除去する歪み除去手段としても機能する。 （もっと読む）

【課題】プロセス室内を所望の真空圧に維持した状態で、基板の搬入及び搬出が可能な真空チャンバーを提供する。
【解決手段】真空チャンバー１０は、プロセス室Ｐ内を基板Ｗが通過するように所定の方向に基板Ｗを搬送可能な基板搬送機構４０と、基板Ｗが通過するプロセス室Ｐの入口側開口と出口側開口で互いに対向して配置され、該開口を通過する基板Ｗ、及び基板Ｗと対向するシール面２２，２３との間の隙間をそれぞれ密封する一対の差動排気シール２０，２１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ベース部材１０に揺動可能に支持されたアーム部材２０を、ベース部材１０のカップ部１１とアーム部材２０のカップ部２１との間に形成された内部空間に配置された捩りコイルばね５０でもってベルト押圧方向に回動付勢するようにしたオートテンショナにおいて、既存の部材に対する設計変更を行わなくても、両カップ部１１，２１間の隙間から入り込んだ異物が半径方向内方に侵入するのを防止できるようにする。
【解決手段】両カップ部１１，２１間の内部空間に捩りコイルばね５０のコイル部５１を半径方向外方から覆うように配置され、カップ部１１，２１同士の隙間から内部空間に入り込んだ異物が半径方向内方に侵入するのを規制する異物防止部材３０を備えるようにする。 （もっと読む）

本発明は、１シリンダ軸線に沿って相前後して配置された少なくとも２つの作業シリンダ（２，４；２′，４′）を備えた復動ピストン圧縮機（１；１′）であって、前記作業シリンダ内で各１つのピストン（６，８；６′，８′）が軸方向で可動にガイドされており、これらのピストン（６，８；６′，８′）が、軸方向で作動する共通のピストンロッド（１０；１０′）を有しており、該ピストンロッドが、前記作業シリンダ（２，４；２′，４′）間の隔壁（２６，２６′）に設けられた貫通開口（３２；３２′）を通って延びている形式のものに関する。本発明では、前記作業シリンダ（２，４；２′，４′）がピストンロッド（１０；１０′）の領域において、専らピストンロッド（１０；１０′）の半径方向外側の周面と前記貫通開口（３２；３２′）の半径方向内側の周面との間に形成された軸方向のギャップシール（６６；６６′）の形の無接触式のシールによって相互にシールされている。
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【課題】 軸シール構造及び磁性シールの磁場制御方法に関し、簡素な構成で生産性及びシール性能を向上させて、利用性の高める。
【解決手段】 軸部材９とその外周を被装するケーシング８との間の環状隙間１３を封止する軸シール構造１０であって、環状隙間１３に磁場を形成する磁場形成装置３と、磁場形成装置３により形成された該磁場によって生じる磁力を受け、環状隙間１３内に磁気的に捕捉されて、ケーシング８から軸部材９の周面にかけて環状に磁着し、ケーシング８と軸部材９との間をシールする非親油性の磁性流体４とを備える。 （もっと読む）

【課題】
コンパクトな構成を有しながらも、剛性を高めることができる位置決め装置を提供する。
【解決手段】
左下パッドＬＬＰと左上パッドＬＵＰ、及び右下パッドＲＬＰと右上パッドＲＵＰが、テーブル１３Ｃの移動方向に交差する方向に並べて配置されているので、テーブル１３Ｃの移動方向に交差する方向における傾き剛性を高めることができる。又、駆動装置ＤＲが、第１のスライダ部１３Ａと第２のスライダ部１３Ｂとの間に配置されているので、外部に駆動装置を設ける必要がなく、構成のコンパクト化を図れる。 （もっと読む）

互いに相対移動可能な２つの部材、特にシリンダ室内で移動可能なピストン又はピストンロッドのための２つ以上の可動シールを備えたシール構造。少なくとも２つの可動シール（Ａ、Ｂ、Ｃ）の間に形成されるシール間隙にイオン液体（Ｆ）が封入されている。
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【課題】
コストを抑えつつも、プロセス室内の環境を損なわない位置決め装置を提供する。
【解決手段】
差動排気シールの差圧室より大気側に配置されたＯ−リングＯＲを有するので、低コストでありながら、外部からの大気の流入を抑制することができるため、排気ポンプＰ１の性能を高める必要がなくコスト低減を図ることができる。又、排気ポンプＰ１が異常停止したときなど、外部からの大気の流入を抑制することができるので、プロセス室Ｐの気圧が上昇する前に、処理中のワークの保全などの必要な措置を講ずることができる。 （もっと読む）

【課題】摺動抵抗が小さく且つ耐久性の高い開閉弁を提供すること。
【解決手段】高圧の作動流体が流れる高圧作動流体流路２と当該作動流体が導入される作動流体動作室３とを連通又は遮断させる筒状の弁体５と、この弁体５の周壁部５ｂとの間に微小隙間ｇを形成し且つ当該弁体５を軸線方向に案内する筒状のガイド部６ａとを備え、弁体５の内方に高圧作動流体流路２よりも相対的に低圧となる蓄圧室１０を設け且つ弁体５に蓄圧室１０と作動流体動作室３との連通路１３を設け、周壁部５ｂをガイド部６ａの外周面側に配置した場合、前記高圧の作動流体を微小隙間ｇへと供給する高圧作動流体供給通路９を周壁部５ｂに設け且つ微小隙間ｇの高圧の作動流体を蓄圧室１０へと流入させる圧抜き通路１１をガイド部６ａに設け、周壁部５ｂをガイド部６ａの内周面側に配置した場合、高圧作動流体供給通路９をガイド部６ａに設け且つ圧抜き通路１１を周壁部５ｂに設けること。 （もっと読む）

シール装置は、シール面（５ａ）を有する少なくとも１つのシール・リング（５）と、アクチュエータ（７）と、センサ（８）と、シール・リング（５）を含むチャンバ・リング（３）とを含む。アクチュエータ（７）は、シール面（５ａ）をピストン・ロッド（２）に関して半径方向に変位させることができるように、シール・リング（５）に関する能動的接続を含む。アクチュエータ（７）は、センサ（８）によって検出された測定値に従って制御することができる。
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冷熱温度の冷気を発生する極低温冷凍機に音響エネルギーを与えるための、リニア・モータとの併用に特に適用可能な自由ピストン装置であって、時間変化非接触シールを備え、さもなくば生起し得る作動流体の時間平均流れを減少又は除去することによってピストン・ドリフトに対抗する自由ピストン装置。
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