【課題】 運転が終了した後においても静圧気体軸受への加工液などの異物の侵入を防止可能な静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】 静圧気体軸受スピンドル１は、静圧気体ジャーナル軸受３１および静圧気体スラスト軸受３２と静圧気体軸受スピンドル１の外部とを連通する連通路７０と、静圧気体ジャーナル軸受３１および静圧気体スラスト軸受３２への異物の流入を防止するために連通路７０にシール用気体を供給するためのシール用気体供給部５０と、連通路７０とシール用気体供給部５０とを繋ぐシール用気体流路５１とを含んでいる。連通路７０には、シール用気体流路５１との連結部である第１の連結部と連通路７０における静圧気体軸受スピンドル１の外部への開口である連通路開口との間に液溜め部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】
コンパクトな構成ながら、排気ポンプの異常時に対応できる回転軸シール装置を提供する。
【解決手段】
排気ポンプＰ１の吸引力が低下したことに応じて、貯留部２ｋから磁性流体ＭＬを追い出し、捕捉部２ｍが、開口２ａと回転軸３との間に磁気回路を形成することにより、追い出された磁性流体ＭＬを、開口２ａと回転軸３との間で架橋するように捕捉するので、排気ポンプＰ１に異常が生じた場合でも、自動的にハウジング２内の雰囲気を隔離でき、処理中のワークを損なうことが抑制される。 （もっと読む）

スクリューポンプのような真空ポンプに特に適した軸シールは、軸と結合可能な内側のシールリング（１８）と該内側のシールリング（１８）を取囲む外側のシールリング（２０）とを有している。外側のシールリング（２０）には環状の溝（３０）が設けられ、該溝（３０）内には供給通路（２２）を介して遮断ガスが導入可能である。さらに軸（１０）には前記溝（３０）内へ向いた付加部（３２）を有する遮断円板（３４）が結合可能である。これによって遮断ガス室（２８）が溝（３０）に構成される。遮断ガス室（２８）は遮断ガスが達することのできる室ギャップ（３６）を介して、内側と外側とのシールリング（１８，２０）間に配置されているシールギャップ（４０）と接続されている。シールギャップ（４０）には内側と外側のシールリング（１８，２０）によって形成された分離室（４２）が接続されている。この分離室（４２）は遮断ガスを排出するために排出通路（４４）と接続されている。
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【目的】 シールガス供給路から供給されるシールガス量を適正に制御することができ、常に良好なシール機能を発揮しうる軸流シール装置を提供する。
【構成】 軸流シール装置４は、シールケース１の内周部に形成された環状のシール室１０に一対のセグメントシール１１，１１を装填すると共に、シールケース１に、両シール１１，１１間にシールガス１２を供給するシールガス供給路１３を形成して、シールガス１２を各セグメントシール１１と回転軸２との対向周面間からシール室１０の両側領域Ｂ，Ｃに流出させることにより、領域Ｂ，Ｃ間を遮蔽シールするものであり、シールガス供給路１３にはガス流量絞り器たるオリフィス１７が配設されている。各セグメントシール１１は、円弧状セグメント１１ａをガータスプリング１４により環状に緊縛してなる。 （もっと読む）

【課題】メインシールであるエラストマー製シール５のプラズマ照射側にプラズマシールを設けた構造の耐プラズマ用シール１において、耐プラズマ性およびシール性の双方を十分に発揮することが可能な耐プラズマ用シールを提供する。
【解決手段】エラストマー製シール５のプラズマ照射側に、プラズマを乱反射させて減衰させる非接触のラビリンスシール６、またはプラズマの電荷を吸収してプラズマを減衰させる非接触のラビリンスシール６を設けることにした。具体例としてラビリンスシール６は、プラズマを乱反射させる凹凸表面７，８を有し、かつ凹凸表面７，８を導電性材料にて成形されている。 （もっと読む）

【課題】 高速回転時、低速回転時、回転停止時のいずれであっても回転軸周囲に均一にエアが排出してシール機能を向上させる。
【解決手段】 回転軸と当該回転軸を取り囲むハウジングの間からエアを外部へ放出することでシール機能を果たす非接触タイプシール構造において、ハウジングの範囲内に形成されたエア案内空間(11)から回転軸先端部とハウジングの間の狭窄部(12)に至るエア流通路の上記狭窄部近傍に第２の狭窄部(16)を形成するとともに、当該第２の狭窄部(16)の前後にエア溜りポケット(14, 18)を形成する。 （もっと読む）

【課題】
製造コストを抑えながらも、部品同士の競り合いを抑制できるシール装置を提供する。
【解決手段】
第１の部材２１Ａと第２の部材２１Ｃとが、フランジ部３０Ａの端面３０ＡＬ，３０ＡＲと対向する面を微小なスキマとする。即ち、本体２１の軸線寸法を変えることなく、差動排気シールのシール機構を向上させることができ、スキマの極小化も容易に図れる。 （もっと読む）

【課題】 小軸径のロータリージョイントに用いるための、コンパクトな軸流型非接触シールを提供すること。
【解決手段】 本発明は、回転軸のまわりに配置される軸流型シールを提供し、この軸流型シールは、シールリングおよび弾性体でなる二次シールを少なくとも備え、該シールリングの内周面は、該回転軸の外周面と微小な隙間を形成し、該内周面の少なくとも一つの同一円周上には、該シールリングの外周面から内周面まで貫通する複数の穴が等間隔に配置された圧力溝が設けられ、加圧されたシールガスを、該シールリングの外周面から、該複数の穴を介して該圧力溝に供給することによって該シールリングの内周面と該回転軸の外周面との間の微小な隙間を維持し、そして、該二次シールが該回転軸の軸方向から該シールリングを挟持するように構成されている。 （もっと読む）

【目的】 高度のコンタミレスが要求される処理を良好に行なうことができる処理装置用シール装置を提供する。
【構成】 シール装置4は、密封端面５ａ，７ａ間を、これにシールガス通路９からシールガス１０を噴出させることにより、非接触状態に保持しつつ、両領域Ａ，Ｂ間を遮蔽シールするように構成された静圧形のノンコタクトガスシールである。シールガス通路9は、プラスチックカバー３、シールケース６及び静止密封環７を貫通して密封端面５ａ，７ａ間に開口する一連のものであり、プラスチックカバー３に形成される第１シールガス通路部分９１とシールケース６に形成される第２シールガス通路部分９２とはカバー段部３とシールケース端部６ａとの衝合部分において連通接続されている。 （もっと読む）

自動車ドライブトレイン（６）の内部に配置された電気機械と、電気機械の回転子（２）の自由な取付けスペースの中に配置された湿式又は油冷シフト要素例えば多板式クラッチ（５）との間にあって、電気機械の回転子（２）と固定子（１）の間にほとんどオイルのない環状ギャップ（３）を実現することができる低摩耗シールを提供するという課題は、おおむね環状ギャップ（３）の正面側に、少なくとも回転子（２）の高い回転数で非接触シールのように無接触で密封するように形成された少なくとも１個のパッキン（９）を配置することによって解決される。
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