【課題】回転軸とハウジングとの間のクリアランスにクーラント液が浸入することを防止することができる回転軸装置を提供する。
【解決手段】回転軸装置は、収容空間３をもつ筒形状のハウジング１と、収容空間に軸受１３を介して回転自在に収容されるとともにハウジングの内周面との間に円筒形状のクリアランス３０を隔てて配置された主軸スピンドル２と、クリアランスにクーラント液の浸入を抑制するシール手段６と、ハウジング及び主軸スピンドルの少なくとも一方にクリアランスと対面させて配設された多孔質の吸水部材５と、吸水部材がクーラント液を吸収したことを検知する検知手段４と、検知手段の検知結果に応じてクリアランスへのクーラント液の浸入を抑制する液浸入抑制手段９１及び検知手段の検知結果に応じて主軸スピンドルの回転を停止させる軸停止手段９２の少なくとも一方と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】水蒸気等の常温・常圧場において凝縮液化する作動流体を使用する流体機械にドライガスシールを採用する場合、種々の問題が発生する可能性がある。本発明の目的は、上記の事情に鑑みて為されたものであり、ドライガスシール周りでの水滴の発生を抑制し、信頼性の高いターボ機械を提供することにある。
【解決手段】上記目的を達成するために、本発明のターボ機械は、常温、或いは、常圧で凝縮液化する媒体を作動流体とする、回転体と静止部材とからなるターボ機械において、回転体と静止部材間の少なくとも一部を通る第１のシール空気流路と、前記第１のシール空気流路に設置されたドライガスシールと、前記第１のシール空気流路の前記ドライガスシールの下流側流路に設けられた狭隘部とを有し、前記第１のシール空気流路の前記ドライガスシールと前記狭隘部の間に、第２のシール空気流路が接続されている。 （もっと読む）

【課題】加熱時に付着性の物質を含むガスを生じる物質を処理する場合であっても、低コストで高度なシール性能を発現する回転式加熱処理装置を提供すること
【解決手段】内筒１０と、内筒１０の周壁回りに突設されたフランジ２０と、内筒１０の端部に接続された入口側ケーシング１２と、シール板３１と、シール板３１とフランジ２０とによって挟持されて、入口側ケーシング１２と内筒１０との接続部分をシールするパッキン４０と、パッキン４０よりも入口側ケーシング１２と内筒１０との接続部分寄りに配置されており、シール板３１とフランジ２０とによって挟持され、入口側ケーシング１２と内筒１０との接続部分をシールするメカニカルシールと、シール板３１、フランジ２０、パッキン４０、及びメカニカルシールによって囲まれる空間７０に不活性ガスを供給するガス供給手段とを、備える回転式加熱処理装置１とする。 （もっと読む）

【課題】
ガスタービン等の高温条件下で使用されるシール構造であって、被削性，遮熱性にすぐれ、かつシール性に優れる新規なシール構造を提供する。
【解決手段】
対抗する二つの部材よりなるシール構造であって、表面に気泡構造を有するセラミックス層をアブレイダブルコーティングとして用いる。また、気泡構造を有するセラミックスからなるアブレイダブルコーティング層と基体の間に、基体側から、耐食耐酸化合金からなる下地層、および、多孔質セラミック層からなる遮熱層を設ける。さらには、前記気泡構造を有するセラミックスがＺｒＯ₂，Ａｌ₂Ｏ₃，ＳｉＯ₂の内から選ばれる、いずれか１つ、または複数を含み、空隙率が５０〜９０％の範囲とする。このような構成とすることで、高温条件下でも優れた被削性と遮熱性を有するシール構造を実現できる。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れた軸受け用のシール装置を提供する。
【解決手段】シール装置Ａは、２つ割りのリング状のシールケース２を有し、シールケース２の一端面が特殊にワンカットされたＯリング２９を介して軸受ケース５１の端面に装着されている。シールケース２の中央部にリング状の空間２０を有し、ここにセグメントシール１が収納されている。シールケース２にはエアーパージ装置３が接続し、エアーパージ孔２１を介して空間２０内にパージガス等の流体が吹き込まれる。セグメントシール１は、シールケース２の空間２０の内壁、内壁内に微小隙間を設けて取り付けられているセグメントシール１の両端面の外周側にリング状に肉薄切欠１０と肉薄切欠１１が形成され、肉薄切欠１０の面積が肉薄切欠１１の面積よりも大きくなっており、セグメントシール１を内壁２６側に押して、シール性能を高めている。 （もっと読む）

【課題】高圧運転下の推力が大きな場合においても、強度的に耐え得ると共に、回転体の安定性の確保が可能な増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造を提供する。
【解決手段】増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造において、圧縮機ケーシング１に固定された静止側ドライガスシール本体３−１及びインペラ回転軸６ａに固定された回転側ドライガスシール本体３−２からなるドライガスシール部３と、前記圧縮機ケーシング１に固定されたバリアシール部４とが設けられ、このバリアシール部４が、前記静止側ドライガスシール本体３−１に一体的に連結される一方、前記圧縮機ケーシング１と静止側ドライガスシール本体３−１との間に、軸方向位置調整用の調整ライナー５が装着され、この調整ライナー５の厚さによって、前記静止側ドライガスシール本体３−１と回転側ドライガスシール本体３−２の軸方向の相対位置が調整可能とされてなる。 （もっと読む）

【課題】シール機能を確保し、主流高温ガスの侵入防止に必要となるパージ空気量を低減するガスタービンのリムシール構造を提供する。
【解決手段】燃焼部からの主流高温ガスが動翼２０／静翼３０間に形成されるディスクキャビティ１１を通ってタービン本体内への侵入を防止するガスタービンのリムシール構造において、動翼のプラットフォーム静翼対向面から周方向内向き及び軸方向上流側に広がる肉ぬすみにより周方向外向きに突出する縦壁部２３を形成した第１緩衝キャビティ２２と、軸方向下流側に縦壁部２３を介して形成した第２緩衝キャビティ１４とを備え、第１緩衝キャビティは、主流高温ガスの流れが第２緩衝キャビティに到達する前の浸入経路に位置して縦壁部２３の先端部と静翼リム３１の端部内周面との間に第１段シール部１３を形成し、かつ、第１緩衝キャビティ内に入り込んだ高温ガスの流れを周方向に速度成分を向ける形状を有している。 （もっと読む）

【課題】十分なシール機能を確保し、ディスクキャビティにおける主流高温ガスの侵入防止に必要となるパージ空気量を低減することができるガスタービンのリムシール構造を提供する。
【解決手段】燃焼部から供給された主流高温ガスが動翼２０／静翼３０間に形成されるディスクキャビティ１１を通ってタービン本体内へ侵入することを低減するガスタービンのリムシール構造において、動翼２０のプラットフォーム２１下面に設けた肉ぬすみと静翼３０との間に形成した第１緩衝キャビティ２２と、第１緩衝キャビティ２２よりロータ径方向内側に形成した第２緩衝キャビティ１４とを備え、第１緩衝キャビティ２２は、主流高温ガスの流れが第２緩衝キャビティ１４に到達する前の侵入経路に位置し、かつ、第１緩衝キャビティ２２内に入り込んだ主流高温ガスの流れを周方向に速度成分を向ける形状を有している。 （もっと読む）

【課題】ターボ機械用のシュラウドを提供する。
【解決手段】ターボ機械（２）は、高温ガス通路（１２）を画成するケーシング（４）と、ケーシング（４）に取付けられたシュラウド部材（４８）とを含む。シュラウド部材（４８）は、ケーシング（４）から離隔していてギャップを画成する。シュラウド部材は、第１のシール面が設けられた第１のフック部材（９０）を有する第１の端部（７６）と、第２のシール面（９７）が設けられた第２のフック部材（９５）を有する第２の端部（７７）とを含む。第１及び第２のシール面（９２、９７）の少なくとも一方は、ギャップを通しての高温ガス通路（１２）内への空気漏洩を減少させる複数のラビリンスシール要素（１１０〜１１６）を含む。 （もっと読む）

【課題】プロセス室内を所望の真空圧に維持した状態で、基板の搬入及び搬出が可能な差動排気シールを備えた真空チャンバーを提供する。
【解決手段】真空チャンバー１０は、プロセス室Ｐを基板Ｗが通過するように所定の方向に基板Ｗを搬送可能な基板搬送機構としての浮上チャック４０と、プロセス室Ｐの周囲に配置され、搬送される基板Ｗ、及び該基板Ｗと対向するシール面２１との間の隙間を密封する差動排気シール２０と、を備え、浮上チャック４０は、搬送される基板Ｗの歪みを除去する歪み除去手段としても機能する。 （もっと読む）

【課題】被処理物に対する摩耗粉等の異物の混入を防止することができ、しかも一対の密封環の対向端面からの被処理物の漏洩を防止することが可能な静圧形の非接触メカニカルシールを提供する。
【解決手段】処理容器１２の底部１３に設けられる静止密封環３０と、静止密封環３０の上側に軸方向に対向するように回転軸１５に固定される回転密封環４０とを備えた静圧形の非接触型メカニカルシール１０である。静止密封環３０と回転密封環４０の対向端面３０ａ，４０ａは、下方開放状の内部空間Ｒを有するリテーナ４１によって上方および径方向外側から覆われ、リテーナ４１の内部空間Ｒに配置されている。 （もっと読む）

本発明は、回転可能なローラ（２）に設けられた定置の圧縮空気供給部（１）であって、前記ローラ（２）がその外周面に少なくとも１つの、圧縮空気で負荷される開口（７）を有している形式のものに関する。ローラ（２）は、圧縮空気で負荷される開口（７）の軸方向の領域が、周方向で少なくとも部分的に、圧力で負荷される定置の圧力室（１１）によって包囲されている。本発明によれば、前記圧縮空気供給部がシールエレメント（１０，１５）を有していて、該シールエレメント（１０，１５）が、圧力室（１１）を圧縮空気で負荷することによって非作業位置からシール位置へ移動可能であり、また圧力室（１１）を周囲に放圧することによってシール位置から非作業位置へ移動可能であって、前記シールエレメント（１０，１５）及び圧力室（１１）は、シールエレメント（１０，１５）が非作業位置にある時にローラ（２）と圧力室（１１）の壁部とが接続されず、またシールエレメント（１０，１５）がシール位置にある時に圧力室（１１）の壁部（１３）とローラ（２）とが気密に接続されるように、構成されている。
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【課題】種々の利点を有する軸流型非接触シールにおける、回転側体とシールリングとの間の微小間隙の値を小さくできない、という問題を解消して、より洗練されたものとして提供する。
【解決手段】回転軸１の外周面１Ａに微小間隙Ｈをもって外嵌されるシールリング６と、シールリング６をシール状態で径方向移動可能に、かつ、回転不能に収容する固定側体５とを有し、シールリング内周面６Ａには、供給されてくる高圧のシールガスＧを外周面１Ａに向けて放出する開口部７が形成され、開口部７からシールガスＧを放出することで微小隙間Ｈを維持しながらシールするように構成された軸流型非接触シールにおいて、シールリング６をその径方向で内径側に向けて押圧すべくシールリング６と固定側体５との間に配される弾性機構２１の複数が、シールリング６の周方向に等間隔毎に設けられる。 （もっと読む）

【課題】主軸の外周面の全周からより均一にエアを放出するエアシールを実現し、衝突等により部品の交換が必要になった場合であっても比較的短時間かつ低コストで該当部品を交換することが可能な、主軸装置を提供する。
【解決手段】エア供給路が設けられたハウジングと、ハウジング内に挿通されてハウジングに対して軸受によって回転可能に支持された主軸１０とを備え、エア供給路を介して供給されるエアを主軸の外周面とハウジングとの間に放出する、非接触のエアシール機能を備えた主軸装置１において、主軸１０の外周面とハウジングとの間における軸受Ｊより主軸１０の回転軸線ＺＴに沿った前方であるフロント側の位置に、略環状の形状を有し、その内周面が主軸１０の外周面と対向しており、その内周面と主軸１０の外周面との間にエアシール機能を果たすエアシール用部材５０が、ハウジングに着脱可能に固定されている。 （もっと読む）

【課題】シール板を溶接することなく、周方向の回転ズレを防止して設置することができるリーフシール装置を提供する。
【解決手段】形状の異なるシール板２０及び４０を組み合わせてリーフシール１０を構成し、リーフシール１０の一部に他とは形状の異なる凸又は凹等の係合部１５を構成する。ホルダー８０には係合部１５に係合する切り欠き等の構成を形成しておき、これらを嵌合させて設置することにより、リーフシール１０が周方向に回転することなくホルダー８０に保持される構成とする。 （もっと読む）

【課題】装置コストの増大を抑制しながらシール性能を高めた差動排気シール機構を有する静圧気体軸受スピンドルの提供。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、回転軸１と、軸受スリーブと、シールカバー１０と、吸引ポンプ２９、３０とを備える。軸受スリーブは、回転軸１の外周面の一部を取り囲み、回転軸１の外周面と間隙を介して対向するとともに間隙に気体を供給することでジャーナル軸受を構成する。シールカバー１０と回転軸１の外周面とが対向する領域では、シールカバー１０の表面と回転軸１の外周面との少なくともいずれか一方に、回転軸１の外周面を周回する環状溝１７が複数形成される。吸引ポンプ２９、３０は、環状溝１７に管路としての配管３１、３２を介して接続される。管路は、複数の環状溝１７と吸引ポンプ２９、３０とを接続するように途中で分岐点４０を有している。 （もっと読む）

【課題】イオン注入装置等に用いられる機械的走査機構のための真空シール装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ２４内のワークピースホルダー１０を支持する可動部材（シャフト）１１を、真空チャンバ壁に設けたシールプレート２１の開口を通じて真空チャンバ外に延在させる。前記開口を真空シールするとともに、前記可動部材１１を注入角（チルト角）の設定のためにＸ軸の周りに回転させること、およびＹ方向の機械的走査のために往復運動させることを可能にする差動排気非接触真空シール（空気軸受）を設け、大気圧が前記可動部材１１に対して作用する方向がＸ軸方向と一致するようにした。 （もっと読む）

【課題】非回転管と回転管とを接続する部位での摩耗粉の発生をなくし得、通過する純水、洗浄液体、窒素ガス、純水と窒素ガスとの混合体又は洗浄液体と窒素ガスとの混合体等の流体への摩耗粉の混入をなくし得るロータリージョイントを提供すること。
【解決手段】ロータリージョイント１は、流体導入孔５を有した中空部材６と、中空部材６の中空部２に装着された中空回転軸部材１２と、中空回転軸部材１２をＲ方向に回転自在とする接触型の軸受１３と、中空部材６の内周面１４と中空回転軸部材１２の外周面１５との間の円筒状隙間１６に高圧気体を供給する高圧気体供給手段１７と、円筒状隙間１６に供給された高圧気体を外部４に排出する高圧気体排出手段１８とを具備している。 （もっと読む）

【課題】シール隙間への加工液の浸入を抑制することができる、静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】この静圧気体軸受スピンドルは、貫通孔２８の形成された回転軸１を備える。また、静圧気体軸受を介して回転軸１を回転可能に支持するハウジング２を備える。また、貫通孔２８の内部を減圧して、貫通孔２８の一方の端部が開口するワークチャック面３０にワークを吸着固定する、吸着機構を備える。カバー８には、貫通孔２８の内部の圧力を変化させるための気体が流通する、通気口２６が形成されている。回転軸１とハウジング７との間には、通気口２６と静圧気体軸受とを隔てるシール隙間が形成されている。また、通気口２６とシール隙間とが連通する通路に設けられており、貫通孔２８の内部を通気口２６側へ流れる液体のシール隙間への浸入を抑制する、液流抑制部をさらに備える。 （もっと読む）

【課題】回転軸とハウジングとの間のクリアランスからクーラントなどの異物の侵入を防止することができる、回転軸のシール装置及び、シール装置に用いられるシールキャップを提供する。
【解決手段】収容空間をもつ略円筒形状のハウジングと、収容空間に回転自在に収容されるとともにハウジングのフロントキャップ１４の内周面との間に軸方向端面３０ａに開口する円筒形状のクリアランス３０を隔てて配置された主軸スピンドル２と、ハウジング内部に形成されたリング形状をもつ環状路６と、環状路６とクリアランス３０の軸方向端面よりも軸方向内側の軸方向内部３０ｂとの間を連通する連通部７とをもつ。連通部７は、環状路６とクリアランス３０の軸方向内部３０ｂとの間を周方向に１又は複数の仕切部１５ｄで区画することにより形成され周方向に配列された複数の分割通路５からなる。 （もっと読む）