【課題】 ラインの増設・変更に容易に対応できる集積化流体制御装置およびこのような流体制御装置を備えたガス処理装置を提供する。
【解決手段】 流体制御装置は、各ラインA1,A2,A3,A4,A5,B1,B2,B3が複数のブラケット8,9,18,19,20を介して基板1に着脱可能に取り付けられ、通路接続手段47,48が上方に取り外し可能とされている。複数の継手部材11,12,13,14,15,16,17として、複数の管状継手部材13,15,17と複数のブロック状継手部材11,12,14,16とが使用されている。 （もっと読む）

【課題】ケース内のガス流路の配索を容易にすることで、組み付け作業性を向上させる。
【解決手段】排気ガス測定装置のケース２０の内部に固定される合成樹脂製のブロック体１１を備えたガス分配ユニットであって、ブロック体１１の内部には、吸気用パイプ５４及び吸気用接続部４２に接続される機器用吸気路１５と、排気用パイプ２８及び排気用接続部４３に接続される機器用排気路１６と、測定器用パイプ５３及び吸入接続部６１に接続される測定器用通気路１４とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】高圧側の配管から低圧側の配管に高圧ガスを供給、充填する際、高圧ガスの導入に伴う断熱圧縮によるガス温度の急激な上昇を抑制することが可能な高圧ガス供給装置を提供する。
【解決手段】開閉弁を有するガス供給用の主配管Ｌ２Ａと、開閉弁の二次側の主配管Ｌ２Ａに、付属機器６Ａを取り付けるために設けられた接続配管Ｌ３Ａと、を備え、接続配管Ｌ３Ａの長さｌが主配管Ｌ２Ａの内径Ｒよりも大きく、接続配管Ｌ３Ａの内径ｒが主配管Ｌ２Ａの内径Ｒよりも小さく設けられていることを特徴とする高圧ガス供給装置である。 （もっと読む）

【課題】配管の移動量について着目した場合、取得したデータを用いてプラントの稼働率向上を図るためには、設計値の妥当性を検証する方法やそれを実現するのに必要となる構成要素などに関して、まだ改善の余地があった。
【解決手段】プラントの配管移動量管理方法において、移動量管理サーバがプラント運転中の配管移動量を取得するステップと、前記配管移動量取得時の、前記プラントの運転情報をプラント運転情報データベースから取得するステップと、前記配管移動量取得時の前記運転情報から前記配管移動量取得時の前記設計情報を取得するステップと、前記配管移動量取得時の前記設計情報と配管移動量とから配管及び支持装置の健全性を判断するステップを有したことを特徴とするプラントの配管移動量管理方法。 （もっと読む）

【課題】管継手の埋設位置を容易に特定することができると共に、該管継手及び該管継手のためのセンサ装置を保護することができる。
【解決手段】管継手保護カバー１０では、管継手１２が収容されるカバー体３０の内部には、予め記憶した情報（管継手１２の埋設位置など）をカバー体３０の外部へ無線送信可能な情報送信センサ装置８０と、カバー体３０の内部の状況（管継手１２からの漏水の有無等）を検知するとともに、当該検知結果をカバー体３０の外部へ無線送信可能な状況検知センサ装置８６とが設けられている。したがって、これらのセンサ装置が送信する電波を、地上の情報端末装置で受信することにより、管継手９８の埋設位置や管継手９８からの漏水の有無等を確認することができる。また、各センサ装置が管継手１２とともにカバー体９６の内部に設けられているため、管継手１２及び各センサ装置を土中における荷重の入力などから保護することができる。 （もっと読む）

【課題】 標準化を阻害することなく、誤組付けを防止した流体制御装置を提供する。
【解決手段】 ３ポート弁5の接続部5aの追加のおねじ部材挿通孔17に対応する継手部材13のねじ孔に、追加のおねじ部材挿通孔17に挿通されて上端部が第２接続部材5aの上方に突出させられる位置決め兼用おねじ部材18の下部がねじ込まれている。３ポート弁5の接続部5aの４隅のおねじ部材挿通孔16に、上方から流体制御機器固定用おねじ部材11が挿通されて、これらのおねじ部材11が対応する継手部材12,14のねじ孔12a,14aにねじ合わされている。３ポート弁5の接続部5aの追加のおねじ部材挿通孔17に挿通されている位置決め兼用おねじ部材18の上端部に、上方から流体制御機器固定用めねじ部材15がねじ合わされている。 （もっと読む）

【課題】バルブを使用することなく流路の切換えが可能な流路切換装置の提供。
【解決手段】所定の流体の導入路または排出路となる流路が形成された流路ヘッド部と、該流路と連通状態となる流路が形成された流路ポート部と、を少なくとも備え、流路ヘッド部と流路ポート部の両方またはいずかれ一方が二以上設けられており、流路ヘッド部と流路ポート部との組み合わせを切換えることによって、一又は二以上の連通流路が形成される流路切換装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置に腐食性ガスを供給する際に，被処理基板に対する金属性汚染物質の混入を極力抑える。
【解決手段】 複数の流体制御機器（ハンドバルブ２３１，減圧弁（レギュレータ）２３２，圧力計（ＰＴ）２３３，逆止弁２３４，第１遮断弁２３５，第２遮断弁２３６，マスフローコントローラ（ＭＦＣ）２３７，ガスフィルタ（ＦＥ）２３８）を備え，これらを接続する流路を構成する流路ブロック２４１〜２４９を非金属の炭素材料で構成した。 （もっと読む）

【課題】寒冷地で生産される天然ガスをＬＮＧ（液化天然ガス）とし、季節的な海洋変化に影響されず、安定的にかつ経済的に輸送する方法を提供する。
【解決手段】サハリンで生産される天然ガスをサハリンから北海道道南部までパイプラインで輸送し、北海道道南部の沿岸に建設された天然ガス液化基地において、輸送された天然ガスを液化してＬＮＧとし、ＬＮＧ輸送船によって国内及び海外のガス化基地に輸送する （もっと読む）

【課題】ＬＮＧ基地においてＢＯＧが凝縮して生成されたミストのドレンを外部に廃棄しないようにして、安全性及び経済性を向上させるようにしたＢＯＧ管構造を提供する。
【解決手段】ＢＯＧが流れる管路１の中途部に、他の箇所よりも高さの低いポケット部１ａを形成し、ポケット部１ａと管路１のポケット部１ａよりもＢＯＧ流れ方向下流側の部分とを、加熱コイル３が設けられた管路２により接続し、ポケット部１ａから管路２に流入したドレン５を気化させて管路１のポケット部１ａよりもＢＯＧ流れ方向下流側の部分に導入し得るよう構成する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、サージ除去装置および方法を提供する。
【解決手段】 流れ系統（７０２）における圧力変化を感知し、トラックし、そしてそれに応答するためのサージ除去装置。この装置は、流れ系統（７０２）と流体連通している流体貯蔵タンク（７０４）を有している。また、この装置は、流体貯蔵タンク（７０４）に連結されている制御弁（７１０）を有しており、この制御弁（７１０）は、流れ系統（７０２）における圧力変化に応答して圧力を補償する。また、制御弁（７１０）は、流れ系統（７０２）における圧力上昇率を制御する。また、サージ除去装置は、制御弁（７１０）と流体連通している液圧アキュムレータ（７３０）と、このアキュムレータ（７３０）と流体連通しているサージ除去弁（７１６）とを有している。 （もっと読む）